电容屏ITO黄光制程工艺

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第九步:坚膜
参数规格:
让显影留下的光刻胶经高温处理,让光刻胶完全固化。
温度:120-150度,时间:20-30.
第十步:蚀刻
参数规格:
酸度:3.5-6.5MOL,温度:45±5度,压力:1-2KG,速度:0.8-1.5M/MIN。
碱度:0.5-0.8MOL,温度:35±5度,压力:1-2KG,速度:1.5-3.5M/MIN。
第三步:清洗源自文库
参数规格:
1.将GLASS表面的脏污,油污,杂质等去除并干燥。
2.将素玻璃表面的脏污,油污,杂质等去除并干燥,然后过镀膜线镀ITO层形成GLASS。
第四步:背保丝印
参数规格:
膜厚:10-20μM,250-420目聚酯网,此背保要求高,不能有一点脏污,
油污,杂质等,要不回影响到在这面处理ITO图案和银浆走线的附着
经纯水清洗,干燥。
第十一步:银浆线丝印
参数规格:
膜厚:5-15μM,400-500目钢丝网,18-16线径,乳剂膜厚:6-12μM,
银浆:日本朝日,丰阳等,热固型。
感光胶:田菱H-815,(具有高解像性,高精密等特性。)
第十二步:镀钼铝钼银浆线
参数规格:
需有镀膜线厂家才可以完成,如:南玻,新济达等用工艺。
力等。日本朝日,丰阳等,热固型。
第五步:光刻胶整版丝印
参数规格:
膜厚:5-10μM,300-420目聚酯网.需在温度20度-25度的范围和黄灯
的环境下进行。
光刻胶:田菱THC-29(耐酸曝光显影型光刻胶)等。
第六步:前烘
参数规格:
让印有光刻胶的材料在一定的温度,时间下固化。温度:80-90度。时
间15-20分钟。
先镀一层钼,(起保护,绝缘作用。)
再度一层铝,(起导电作用。)
最后再镀一层钼,(两层钼作用一样。)
第十三步:反面处理
参数规格:
因考虑到ITO GLASS厚度等问题等,需在反面在同上处理一次或
以其他方式处理。
第十四步:组合
参数规格:
上下线组合胶:口字胶:透光率底。
OCA光学胶:汽包多,但透光率高。
液态光学胶:技术要求高。
第七步:曝光
参数规格:
通过紫外线和菲林的垂直照射,让光刻胶形成反应。光能量:
60-120MJ/C㎡,时间:6-9s
第八步:显影
参数规格:
用弱KOH溶解液去除材料上被曝光过的光刻胶,留下没有曝光的光刻胶。
弱碱:0.05-0.2 MOL.
温度:20±3度,压力:0.02-0.05KG,速度:5.5±2.5M/MIN。
百度文库 - 让每个人平等地提升自我第十四步:切割
参数规格
大片半成品切割处理成小片半成品。
第十五步:压合
参数规格:
小片半成品与FPC及IC绑定形成功能片
第十六步:测试
参数规格:
功能片的功能测试。如:线性测试,寿命测试,精度测试等。
第十七步:终检
参数规格:
最终的一个外观检查。
第十八步:包装
参数规格:
包装处理出货。
电容屏ITO黄光制程工艺
流程
第一步:ITO GLASS
参数规格:
长宽:14*16厚度:0.55,0.7,1.1
规格:普通,钢化等,
特性:AR(抗反射),AG(防眩光),AS(防水防污),AF(防指纹)等
电容玻璃:安可,冠华,正达,正太等。
第二步:素玻璃
参数规格:
素玻璃:康宁,旭硝子等。500*500规格
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