设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范
可靠性、有效性、可维护性和安全系统性(RAMS)
1目的为确保产品在使用寿命周期内的可靠性、有效性、可维护性和安全性（以下简称RAMS ）, 建立执行可靠性分析的典型方法，更好地满足顾客要求，保证顾客满意，特制定本程序。
2适用范围适用于本集团产品的设计、开发、试验、使用全过程RAMS的策划和控制。
3定义RAMS:可靠性、有效性、可维护性和安全性。
R―― Reliability可靠性:产品在规定的条件下和规定的时间内，完成规定功能的能力。
可靠性的概率度量亦称可靠度。
A―― Availability有效性：是指产品在特定条件下能够令人满意地发挥功能的概率。
M ------ Mai ntain ability 可维护性：是指产品在规定的条件下和规定的时间内，按规定的程序和方法进行维修时，保持或恢复到规定状态的能力。
维修性的概率度量亦称维修度。
S―― Safety安全性：是指保证产品能够可靠地完成其规定功能，同时保证操作和维护人员的人身安全。
FME（C）A : Failure Mode and Effect（Criticality）Analysis 故障模式和影响（危险）分析。
MTBF平均故障间隔时间：指可修复产品（部件）的连续发生故障的平均时间。
MTTR平均修复时间：指检修员修理和测试机组，使之恢复到正常服务中的平均故障维修时间。
数据库：为解决特定的任务，以一定的组织方式存储在一起的相关的数据的集合。
4职责4.1销售公司负责获取顾客RAMS要求并传递至相关部门；组织对顾客进行产品正确使用和维护的培训；负责产品交付后RAMS数据的收集和反馈。
4.2技术研究院各技术职能部门负责确定RAMS目标，确定对所用元器件、材料、工艺的可靠性要求，进行可靠性分配和预测，负责建立RAMS数据库。
4.3工程技术部负责确定能保证实现设计可靠性的工艺方法。
4.4采购部负责将相关资料和外包（外协）配件的RAMS要求传递给供方，并督促供方实现这些要求。
4.5制造部负责严格按产品图样、工艺文件组织生产。
设备可靠性、有效性和可维护性测试规范.docx
设备可靠性、有效性和可维护性测试规范1.目的1.1这份文献通过供应测试半导体制造设备在制造环境中的三性（牢靠性、有效性、可维护性）的标准，为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。
2. 范围2.1这份文献定义了设备的6种基本状态。
它包括了设备的任何时间全部可能的状态。
设备的状态由其功能状况打算，而不管操作者是谁。
在这里所做的对设备牢靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断，而不是对设备的全部时间。
2.2本文献第三节（设备状态）定义了如何对设备时间分类。
第六节（三性测试）定义了测试设备状态的公式。
第七节（不确定测试）另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。
2.3有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。
自动监测设备状态是标准SEMIE58中的内容, 并不在本规范中。
设备使用者与供应商之间清楚有效的沟通将持续提高设备的工作状况。
2.4在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。
三性指数可以适用于子系统水平（例如过程模块）的多路径组工具。
达到基本压力，芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。
）c校正运行：在转变后为确认设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。
5.8.3转变化学材料及消耗品-指计划外的为补充半导体流程中的原材料时打断生产运行。
它包括转变气瓶、酸、目标、来源等等以及任何与转变相关的充、洗、清洁。
但不包括在得到化学材料、消耗品补给之前的延误时间。
5. 8. 4不合规范的输入-由于不合规范的输入或错误输入而造成一些问题使设备不能正常运行的时间。
这些输入包括：c辅助工具（例弯曲的密封盒或芯片运输器、错误的数据解释或输入）C产品（例逆流的流程或产品问题，弯曲的芯片，受污染的芯片，弯曲的铅框）C测试数据（例未经校正的计量工具，误读的图表，错误的数据解释或输入）C消耗品及化学材料（例如受污染的酸，有渗漏的焊接，衰变的光阻，品质低劣的铸造物）5.8.4. 1任何由于以上各项造成的停工时间包括在不含规范的输入之停工时间范围内。
设备的可靠性评估
设备的可靠性评估一、引言可靠性评估是指对设备在特定环境下的性能进行定量分析和评价，以确定设备在给定时间内正常运行的概率。
本文将对设备的可靠性评估进行详细描述，包括评估的目的、方法、指标和步骤等内容。
二、评估目的设备的可靠性评估旨在评估设备在特定环境下的可靠性水平，为设备的维修保养、更新升级以及制定运维计划提供科学依据。
通过评估可靠性，可以提前发现设备存在的潜在问题，降低设备故障率，提高设备的可用性和可维护性，进而提升设备的工作效率和生产能力。
三、评估方法1. 数据收集：收集设备的运行数据、故障数据、维修记录等相关信息。
可以通过设备运行日志、维修报告、故障统计表等方式获取数据。
2. 故障率计算：根据收集到的数据，计算设备的故障率。
故障率可以通过以下公式计算：故障率 = 设备故障次数 / 设备运行时间3. 可用性计算：根据设备的故障率和修复时间，计算设备的可用性。
可用性可以通过以下公式计算：可用性 = 平均无故障时间 / (平均无故障时间 + 平均修复时间)4. 统计分析：通过统计分析设备的故障模式、故障原因、故障频率等指标，找出设备存在的问题和改进的方向。
5. 可靠性预测：根据设备的历史数据和统计模型，预测设备的未来可靠性水平。
常用的可靠性预测方法有故障模式与效应分析（FMEA）、故障树分析（FTA）等。
四、评估指标1. 故障率：设备在单位时间内发生故障的次数。
2. 可用性：设备在单位时间内正常运行的概率。
3. 平均无故障时间（MTBF）：设备在连续运行一段时间内的平均无故障时间。
4. 平均修复时间（MTTR）：设备发生故障后修复的平均时间。
5. 故障模式：设备发生故障的类型和形式。
6. 故障原因：导致设备故障的根本原因。
五、评估步骤1. 确定评估范围：确定需要评估的设备范围和评估的时间段。
2. 数据收集：收集设备的相关数据，包括运行数据、故障数据、维修记录等。
3. 故障率计算：根据收集到的数据，计算设备的故障率。
电子公司QE可靠度测试规范
电子公司QE可靠度测试规范电子公司QE可靠度测试规范在电子产品设计和制造中，可靠性是一个非常重要的指标。
一款优秀的产品需要经过严密的测试，以确保它在使用中不会出现故障或损坏。
为了保证产品可靠性测试的规范化、科学化和有效性，电子公司QE可靠度测试规范应运而生。
一、产品可靠性的定义及重要性产品可靠性是指在特定的使用条件下，产品在规定时间内能够保持正常运行的能力。
这是一个很复杂的概念，它涉及到产品设计、材料、环境、工作条件等多个因素。
在实际应用中，产品的可靠性是产品质量和安全的重要指标。
对于电子产品制造企业而言，保证产品的可靠性是非常重要的。
因为电子产品通常都是作为各种应用领域的关键技术组成部分，如果它们没法正常工作，就可能导致很严重的后果，例如数据丢失、系统宕机等。
另外，维修成本也会变得异常高昂，甚至有时候维修费用可能比产品本身的价值还高。
因此，企业需要建立一套科学的、完整的品质保证管理体系，以保证产品的稳定性和可靠性。
二、电子公司QE可靠度测试的定义及目的所谓电子公司QE可靠度测试，指的是在产品设计、开发、生产等方面，对电子产品进行的可靠性测试和评估。
此类测试的目的是确保产品在设计要求、质量标准、客户需求等各个方面都符合要求。
通过对产品进行严格的测试，可以发现各种可能出现的问题，并进行相应的改进，从而提高产品的可靠性。
同时，通过对产品进行质量测试，可以确保企业的生产过程准确、高效，以及遵循相关的销售和市场行为规定。
三、电子公司QE可靠度测试规范的重要性电子公司QE可靠度测试规范是以标准化作为目标的测试规范体系，是一种重要的管理手段。
制定和执行这些规范的目的，是为了建立标准的测试流程和规范的测试标准。
这能够帮助企业在产品设计、生产、测试等方面实现标准化、规范化。
同时，这些标准可以帮助企业管理者了解相关的市场等行业标准，以确保产品质量符合行业标准，完善公司的质量保证标准。
另外，执行电子公司QE可靠度测试规范可以有效提高企业的生产效率，减少产品质量问题的数量，在市场竞争日渐激烈的情况下，能够优势竞争。
设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范
设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范1. 引言设备可靠性、有效性和可维护性是评估和测试设备性能的重要指标。
在现代技术和工程领域，这些指标对于确保设备的正常运行以及用户满意度至关重要。
本文将讨论设备可靠性、有效性和可维护性的定义，并提供测试规范以确保设备的高质量和可靠性。
2. 设备可靠性定义设备可靠性是指设备在特定时间内正常运行的能力。
可靠性依赖于设备的设计、制造和维护。
设备可靠性是一个统计概念，通常使用故障率来衡量。
常见的可靠性指标包括平均无故障时间（MTBF）和失效率（FIT）。
MTBF是指设备连续工作的平均时间，FIT是指设备在连续运行一百万小时内出现故障的数量。
3. 设备有效性定义设备有效性是指设备在执行其预定功能时的效率和性能。
有效性与设备的设计和功能紧密相关。
一个有效的设备能够以高性能、低能耗的方式完成预定的任务。
常用的设备有效性指标包括吞吐量、响应时间和资源利用率。
吞吐量是设备在一定时间内处理的请求数量，响应时间是设备处理请求所花费的时间，资源利用率是设备在执行任务时所使用的资源的百分比。
4. 设备可维护性定义设备可维护性是指设备在出现故障时进行修复、保养或更换所需的时间和资源。
设备的可维护性直接影响设备的可靠性和有效性。
可维护性良好的设备能够快速修复，减少停机时间，提高设备的可靠性。
常见的设备可维护性指标包括平均维修时间（MTTR）和平均修复时间（MRT）。
MTTR是设备从故障发生到恢复正常工作所需的平均时间，MRT是设备从故障发生到完全修复所需的平均时间。
5. 设备可靠性、有效性和可维护性的测试规范为了确保设备具有高可靠性、有效性和可维护性，以下是一些常见的测试规范：5.1 可靠性测试规范•进行长时间连续运行测试，记录设备的MTBF和FIT。
•通过加速寿命测试，模拟设备在其设计寿命内所经历的环境和使用条件。
•进行故障分析和故障树分析，以确定设备的故障原因和潜在故障模式。
•进行可靠性地理位置测试，测试设备在不同的物理环境下的可靠性。
实验室设施设备的监测、检测和维护制度（4篇）
实验室设施设备的监测、检测和维护制度实验室设施设备是科研实验和技术活动的重要基础，对实验室工作的开展和实验结果的准确性具有重要影响。
为确保实验室设施设备的正常运行，保证实验室工作的顺利进行，必须建立一套完善的监测、检测和维护制度。
本文将详细介绍实验室设施设备的监测、检测和维护制度的内容和要求。
一、监测制度1. 设备运行监测实验室设施设备的运行监测是指对设备的正常运行状态进行定期监测和记录。
监测包括设备的启动、运行、停机和维修等环节，对设备的工作状态、运行参数和故障信息等进行记录和分析。
监测可以通过手工记录、设备传感器、远程监控等方式进行。
2. 设备安全监测实验室设施设备的安全监测是指对设备的安全性能进行检测和评估。
监测内容包括设备的接地情况、电气安全、防爆性能、压力容器安全性等方面。
通过定期检测和评估，及时发现存在的安全隐患并采取相应的措施进行修复，确保设备的安全运行。
二、检测制度1. 设备完好性检测实验室设施设备的完好性检测是指对设备的各项功能和性能进行定期检测和评估。
检测内容包括设备的机械结构、电气接线、气体管道、控制系统等方面。
通过检测和评估，及时发现设备存在的故障、损坏或性能下降的问题，进行维修和更换，确保设备的正常运行。
2. 设备精度检测实验室设施设备的精度检测是指对设备的测量准确度进行定期检测和校准。
检测内容包括设备的测量范围、精度、稳定性等方面。
通过检测和校准，确保设备的测量结果准确可靠，提高实验数据的可信度和可重复性。
三、维护制度1. 定期保养实验室设施设备的定期保养是指对设备进行常规的清洁和保养工作。
保养内容包括设备的清洁、润滑、紧固等方面。
定期保养可以延长设备的使用寿命，提高设备的可靠性和稳定性。
2. 预防性维修实验室设施设备的预防性维修是指对设备进行定期检修和更换关键零部件的工作。
维修内容包括设备的关键部件的检修和更换，预防设备发生故障和损坏，提高设备的可靠性和稳定性。
3. 故障维修实验室设施设备的故障维修是指对设备发生故障后进行修复和恢复正常工作的工作。
软件测试中的可测试性与可维护性
软件测试中的可测试性与可维护性在软件开发过程中，软件测试是确保软件产品质量的重要环节。
而软件测试中的可测试性和可维护性则是影响测试效果和测试成本的重要因素。
本文将从理解可测试性和可维护性的概念开始，并通过实际案例探讨如何提高软件测试的可测试性和可维护性。
一、可测试性概述可测试性是指软件系统在进行测试时，为测试活动提供便利和支持的程度。
它包括测试环境的搭建、测试数据的准备、测试用例的设计和测试结果的可追踪等方面。
一个具有良好可测试性的软件系统可以提高测试的效率和准确性。
提高软件测试的可测试性需要从多个方面入手。
首先，需要建立一个合适的测试环境，包括硬件设备和软件工具的准备。
其次，需要准备充足的测试数据，覆盖不同的测试场景和边界条件。
此外，还需要设计合理有效的测试用例，以确保测试的全面性和有效性。
最后，测试结果的追踪和分析也是提高可测试性的关键步骤。
二、可维护性概述可维护性是指软件系统在修改和维护过程中的易理解性、易修改性和易测试性。
它是软件开发过程中质量管理的重要指标之一，对于提高软件系统的可靠性和可扩展性至关重要。
实现软件测试的可维护性需要采取一系列的措施。
首先，需要编写清晰、简洁且易于理解的代码，减少代码的冗余和复杂度。
其次，需要建立良好的文档和注释，方便后续的维护工作。
此外，还需要定期进行代码评审和重构，提高代码的可读性和可维护性。
最后，测试用例的设计和维护也是保证软件系统可维护性的重要环节。
三、案例分析以某在线电商平台为例，探讨如何提高软件测试的可测试性和可维护性。
1. 提高可测试性：（1）搭建完善的测试环境，包括虚拟化技术的应用，方便进行不同环境的测试。
（2）设计合理的测试数据生成工具，自动化生成大量符合各种场景的测试数据。
（3）采用模块化的测试框架，便于测试用例的复用和管理。
（4）使用测试管理工具，对测试用例的执行和结果进行跟踪和分析。
2. 提高可维护性：（1）编写规范清晰的代码，注重代码的可读性和可理解性。
可靠性、有效性 、可维护性和安全性(RAMS)
1 目得为确保产品在使用寿命周期内得可靠性、有效性、可维护性与安全性(以下简称RAMS），建立执行可靠性分析得典型方法,更好地满足顾客要求，保证顾客满意,特制定本程序。
2 适用范围适用于本集团产品得设计、开发、试验、使用全过程RAMＳ得策划与控制。
3 定义RＡMＳ：可靠性、有效性、可维护性与安全性。
R—-Reｌｉability可靠性：产品在规定得条件下与规定得时间内,完成规定功能得能力。
可靠性得概率度量亦称可靠度。
Ａ——Avaiｌaｂilｉtｙ有效性:就是指产品在特定条件下能够令人满意地发挥功能得概率。
M——Ｍaｉnｔａinａbility可维护性：就是指产品在规定得条件下与规定得时间内,按规定得程序与方法进行维修时,保持或恢复到规定状态得能力.维修性得概率度量亦称维修度.S——Sａfetｙ安全性：就是指保证产品能够可靠地完成其规定功能,同时保证操作与维护人员得人身安全。
FME（C）A:Faiｌure Moｄe anｄEffecｔ（Ｃriticaｌｉty）Aｎalysis 故障模式与影响(危险）分析。
ＭTBＦ平均故障间隔时间:指可修复产品(部件）得连续发生故障得平均时间。
MＴTＲ平均修复时间：指检修员修理与测试机组，使之恢复到正常服务中得平均故障维修时间。
数据库：为解决特定得任务,以一定得组织方式存储在一起得相关得数据得集合。
4 职责4、1 销售公司负责获取顾客RＡMS要求并传递至相关部门；组织对顾客进行产品正确使用与维护得培训;负责产品交付后RAMS数据得收集与反馈。
4、2 技术研究院各技术职能部门负责确定RAMS目标,确定对所用元器件、材料、工艺得可靠性要求,进行可靠性分配与预测,负责建立RAＭS数据库.4、３工程技术部负责确定能保证实现设计可靠性得工艺方法。
4、４采购部负责将相关资料与外包（外协)配件得RAMS要求传递给供方,并督促供方实现这些要求.４、5制造部负责严格按产品图样、工艺文件组织生产。
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设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范这个标准在技术上已被全球公制委员会核准，并由北美公制委员会直接负责。
目前的版本在2001年3月1日被北美地区标准委员会核准通过。
2001年6月将在国际半导体设备和材料协会试行，之后同月公布。
其第一版公布于1986年，上一版公布于1999年6月。
1.目的1.1 这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性（可靠性、有效性、可维护性）的标准，为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。
2.范围2.1 这份文献定义了设备的6种基本状态。
它包括了设备的任何时间所有可能的状态。
设备的状态由其功能状况决定，而不管操作者是谁。
在这里所做的对设备可靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断，而不是对设备的所有时间。
2.2 本文献第三节（设备状态）定义了如何对设备时间分类。
第六节（三性测试）定义了测试设备状态的公式。
第七节（不确定测试）另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。
2.3 有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。
自动监测设备状态是标准SEMI E58中的内容，并不在本规范中。
设备使用者与供应商之间清晰有效的沟通将持续提高设备的工作状况。
2.4 在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。
三性指数可以适用于子系统水平（例如过程模块）的多路径组工具。
2.5 这份标准虽然有提到安全事宜，但目的并不旨在追求这个方面。
它将是这个标准使用者的责任来建立合适的安全和健康条款，以及在使用前决定限制章程的运用。
3.参考标准SEMI E58 —自动化的可靠性、有效性和可维护性的标准注释1：本文列出的所有文献都使用其最新的适应版本。
4.术语4.1 辅助—在一个设备周期中设备工作突然中断时发生，它有以下三种情况：●通过外部干涉使中断的设备周期继续。
（比如通过操作工和使用者的干涉，无论它是人或电脑。
）●除了一些特殊的消耗品，零件不可替换。
●在设备操作规范方面没有进一步改变。
4.2 成组工具—由机械地连接在一起的集成过程模块组成的制造系统。
（这些模块可能来自于同一或不同供应商）4.2.1 单路径成组工具—只有一条流水线的成组工具。
4.2.2 多路径成组工具—超过一条独立流水线的成组工具。
（比如，多负荷闸、同样型号的多流程单元室）4.3 周期（设备周期）—一个设备系统或子系统的完全操作过程（包括装卸产品），有流程、制造、测试步骤。
在一个单元流程系统中，周期数等于流经的单元数。
在多批系统中，周期数等于批量数。
4.4 停工时间（设备停工时间）—设备不在工作状态或没有执行到它应有水平的时间，不包括任何不在计划安排上的时间。
4.5 故障（设备故障）—在没有外来干涉下发生的意外故障或偏离。
注释2：正确分类设备故障对于方便解决问题和提高设备能力是非常重要的。
4.6 宿主—联系设备的智能系统，作用相当于代表工厂领导下属的制造主任。
（比如，一个非植入的计算机或单元控制器）4.7 中断—任何干预和故障注释3：中断＝干预之和＋故障之和4.8 维修—保证设备在预定功能状态下工作。
在本文献中，维修的目的是功能不是设备结构；不论是谁来维修，它都包括调整、材料变化、软件开放、修理、预定检测等等。
4.9 制造时间—所有生产产品的时间及相应停留等待时间。
4.10 非计划时间—计划中设备不在用于生产的时间。
4.11 生产时间—总时间减非计划时间。
4.12 操作工—在设备旁通过设备控制面板操作设备的人员。
4.13 产品—可以成为有功效的半导体装置的一个单元，包括功能的工程装置。
4.14 断工—为使设备能继续工作的一段维修时间，包括冲洗、冷却、加热、软件备份、储存、动态数据（包括参数、方法）、断工发生在计划内和计划外的停工时间内。
4.15 复工—在断工维修后，使设备恢复正常功能工作的一段维修时间。
包括冲气、加热、标准化时间、初始化常数、载入软件、重贮数据（例参数、方法）、控制系统再建等等。
但不包括设备及流水线检测时间。
复工也发生在计划内外的停工时间内。
4.16 关机—当设备有计划外状态时，让设备回到安全状态的时间。
它包括为了达到安全状态所做的任何过程。
关机仅出现在计划外时间中。
4.17 规范（设备操作）—文献中所写的在使用者与供应商之间在设备操作的规定条件下的功能所达成的一致条款。
4.18 开始—设备从计划状态到达成预期功能所需的时间。
包括冲气、加热、冷却、标准化时间、初始化常数、载入软件、重贮数据（例参数、方法）、控制系统再建等等，开始包括于计划外时间中。
4.19 辅助工具—不属于生产设备，但是在正常操作中必需的设备。
（比如，密封盖、运载机、探测卡片、电脑控制器）4.20 总时间—一周7天，1天24小时的所有检测时间。
为了正确表达总时间，设备的所有6种基本状态必须正确记录。
4.21 培训（工作外）—在工作外时间对设备操作和维修进行的指导。
它包括于计划外时间。
4.22 培训（线上）—在正常工作时对个人操作和维修进行的指导。
线上培训一般不会打断正常的操作和维修活动，所以它可以不被区别的包括在任何设备状态中（除等待与计划外时间）4.23 单元—任何晶片，模，成套设备或单位零件。
4.24 工作时间—设备处于正常功能状态的时间，包括有效生产的、等待的和策划时间，不包括任何计划外时间。
4.25 使用者—动作于设备的实体，无论是在设备旁的操作者或在远处遥控的自动界面。
从设备的角度出发，操作者和宿主都是使用者。
4.26 校正运行—设备的一次循环（使用产品单元，非产品单元或不成单元的）以用来引导设备进入规范中的预定状态。
5.设备状态5.1 为了清楚地检测设备地表现，本文献定义了所有设备状况和时期必须遵循地6种基本状态。
5.2 设备状态是由功能决定而不是由设备结构决定。
例如任何维护过程都是这样分类，而不论谁是操作者、操作工、技术人员或流程工程师。
5.3 图1是6种设备状态的框架图。
关键的时间块在后文的等式中将会特别用到。
这些基本的设备状态又可以分成许多子状态，以满足生产运转所需的追踪解决。
SEMI E10并没有列出所有的子状态，但是给出了许多例子用以指导。
图1 设备状态框架图5.4 有效状态—设备按预定功能工作的时间。
有效状态包括：●常规生产（包括装卸产品）●为第三方工作●返工●与生产结合的操纵。
可能是或不是产品单元（比如，分批和新运用）。
5.5 等待状态—在这段时间内，设备是在正常功能状态下，基础设施和化学材料都准备好了，但是不在生产。
它不是计划外的。
等待状态包括：●没有操作工（包括休息、午餐和会议）●没有产品（包括由于缺乏辅助设备比如计量工具造成的缺少产品）●没有辅助工具（例如密封盒、芯片传输器、探测卡）●没有从自动系统来的输入信号（例宿主）5.6 工程状态—设备处在正常功能状态下（没有设备和流程问题存在），但是用于工程实验的时间。
包括：●过程工程（过程塑造）●设备过程（设备评估）●软件工程（例限定软件）5.7 计划内停工状态—设备按计划停止正常功能工作的一段时间。
包括：●维修推迟●生产检测●预防性维修●改变化学材料或消耗品●调整●与基础设施相关的停工。
5.7.1 维修推迟—由于设备正等待使用者或供应人员或其他与维修有关的部分（化学材料、消耗品等）而使设备不能正常工作的时间。
维修推迟有可能是因为管理员决定让设备停着推迟维修。
注释4：维修推迟会发生在维修过程的任何时段，它必须从维修时间中被独立出来。
推迟时间包括在离线时间内，但不在修理时间内。
（详见6.3节设备可维修性）5.7.2 生产控制—有计划地打断产品有效生产来评估产品或非产品单元。
按照设备操作的规范来证实设备是否处于规范中的正常功能状态。
它并不包括可以平行于产品生产的检测，也不包括随着预防性维修、调整及修理过程产生的检测。
5.7.3 预防性维修—它由以下的几部分组成：●预防性措施：按计划周期维护过程（包括设备断工、复工），以降低设备运转中故障的可能性。
间断周期可能基于设备时间、设备状态。
●设备检测：运转设备以证实设备的功能状态。
（比如，系统达到基本压力，芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。
）●校正运作：在预防性措施后为保证设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。
注释5：设备供应商有责任提出预防性措施计划以使设备达到预定水平。
使用者如果希望供应商提高设备水平，他们有责任指出与原定计划的偏离之处。
5.7.4 改变化学材料及消耗品—指在补充半导体流程中的原材料时的故意打断。
它包括改变气瓶、酸、目标、来源等等以及任何与改变相关的充、洗、清洁。
但不包括在得到化学材料、消耗品补给之前的延误时间。
5.7.5 调整—它是以下几部分之和：●变动：为了适应在流程、产品、包装结构上的改变而作出的设备变动所需的时间。
（不包括装修、重建、升级）●设备测试：运行设备以证实它的功能。
（比如，系统达到基本压力，芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。
）●校正运行：在改变后为确认设备按规定正常运作而建立的单元流程和评估。
注释6：设备供应商有责任提供设备在预定条件下改变和测试的过程步骤。
使用者如果希望在这些条件下供应商减少改变次数，那么他有责任给出偏离的过程步骤。
5.7.6 与基础设施相关的停工—由于缺乏辅助的基础设施而使设备不能按预定功能运行的一段时间。
相关的基础设施有：●环境（例温度、湿度、震动、微粒度）●房屋的悬挂装置（例动力、冷却水、空气、废气、LN2）●与其他设备或宿主计算机连接的管道●与宿主相连的通信设备5.7.6.1 任何与上述项目相关的停工时间将包括在基础设施的停工时间内。
例如，由于安排了15分钟的动力短缺使需要另外的制冷剂动力，这样让设备再恢复到预定功能状态所耗费的时间就是与基础设施相关的停工时间。
5.8 计划外停工时间—由于一些意外事件使设备不在预定功能状态的时间。
●维修推迟●修理●改变化学材料及消耗品●不合规范的输入●与基础设施相关的停工5.8.1 维修推迟—由于设备正等待使用者或供应人员或其他与维修有关的部分（化学材料、消耗品等）而使设备不能正常工作的时间。
维修推迟有可能是因为管理员决定让设备停着推迟维修。
注释7：维修推迟会发生在维修过程的任何时段，它必须从维修时间中被独立出来。
推迟时间包括在离线时间内，但不在修理时间内。
（详见6.4节设备可维修性）5.8.2 修理时间—包括以下：●诊断：识别设备故障的源由的过程。
●纠错行为：提出设备的故障处并使设备恢复到正常运作的维修过程。
（包括设备断工、复工、重建、重设置、再循环、再启动、回到前一个软件版本等等）●设备测试：运行设备以证实它的功能。
（比如，系统达到基本压力，芯片传输没有异常、气流正常、等离子区燃烧、来源达到特定压力。