平面度的测量
平面度怎么测量
平面度怎么测量1. 引言平面度是指一个物体的表面与一个参考平面之间的平均距离差，也可理解为物体表面的平整度。
在许多工业和制造领域中，平面度是一个重要的质量指标，对于确保产品的准确和可靠性至关重要。
为了测量和评估平面度，可以采取多种方法和工具。
本文将介绍几种常见的平面度测量方法。
2. 平面度测量方法2.1 直尺法直尺法是一种简单且常用的测量平面度的方法。
该方法要求使用一把长直尺或平板，并将其沿着待测物体的表面移动。
在移动的过程中，观察直尺与表面接触的情况。
如果直尺的各个点都与表面紧密贴合，那么可以认为该物体的平面度较好。
2.2 游标卡尺法游标卡尺法是一种更精确的平面度测量方法。
该方法需要使用一把游标卡尺，将其放置在待测物体的表面上，并在游标卡尺上移动游标丝。
在移动的过程中，观察游标丝与物体表面之间的间隙。
记录间隙的最大和最小值，通过计算这两个值之间的差值，可以得出物体表面的平面度。
游标卡尺法相对于直尺法更加精确，适用于对平面度要求较高的场合。
2.3 轮廓仪法轮廓仪是一种专门用于测量物体平面度的仪器。
轮廓仪通过使用一个移动的感应头，可以测量物体表面的高低差。
操作者将物体放置在轮廓仪上，并启动测量过程。
轮廓仪会自动记录物体表面的各个点的高度信息，并生成一个平面度测量报告。
轮廓仪法能够提供较为精确的平面度测量结果，因此广泛应用于高精度制造领域。
3. 平面度测量的注意事项在进行平面度测量时，需要注意以下几个方面：•确保测量仪器的准确性和灵敏度。
不同的测量方法和仪器具有不同的准确性和灵敏度要求，使用前应进行校准和检查。
•准备平面度测量的表面。
待测物体的表面应该清洁，并且不得有明显的凹凸不平、磨损等缺陷。
这可以提高测量的精确性和可靠性。
•选择合适的测量方法和仪器。
根据具体的测量要求和条件，选择适当的平面度测量方法和仪器。
不同的方法和仪器适用于不同的场合。
•进行多次测量并取平均值。
由于测量过程中存在一定的误差，为了提高结果的准确性，建议进行多次测量并取平均值。
平面度定义及测量方法
平面度定义及测量方法平面度是指表达物体表面相对平整度的度量指标。
一个表面越平整，就越具有良好的平面度。
因为许多工程中表面的平面度对于装配、密封、接触等关键技术要求很高，所以平面度是一个非常重要的表面质量指标。
平面度的测量方法有多种，下面将介绍其中几种常用的方法。
1.平板对比法：这是平面度测量中最基本的方法。
原理是将被检测的物体与一个已知平面度的标准平板放在一起，通过目视或使用仪器测量两者之间的接触情况，从而判断被测物体的平面度。
这种方法适用于大面积平面度的测量。
2.光栅干涉法：这种方法利用光栅干涉原理测量被测物体表面的平面度。
在测量过程中，光线通过被测物体表面，然后经过干涉装置，形成干涉条纹。
通过观察和测量干涉条纹的形态和数量，可以推断出被测物体的平面度。
3.激光测距法：这种方法通过激光器发射一束激光，照射到被测物体表面，然后激光经过反射回到激光器，使用激光测距装置测量激光来回行程的时间，从而计算出被测物体表面的平面度。
这种方法适用于较小的平面度测量。
4.探针法：这种方法使用平面度测量仪，通过调整仪器中的探针来测量被测物体表面的平面度。
探针会通过机械或电子方式感知被测物体的表面形状，并将数据传输到计算机进行处理和分析。
5.影像处理法：这种方法使用相机或扫描仪等设备对被测物体的表面进行拍摄或扫描，将图像传输到计算机，利用图像处理算法对被测物体的平面度进行分析和计算。
影像处理法可以快速、准确地测量大面积物体的平面度。
总结起来，平面度是表达物体表面平整度的度量指标，常用的测量方法包括平板对比法、光栅干涉法、激光测距法、探针法和影像处理法。
不同的测量方法适用于不同情况下的平面度测量。
平面度检测方法
平面度检测方法平面度是一个物体表面平整程度的指标，对于某些需要高精度加工的工件来说，平面度是一个非常重要的参数。
因此，需要对工件的平面度进行检测，以保证产品质量和工艺精度。
下面将介绍几种常见的平面度检测方法。
1. 直尺法。
直尺法是一种简单直观的平面度检测方法，它适用于一些表面较大的工件。
具体操作方法是将一根较长的直尺或平板放置在被检测的表面上，通过目视或使用游标卡尺等测量工具，来检测工件表面与直尺之间的间隙。
通过测量不同位置的间隙值，可以初步判断工件的平面度情况。
2. 对角线法。
对角线法是一种利用对角线测量工件平面度的方法。
具体操作方法是在工件的表面上绘制两条相交的对角线，然后使用测量工具（如游标卡尺、激光测距仪等）测量对角线的长度，通过对角线长度的差异来判断工件的平面度情况。
这种方法适用于一些较小的工件，对角线长度的测量精度较高。
3. 光栅法。
光栅法是一种利用光栅投影仪来检测工件平面度的方法。
光栅投影仪会在工件表面投射一系列平行的光栅线，然后通过光电传感器来测量光栅线在不同位置的偏移量，从而计算出工件表面的平面度。
这种方法适用于对工件平面度要求较高的情况，具有较高的测量精度和稳定性。
4. 数字化测量法。
数字化测量法是一种利用三维坐标测量仪或激光三维扫描仪来进行工件平面度检测的方法。
这种方法可以实现对工件表面的全面扫描和测量，通过数学算法对测量数据进行处理，得出工件表面的平面度情况。
数字化测量法适用于对工件平面度要求非常高的情况，可以实现对工件表面微小偏差的精确测量。
总结。
以上介绍了几种常见的平面度检测方法，每种方法都有其适用的场景和特点。
在实际工程中，可以根据工件的大小、精度要求、测量环境等因素选择合适的平面度检测方法。
通过科学合理的平面度检测方法，可以有效保证工件的加工质量和精度，提高产品的竞争力和市场占有率。
平面度检测方法
平面度检测方法平面度是指在一个平面上，任意两点之间的距离与该平面的距离之差的最大值。
在工程领域中，平面度是一个非常重要的参数，它直接影响着零件的质量和精度。
因此，对于工件的平面度进行准确的检测和评定是非常必要的。
本文将介绍几种常用的平面度检测方法。
一、直尺法。
直尺法是一种简单直观的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，选取一根较长的直尺，将其放置在被检测的平面上，然后用手指轻轻按压直尺的两端，观察直尺与被检测平面之间是否存在缝隙。
如果存在缝隙，则说明该平面不够平整。
这种方法操作简单，成本低，但是对操作人员的要求较高，且只能检测局部平面度。
二、游标卡尺法。
游标卡尺法是一种比较常用的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，选取一把精度较高的游标卡尺，然后将其放置在被检测的平面上，通过游标卡尺的测量范围和精度，可以准确地测量出被检测平面的平面度。
这种方法操作简便，准确度较高，适用于对平面度要求较高的工件。
三、投影仪法。
投影仪法是一种高精度的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，将被检测的平面放置在投影仪的工作台上，然后通过投影仪投射出被检测平面的轮廓，最后通过投影仪的影像测量系统，可以直观地观察到被检测平面的平面度情况。
这种方法操作简单，准确度高，适用于对平面度要求极高的工件。
四、三坐标测量法。
三坐标测量法是一种高精度、全方位的平面度检测方法。
具体操作步骤如下，首先，将被检测的平面放置在三坐标测量机的工作台上，然后通过三坐标测量机的探测系统，可以对被检测平面的平面度进行全方位、高精度的测量。
这种方法操作复杂，但是准确度极高，适用于对平面度要求非常高的工件。
综上所述，平面度是工程领域中一个非常重要的参数，对于工件的质量和精度有着直接的影响。
因此，选择合适的平面度检测方法对于保证工件的质量和精度具有非常重要的意义。
在实际工程中，可以根据具体的工件要求和实际情况选择合适的平面度检测方法，以保证工件的质量和精度要求。
平面度的测量方法及检测工具
平面度的测量方法及检测工具一、引言。
平面度是指物体表面与一个理想平面之间的距离差异。
在工程制造中，平面度是一个非常重要的指标，它直接影响着零件的质量和使用性能。
因此，正确的测量平面度，选择合适的检测工具是非常关键的。
本文将介绍平面度的测量方法及常用的检测工具。
二、平面度的测量方法。
1. 直接测量法。
直接测量法是最常见的一种测量平面度的方法。
它通过使用平面度检测仪器，直接对被测平面进行测量。
在测量过程中，需要将平面度检测仪器放置在被测平面上，然后通过仪器显示的数值来判断平面度的情况。
这种方法简单直观，适用于一般的平面度测量。
2. 对比测量法。
对比测量法是一种间接测量的方法。
它通过将被测平面与一个标准平面进行对比，来确定平面度的情况。
在实际操作中，可以使用平面度对照板或平面度对照尺来进行对比测量。
这种方法适用于对平面度要求较高的情况，可以提高测量的精度。
3. 光学测量法。
光学测量法是一种非接触式的测量方法。
它通过使用光学测量仪器，如激光干涉仪、投影仪等，来对被测平面进行测量。
这种方法适用于对平面度要求较高，且需要高精度测量的情况。
光学测量法具有高精度、高效率的特点，但仪器的成本较高。
三、平面度的检测工具。
1. 平面度检测仪。
平面度检测仪是一种专门用于测量平面度的仪器。
它通常由主体、测头、显示屏等部分组成，可以直接对被测平面进行测量，并显示出平面度的数值。
平面度检测仪具有操作简单、测量精度高的特点，适用于一般的平面度测量。
2. 平面度对照板。
平面度对照板是一种用于对比测量的工具。
它通常由标准平面和被测平面两部分组成，通过将两个平面进行对比，来判断被测平面的平面度情况。
平面度对照板适用于对平面度要求较高的情况，可以提高测量的精度。
3. 激光干涉仪。
激光干涉仪是一种高精度的光学测量仪器，可以用于测量平面度。
它通过激光的干涉原理，可以实现对被测平面的高精度测量。
激光干涉仪具有测量精度高、非接触式测量的特点，适用于对平面度要求较高的情况。
测量平面度的方法
测量平面度的方法一、引言平面度是工程中常用的一个指标，用于评估一个平面是否平坦。
在制造和加工过程中，平面度的精度对产品的质量和性能有着重要的影响。
因此，正确测量平面度是保证产品质量的重要一环。
本文将介绍几种常见的测量平面度的方法。
二、直尺法直尺法是一种简单而常用的测量平面度的方法。
测量时，选取一把较长的直尺，将其放置在待测平面上，然后用手或工具按压直尺两端，使直尺与平面接触。
观察直尺与平面之间的缝隙，根据缝隙的大小判断平面的平整程度。
直尺法的优点是简单易行，不需要复杂的仪器设备，但由于操作的主观性较强，所以精度相对较低，适用于一些对精度要求不高的场合。
三、游标卡尺法游标卡尺法是一种较为精确的测量平面度的方法。
测量时，使用游标卡尺的测量头，将其放置在待测平面上，然后用手或工具按压测量头，使其与平面接触。
通过读取游标卡尺上的刻度，可以直接得到平面的高度差。
游标卡尺法比直尺法精度更高，适用于对平面度要求较高的场合。
四、光干涉法光干涉法是一种非接触式的测量平面度的方法。
它利用光的干涉现象来测量平面的高度差。
测量时，将一束光照射到待测平面上，通过测量光的干涉图案的变化来得知平面的高度差。
光干涉法具有高精度和高灵敏度的优点，适用于对平面度要求极高的场合，如半导体制造等领域。
五、激光扫描法激光扫描法是一种高精度测量平面度的方法。
通过使用激光扫描仪器，可以快速而准确地获取平面的三维形貌。
激光扫描仪器可以扫描整个平面，并生成一个三维点云图，通过分析点云数据，可以得到平面的高度差。
激光扫描法具有高精度、高速度和高效率的特点，适用于对平面度要求极高且需要大量数据的场合。
六、数控测量系统数控测量系统是一种自动化测量平面度的方法。
它利用计算机控制设备和传感器，实现对平面度的全自动测量。
数控测量系统具有高精度、高效率和高可靠性的特点，适用于对平面度要求极高且需要大批量测量的场合，如汽车制造、航空航天等领域。
七、总结测量平面度是确保产品质量的重要一环。
平面度常识测量方法
平面度常识测量方法平面度是指其中一平面上各点与参考平面之间的距离差异，也就是该平面上的点与参考面的垂直距离。
在许多工程领域，平面度是一个重要的测量参数，尤其是在制造和装配过程中，确保零件和设备的平面度可以确保它们相互之间的紧密贴合和正确运作。
以下是一些常见的平面度测量方法：1.直尺法：直尺法是一种简单快速的平面度测量方法。
首先，将直尺放在待测平面上，然后使用手指或其他工具在不同位置下压直尺，观察直尺与平面之间的间隙。
通过检查所有点的间隙大小和均匀性，可以初步判断平面度。
2.精密定位平台法：精密定位平台是一种专门用于测量平面度的设备。
它通常由一块平面的基座，几个可调节高度的脚和一指示器组成。
通过使用调节脚，并观察指示器的读数，可以测量出平面的不平度。
3.平台水平仪法：平台水平仪是一种通过气泡位置指示平面度的工具。
将平台水平仪放置在待测平面上，调整平面直到气泡位于中心。
根据气泡的位置，可以判断平面度的好坏。
4.平板对平板法：平板对平板法是一种经典的测量平面度的方法。
它使用两块平面平板，一个作为参考平面，另一个用于测量待测平面。
首先，将待测平面放置在参考平面上，然后在两个平面上同时放置千分尺或刀尺。
通过测量两个平面上的千分尺或刀尺的高度差异，可以计算出平面度。
5.激光测量法：激光测量法是一种非常精确和先进的测量平面度的方法。
它使用一束激光束扫描待测平面，并使用光电传感器测量激光束与平面的距离。
通过获取多个点的数据，并进行数据处理和分析，可以得出高精度的平面度结果。
需要注意的是，不同的测量方法适用于不同的平面度测量需求和精度要求。
在选择测量方法时，需要考虑到平面度测量的精度、测量时间和所需成本等因素。
同时，还需要进行正确的仪器校准和操作，以确保测量的准确性和可重复性。
平面度的测量方法及检测工具
平面度的测量方法及检测工具平面度是指一个物体表面与一个虚拟平面之间的距离差异。
在制造和工程领域，平面度是一个重要的质量指标，它描述了一个物体表面在一些特定区域内与一个理想平面的吻合程度。
测量平面度的方法和检测工具有很多种，以下是其中几种常用的方法和工具。
1.直尺法：直尺是测量平面度的一种简单且常用的工具。
通过在被测表面上放置直尺，可以直观地观察平面度。
如果直尺的边缘能够与被测表面接触，则表明表面是平坦的。
然而，直尺法并不适用于精确测量和大面积的平面度测量。
2.平板法：平板是一种精度很高的测量工具。
平板的一面可以作为参考平面，被测表面则与参考平面进行比较。
通过观察光的反射和折射，可以判断被测表面与参考平面之间的平面度差异。
3.平床法：平床是专门用于测量平面度的设备。
被测物体放置在平床上，平床上有一个移动的测量头。
测量头可以通过感应器测量被测表面与参考平面之间的高度差异。
平床法适用于精密测量和大面积平面度测量。
4.激光测量法：激光测量是一种非接触式测量方法，可以用于测量平面度。
激光发射器发射一束激光，通过感应器接收激光的反射，从而测量表面的高度差异。
激光测量具有高精度和快速测量的优点，适用于小面积和复杂形状的平面度测量。
5.干涉仪法：干涉仪是一种基于干涉原理的测量设备，可以用于测量平面度。
干涉仪通过光束进行干涉，从而测量被测表面与参考平面之间的高度差异。
干涉仪具有高精度和快速测量的优点，适用于大面积和高精度的平面度测量。
除了以上几种方法和工具外，还有一些其他的测量方法和工具，如平行仪、光栅尺、石蜡球等。
这些方法和工具在不同的测量场景和要求下具有各自的优缺点。
总结起来，测量平面度的方法和检测工具有很多种。
选择合适的方法和工具需要考虑被测物体的尺寸、形状、几何要求以及测量精度要求等因素。
在实际应用中，可以根据具体情况选择合适的方法和工具进行平面度的测量。
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平面度测量工作单位：广东技术师范学院机电学院机械精度检测实验室作者：刘涵章关键词：平面度平面度误差三远点法三角形准则对角线准则对角线法目录一、什么是平面度二、平面度误差值的各种评定方法三、误差值评定的步骤：四、实验教学中的实验仪器和实验步骤：五、平面度误差值的各种评定方法应用举例六、总结一、什么是平面度首先谈一谈什么是平面度，平面度就是实际平面相对理想平面的变动量。
换句话说，就是被测平面具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。
也可以说成是平整程度。
平面度公差是实际表面对平面所允许的最大变动量。
也就是用以限制实际表面加工误差所允许的变动范围。
这个变动范围可以在图样上给出。
（可以插入一个图）二、平面度误差值的各种评定方法1. 最小区域判别准则：由两个平行平面包容实际被测平面S时，S上至少有四个极点分别与这两个平行平面接触，且满足下列条件之一：（1）至少有三个高（低）极点与一个平面接触，有一个低（高）极点与另一个平面接触，并且这一个极点的投影落在上述三个极点连成的三角形内（三角形准则）；（2）至少有两个高极点和两个低级点分别与这两个平行平面接触，并且高极点连线和低极点连线在空间呈交叉状态（交叉准则）；这两个平行平面之间的区域即为最小区域，该区域的宽度即为符合定义的平面度误差值。
就是最高点与最低点的差值。
如下图所示：2.三远点平面法和对角线平面法：平面度误差值还可以用对角线平面法和三远点法评定。
对角线平面法是指以通过实际被测平面一条对角线（两个角点的连线）且平行另一条对角线（其余两个角点的连线）的平面作为评定基准，取各测点相对于它的偏离值中最大偏离值（正值或零）与最小偏离值（零或负值）之差作为平面误差值。
三远点平面法是指以通过被测平面上相距最远的三个点构成的平面作为评定基准，取各测点相对于它的偏离值中最大偏离值（正值或零）与最小偏离值（零或负值）之值差作为平面度误差值。
应当指出，由于从实际被测平面上选取相距最远的三个点有多种可能，因此按三远点平面法评定的平面度误差值不是唯一的，有时候差别颇大。
评定过程就是根据上述判别准则去寻找符合最小条件的理想平面位置的过程。
可有多种数据处理方法，其中旋转法为最基本的方法。
此法适用于前述各种测量方法获得的统一坐标值的数据处理。
三、误差值评定的步骤：1)建立零平面：目的是有利于观察。
2)选择旋转轴：以使各点数值关系符合判别准则。
3)确定旋转量：要使旋转后两目标点的数值相等。
4)计算变换后的数值：此时仍未符合判别准则。
5)再选旋转轴；6)确定旋转量；7)计算变换后的数值,直至符合准则。
四、实验教学中的实验仪器和实验步骤：图图1.实验原理：把被测样板安放在测量平板上，以测量平板为测量基准，按网格位置记录各点读数值。
选择评定法则，评定被测样板的平面度误差合格性。
运用千分表读数，实验仪器如上图所示。
2.实验内容及步骤：1)按3行，3列等距离划分被测样板。
2)把被测样板安放在测量平板上，分别测量九点位置的读数值。
3)选一种评定方法评定平面度误差。
4）平面度公差12.5 μm。
五、平面度误差值的各种评定方法应用举例1、三远点法三远点评定法举例：坐标位置图: (图2-4-1)0 +1 +2-7 -7.3 -6-7.4 -8.3 -7.2设： A1,1 = A1,3 = A3,2 三点为一平面。
得方程组： 0 = 2X+0Y-6 = 1X+2Y-11 解方程得： X = +3 Y = +4 把X ；Y 值代入各相应位置，即：求出（A1,1 = A1,3 = A3,2）三点(等值)为一平面后，以此作为基准J 平面。
平移J 平面到最高点（+1.9）处为高平面E ，平移J平面到最低点（-3.7）处为低平面I ，高平面E 与低平面I 所包容的区域，即为该平面度误差。
误差 = max-min =(+1.9)-(-3.7)=5.6μm我们在文章的开头有讲到，如果选择不同的三个点，所得到的的误差值是不同的，下面我们可以尝试一下，选择A12、A31、A33，会得到怎样的结果坐标位置图: (图2-4-1)设： A1,2=A3,1=A3,3 三点为一平面。
得方程组： 1X+0Y+1=0X+2Y-7.4= 2X+2Y-7.2 解方程得： X = -0.1 Y = +4.15 把X ；Y 值代入各相应位置，即：按其相应位置测量出的数据 →按其相应位置测量出的数据 →求出（A1,2=A3,1=A3,3）三点(等值)为一平面后，以此作为基准J平面。
平移J平面到最高点（+1.8）处为高平面E，平移J平面到最低点（-3.25）处为低平面I，高平面E与低平面I所包容的区域，即为该平面度误差。
误差 = max-min =(+1.8)-(-3.25)=5.05μm，得到了不相同的结果，可以了解到，所选择的的三个点不同时，所得到的的误差结果是不一样的。
这是三远点法求平面度误差的特征。
2、三角形准则至少有三个高（低）极点与一个平面接触，有一个低（高）极点与另一个平面接触，并且这一个极点的投影落在上述三个极点连成的三角形内（三角形准则）；我们来观察以上数据的结果：我们可以看出最高点1.8没有包括在三个0.9的数据所形成的三角形之内。
因此，不符合三角形准则，这就需要对各点的坐标再一次地进行旋转。
现在选择A13、A33、A31作为三个最高点，对各点坐标进行旋转。
2X+0Y+1.8=0X+2Y+0.9=2X+2Y+0.9解的X=0，Y=0.45，代入以上各个点的方程之中，可以得到以下的结果：从以上数据中可以看出，最低点-2.8在三个最高点形成的三角形之中，符合三角形准则。
误差=1.8-（-2.8）=4.6μm 。
3、对角线法 各个点的下标：使用以下这组数据作为例子：各个点坐标旋转方程如下：对角线相等，所以0X+0Y+0 = 2X+2Y-7.2，0X+2Y-7.4 = 2X+0Y+2，解得X=—0.55，Y=4.15，将X 、Y 代回以上各个方程中，获得最终的结果：平面度误差= 0.9 -（- 3.7 ）= 4.6μm。
4、交叉准则以上一组的数据为例，先以A1,1 A3,3为旋转轴，得到如下数据再进行旋转，以A3,1 A1,3 为轴进行旋转，得到如下数据：由以上数据可知，A12=A23，由这两个最低点所确定直线与两个最高点A31=A13所确定的直线在空间呈交叉状态，所以由这组数据测得的平面度误差=6.5—（—4.25）=10.75μm。
接下来，我们来看某个平面上一组五行五列的数据。
（1）先将平面上所有的数值都减去19，得到第二个表格的读数。
（2）如图所示，以0---（-9）为旋转轴，旋转后得到第三个表格的数据。
（3）如图所示，以（-46）-------（-70）为旋转轴，旋转得到最后的表格。
（4）可以看到，两个最低点的数值为（-4.5）,两个最高点的数值为（-70），因此，该平面的平面度的误差= - 4.5 -（- 70）=65.5六．总结无论是取点多，还是取点少，都可以列方程计算出旋转量，如果是五行五列，甚至是更多的行列，有可能就要进行多次的旋转。
因为，旋转一两次，不一定就能符合判别准则。
最后，总结一些平面度的实验方法：1、平晶干涉法：用光学平晶的工作面体现理想平面，直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。
主要用于测量小平面，如量规的工作面和千分尺测头测量面的平面度误差。
平面是由直线组成的，因此直线度测量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于测量平面度误差。
测量平面度时，先测出若干截面的直线度，再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)利用图解法或计算法进行数据处理即可得出平面度误差。
也有利用光波干涉法和平板涂色法测量平面误差的。
光波干涉法常利用平晶进行，图为测量所得的不同干涉条纹。
图中a的干涉条纹是直的,而且间距相等,只在周边上稍有弯曲。
这说明被检验表面是平的，但与光学平晶不平行,而在圆周部分有微小的偏差。
图中b的干涉条纹弯曲而且间隔不相等，表明被检验表面是球形的,平晶有微小倾斜。
条纹弯曲度约为条纹间距的1.5倍,表示平面度误差为1.5×0.3μm=0.45μm。
图中c的干涉条纹呈圆形，同样表明被检验表面是球形表面。
将条纹数目乘以所用光束波长的一半，即得所求的平面误差为1.5×0.3μm=0.45μm。
图中d的干涉条纹成椭圆形排列，说明被检验表面是桶形的。
可以把干涉图案作为被检验表面的等高线,因此可以画出该表面的形状。
这种方法仅适宜测量高光洁表面，测量面积也较小，但测量精确度很高。
平面是由直线组成的，因此直线度测量中直尺法、光学准直法、光学自准直法、重力法等也适用于测量平面度误差。
测量平面度时，先测出若干截面的直线度，再把各测点的量值按平面度公差带定义(见形位公差)利用图解法或计算法进行数据处理即可得出平面度误差。
2、打表测量法：打表测量法是将被测零件和测微计放在标准平板上，以标准平板作为测量基准面，用测微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向进行测量。
打表测量法按评定基准面分为三点法和对角线法：三点法是用被测实际表面上相距最远的三点所决定的理想平面作为评定基准面，实测时先将被测实际表面上相距最远的三点调整到与标准平板等高；对角线法实测时先将实际表面上的四个角点按对角线调整到两两等高。
然后用测微计进行测量，测微计在整个实际表面上测得的最大变动量即为该实际表面的平面度误差。
3、液平面法：液平面法是用液平面作为测量基准面，液平面由“连通罐”内的液面构成，然后用传感器进行测量。
此法主要用于测量大平面的平面度误差。
4、光束平面法：光束平面法是采用准值望远镜和瞄准靶镜进行测量，选择实际表面上相距最远的三个点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。
5、激光平面度测量仪：激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差。
6、利用数据采集仪连接百分表测量平面度误差的方法。
测量仪器：偏摆仪、百分表、数据采集仪。
测量原理：数据采集仪可从百分表中实时读取数据，并进行平面度误差的计算与分析，平面度误差计算工式已嵌入我们的数据采集仪软件中，完全不需要人工去计算繁琐的数据，可以大大提高测量的准确率。