差压变送器工作原理

差压变送器工作原理

差压变送器工作原理

压力（差压）变送器是一连生产历程主动化中历程检测和控制体系的重要构成部门。其作用是将压力等被测工艺参数转换成相应的电（气）同一尺度信号，然后将此信号送至别的单位以实现对上述工艺参数的主动检测或主动调治。智能压力变送器布局如下图所示。

1）检测、变更部门

此中敏感元件的作用是将被测工艺参数转换成电信号，现在重要接纳扩散硅式和静电电容式压力传感器。片上静电电容型传感器其布局见图3.2。被测压力P1、P2分别加于左右两个断绝膜片上，通过硅油将压力传送到丈量膜片。该丈量膜片由金属薄片制成，作为差动可变电容的运动电极，在双方压力差的作用下可左右位移肯定量间隔。在丈量膜片左右有两个金属牢固电极。当丈量膜片向一边兴起时，它与两个牢固电极间的电容一个增大一个减小，通过引出线丈量这两个电容的变革便可知道差压的数值。

扩散硅式压力传感器见图3.3。丈量敏感元件为周边固支的硅杯，在此杯单晶硅膜片的上下两侧出现压差时膜片内部孕育发生应力。在压力P1、P2作用下电桥出现不均衡，输出一个正比于压力变革的电压信号。