真空系统结构
真空机的原理和结构
真空机的原理和结构
真空机是一种用来产生和维持低于大气压的环境的设备。
它的原理和结构如下：
原理：
真空机的工作原理是通过对工作腔的气体进行排除和抽取，从而降低环境压力。
它通常使用机械泵或分子泵等方法对气体进行抽取和排气。
真空机根据抽取和排气的方法可以分为不同类型，如旋片泵、游动叶片泵、油封旋片泵等。
结构：
一般而言，真空机通常由以下几个主要部分组成：
1.工作腔：真空机的工作腔是将要进行真空处理的部分，它可以是一个封闭的容器或一个需要真空处理的设备。
工作腔通常通过密封胶圈或密封垫与真空机的其他部分相连。
2.泵：真空机的泵是用来产生真空的核心部件。
它可以是机械泵、分子泵或其他类型的泵。
机械泵通常使用旋片或游动叶片等移动部件来排除气体，而分子泵则通过产生高速旋转的转子，将气体分子击打向固定的方向，从而排除气体。
3.气体排放装置：真空机的气体排放装置用于将抽出的气体排放到大气中。
它通常包括一个排气阀或排气管道。
4.控制系统：真空机通常配备一个控制系统，用于控制泵的运行和真空度的监测。
控制系统可以调节泵的工作频率和开关，以实现所需的真空处理效果。
总体来说，真空机的工作原理是通过排除和抽取气体来降低环境压力，其结构主要包括工作腔、泵、气体排放装置和控制系统等部分。
不同类型的真空机可以根据具体需要进行选择和配置。
半导体真空系统
半导体真空系统随着半导体技术的不断发展，半导体真空系统在半导体制造过程中的重要性也越来越突出。
半导体真空系统是指在半导体制造过程中使用的真空设备，它主要用于去除空气中的杂质和水分，确保半导体器件的质量和稳定性。
本文将从半导体真空系统的基本原理、组成结构、应用领域等方面进行介绍。
一、半导体真空系统的基本原理半导体真空系统的基本原理是利用真空技术将半导体材料和器件制造过程中的空气和水分排除，使得半导体材料和器件的制造过程更加稳定和可靠。
在半导体制造过程中，空气中的杂质和水分会对半导体器件的性能产生重大影响，因此使用半导体真空系统可以有效地去除这些有害物质，保障半导体器件的质量和稳定性。
二、半导体真空系统的组成结构半导体真空系统主要由真空室、真空泵、真空计、气体供给系统和控制系统等组成。
其中，真空室是半导体真空系统的核心部件，它是半导体材料和器件制造过程中的主要操作空间，具有良好的密封性和高真空度。
真空泵是半导体真空系统的主要设备之一，它的作用是将真空室中的气体抽出，从而形成高真空度的环境。
真空计是用于测量真空度的仪器，它可以反映真空系统的状态，帮助操作人员掌握真空系统的工作情况。
气体供给系统是半导体真空系统中的重要组成部分，它用于向真空室中供给所需的气体，如氩气、氢气等。
控制系统是半导体真空系统的主要控制设备，它能够对真空泵、气体供给系统等进行自动控制和调节，从而保证半导体制造过程的稳定性和可靠性。
三、半导体真空系统的应用领域半导体真空系统广泛应用于半导体器件的制造过程中，如晶体管、集成电路、太阳能电池等。
在这些制造过程中，半导体真空系统能够有效地去除空气中的杂质和水分，从而保证半导体器件的质量和稳定性。
此外，半导体真空系统还可以应用于其他领域，如真空冷却、真空热处理、真空焊接等，具有广泛的应用前景。
四、半导体真空系统的发展趋势随着半导体技术的不断发展，半导体真空系统也在不断完善和更新。
未来，半导体真空系统将会更加智能化和自动化，通过先进的传感器和控制技术，实现对真空系统的实时监测和控制。
气动真空系统介绍及应用(二)
气动真空系统介绍及应用（二）引言概述：气动真空系统是一种通过气压差实现吸引物体或产生真空环境的系统。
它在工业生产过程中起着重要的作用，广泛应用于各个领域。
本文将介绍气动真空系统的工作原理、组成结构、操作流程以及应用案例。
正文：一、工作原理1.1 负压原理：介绍气动真空系统通过减小一侧气压来产生负压的基本原理。
1.2 气动吸盘原理：说明气动真空系统中气动吸盘如何利用负压力将物体吸附的工作原理。
1.3 定向控制原理：介绍气动真空系统中的定向控制部件如何通过控制气体流向来实现吸盘的开关和吸放操作。
二、组成结构2.1 气源装置：介绍气动真空系统中的压缩机和气缸等气源装置的作用和结构。
2.2 气动执行器：阐述气动真空系统中的气动执行器如吸盘、气缸等的结构和功能。
2.3 控制系统：说明气动真空系统中的控制系统如定向控制阀、压力开关等的作用和原理。
三、操作流程3.1 吸附操作：说明气动真空系统在吸附物体时的操作流程，包括气缸伸出、吸盘接触、负压产生等。
3.2 放置操作：介绍气动真空系统在将物体放置到目标位置时的操作流程，包括气缸缩回、吸盘脱离、正压释放等。
四、应用案例4.1 自动化装配：阐述气动真空系统在自动化装配线上的应用，如对小零件的吸附、定位等操作。
4.2 搬运输送：介绍气动真空系统在搬运输送物料过程中的应用，如对轻型板件的吸附和转运等。
4.3 输送包装：说明气动真空系统在包装行业中的应用，如对纸箱的吸附、封口等操作。
五、总结通过对气动真空系统的介绍，我们了解到它的工作原理、组成结构和操作流程。
同时，它在自动化装配、搬运输送和包装等领域有着广泛的应用。
随着工业生产的不断发展，气动真空系统的应用将会越来越广泛，为我们的生产带来更多的便利和效益。
真空系统的组成.
常用机组形式
图为有挡油阱的低真空 机组。双击水环泵和大 气喷射泵串联组成的机 组极限压力1300Pa。工 作时，先开动水环泵， 以获得大气喷射泵所需 的预压力，使大气喷射 泵的进气口与出气口之 间有压力差，大气便通 过喷射进入泵内形成高 速运动气流，将被抽气 体吸入，经扩压器被水 环泵排走。 该机组适用于真空蒸 发、真空浓缩、真空浸 渍、真空干燥、真空冷 冻等工艺过程
（3）高真空抽气机组
高真空抽气机组工作于分子流状态下，与低真空机组相比， 其特点是工作压力较低（10-2~10-6Pa）、排气量小、抽速 大、机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛 升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因 此需要配置与丑泵和前级泵，有些扩散泵高真空抽气机组 还配有前几维持泵或贮气罐，以防止气压波动，改善机组 性能。
油封机械泵机组抽出可凝性气体的措施
油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液， 破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。 一般采取的措施有：使用带有气镇装置的油封机械泵那个， 并使泵的工作温度控制在75~90℃之间，以减少气镇阀负 担；在机组中安装水气分离器或油水分离装置，将混有水 的机械泵油进行处理，处理过的油再进入泵中使用；使用 各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气；使用各种冷凝器 或冷阱，不仅能有效的吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵 向真空室的反流。
1、粗真空系统（工作压力大于1330Pa）；2、低真空系统（工作压 力在1330~0.13Pa）；3、高真空系统（工作压力在0.13~1.3×106Pa）；4、超高真空系统（工作压力在1.3×10-6~1.3×10-10Pa）；5、 极高真空系统（工作压力低于1.3×10-10Pa）。
凝汽器与真空系统
在运行过程中，抽气器和真空泵持续工作，抽出漏入凝汽器的空气和不凝结的 气体，同时冷却水不断循环，确保凝汽器内的真空状态得以维持。
真空度对机组运行影响
01
02
03
热效率
真空度越高，汽轮机排汽 压力越低，机组热效率越 高。
安全性
过低的真空度可能导致汽 轮机排汽温度过高，对机 组安全运行造成威胁。
04
冷却水进出口温度
反映冷却水吸收热量的能力， 影响凝汽器的真空度。
汽轮机排汽压力
凝汽器真空度的直接体现，影 响机组热效率和安全性。
凝汽器端差
汽轮机排汽温度与冷却水出口 温度之差，反映凝汽器的传热
效果。
凝结水过冷度
凝结水温度低于汽轮机排汽饱 和温度的差值，过冷度大会增
加机组热耗。
02 真空系统组成及作用
凝汽器铜管泄漏
长期运行导致铜管腐蚀穿 孔，或者由于铜管胀口松 动、脱落引起泄漏。
凝汽器水侧结垢
循环水水质不良，导致凝 汽器水侧结垢，影响传热 效果。
真空系统常见故障类型及原因
真空系统严密性下降
真空系统阀门、法兰、焊口等处泄漏， 导致空气漏入真空系统，严密性下降。
真空泵性能下降
冷却器冷却效果差
冷却器冷却水管路堵塞、冷却水量不 足或冷却器内漏等，导致冷却效果差， 影响真空度。
设备状态良好；
对发现的问题及时进行处理， 包括更换损坏的部件、清洗水 路等；
检修完成后，对凝汽器进行真 空严密性试验，确保真空系统 的密封性。
提高设备可靠性和寿命措施
采用高品质的材料和先进的制造工艺， 提高设备的耐久性和可靠性；
对设备进行定期的性能测试和评估， 及时发现并处理潜在问题；
水环真空泵系统、原理、结构
47b 压差开关
1b ห้องสมุดไป่ตู้空表
P1 Ps
PDS
P1
1a.1
压力表
N1.2
旋塞
16a
气动 蝶阀
16.1 压力表 旋塞
28a 喷嘴
进气口端，装有差压开关、 压力开关及气动(或电动)蝶阀。 蝶阀的作用是把凝汽器系统
48 压力计 P1 T1
与泵机组隔开。差压开关的 作用是控制蝶阀的开、闭。 当泵起动后，蝶阀前后就有 压差，此时一般将差压值设
1 水环真空泵
24L
22b
球 水位控制器
阀
13热交换器
N5.0 N6.0
冷却水 进口
冷却水 出口
.
N4.6 系统排水
压力计
高位报警
23液位计
P1 减压阀
22a L1 水位控制器
过滤器 N3.3
补充水
低位报警
减压后
24b球阀
(0.15~0.3MPa abs)
因分离器内液位的高低，直接影响 到真空泵的性能。所抽的气体含有蒸汽， 有可能凝结成水而使水位增加，而使真 24空a 泵电动机功率增加；但更多的可能是 球水阀 位降低(甚至无水)而使泵性能急剧下 降而导致凝汽器真空降低。这时控制水 位就显得非常重要。该泵采用的是机械 式浮球控制阀，一个控制进水，一个控
.
.
排气口
端 盖
盘根冷却 水进水口
吸入口
工作水 进水口
泵筒体
分配板 放水口
防汽蚀阀：当凝汽器真空达到~4.9kPa 的高真 空时（工作水汽化），不可避免会出现汽蚀现
叶
象。防汽蚀阀在泵内的高真空端自动补入适量 轮
的气体，防止汽泡瞬间破裂(汽蚀)对零件表面
真空机器的几种结构
真空机器的几种结构
1. 单级真空系统
单级真空系统是最基本的真空机器结构。
它由一个真空室和一台抽气机组成。
真空室是一个密封容器,内部需要保持较低的气压。
抽气机用于抽出真空室内的气体,降低室内压力。
这种结构简单,成本较低,适用于对真空度要求不太高的场合。
2. 多级真空系统
对于需要更高真空度的应用,通常采用多级真空系统。
它由若干个串联的真空室和多台不同种类的抽气机组成。
第一级抽气机将真空室抽至中真空状态,后级抽气机(如分子泵、离子泵等)则进一步将真空室抽至高真空或超高真空状态。
多级真空系统能够获得很高的真空度,但结构相对复杂,成本较高。
3. 差动抽气系统
差动抽气系统通常用于需要将样品或物品从大气压引入高真空环境的场合。
它由一个低真空室、一个高真空室和两台不同种类的抽气机构成。
低真空室先被抽至中真空状态,然后高真空室被抽至所需的高真空度。
样品通过低真空室逐步进入高真空室,从而避免了直接从大气压进入高真空环境所可能带来的污染问题。
4. 集成真空系统
集成真空系统将真空室、抽气机、控制系统、测量仪表等多个部件集成在一个机箱内,形成一个独立的真空设备。
这种结构紧凑、操作
方便,常用于生产线或实验室等场合。
根据不同的应用需求,集成真空系统可以采用单级或多级的设计。
发电厂汽轮机真空抽气系统结构及其原理
发电厂汽轮机真空抽气系统结构及其原理发电厂汽轮机真空抽气系统结构及其原理1·系统概述1·1 系统目的1·2 系统结构1·3 系统工作原理2·真空抽气系统组成2·1 主汽轮机高真空侧抽气器2·2 附加汽轮机低真空侧抽气器2·3 水封器2·4 液环真空泵2·5 真空泵辅助设备3·主汽轮机高真空侧抽气器3·1 结构与工作原理3·2 控制系统3·3 主要参数4·附加汽轮机低真空侧抽气器4·1 结构与工作原理4·2 控制系统4·3 主要参数5·水封器5·1 结构与工作原理5·2 控制系统5·3 主要参数6·液环真空泵6·1 结构与工作原理6·2 控制系统6·3 主要参数7·真空泵辅助设备7·1 冷却系统7·2 清洗系统7·3 润滑系统8·附件本文档涉及附件详见附件清单。
9·法律名词及注释9·1 根据《电力行业安全生产条例》：电力设施的安全生产是指电力工作单位和从事电力生产经营活动的其他单位、个人，以电力生产活动为主要内容，遵守法律、法规、规章、标准和工作制度，采取必要的技术、管理、技术措施，保障电力设施的安全运行、保护工作人员的生命财产安全，预防、减少和消除电力设施事故、灾难性事故。
9·2 根据《电力设备保护管理办法》：电力设备保护作为电力企业重要的安全保障措施，是通过规范、系统地运用各种技术手段，对电力设备及其运行参数进行监测、控制和调整，预防或减轻设备的事故故障，提高设备的可靠性和安全性，延长设备的使用寿命，保护设备和人员安全的综合管理措施。
9·3 根据《电力系统自动化装置安全运行管理规定》：电力系统自动化装置安全运行管理是指在电力系统自动化装置的建设、运行中，采取一系列管理措施，确保自动化装置的可靠运行和使用安全。
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真空系統由許多不同的組件組合而成。
如各種的閥、壓力計、腔體以及最重要的pump。
Base pressure : 一般指此真空系統能夠抽到的最低壓力。
製程氣體尚未進腔體前Process pressure :指製程壓力。
反應氣體進入腔體後，反應時所需維持的壓力。
Base pressure 會比Process pressure 低。
閥門(Valve) :在真空系統中用來改變氣流方向，調節氣流量大小，切斷或接通管路的元件。
Soft valve :細（慢）抽閥，防止壓差過大而起塵。
腔體於大氣時，一般先用此閥抽。
Foreline Valve :位於pump出氣口，真空異常時，開關速度及是否緊閉是保護pump的關鍵。
同時管徑小，易積塵，需定期清洗保養測試。
Rough valve :粗抽閥，當腔體真空較低時，絕對不能打開Gate Valve用分子pump抽真空。
在確認Gate Valve 和Foreline Valve關閉的情況下，開啟Rough Valve，抽腔體真空到300 mTorr以下。
Purge gas valve :有些製程會產生大量粉塵，因pump底部有用於冷卻pump的冷卻盤，會致大量積塵於冷卻部分，用N2吹掃可減少這方面的影響，另外也作冷卻軸承等用途。
真空閥門有幾個典型的結構如:隔膜閥、真空球閥、真空蝶閥、插板閥、擋板閥、電磁閥、針閥、超高真空閥、玻璃真空活塞、無油玻璃真空閥。
而真空閥門的設計也很重要。
對於構成管路一部分的閥門，其流導大小是一個重要的性能參數。
對於主要用來起開關氣路作用的閥門，閥板關閉的密封性能也是重要的性能參數之一。
密封性能是用其漏氣率來衡量的。
對於主要用來調節氣流大小的閥門，能夠調節氣流量的精度及範圍，則是一項重要的性能參數。
對於全金屬超高真空閥門，每次關閉是否性能穩定?使用壽命是否長?是其主要的性能指標。
一般對真空閥門的要求:1.閥門的密封性能要好，閥板密封處的漏氣率要小2. 閥板開啟後應盡可能有較大的流導、閥門內所用材料應有較低的飽和蒸氣壓，高抗腐蝕性能和高化學穩定性、耐磨損、壽命長，超高真空閥門應能耐烘烤(400～450℃)3. 閥門結構要簡單，開關輕便省力，有標誌，傳動機構在高壓側4.真空閥門的型式、基本參數、連接尺寸和技術條件應按國家專業標準執行。
橡膠墊圈:橡膠墊圈密封是利用閥板與閥座間壓緊橡膠墊圈，依靠橡膠彈性變形填塞表面不平來實現的密封。
選擇真空閥門的密封結構時應注意以下幾點：a〃盡可能減少閥板下高真空側的放氣因素，例如選用放氣率小的密封墊材料等〃b〃關閥後密封圈截面上有最大的壓縮變形〃c〃結構力求簡單；d〃製造方便；e〃密封元件便於拆卸和修理。
閥門關閉的密封性能好壞決定於密封墊填塞閥座表面不平的程度。
影響這種填塞程度的因素有二方面：a〃密封墊材料的硬度和壓緊程度；b〃閥座表面的粗糙度。
金屬墊圈: 針閥或是超高真空系統中的金屬墊密封閥門。
一般來說，閥板用軟金屬紫銅、無氧銅、鋁、鎳和鉛等製成，銅、鋁、鎳要預先經過退火處理。
閥座用硬金屬不銹鋼等製成刀口形。
它們都是依靠軟金屬受壓產生塑性變形與閥座密合達到密封的。
為保證密封，每次閥板關閉時刀口的壓痕必須重合。
為此除了閥板的傳動上應有精確的導向機構外，刀口尖還應倒圓。
真空閥門的選擇: 真空閥門的傳動動力主要有手動、磁動、氣動、電動和液工作可靠。
例如手動適合於小型的，自動動。
選擇閥門動力主要考慮①操作方便；②化程度要求不高的和試驗用的設備上應用的閥門；而大型工業生產用的自動化程度高的設備上的閥門，則必須用磁動、氣動、電動或液壓的。
一般說來，磁動閥門口徑都較小，動作較快，電磁電源也較方便；而氣動閥門突出的特點是動作快；兩者都適合於作保護性的閥門。
電動(即電動機傳動的)和液壓的閥門，都是需要大動力的閥門，尤其是液壓傳動的閥門，動力小了不合適，它不像電動的閥門，常常因為電源方便而被採用。
實際上，不管採用哪種動力，都必須保證閥門工作可靠。
打開閥板的先導裝置: 有的真空閥門在開啟閥板之前，需要先使閥板上下的氣壓平衡，避免壓差過大使傳動裝置超負荷而受損害，這就要用到先導裝置。
先導裝置還可用來在閥板上下壓差較大的情況下，用較小的傳動力打開閥板。
壓力計(Gauge) :真空氣壓計（Vacuum pressure gauges）簡稱真空計（Vacuum gauges）。
是依據各種物理原理來量測壓力或分子數目的多少。
依量測範圍分類:(1)粗略真空計量測範圍：760 ~ 1Torr(2)中度空計量測範圍：1 ~ 10－３Torr(3)高度真空計量測範圍：10 -3~ 10－7 Torr(4)超高真空計(Ultrahigh vacuum) 量測範圍：10-7 Torr以下。
依工作原理分類:液體靜態真空計、機械式真空計、熱傳導式真空計、半導體式真空計、黏滯性真空計、離子化真空計、氣體分壓分析儀、氦氣測漏儀、電容式真空計。
機械式真空計:利用(容器內)氣體粒子之熱速度作用於(容器內)受力表面來直接量測壓力之真空計。
電容式真空計: 為薄膜真空計(Diaphragm Gage)的一種，利用薄膜兩邊壓力不同而使薄膜偏移，以改變電極間之距離，並使電容也因而改變，故可求得壓力之變化。
目前利用電容式原理製造之真空計，其量測範圍可從數十倍大氣壓力至１０－５（１０－３Pa）。
以電容式真空計作為轉移準器時值得注意的是，溫度變化的影響很大，因此沒有溫度控制裝置時，必須對溫度變化的影響作詳細評估。
熱偶真空計: 熱偶真空計是一種用途很廣的真空計，主要用來測試機械幫浦、吸附幫浦、及擴散幫浦前置部份運轉中真空系統內氣壓的大小，在燈泡製造工業、真空冶金工業、半導體電子工業、以及實驗室從事研究的範疇內使用極多。
對真空儀器設備有測漏功能。
利用熱電偶感溫特性直接量測真空感測頭內的發熱燈絲的溫度，由溫度變化即可知真空壓力的變化。
離子化真空計: 為一間接量測壓力之真空計，一般用於高真空以上利用量測真空系統內剩餘氣體分子之數量來推導出真空壓力。
內部兩大構造: Sensor：感測頭多為金屬或玻璃之外殼，內部至少有電子電流產生裝置、電子加速裝置及離子電流收集裝置。
Controller：控制器提供感測頭所需之電源電路，如燈絲加熱之電源。
真空系統材料的選擇:一個真空系統所使用的材料包括金屬，玻璃，陶瓷以及一些特殊橡膠。
要求的需求有:1.足夠的機械性質阻擋內外壓力差2.足夠的緻密性抵擋氣體的滲透。
3.低的蒸汽壓及溢氣量4.好的製造特質以便容易成型並同時能夠抗惡劣工作環境。
氫在金屬中的滲透率與壓力的平方根成正比。
氫在玻璃以及橡膠中乃是以分子形態進行擴散並穿透，其滲透率與壓力呈線性關係。
鋁對氫的阻擋特性最佳，而銅幾乎是對所有的氣體分子都具有很小的滲透率。
鎳對氫的滲透率較高，因此若有以水來當作冷卻作用時，為防止氫氣的滲透，以銅取代鎳是較佳的選擇。
一般的金屬其蒸汽壓都很低，然而有少數金屬其蒸汽壓在真空系統baking時會影響到真空度。
例如黃銅，有些螺絲含有Cd，303不鏽鋼含有S以及Se。
含有Zn以及Pb者之合金在工作環境達400-500C時，將會嚴重破壞真空。
在超高真空中選用金屬不外乎是，不鏽鋼，鎳合金，無氧銅。
金屬一般在真空系統中擔任反應的部份，它必須能夠被容易焊接，接合以及密合。
材料自身要有好的機械性質，能夠抗壓力，同時低蒸汽壓，低溢氣量且對氣體有極佳的抗滲透率。
若對於特殊用途，如燈絲，絕熱或是熱傳導則是另當別論。
常見的金屬有鋁以及不鏽鋼。
不鏽鋼中，氫的滲透率會因碳的含量增加而變化，因此低碳鋼的不鏽鋼是較佳的選擇。
玻璃對於氣體的滲透程度取決於玻璃的緻密以及氣體分子的大小而定，密度越大者，氣體分子越大者。
滲透率越小。
一般的玻璃比其單晶的石英，其阻擋He氣體滲透的能力小107倍。
至於其他氣體也是如此。
真空洩漏的可能性:不理想之焊接或封合；包括氬焊、銀銅焊等之焊接缺失以及玻璃與金屬陶瓷與金屬，Ｏ型環等封合缺失。
器壁太薄，在微觀的情況下出現了小裂痕，或者器壁材質不良有沙孔，細縫以及腐蝕等等。
氣體之擴散現象而穿透器壁。
真空零件的處理:一般置於超高真空內的零件都必須經過高溫的處理，以降低溢氣的問題。
銅金屬最好採用無氧銅，因為銅氧化物會與氫氣形成水氣，同時銅金屬本身將會產生孔隙。
若有螺絲與螺帽最好不要結合進行高溫減少逸氣量的處理，避免兩者結合，所以有些螺絲會進行特殊處理(如中間穿孔)。
低溫真空的減低逸氣量處理不會達到效果，唯獨高溫才有成效。
Pump :Vacuum pump 的選擇:1.真空度範圍2.操作氣體的性質3.成本(pumping speed )Vacuum pump 依處理氣體的分類:1. 排氣式：將真空裝置內的氣體輸送到較高壓力的外部而排出。
(1) 機械幫浦(Mechanical pump)。
(2) 蒸氣噴流幫浦(Vapor stream pump)。
2. 貯氣式：捕捉真空中之氣體，將其永久或暫時貯藏在幫浦中而不排出。
(1) 化學吸附幫浦(Chemical adsorption pump)。
(2) 吸附幫浦(Sorption pump)。
(3) 冷凍幫浦(Cryopump)。
機械幫浦(Mechanical Pump) :利用機械能力直接將氣體排送出系統，其作用原理可分為：1. 將氣體自低氣壓處捕捉後經壓縮送至高氣壓處，利用此原理者通常可直接將氣體排到大氣中，若真空系統之最初氣壓為大氣壓時，通常只有利用此類幫浦可將其抽低，故真空系統之前段幫浦大都採用此類幫浦。
2. 利用幫浦中迅速轉動之機件給予氣體高速率，以使其自低氣壓處向高氣壓處運動。
此類幫浦通常需與前段幫浦串聯使用，當氣體分子運動至高氣壓處時，立即被前段幫浦捕捉排送到外界大氣中。
Pump 種類:迴轉油墊幫浦(Rotary oil-sealed pump) :幫浦內部有一旋轉的偏心轉子(rotor)，轉子上有一對受彈簧力之翼(vane)。
此對翼因彈簧的壓力在轉子旋轉時，經常接觸在幫浦的靜子(stator)壁上，靜子外界貯滿幫浦油，油會經靜子上的小油路滲入靜子內壁，當轉子轉動時，轉子及轉子上的翼會與靜子內壁接觸處形成一層油膜以維持氣密。
因為轉子的軸為偏心，故幫浦內之氣體在轉子轉動時被壓縮，而轉子到幫浦的進氣口處就形成局部真空，真空系統內的氣壓因大於幫浦進口處之氣壓，於是被抽入幫浦中。
當轉子繼續轉動，幫浦內的氣體受到壓縮直到超過大氣壓力時，就推開靜子上的單向吊耳活門(flap valve)，經由油槽進入大氣中。
迴轉油墊幫浦的操作範圍在大氣壓力到10-4 torr。
Rotary pump在排氣的程序上可區分第一階段排氣與第二階段排氣，一般常見的pump都只有一次的排氣，也就是說氣體進入pump之內，隨即就被送到大氣中，但若是將第一次的排氣再送入另一個pump的入氣口，此過程則稱之為第二階段的排氣。