单晶硅棒 生产工序

单晶硅棒生产工序

单晶硅棒生产工序是制造单晶硅片的重要步骤，一般包括下列工序：

1. 原料准备：将高纯度硅石粉碎成小颗粒，经过酸洗、碱洗、去离子水清洗等一系列处理，得到高纯度气相氧化法制备的二氧化硅(SiO2)。

2. 熔炼：将SiO2加入石英坩埚中，在高温(约2000℃)下熔化，加入掺杂剂，如磷(P)、硼(B)、锑(Sb)等，控制熔体温度和成分，使其达到单晶生长的要求。

3. 生长：用单晶硅棒作为种晶，在熔体中慢慢拉出，形成单晶硅棒。拉棒速度、拉棒角度、温度等参数需要精确控制，以保证棒质量。

4. 分割：将拉出的单晶硅棒切割成适当长度，去除两端不良部分，获得纯净的单晶硅棒，可以用于制造单晶硅片。

以上是单晶硅棒生产的主要工序，每个步骤都需要仔细控制，以保证单晶硅棒的质量和成品的性能。

- 1 -