洁净室原理及应用教程
空气洁净技术第四章 空气洁净原理

满布情况与洁净控制
理想满布比为100%时,过滤器后房间内含尘浓 度只决定于过滤器送风浓度。
情况满布为一个比例时,此时就有涡流区,满 布比不同的单向流洁净室,其含尘浓度是不同 的。人员密度不同的单向流洁净室含尘浓度也 不同,所以要适当控制单向流洁净室的人员数 量。
满布比和洁净气流满布比
满布比
非单向流洁净室的换气次数
空气洁净度等级 换气次数(次/h)
备注
ISO6级(千级) ISO7级(万级) ISO8~9级(10万~100万)
③ 不能用把压力提高到比周围环境高的方法防止和 排除污染,而是靠空气的速度防止污染的侵入;
④ 内部的温湿度宜与环境温湿度相同。
单向流隧道式的回风方式
• 该气流组织形式的室 内回风穿过工作台进 行循环,对工作台台 面会造成污染,并且 可能会对界面处产生 诱导气流,降低洁净 工作台的洁净等级。
图4-18 全侧墙回风式气流组织
单向流洁净室不是靠掺混稀释作用,而是靠推出 作用将室内的污染空气沿整个断面排至室外。
单向流洁净室气流组织
保证单向流洁净室洁 净的先决条件:
• 来流的洁净度; • 来流的活塞流情况。
重要措施:在顶棚或 墙面满布高效过滤器
不可能百分之百地满布过
滤器。
图4-1 单向流气流组织
垂直单向流洁净室
图4-25 非单向流洁净室的基本原理
非单向流洁净室的基本原理
非单向流气流组织
图4-26 非单向流气流组织示意图
非单向流洁净室的特性指标
• 非单向流洁净室的特性指标
–换气次数
• 与舒适性空调相同
–气流组织
• 保证能均匀的送风和回风,充分发挥洁净气流 的稀释作用。
洁净室的原理

一、洁净室空调系统的特点1、洁净室空调系统与一般民用建筑的空调系统的不同,它首先对控制区的洁净度有很高要求。
导体器件厂房内,在硅衬底上只要落有电路线宽1/10~1/3大小的尘埃,就可能导致芯片电路短路。
另外,洁净厂房空调系统除对洁净度要求较高外,还对温度、湿度、震动、噪音等都有不同程度要求。
2、洁净室与洁净厂房能源消耗比其他的建筑大得多,其运行费约是一般办公楼的10(1万级)~30(100级)倍。
就空调冷负荷而言,一般办公大楼为120W/m2左右,一般洁净室为300~800w/m2,而大规模半导体器件厂房可以达到1400~1600w/m2。
同时,由于半导体器件生产工艺的特点,要求洁净厂房内全天(24h)保持相应的洁净度,目此,洁净空调系统(包括排风系统)、为其配套的冷、热源及相应的输送系统需每天24 h运行,这也与其他空调系统极其不同。
3、送风量大。
一般办公大楼换气次数为10次/h左右,一般洁净室换气次数可选为:100级按室内平均风速0.2~0.5m/s来计算,1000级按50~60次/h 计算,10000级按15~25次/h计算,100000按10~15次/h;而大规模半导件器件厂房内,为了满足相应的洁净度要求,需要保证很高的换气次数,致使循环风量非常大。
100级洁净室的换气次数可选到400 次/h,10000级洁净室的换气次数可选到40次/h,100000级洁净室的换气次数也要30次/h。
4、新风负荷大。
在电子厂房中,某些车间散发出有害气体,需要通过排风加以消除,这就加大了系统的新风量。
洁净室的各类制冷负荷中,最重要的有新风、风机温升和设备散热3项,而尤以新风最大。
根据有关部门统计,新风负荷可以从20%~70%,风机温升从8%~20%多,工艺设备可以从16%~50%。
5、风机全压高。
由于净化空调中过滤器很多,其中仅高效过滤器的初阻力就在200Pa以上,终阻力在400 Pa以上;而要求高的车间阻力会更大。
洁净室系统详解-PPT课件

回风墙 100系列龙骨挂板,特别的回风墙结构同 中空墙,内衬钢板;回风夹道宽度可变; 标准回风量为560CMH。 常规的回风夹道可用回风墙代替,少占 地方,平面布置灵活,是专为医药厂房紧 凑布局而精心设计的。
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洁净室围护结构---顶板
All components can be flush connection.
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洁净室围护结构---墙板
洁净室板材优点 cleanroom panel advantage
密胺树脂面层的墙体板材的优点:
The advantage of melamine skin panel
面层为具备各项优越性能的特殊的密 胺树脂材料。 The high quality surface material, melamine skin.
洁净室墙体系统的特长 partition wall systems advantage
高质量的表面材料具备抗化学侵蚀、耐磨、抗刮擦等优良的性能 High quality surface material is resistant to chemical, attack, abrasion
and scratch. 墙板四边封边避免了夹芯材料外泄污染洁净室。
洁净系统控制---温湿度
Temperature and Relative Humidity/温度和相对湿度
These data are for designing. These data can be adjusted if needed.此数值用于设计,参数可根据需要 进行调整
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装修要求
根据洁净室等级和用途,选择合适的空调系统类型,如集中式空调、分散式空调等。
空调系统类型
采用上送风下回风或侧送风侧回风等方式,确保气流均匀分布,减少涡流和死角。
送回风方式
通过合理的气流组织设计,实现洁净室内正压或负压环境,有效控制尘埃和微生物的扩散。
03
过滤器的维护与更换
定期维护和更换过滤器,保证过滤系统的正常运行和过滤效果。
01
过滤器的分类与性能
介绍不同类型过滤器的工作原理,如机械过滤、静电过滤等,以及各自的性能特点。
02
过滤器的选择与配置
根据洁净室的需求,选择合适的过滤器类型,并进行合理配置,以达到预期的过滤效果。
废气排放的标准与要求
选用低噪声设备和采取隔声、吸声措施,如安装消声器、隔声罩、吸声材料等。同时,合理规划设备布局和管线走向,减少噪声传播和反射。
选用低振动设备和采取隔振、减振措施,如安装隔振沟、隔振支座、减振器等。同时,加强设备维护和保养,确保设备正常运转,减少振动产生。
振动控制
噪声控制
04
CHAPTER
洁净室空气净化处理系统设计
介绍洁净室废气排放的相关标准和要求,如排放浓度、排放量等。
05
CHAPTER
洁净室运行管理与维护保养
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2
3
明确洁净室管理的目标、原则、职责、流程等内容,确保洁净室的正常运行。
建立洁净室运行管理制度
规定洁净室内人员的行为规范、设备操作规范、物料管理规范等,保证洁净室的洁净度和生产效率。
制定洁净室操作规范
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目录
洁净室基本概念与原理洁净室设计要素与规范洁净室内环境控制系统设计洁净室空气净化处理系统设计洁净室运行管理与维护保养洁净室设计案例分析与实践操作演示
室内污染控制与洁净技术课件_第6章(洁净室及其控制技术)

室内污染控制与洁净技术
6.1 洁净室的定义、分类及其应用
1999年该委员会出台第一个关于洁净室的标准---《空气洁净度分级》 (ISO 14644-1)。
70年代,洁净技术应用得到普及,尤其是在电子工业领域,工业洁净室得 到了广泛应用。
80年代至今,是洁净技术发展大普及的20余年。表1.2和表1.3分别给出 了大规模集成电路和超大规模集成电路(VLSI)的发展趋势。 90年代以来,超大规模集成电路的加工技术发展迅猛,每隔2年其关键技 术就会有一次飞跃,集成度每3年增长4倍。这对洁净技术的发展提出了巨大 挑战,微电子工业技术始终引领着洁净技术的发展方向。
6.1.1 洁净室的定义
洁净室(clean room):洁净室就是洁净的室(广义)。 定义如下:
1.美国联邦在FS-209中是这样定义的:
洁净室——“室内悬浮粒子浓度被控制在一定水平的房间。” 洁净区——“空气浮游粒子的浓度被控制在特定的浮游粒子洁净度等级 范围内的某一限定空间。”
室内污染控制与洁净技术
室内污染控制与洁净技术
6.2 空气洁净度等级标准与控制对象
2.洁净度等级的对照
级限(粒/m3)
d=0.5 um 0.35 3.5 10 35.3 100 353 1000 3530 10000 35300 100000 353000 d=5 um 0 0 0 0 0 0 0 0 247 618 247 0
1 10
100 1000 10000 100000
室内污染控制与洁净技术
6.2 空气洁净度等级标准与控制对象
209E标准中,对其中任意等级的上限浓度可近似用下列公式 来计算:
0.5 2.2 N M 10 ( ) d
M
洁净室实验技术的基本原理与操作要点

洁净室实验技术的基本原理与操作要点洁净室是一种控制环境污染的封闭空间,广泛应用于生物医药、电子制造、食品加工等领域。
洁净室实验技术是指在洁净室内进行实验操作的一系列技术及操作要点。
本文将介绍洁净室实验技术的基本原理和操作要点。
1. 洁净室的基本原理洁净室通过一系列的控制手段来限制尘埃颗粒、微生物和化学物质等污染源的进入和扩散,以维持特定的洁净度水平。
其基本原理包括空气过滤、流向规划、密闭性和负压控制。
首先,空气过滤是洁净室的基础。
洁净室内的空气通过高效过滤器过滤,可以有效去除空气中的颗粒物。
根据需要,洁净室可以设置多级过滤器,确保过滤效果的持续性。
其次,流向规划是指空气在洁净室中的流动方式。
根据具体的工艺需求,采用垂直流、水平流或局部层流等方式,将洁净室的空气流向进行合理规划,使得污染物尽量快速有效地被带出室外或经过过滤器处理。
再次,密闭性要求洁净室具备良好的密闭性,防止外部污染物进入洁净室,同时可以防止洁净室内的有害物质泄漏至外界环境。
洁净室的门窗、通风管道等部件都需要具备良好的密封性能。
最后,负压控制是指在洁净室内保持一定的负压,使得洁净室的空气不被外界非洁净的空气污染。
负压的控制可以通过风机的正向排风和负向进风来实现,确保洁净室内的空气流向符合设计要求。
2. 洁净室实验技术的操作要点在洁净室进行实验时,除了了解洁净室的基本原理外,还需要掌握一些操作要点,以保证实验操作的准确性和安全性。
首先,进入洁净室前,操作人员要进行必要的准备工作,包括穿戴符合洁净室要求的工作服、戴好手套和鞋套等。
同时,还应对自己进行培训,了解洁净室内的操作规范和安全注意事项。
其次,在洁净室内进行实验时,需要注意操作的轻柔性和小心翼翼。
尽量减少摩擦和震动,以避免产生更多的颗粒物污染。
在操作中,要确保操作区域干净整洁,不要堆放零部件和垃圾,及时清理洁净室内的污染源。
同时,注意洁净室的空气流动情况,避免产生交叉污染。
在洁净室内,要尽量避免大面积的开口,减少空气的混合和扩散。
洁净室知识培训资料

目录
• 洁净室基本概念与原理 • 洁净室设计与布局规划 • 空气净化系统与设备选型 • 洁净室操作管理与维护保养 • 洁净室性能评价与改进方向 • 总结回顾与拓展延伸
洁净室基本概念与
01
原理
洁净室定义及作用
主要功能
控制室内空气中尘埃粒子、有害空气、细菌等污染物,并将室内之温度、洁净 度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求 范围内。
故障排查和应急处理措施
故障排查
当洁净室出现故障时,及时进行排查和维修,确保洁净室的正常运行。同时,对 故障原因进行分析和总结,避免类似故障再次发生。
应急处理措施
制定洁净室应急处理预案,包括停电、设备故障等突发情况的应对措施,确保在 紧急情况下能够迅速采取有效措施,保障洁净室的安全运行。
洁净室性能评价与
维护保养策略和方法
01
02
03
04
定期对空气处理机组、风机等 设备进行清洗和保养,保持设
备良好的运行状态。
定期更换高效过滤器,避免过 滤器堵塞影响空气流通和过滤
效果。
定期对检测仪器进行校准和维 护,确保检测数据的准确性和
可靠性。
建立完善的维护保养档案,记 录设备的运行状况、维护保养
情况和更换部件等信息。
THANKS.
行业前沿动态关注
新型洁净室技术不断涌现
随着科技的不断进步,新型洁净室技术不断涌现,如智能控制系统、高效过滤材料等,为洁净室行业的发展注入 了新的活力。
洁净室应用领域不断拓展
随着各行业对产品质量和生产环境要求的不断提高,洁净室的应用领域也在不断拓展,如新能源、新材料等领域 也开始广泛应用洁净室技术。
2024版AAF洁净室产品及FFU简介教程

高效过滤器的过滤效率,直接影响FFU的洁 净效果。
噪音
FFU运行时产生的噪音,要求低噪音以满足 工作环境需求。
功耗
FFU的功率消耗,要求节能环保。
FFU选型与配置建议
根据洁净度要求选择 根据生产环境对洁净度的要求,选择 适当的风速和过滤效率的FFU。
考虑空间大小
根据洁净室的空间大小,选择适当数 量的FFU进行配置。
恒温恒湿控制
医药行业对温度和湿度要求严格, AAF提供恒温恒湿空调系统和自控系 统,确保洁净室内环境稳定。
气流组织设计
采用合理的气流组织设计,如层流罩、 FFU等,确保洁净室内空气单向流动, 避免交叉污染。
消毒灭菌措施
配备紫外线灯、臭氧发生器等ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ毒灭 菌设备,定期对洁净室进行消毒处理。
电子行业洁净室解决方案
静电控制
微尘控制
电子行业对静电敏感,AAF提供防静电系统 和防静电地板等材料,确保洁净室内静电得 到有效控制。
电子产品对微尘要求极高,AAF提供高效空 气过滤器和FFU等设备,确保洁净室内微尘 浓度低于行业标准。
温湿度控制
洁净工作台
电子产品生产对温度和湿度也有一定要求, AAF提供恒温恒湿空调系统和自控系统,确 保洁净室内环境稳定。
本次教程内容回顾
AAF洁净室产品概述 介绍了AAF公司提供的各类洁净室产品,包括高效过滤器、 风淋室、层流罩等,以及它们在洁净室环境中的重要作用。
FFU原理及应用 详细讲解了FFU(风机过滤单元)的工作原理、结构特点 以及在洁净室中的广泛应用,包括其高效过滤、节能环保 等优势。
洁净室设计及施工注意事项 介绍了洁净室设计的基本原则、施工过程中的关键节点以 及验收标准,强调了洁净室环境对于产品质量和生产安全 的重要性。
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3.2 单向流洁净室
三、单向流洁净室的三项特性指标
3、下限风速 (5)满足合适的自净时间 在全室被污染的情况下,要能以合适的时间,迅速地使 室内空气自净,这就与洁净室气流的流速有很大关系。 气流速度大,自净能力强,自净时间短,但不经济。研 究发现,气流速度大约在0.25 m/s以后,自净时间基本趋 于一致,达一分钟左右,再提高速度,缩短自净时间的 作用已不明显。
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3.2 单向流洁净室
三、单向流洁净室的三项特性指标 (流线平行度、非单向流度、下限风速)
1、流线平行度 流线平行的作用是保证尘源散发的尘粒不做垂直于流 向的传播。如果这种传播范围在允许范围之内,则流线 稍有倾斜也应该是许可的。这样,对于单向流洁净室就 有一个允许的流线平行度。 工作区是主要工艺进行的区域,所以洁净度级别是用 工作区的含尘浓度表示的。我国对洁净室工作区的规定 是:自地面向上0.8 – 1.5m ,因工作台面可能低到0.75 m , 因此,这里更严格地取为0.75 m。
非单向流洁净室的原理就是稀释作用。
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3.1 非单向流洁净室
三、非单向流洁净室的效果
根据非单向流洁净室的工作原理,它可以达到的洁净度一 般为1 000~10 000(6-7)级,如果设计合理,部分情况下可达 100(5)级。室内换气次数越大,一般来说,所得洁净度也越 高。
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3.2 单向流洁净室
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3.2 单向流洁净室
三、单向流洁净室的三项特性指标
2、非单向流度 (1)脉动速度
u—瞬时流速;
u —时均速;
u —脉动速度。
uuu
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u
3.2 单向流洁净室
三、单向流洁净室的三项特性指标
2、非单向流度 (2)非单向流度
(ui u )2
u
n u
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ u —非单向流度;
uui——各时测均点速的;速度;
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3.1 非单向流洁净室
二、非单向流洁净室风口 •高效过滤器顶送(有扩散板和无扩散板),见图2-1; •流线型散流器顶送,见图2-2; •局部孔板送风,见图2-3; •侧送,见图2-4。
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3.1 非单向流洁净室
非单向流洁净室的作用原理是:当一股干净气流从送 风口送入室内时,迅速向四周扩散、混合。同时把差不 多同样数量的气流从回风口排走,这股干净气流稀释着 室内污染的空气,把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡 了,一直达到平衡。所以气流扩散的越快,越均匀,那 么稀释的效果当然越好。
空气洁净技术
(建筑环境与设备工程 16学时)
赵加宁
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第3章 洁净室的工作原理及其应用
洁净室控制微粒污染的主要途径: 1.控制污染源,减少污染发生量; 2.迅速有效地排除室内已经发生的污染; 3.有效地阻止室外的污染侵入。 (或有效地防止室内污染逸至室外)
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3.1 非单向流洁净室
流体力学的概念:
1.稳定流与不稳定流(按照运动要素流速、加速度等有无时间因 素) 2.渐变流(流线之间基本是等距的,流线接近直线)与突变流 (按照流线形状) 渐变流中包含有均匀流(渐变流的极限情况)与非均匀流 3.层流与紊流(按照有无质点交换)
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3.1 非单向流洁净室
一、非单向流洁净室原理
主要特点:从来流到出流之间气流的流通断面是变化的。 流态实质:急变流,紊流,稳定流。
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3.2 单向流洁净室
二、单向流洁净室的原理
1、基本原理
在单向流洁净室内,干净气流不是一股或几股,而 是充满全室断面,所以这种洁净室不是靠掺混作用,而 是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外,从而 达到净化室内空气的目的。
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3.2 单向流洁净室
二、单向流洁净室的原理
2、主要特点 (1)全室断面上的流速比较均匀。 (2)至少在工作区内流线平行。流线平行指时均流线彼 此平行。 (3)至少在工作区内没有涡流。
n —测点数。
对于单向流洁净室, 应不大于0.25,否则说明该单向
流洁净室的性能较差。
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3.2 单向流洁净室
三、单向流洁净室的三项特性指标
3、下限风速 (1)单向流洁净室气流速度的作用 1)污染气流多方位散布: 2)污染气流与送风气流同向: 3)污染气流与送风气流逆向: 4)全室被污染:
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3.2 单向流洁净室
三、单向流洁净室的三项特性指标
3、下限风速 (2)控制多方位污染
对于人体,风速达0.22m/s时,在距人体0.3 m处,污 染浓度已降低到5(100)级以下。
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3.2 单向流洁净室
三、单向流洁净室的三项特性指标
3、下限风速 (3)控制同向污染
根据前面分析,若1.8 m高度位置散发的尘粒,希望 不会超过该人的工作范围而进入相邻工作人员的范围 (人体正中至两边的最大距离为0.5m),以至于造成污 染,则送风速度应不小于0.3m/s。
一、单向流洁净室的分类 1、垂直单向流洁净室
(2)侧布高效过滤器顶棚阻尼层送风,全地板格栅回风 (3)顶棚和侧面双布高效过滤器送风,全地板格栅回风 (4)全顶棚送风,两侧下回风
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3.2 单向流洁净室
一、单向流洁净室的分类 2、水平单向流洁净室
(1)送风墙满布高效过滤器水平送风,全墙面回风 (2)“隧道”式单向流送风
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3.2 单向流洁净室
三、单向流洁净室的三项特性指标
3、下限风速 (6)综合分析
上面讨论的四方面控制污染所需的风速相差不大,综合分析, 将下限风速分别划出三档。
洁净室
垂直 单向流
水平 单向流
下限风速 (m/s)
0.12 0.3 不大于0.5
一、单向流洁净室的分类
1、垂直单向流洁净室
(1)顶棚满布高效过滤器送风,全地板格栅回风 这是典型的垂直单向流洁净室,见图。 优点是:可获得均匀向下的单向气流,因而自净能力强, 能够达到最高的洁净度级别。 缺点是:顶棚结构较复杂,造价和维护费用高,高效过 滤器堵漏较困难。
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3.2 单向流洁净室
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3.2 单向流洁净室
三、单向流洁净室的三项特性指标
3、下限风速 (4)控制逆向污染 l 垂直单向流洁净室
垂直单向流洁净室的主要逆向污染是从热源上升的气 流,因此,其必要的送风速度应根据热源参数确定。 l水平单向流洁净室
水平单向流洁净室的主要逆向污染是人行走引起的二 次气流,因此,其必要的送风速度应根据二次气流的流 速确定。