冷能温差发电技术及材料研究进展

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温差发电技术研究综述

温差发电技术研究综述

温差发电技术研究综述
温差发电技术研究综述
温差发电技术是一种以温差能作为能源转化为电能的可再生能源技术。

它利用温度差和流体的性质,将温度差转化为电能,从而获取电能。

近几年来,温差发电技术受到了越来越多的关注,研究者们都在积极
的研究这项技术,并取得了一些重要的成果。

温差发电技术有多种不同的实现方式,其中最常用的是温差热泵、温
差热电联产、温差热电发电、温差热电膜、温差热电动力系统等。


差热泵是一种将温差能转化为机械能的装置,它利用热泵原理将低温
热源中的热能转移到高温热源,从而获得机械能,再将机械能转换为
电能。

温差热电联产是将温差能直接转化为电能的装置,它将一个温
差热电膜的温度差和电压差用于直接产生电能。

温差热电发电利用温
度差来产生电势差,从而将温差能转换为电能。

温差热电膜利用温度
差来控制流体的流动和压力,从而产生电能。

温差热电动力系统利用
温度差产生动能,从而转换为电能。

综上所述,温差发电技术是一种具有前景的可再生能源技术,它能够
将温差能转化为电能,有效地利用这种可再生能源,从而节省能源和
环境保护。

温差发电技术的研究进展及现状

温差发电技术的研究进展及现状
关 键 词 :温 差 发 电 技 术 ;研 究 现 状 ;原 理
Research Progress and Current Status of Temperature Gap Power Generation Technology
ZHANG Feng (Information and Communication Branch of Shanxi Electric Power Company,Taiyuan 030000,China)
Key words:temperature gap power generation technology;research status;principle
为了更好的保障 电 力 稳 定,各 种 发 电 技 术 不 断 地 被研究开发。温差发电技术的应用代表了我国在发电 技术方面取得突破。
1 温 差 发 电 技 术 的 原 理
2 温 差 发 电 技 术 研 究
2.1 国 内 的 温 差 发 电 技 术 的 研 究 现 状 中国在温差发电 技 术 的 研 究 方 面 起 步 比 较 晚,目
前对于温差发电技术的研究主要集中在对理论的研究 以及对热电材料的考察。根据著名学者陈金灿所研究 的 课 题 ,早 在 20 世 纪 80 年 代 ,我 国 就 已 经 开 始 进 行 对 温差发电技术的理论 研 究,但 当 时 的 研 究 都 是 以 基 础 理 论 为 主 ,更 多 关 注 的 是 对 温 差 发 电 技 术 的 性 能 优 化 , 以此来帮助今后 对 温 差 技 术 的 研 究 取 得 更 多 成 果 。 [2] 相关技术人员凭借着研究小组之间的配合得出了越来 越多关于温差发电的 相 关 理 论 性 知 识,并 进 行 了 多 次
张 峰 (国网山西省电力公司信息通信分公司,山西 太原 030000)

温差发电技术的研究进展及现状

温差发电技术的研究进展及现状

温差发电技术的研究进展及现状
赵建云;朱冬生;周泽广;王长宏;陈宏
【期刊名称】《电源技术》
【年(卷),期】2010(034)003
【摘要】温差发电技术是一种绿色环保的发电方式,它可以合理利用太阳能、地热能、海洋热能、工业余热废热等低品位能源转化成电能.介绍了温差发电技术的原理,回顾了国内外的研究进展及现状,对温差发电中存在的发电效率低、温差电组件使用寿命短、可靠性不高等问题进行了分析,并提出了解决的办法.同时指出随着热电材料和温差电组件性能的提高,温差发电技术的优势将更加明显,应用前景广阔.【总页数】4页(P310-313)
【作者】赵建云;朱冬生;周泽广;王长宏;陈宏
【作者单位】华南理工大学,化学与化工学院,传热强化与过程节能教育部重点实验室,广东,广州,510640;华南理工大学,化学与化工学院,传热强化与过程节能教育部重点实验室,广东,广州,510640;华南理工大学,化学与化工学院,传热强化与过程节能教育部重点实验室,广东,广州,510640;广东工业大学,材料与能源学院,广东,广
州,510075;华南理工大学,化学与化工学院,传热强化与过程节能教育部重点实验室,广东,广州,510640
【正文语种】中文
【中图分类】TM913
【相关文献】
1.汽车尾气余热温差发电技术研究进展与发展趋势 [J], 王宾;赵德龙;陶新良
2.温差发电技术的研究进展及现状 [J], 张峰
3.冷能温差发电技术及材料研究进展 [J], 胡放;戚学贵;王学生;任超;代晶晶
4.温差半导体发电技术研究现状 [J], 陈宏涛;肖爱玲
5.太阳能温差发电技术的研究进展 [J], 朱冬生; 吴红霞; 漆小玲; 周泽广
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温差发电专利技术分析及发展预测

温差发电专利技术分析及发展预测

温差发电专利技术分析及发展预测温差发电技术是一种利用温度差异产生电能的技术。

它基于热流动原理,通过热源和冷源之间的温差来产生能量,从而驱动发电机发电。

温差发电技术具有以下优点:高效性、环保性、可持续性和低成本等。

因此,它被认为是一种具有广泛应用前景的发电技术。

目前,温差发电技术主要有以下几种形式:1.热电效应温差发电技术:该技术基于热电转换原理,利用材料的热电效应来产生电能。

常见的材料包括热电材料和热电半导体材料。

该技术的发电效率较高,可用于工业废热回收和太阳能热发电等领域。

2.熔盐温差发电技术:该技术利用熔盐中的热能差异产生电能。

熔盐具有良好的热导性和热稳定性,可用于储能和发电。

该技术可应用于太阳能热发电和核能电站等领域。

3.混合工质温差发电技术:该技术将两种具有不同蒸汽压力的工质进行混合,利用温差将工质的热能转化为机械能,进而驱动发电机发电。

该技术在地热能利用和生物质发电领域有广泛应用。

温差发电技术的发展预测如下:1.技术升级:随着科学技术的不断发展,新材料和新技术将被应用于温差发电领域。

例如,新型热电材料和先进的热电转换设备将大幅提高发电效率。

2.应用领域扩展:温差发电技术将在更多领域得到应用,如家庭供暖、工业废热回收、海洋能利用等。

这将进一步推动技术的发展和应用。

3.温差资源开发:温差发电技术将有助于利用地热能、太阳能、工业废热等温差资源,以提供更清洁、可持续的能源供应。

4.国际合作与市场拓展:温差发电技术在国际上也受到广泛关注。

各国将加强合作,共同推动技术的研发和应用。

同时,温差发电技术的市场前景也将进一步扩大。

总之,温差发电技术是一种具有广泛应用前景的发电技术。

随着技术的不断升级和应用领域的扩展,温差发电技术将为我们提供更多清洁、可持续的能源选择。

低温差发电的原理与应用

低温差发电的原理与应用

低温差发电的原理与应用低温差发电是一种利用低温热源和高温环境之间的温差进行能量转换的发电技术。

它的原理基于热电效应,即通过材料的热载流子扩散来产生电流。

在低温热源一侧,热载流子被加热并变得高能量,然后通过材料的热载流子扩散,到达高温环境一侧,释放出能量,同时产生电流。

1.温差利用:低温差发电可以利用各种温差资源,如温泉、大海、地下水等。

在这些低温环境中,通过低温差发电技术,可以将废热转化为电能,提高能源利用效率。

2.环境能源利用:低温差发电技术可以在自然环境中利用环境温差来产生电能。

例如,太阳能光热系统可以利用太阳辐射产生的温差来发电。

3.工业应用:低温差发电技术可以应用于工业生产过程中的废热利用。

例如,石化、电力、冶金等行业产生的大量废热可以通过低温差发电技术转化为电能,降低能源浪费。

4.家用电器:低温差发电技术可以应用于可穿戴设备、移动设备等小型电子产品,为其提供可持续的电力支持。

例如,通过人体的体温差来发电,为可穿戴设备提供动力。

5.生命科学:低温差发电技术在生命科学领域的应用也非常广泛。

例如,可以利用人体和动物体内的温差来产生微小的电量,为生物传感器、植入式医疗设备等提供电力支持。

1.材料的研发:目前低温差发电技术主要依赖于热电材料,因此研发高效的热电材料是发展的重中之重。

科学家们正在研究各种新型热电材料,以提高能量转换效率。

2.系统集成:低温差发电技术需要与其他能源转换装置相结合,形成一个完整的能源系统。

因此,研发高效的系统集成技术,可以提高低温差发电技术的整体性能。

3.应用拓展:低温差发电技术的应用领域还有很大的拓展空间。

科学家们正在研究将低温差发电技术应用于更多领域,如智能建筑、交通运输等,以满足不同领域的能源需求。

温差发电现状

温差发电现状

温差发电现状
随着全世界走向可再生能源的发展趋势,温差发电技术也逐渐成为现代能源竞争中的新热点。

在过去几年里,温差发电技术已经发展得很快,因为它可以有效利用温差来发电,提供可持续、便宜、安全、低碳排放的绿色能源。

可以说,温差发电技术是一项伟大的创新,它采用多种技术来利用温差能量发电,例如热电技术、压缩热循环技术、电子热封技术等。

与常规的电力发电技术相比,温差发电可以以更少的能耗和更低的成本满足人们对电力的需求。

在最近几年,温度差发电技术已经得到了广泛应用,例如热电技术。

热电技术是温差发电技术中最常见的形式,利用温度差,制造电力。

它更加环保,可以有效利用自然资源,不会污染大气。

比如,太阳能热电技术就是一种采用热电技术的发电方式,它利用太阳能发电,可以有效减少大气污染,给大众带来更多的清洁能源可见。

此外,热压缩循环技术也被广泛用于温度差发电。

热压缩循环技术利用温度差发电。

它将低温的外部空气转换成高压热气体,随后驱动活塞引擎,活塞引擎可以产生电力。

另外,电子热封技术也被广泛应用于温度差发电。

电子热封技术利用温度差,制造电力。

它可以在低温环境中运行,可以有效利用外部温度差来产生能源,而不损耗能源。

总之,温差发电技术对全球的电力革新、环保革新起着重要的作用,是解决全球能源危机的有力替代方案。

它可以有效利用温差能量,
为人类提供安全、优质、可再生的能源。

展望未来,温差发电技术将会更加发达,扮演更重要的角色,为人类可持续发展作出贡献。

温差发电器的研究进展

温差发电器的研究进展

温差发电器的研究进展摘要:温差是一种丰富的自然资源,随着社会的发展和科技水平的提高,人们开始逐渐认识和利用这种新型环保能源,其中温差发电器就是典型的产物之一。

温差发电器可以将热能转化成电能的固态装置,具有结构简单、稳定可靠、无噪音、使用寿命长、绿色环保等多个优点,深受人们的青睐,被广泛应用于航天、军事、民用工业等领域。

本文阐述了温差发电器的原理,简要的介绍了低级热温差发电器、烃燃料温差发电器以及放射性同位素温差发电器等,对比国内外各类温差发电的研究进展及现状,并指出各类温差发电的应用前景,并对其性能进行对比分析。

关键词:低级热温差发电器、烃燃料温差发电器、放射性同位素温差发电器1、前言目前国外温差发电技术已经在航空航天、军事和远距离通信等高科技领域得到应用,而在民用方面,主要的研究方向是利用工业余热、垃圾焚烧、汽车尾气以及海洋温差、地热自然热等形式产生的温差进行电能的转化,极大地提高了能源利用效率[1]。

根据使用热源的种类不同,可将温差发电器分为低级热温差发电器、烃燃料温差发电器、放射性同位素温差发电器下文就简要介绍这几种不同热源材料的温差发电器。

2、温差发电器的原理温差发电技术是基于塞贝克(Seebeck)效应发展起来的,赛贝克效应是一种由于导体的温度差而导致电动势产生的现象。

将两种不同的热电材料(P型和N 型)的一端通过优良导体Cu连接起来,另一端则分别与Cu导体连接,构成一个PN结,得到一个简单的热电转化组件,也称为PN热电单元。

在热电单元开路端接入负载电阻,此时若在热电单元一端热流(QH)流入,形成高温端(即热端),从另一端(QC)散失掉,形成低温端(即冷端),于是在热电单元热端和冷端之间建立起温度梯度场。

热电单元内部位于高温端的空穴和电子在温度场的驱动下,开始向低温端扩散,从而在PN电偶臂两端形成电势差,电路中便会有电流产生。

3、低级热温差发电器3.1太阳能光发电太阳能热利用技术按终端使用温度范围大致可分为低温、中温、高温:低温范围在100℃以下;中温为100~300℃之间;高温为300℃以上。

小型温差发电技术研究

小型温差发电技术研究

小型温差发电技术研究随着可再生能源的发展,温差发电技术逐渐受到人们的关注。

温差发电技术利用温差产生电能,可以充分利用环境中的热能资源,具有环保、可持续的特点。

而在小型温差发电技术方面的研究,更是对能源利用的一种创新,可以为小型设备提供能源支持,为人们的生活提供更多便利。

本文将就小型温差发电技术的研究现状、发展趋势和应用前景进行探讨。

一、小型温差发电技术的研究现状小型温差发电技术是当前热点研究领域之一,国内外学者已经开展了大量的研究工作。

目前,小型温差发电技术主要包括有机朗肯循环、热电效应发电以及热流体发电等多种技术。

有机朗肯循环是一种利用温差产生电能的热力循环系统。

热电效应发电是利用热电材料在温差作用下产生电能,而热流体发电则是通过热传导和对流传热效应,利用温差产生电能。

在小型温差发电技术的研究中,有机朗肯循环因其简单可靠、成熟稳定的特点,受到了广泛的关注。

热电效应发电由于其高效、低成本的特点,也在研究中受到了重视。

而热流体发电则是利用了热传导和对流传热效应,可以应用于一些光热设备中。

小型温差发电技术在不同的领域都有着广泛的应用前景。

二、小型温差发电技术的发展趋势小型温差发电技术的发展趋势主要体现在技术创新、成本降低以及应用推广三个方面。

技术创新是小型温差发电技术发展的关键。

随着科技的不断进步,新型材料、新工艺以及新结构的研发应用,将进一步提高小型温差发电技术的效率和稳定性。

采用纳米材料、多孔结构材料等在小型温差发电器件中的应用,可以增加材料的热传导性能、提高温差利用效率。

成本降低是小型温差发电技术发展的重要方向。

目前,小型温差发电技术的成本相对较高,限制了其大规模应用。

通过工艺优化、设备小型化和材料成本的降低等措施,可以降低小型温差发电技术的生产成本,使其更具竞争力。

应用推广是小型温差发电技术发展的关键。

小型温差发电技术具有非常广泛的应用前景,可以应用于家庭能源供应、无线传感器、智能卫生间等领域。

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冷能温差发电技术及材料研究进展胡 放3 戚学贵 王学生 任 超 代晶晶(华东理工大学机械与动力工程学院) 摘 要 温差发电技术是一种直接利用热电材料完成热能到电能转换的能源利用技术。

介绍近年来关于温差发电的实验和理论研究的国内外现状以及各种热电材料的研究进展和制备状况。

关键词 温差发电 LNG冷能 热电材料 热导率 磁控溅射0 前言21世纪的能源短缺促使各国展开多种形式的开源节流,并促使了全球能源体系的重大调整。

展望我国从目前到2050年能源需求与保障供应的可能性,煤的份额将由目前的约70%减少至2050年的约40%,天然气、水电、核电份额将有所增长,还有约15%的缺口要靠大规模发展非水能的可再生能源来补足[1]。

理论上只要存在冷、热温差,就可转化得到可供利用的能源,故可称为冷、热温差资源为温差能源。

开发利用温差能源,国内外已进行了相当多的探索和应用,且工作主要集中于热电转换材料的温差发电[2~4]。

1 L NG冷能利用现状LNG(liquified natural gas)是天然气经过脱酸、脱水处理,通过低温工艺冷冻液化而成的低温(-162℃)液体混合物。

每生产1t LNG的动力及公用设施耗电量约为850k W・h;而在LNG接收站,一般又需将LNG通过气化器气化后使用,气化时放出很大的冷量,其值大约为830kJ/kg(包括液态天然气的气化潜热和气态天然气从储存温度复热到环境温度的显热)。

我国将在沿海地区相继建成十几个LNG接收站,每年将进口数以千万吨计的LNG,同时携带着巨额冷量[5]。

在高能源价格下,液化天然气的巨大能耗和汽化天然气的冷能浪费使LNG的冷能利用成为热电转换中的新兴领域。

2007年福建已经以每年260×104t的规模进口LNG,华南理工大学[5]为其设计了“超低温冷能的火用分析和火用经济价值估算通过冷媒循环利用LNG 冷能系统”以及“LNG冷能用于空分和中低温冷用户的集成方案”,可以冷却290×104t空气,相当于60000m3/h的氧气制备规模,即一套特大型常规空气分离装置的规模,其大致可以生产11000 m3/h的液氧、47000m3/h的氧气、80000m3/h左右的液氮和氮气,以及1800m3/h左右的氩气。

另外一例国内LNG接收站冷能利用以深圳大鹏湾接受终端[6],如不采用LNG的冷能综合利用技术,每年排入附近海域的冷量将达到215×109 MJ。

因此,研究LNG冷能的综合利用技术不仅有利于节约能源,发展循环经济,而且能最大程度减少LNG终端站对附近海域的影响,保证该湾区甚至全部沿海地区的可持续发展。

在国内,LNG低温电能利用尚处于实验室研究阶段。

目前所提出的LNG冷能发电主要是利用LNG的低温冷能使发电装置中循环工质液化,而后工质经加热气化再在气轮机中膨胀作功带动发电机发电。

全静态的热电材料温差发电方式具有简单、无运动部件、组合方便等很多优点,因此它是一种实现LNG低温冷能温差发电的颇具前景的途径。

北京化工大学的Lu、W ang两人[7]设计开发了直接利用LNG冷能的朗肯循环,以氨水—水作为3胡放,女,1986年7月生,硕士研究生。

上海市,200237。

工作流体,并以气体膨胀为动力循环的级串联发电系统,建立了系统中各设备的能量公式和作功公式。

以朗肯循环的冷凝温度,进、出口透平机的压力及开放式LNG循环的进、出口压力为关键参数,改变朗肯循环热交换器的热端温度、布雷登循环热交换器热出水与冷进口最低温度差、开放式LNG 循环泵与朗肯循环泵的压力比以及开放式LNG循环系统透平机气压比,以获得最佳经济效应。

西安交通大学的N iu Xing等人[8]设计了一个基于平行板换热器商用热电模块的温差发电器。

该实验检验了温差发电中的主要操作条件,如冷热流体进、出口温度,流速,延程阻力,所对应的动力输出和功率系数;并参考前人数据模拟了一个专门用于低温废热利用的计算机温差发电模块,证实了低温废热利用温差发电的可行性。

Rodriguez等人[9]设计了一个计算机模拟系统以模拟温差发电器的热电性能表现。

模拟系统输入作为温度函数和边界条件的热电参数,输出为热电参数,如功率、功率因子、电压以及电流,系统最大误差不大于5%。

该系统可以在忽略边界条件的情况下,研究室温、热负荷以及电负荷对温差热电系统的影响,系统中所有参数均为温度的函数,使得该模型成为一个稳定的温差热发电系统模拟。

Rodriguez等人研究了-20~40℃室温条件下的温差发电,并获得良好的实验与模拟比较结果,为LNG低温冷能利用的计算机模拟提供了很好的参考。

海军工程大学的Meng Fankai等人[10]提出了一个二级温差发电器驱动两级温差制冷装置系统,为温差资源的利用提出了一个新的切入点。

该系统基于非平衡态热力学理论,研究了稳定工作电流以及稳定工作电流下的制冷负荷,制冷系统的最大制冷量和COP值,并研究了制冷系统冷端和温差发电系统热端温度对系统性能的影响,可作为实际联合温差能源利用系统设计的重要参考。

2 冷能用热电材料211 冷能用热电材料的选用目前,限制热电材料得以大规模应用的问题是其热电转换效率太低。

热电材料的热电转换效率可用无量纲热电优值———ZT值来表征,这里T为绝对温度Z=α2σ/к式中 α———材料的热电势率,即材料的Seebeck系数σ———材料的电导率к———材料的导热系数ZT又称为材料的功率因子,它决定了材料的电学性能。

由Z的表达式可以看出,要提高材料的热电转换效率,应选用同时具有较大功率因子和低热导率的热电材料。

但事实上由于决定Z值的3个因子是相互关联的参数,都是载流子浓度的函数[11],不可能同时使它们得到优化,这是目前热电材料性能不高的主要原因。

陈则韶等人[12]对低温冷能热电材料温差发电系统进行了较为深入的实验与理论研究,结果表明常用半导体热电材料在低温下的性能欠佳。

图1 几类热电材料优质系数比照 D ing Z等人在热电材料综述中对目前最流行的几种热电材料的ZT值作出一个比照图表,如图1所示。

碲化铋合金及其n型和p型热电半导体合金是目前已知室温条件下最佳的热电材料。

Cs B i4Te6合金则是在LNG低温运用范围内ZT值最高的热电材料[13]。

对热电材料新结构的研究,包括梯度材料、复合材料和量子阱结构的热电材料等。

热电材料的梯度结构包括材料载流子浓度的梯度化和层叠热电材料结合面的梯度化。

合理的梯度化结构可以使材料适应内部温度梯度的变化,使得最佳的材料能运用在最合理的温度区域,提高总的转换效率[14]。

尤其是LNG的冷能利用范围在-162~20℃,功能梯度材料的应用前景广阔。

此外,理论研究及实验结果都表明,降低材料维数可以提高热电材料的ZT值[15]。

原因在于降低维数:(1)提高了费米能级附近的态密度,从而提高了Seebeck系数;(2)由于量子约束、调制掺杂和掺杂效应,提高了载流子的迁移率;(3)更好地利用多能谷半导体费米面的各向异性;(4)增加了势阱壁表面声子的边界散射,降低了晶格热导率。

Roberts等人[16]建立了分子动力学模型以研究超晶格结构对传热系数的影响。

模拟发现,由于晶界散射的大大增加,热电材料的性能有了显著提高。

研究主要关注是复合纳米热电薄膜的性能,模型中数值模拟了纳米晶粒以及传质阻力的大小。

实验研究表明,在纳米晶格大大增加的情况下,有效传热阻力可以减少25%。

中科院的L i Yali等人[17]利用热压力法在703K 温度下制得的p型B i014Sb116Te3合金具有较大的颗粒边界和表面密度,从而有效地降低了传递热阻,并在室温条件下获得了1115的ZT值,佐证了超晶格材料多晶面对热电材料导热系数的有力影响。

212 低温用热电材料的制备热电超晶格薄膜包括由超晶格制成的二维纳米薄膜或一维纳米线组成的线阵列结构,它降低了材料的维数,因量子约束效应和界面散射引起材料的к降低,而S以及σ基本不变,使得材料的ZT值提高。

1993年H icks[18,19]等首先考虑了超晶格量子阱结构对热电效应的影响,认为使用超晶格可获得高的热电优值。

H icks等认为超晶格量子阱热电薄膜的ZT值是由材料参数和化学势决定的。

量子阱超晶格热电薄膜是在垂直于外延生长方向上构造的。

对薄膜的热电性能有影响的因素包括:超晶格热电薄膜中声子的量子限制效应使热导率的降低也是ZT值增大,超晶格热电薄膜的势垒层以及隧穿效应。

考虑到LNG冷能利用中的热电薄膜主要应用于零度以下低温,用于制备热电超晶格薄膜的技术主要为分子束外延法、磁控溅射、电化学原子层外延法、金属有机化合物气相沉积和连续离子层吸附与反应法等[20]。

这些方法的半导体材料在基片上附着力较强,适合热电材料的LNG冷能利用。

金属有机化合物气相沉积(MOCVD)[21]主要用于III、V族和Ⅱ、Ⅵ族化合物半导体的生长,是一种利用化学反应以气相进行晶体生长的方法。

采用的原材料是金属有机化合物(如三甲基、三乙基等)。

这些化合物源在气相混合,并在一定温度下热解,然后在衬底上沉积。

合金的组分和掺杂水平由各种气体源的相对压力来控制。

这种方法能生长出十分均匀的外延层。

MOCVD最主要的特点是沉积温度低,适于大面积成膜和批量生产,容易实现产业化。

但是,MOCVD的原材料成本较高、毒性大,因此研究毒性小、成本低的金属有机化合物是当前主要的研究方向。

化学原子层外延法ECALE法[22]巧妙地将原子层外延与电化学沉积相结合。

原子层外延(ALE)法可达到单原子层水平上完全可控,从厚度上讲可以说是达到了极限。

ECALE法通过交替电化学沉积组成化合物的元素原子层形成化合物,外延沉积通过使用欠电位沉积方法得到表面化学限制生长。

ECALE法是一种低成本室温沉积技术,不需要在高真空或超高真空的条件下沉积薄膜,是降低薄膜成本的有效制备方法,具有广阔的应用前景。

如图2所示,分子束外延(MBE)[23]是在超高真空条件下精确控制原材料的中性分子束强度,并使其在加热的基片上进行外延生长的一种技术。

从本质上讲,分子束外延也属于真空蒸发方法,但与传统真空蒸发不同的是,分子束外延系统具有超高真空,并配有原位监测和分析系统,能够获得高质量的单晶薄膜。

图2 分子束外延法设备 阴极溅射[24]是利用低压气体放电现象,使处于等离子状态下的离子轰击靶面,溅射出的粒子沉积在基片上,如图3所示。

在阴极溅射基础上加与电场方向相互垂直的磁场,从而改进可得磁控溅射,此时正交电磁场可以有效地将电子的运动束缚在靶面附近,大大减少了电子在容器壁上的复合损耗,提高了电子的电离效率。

电子每经过一次碰撞就会损失一部分能量,最后到达阳极时已经是能量消耗殆尽的低能电子,不会使基片过热。

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