第二章 传感器的功能材料及加工工艺..
传感器的加工工艺ppt课件
湿法腐蚀工艺
（a）典型的锥形坑被 （1111）晶面限制，通过氧 化硅掩模上开的方洞，从硅 的（100）晶面向内各向异 性腐蚀；（b）悬臂梁开掩模， 慢凸角根切速率的各向异性 腐蚀图；（c）掩模同（b） 采用快速凸角根切速率性能 的腐蚀剂，如EDP，产生圈 套程序的根切效果；（d）对 （c）进一步腐蚀形成悬挂在 坑上的悬臂梁；（e）图示为 在充分长时间的腐蚀后，各
.
溅射成膜工艺
射频磁控溅射原理示意图
.
光刻技术
集成电路制造中利用光学-化学反应原理和化 学、物理刻蚀方法，将电路图形传递到单晶 表面或介质层上，形成有效图形窗口或功能 图形的工艺技术。
首先要在硅片上涂上一层耐腐蚀的光刻胶， 随后让强光通过一块刻有电路图案的镂空掩 模板（MASK）照射在硅片上。被照射到的 部分(如源区和漏区)光刻胶会发生变质，而 构筑栅区的地方不会被照射到，所以光刻胶 会仍旧粘连在上面。接下来就是用腐蚀性液 体清洗硅片，变质的光刻胶被除去，露出下 面的硅片，而栅区在光刻胶的保护下不会受
.
深紫外光刻
深紫外光刻工艺
.
电子束光刻
电子束投影光刻系统
.
X射线光刻
三种点Ｘ射线源
.
压印光刻
压印工艺原理
.
离子注入技术
离子注入就是把掺杂剂的原子引入固体中的一种材料改 性方法。
离子注入的基本过程 （1）将某种元素的原子或携
带该元素的分子经离化变成 带电的离子 （2）在强电场中加速，获得 较高的动能 （3）注入材料表层（靶）以 改变这种材料表层的物理或 化学性质
.
传感器的加工工艺
应用不同的加工方法所能得到的加工精度
.
腐蚀工艺
主要有化学腐蚀（湿法）和离子刻蚀（干 法）两大类。
如何制造柔性电子传感器的关键技巧和步骤
如何制造柔性电子传感器的关键技巧和步骤柔性电子传感器是一种具有可弯曲、可拉伸、可折叠等特性的新型传感器。
它能够适应复杂的表面形状，为电子设备提供更大的灵活性和可穿戴性。
制造柔性电子传感器的关键技巧和步骤主要包括材料选择与表征、加工工艺以及性能测试等方面。
首先，选择合适的材料至关重要。
柔性电子传感器所使用的材料应具备较高的柔韧性和导电性能。
常见的柔性基底材料包括聚酯薄膜、聚碳酸酯薄膜以及聚酰亚胺薄膜等。
此外，导电材料的选择也非常重要。
常用的导电材料有金属纳米颗粒、导电聚合物等，它们能够提供良好的导电性能并适应材料的柔性。
其次，对所选材料进行表征和处理。
在材料表征方面，可以利用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段来观察材料的形貌和微观结构。
通过对材料表面进行处理，可以提高材料与导电材料之间的粘附性和界面接触性能，例如利用等离子体处理、激光刻蚀等技术。
接下来是加工工艺的关键步骤。
首先是柔性基底的制备。
通过选择合适的加工方法如剪切、滚压等，可将柔性基底加工成所需形状和尺寸。
然后是导电薄膜的制备。
可以利用溶液法、物理气相沉积等方法在柔性基底上制备导电薄膜。
此外，为了提高导电薄膜的导电性能和可靠性，还可以进行热处理、光照处理等工艺。
制备完毕后，还需要进行柔性电子传感器的性能测试。
常见的测试项目包括导电性能测试、柔性性能测试和传感性能测试等。
导电性能测试可通过四探针法或电阻测试仪来测量电导率和电阻率。
柔性性能测试主要包括柔性度、抗拉伸性能、耐弯曲性等指标的测量。
传感性能测试则需要根据具体传感器的功能进行，如温度传感器可以通过温度特性测试来验证其灵敏度和准确性。
除了上述关键技巧和步骤，还需要注意一些常见的问题和挑战。
首先是材料的兼容性问题，传感器材料之间应具有良好的匹配性，避免不同材料之间的失配导致性能下降。
其次是柔性基底的稳定性和耐久性问题，特别是在频繁弯曲或拉伸的情况下，需要考虑基底材料的稳定性以及导电薄膜与基底的附着强度。
电容式加速度传感器课程设计1003030304要点
随着科学技术的不断发展，自动化智能化一步一步走入人们生活中的每一个角落。
然而自动化与智能化的实现无疑离不开传感器。
传感器这个大家族之中，电容式传感器又占有举足轻重的位置。
电容器传感器的优点是结构简单,价格便宜，灵敏度高，零磁滞，真空兼容，过载能力强，动态响应特性好和对高温、辐射、强振等恶劣条件的适应性强等。
缺点是输出有非线性，寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度的影响较大，以及联接电路较复杂等。
本课程设计设计了一种基于MEMS的电容式测量加速度的传感器。
基于微机电系统( MEMS)技术的微机械加速度传感器具有体积小、质量轻、启动快、功耗低、易集成、可靠性好、抗过载能力强和成本低廉等诸多优点，在航空航天、汽车技术机器人技术、工业自动化、掌上电子产品等诸多领域得到了广泛的应用。
根据其敏感信号方式，可以分为微型电容式速度传感器、微型压阻式加速度传感器、微型压电式加速度、感器和微型隧道电流式加速度传感器等。
关键词：电容加速度传感器信号放大微电子机械系统第一章绪论 (3)1.1 课题研究的相关背景 (3)1.2 选题的目的和意义 (4)1.3 课题研究的内容 (5)1.4 国内外研究现状 (5)1.5 传感器目前存在的主要问题 (5)第二章结构设计 (6)2.1 微机械电容式加速度计的结构设计原则 (6)2.2 微机械电容式加速度计的三种常见结构 (6)2.3 电容式加速度传感器设计方法选择与优化 (7)2.4 电容加速度传感器结构梁的设计 (10)2.5微机械电容式加速度传感器的设计参数 (14)2.6传感器工作原理及数据计算 (16)2.7微机械加工工艺 (17)第三章测控电路 (18)3.1转换电路 (18)3.2正弦波产生电路 (19)3.3仪用放大器 (20)3.4相敏检波电路 (21)3.5滤波电路 (22)第四章技术指标 (23)4.1壳体固定要求 (23)4.2滑块与壳体接触面的光滑度要求 (23)4.3测控电路的要求 (23)第五章传感器适用范围 (23)5.1影响适用范围的因素 (23)5.2加设重力加速度传感器 (23)第六章总结与展望 (24)6.1数据关系 (24)6.2与书本上面的测加速度传感器对比 (24)第七章总结与展望 (24)7.1总结 (24)7.2展望 (24)参考文献 (25)附录1 (26)附录2 (27)附录3 (28)第一章绪论1.1 课题研究的相关背景传感器是一种应用非常广泛的设备，在各种自动控制过程中，它能迅速客观地反映出实际情况。
传感器原理与应用复习范围
绪论一、传感器：将各种非电量（包括物理量、化学量、生物量等），按照一定的规律转换成便于处理和传输的另一种物理量（一般为电量）的装置。
二、传感技术：是利用各种功能材料实现信息检测的一门应用技术，是检测（传感）原理、材料科学、工艺加工等三要素的最佳结合。
三、传感器的组成：传感器一般有敏感元件、转换原件和测量电路三部分组成，有事还需要加辅助电源。
四、传感器分类：1.按输入量分类如输入量分别为温度、压力、位移、速度、加速度、湿度等非电量时，则相应的传感器称为温度传感器、压力传感器、位移传感器、速度传感器、加速度传感器、湿度传感器等。
2.按测量原理分类现有传感器的测量原理主要是基于电磁原理和固体物理学理论。
如根据变电阻的原理，相应的有电位器式、应变式传感器；根据变磁阻的原理，相应的有电感式、差动变压器式、电涡流式传感器；根据半导体有关理论，则相应的有半导体力敏、热敏、光敏、气敏等固态传感器。
3.按结构型和物性型分类所谓结构型传感器，主要是通过机械结构的几何形状或尺寸的变化，将外界被测参数转换成相应的电阻、电感、电容等物理量的变化，从而检测出被测信号，这种传感器目前应用的最为普遍。
物性型传感器则是利用某些材料本身物理性质的变化而实现测量，它是以半导体、电介质、铁电体等作为敏感材料的固态器件。
五、传感器的发展趋向1.传感器的固态化，2、传感器的集成化和多功能化3.传感器的图像化4.传感器的智能化第1章传感器的一般特性§1-1 传感器的静态特性传感器在被测量的各个值处于稳定状态时，输出量和输入量之间的关系称为静态特性。
传感器静态特性的主要指标有以下几点：一、线性度(非线性误差)在规定条件下，传感器校准曲线与拟合直线间最大偏差与满量程(F·S)输出值的百分比称为线性度。
二、灵敏度传感器的灵敏度指到达稳定工作状态时输出变化量与引起此变化的输入变化量之比。
线性传感器校准曲线的斜率就是静态灵敏度K。
传感器技术介绍
1.1 传感器技术的发展
我国的传感器技术及产业在国家“大力加强传感器的开发和在国 民经济中的普遍应用”等一系列政策导向和资金的支持下，近年来也 取得了较快发展。目前有1688家传感器研发机构，产品约6000种，年 产量13.2亿多支，其中约1／2产品销往国外。预计到“十五”期末， 敏感元器件与传感器年总产量可望达到20亿支，销售总额将达约120亿 元。
在使用传感器时，若测量要求较高，必要时也应对附加 的调整元件、后续电路的关键元器件进行老化处理。
1.1 传感器技术的发展
1.1.2 开展基础理论研究
寻找新原理 开发新材料 采用新工艺 探索新功能
开展基础理论研究
（1）寻找新原理
传感器的工作机理是基于各种效应和定律，由 此启发人们进一步探索具有新效应的敏感功能材料， 并以此研制出具有新原理的新型物性型传感器件， 这是发展高性能、多功能、低成本和小型化传感器 的重要途径。结构型传感器发展得较早，目前日趋 成熟。结构型传感器，一般说它的结构复杂，体积 偏大，价格偏高。物性型传感器大致与之相反，具 有不少诱人的优点，加之过去发展也不够。世界各 国都在物性型传感器方面投入大量人力、物力加强 研究，从而使它成为一个值得注意的发展动向。
感单元同时感受被测量，其输出则是这些单元输出的平均值，若将每个单元
可能带来的误差均可看作随机误差且服从正态分布，根据误差理论，总的误
差将减小为
式中 n—传感单元数。
δΣ=±δ/√n
可见，在传感器中利用平均技术不仅可使传感器误 差减小，且可增大信号量，即增大传感器灵敏度。
（3）补偿与修正技术
补偿与修正技术的运用大致针对两种情况： ★ 针对传感器本身特性 ★ 针对传感器的工作条件或外界环境
(整理)传感器技术绪论
第1篇传感器技术绪论1.传感器引言当我们看见“传感器技术”的时候，大多数同学都不陌生。
传感器已经渗透到了我们生活的各个层面。
看看下表，就知道了。
请同学们自己补充2-3项举例。
看来传感器技术确实是喜欢电子的人必不可少的一项技术。
那么，什么是传感器呢？就做电子技术的人来说，狭义上传感器是将被测量转换为电信号的一种器件或装置。
但是，我们看见上表中出现了体温计和血压计，很多同学认为它们并不是电信号输出。
实际上，国家标准GB7665-87对传感器的定义是：“能够感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成”。
这里所说的“可用输出信号”是指便于加工处理、便于传输利用的信号。
现在电信号是最易于处理和便于传输的信号。
所以，我们可以暂时以电信号输出作为我们课程的学习对象的。
传感器也可以定义为是一种检测装置，能感受到被测量的信息，并能将检测感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。
1.1人类进步发展与传感器在人类文明史的历次产业革命中，感受、处理外部信息的传感技术一直扮演着一个重要的角色。
在l8世纪产业革命以前，传感技术由人的感官实现：人观天象而仕农耕，察火色以冶铜铁。
从18世纪产业革命以来，特别是在20世纪信息革命中，传感技术越来越多地由人造感官，即工程传感器来实现。
传感器的发展是推动人类进步的巨大力量。
传感器系统代替了人类实现了大量的自动化检测与控制，是把人从繁重的体力劳动中解放出来的关键器件。
那么，把它与人的感觉相比较可以帮助我们学习传感器更多知识。
1.2人的感官与传感器技术人类最早感受周围环境的变化是通过人体感知的，我们的耳可以听见声音、鼻可以闻到味道、眼可以看见周围环境、舌可以品尝各种味道、皮肤可以感受冷暖。
有人说传感器就是电五官，这是说如果将计算机比作人的大脑的话，那么传感器的地位和功能就相当于我们的身体。
传感器生产工艺流程
传感器生产工艺流程
《传感器生产工艺流程》
传感器是一种能够感知和测量外部环境的设备，广泛应用于工业控制、汽车电子、智能家居等领域。
传感器的生产工艺流程是一个复杂的系统工程，包括原材料采购、生产加工、检测测试等多个环节。
首先，传感器生产的第一步是原材料的采购。
传感器的主要材料包括半导体材料、金属材料和塑料等。
生产商需要从供应商处购买各种材料，并对材料进行严格的检验，确保材料符合要求。
其次，经过材料采购之后，生产商需要对原材料进行加工。
针对不同类型的传感器，加工工艺也会有所不同。
一般来说，加工包括切割、钻孔、焊接、组装等步骤，需要使用各种设备和工具进行生产加工。
然后，传感器生产的关键步骤之一是测试检测。
在生产过程中，需要对传感器进行严格的测试，确保其性能稳定和可靠。
测试包括功能测试、性能测试、环境适应性测试等多个方面，只有通过严格测试的传感器才能被发布出厂。
最后，传感器生产的最后一步是包装和出货。
经过生产和测试的传感器需要进行包装，以保护其外壳和电路不受损坏。
然后，将包装好的传感器进行入库管理和出货发运。
总之，传感器生产工艺流程是一个复杂而严谨的系统工程，需要对材料、加工、测试等多个环节进行严格控制和管理，以确保传感器的品质和性能。
简述传感器的基本原理及组成
简述传感器的基本原理及组成
传感器是一种将物理量转换为电信号或其他可读取形式的装置，广泛应用于制造业、交通运输、环境保护、医疗卫生等领域。
其基本原理及组成如下：
1. 基本原理：传感器的基本原理是利用某种物理效应，将被测量的物理量转换成与之相关的电信号或其他可读取形式的信号。
常见的物理效应有压阻效应、电磁感应效应、霍尔效应、压电效应、光电效应等。
2. 组成：传感器由传感元件、信号处理电路和输出部分三大部分组成。
传感元件是将被测物理量转换成电信号的核心部分，信号处理电路用于对传感元件采集的信号进行放大、滤波、线性化等处理，使其符合特定的输入要求，输出部分则将处理后的信号输出到显示器或控制器等设备中。
3. 传感元件的分类：传感元件按照不同的物理效应可分为多种类型，如压阻传感器、磁敏传感器、电容传感器、光电传感器、超声波传感器、红外传感器等。
4. 信号处理电路的作用：信号处理电路的主要作用是将传感元件采集到的信号进行放大、滤波和线性化等处理，以获得符合特定输入要求的信号。
这样可以避免因传感元件输出信号过小或不稳定等问题导致的误差和干扰。
5. 输出部分的作用：输出部分主要将处理后的信号输出到显示器或控制器等设备中，以实现对被测物理量的监测、测量和控制。
总之，传感器的基本原理是利用物理效应将被测量的物理量转换成与之相关的电信号或其他可读取形式的信号，通常由传感元件、信号处理电路和输出部分三大部分组成。
通过对被测量的物理量进行转换和处理，传感器可以实现对物理量的监测、测量和控制。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
离子导体或电解液主要用于化学量传感器，尤其 是基于电化学原理的传感器。 尤其是基于电化学原理的传感器。虽然电化学传 感器方面的理论已经相当成熟，但具体实现技术 方面仍然存在许多需要研究的问题。电化学传感 器的技术成熟度几乎是目前所知的化学量传感器 中最高的。据统计，商业化的气体传感器中， 90%以上属于电化学类传感器。
2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺
④ 外延 ⑤ 旋涂法 2. 厚膜工艺
厚膜压力传感器工艺流程示意图
2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺
3. 掺杂技术 ① 扩散杂质 ② 离子注入
图 2-26 离子注入机示意图
2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺
4. 光刻技术
光刻工艺流程
2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺
2.2.1结构型传感器的加工工艺
电阻应变式传感器的防护密封结构示意图
2.2.2微机械加工工艺
2.2.2.1微传感器与微机电系统
MEMS所涉及到的技术领域
2.2.2.1微传感器与微机电系统
MEMS的应用
微机械加工工艺
传统超精密与特种加工技术 1. 超精密机械加工 ① 微钻孔加工 ② 微铣削加工 ③ 微细磨削（超精密磨削）
LOGO
第2章 传感器的功能材料及 加工工艺
传感器的基础是构成传感器的材料其本身的各种 基础功能效应，以及这些效应的传输和功能形态 的变换 加工工艺是传感器从实验室走向实用的关键。现 代加工制造技术中的各种工艺手段在传感器领域 都有所体现。 多个零部件组装而成的结构型传感器，如应变电 阻式传感器、涡街流量传感器、电涡流传感器等 ，其敏感原理早已为大家所熟知，而加工工艺则 各有千秋。传感器的性能，尤其是温度稳定性、 可靠性等指标，也因此而有很大差异
化学传感器
PH、 Na'、 K'、酶、激素、抗 原、抗体等的检测 热电元件 温度计 气体、液体的流量测量 温度控制
温度传感器 流量传感器 感温整流器 放射线检测器 超声波传感器
超声波 CT 探头
电介质
电介质材料具有共价键，是良好的电绝缘体。电 介质材料的特性常用介电常数来表征。介电常数 是电通量密度与电场强度之比，即 。真空的介电 常数为 ，电介质材料的介电常数则为 。陶瓷、有 机聚合物和石英也是传感器中经常使用的电介质
2.1.3陶瓷敏感材料
2.1.3.1物理敏感陶瓷材料 1. 陶瓷热敏器件 2. 陶瓷光敏电阻 3. 陶瓷压电元件
4. 陶瓷热释电材料
2.1.3陶瓷敏感材料
2.1.3.2化学敏感陶瓷材料
1. 湿敏陶瓷
2. 气敏陶瓷
2.1.3.3其他陶瓷材料
有机高分子敏感材料
有机敏感材料具有的优点是： ①容易加工，容易做成均匀大面积材料； ②设计、合成新结构分子的自由度大，从而带来 了敏感材料的多样性； ③可实现在无机敏感材料中难以达到的识别功能 。
2.2.2微机械加工工艺
2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺 1. 薄膜成形 ① 氧化
湿氧氧化法示意
2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺
② 金属化
真空蒸镀法示意
溅射法示意
2.2.2.4微机电系统常用的集成电路工艺
③ 化学气相淀积
常压化学气相工艺装 置的示意
等离子化学气 相工艺装置的示意
B 0 H
B 0 ( H M ) 0 r H
其中，M是每单位体积的磁偶极矩或磁化强度，r 为相对磁导率。
磁性材料可以被用做将磁通量限定在确定的体积 范围内的结构元器件。 此外，在传感器中，可用于检测一些磁参量，此 时被检测的磁参量能改变另一些物理特性，如磁 敏电阻的电导率；还可用于检测能改变磁特性的 一些物理量，如温度和机械应力等。
光生伏特效应
InSnTe Aa-ZnS， Ag-ZnS， Si， Ge， InP， GaAs， InSb， InAs
光传感器
Si-IC，有机彩色滤光片 /Si-IC Se-As-Te， PbO 光导电效应 Se， CdS， CdSe， ZnO PhO， CdTe， PbO-PbS， a-Si ZnS-CdTe， Si， ZnCdTe 热电效应 PbTiO3/Si， PVF2/Si Si-IC， InSb， InAs， Ge， GaAs Ni-Co/Si-IC， InSb， InAsBi ZnO/Si-IC， PVF2/Si-IC Si， Si-IC， Ge， GaP， InSb， InAsBi 陶瓷 Si-IC， SnO2 金属/FET Si-IC 聚合物 /Si-IC， Al2O3/Si-IC Si-IC ZnO/Si-IC 无机薄膜 /Si-IC 生物体关联薄膜 /Si-IC Si-IC Si-IC Si-IC Si-IC Ge， Si ZnO/Si-IC PVF2/Si-IC
2.1.2导体、半导体和电介质
半导体敏感材料 具有半导体性质的元素或化合物之所以被广泛用于敏感 材料，是由于测量对象导致半导体的性质发生较大的变 化。由于半导体材料对很多信息量既具有敏感特性，又 有成熟的平面工艺，易于实现多功能化、集成化和智能 化，同时也是很好的基底材料，所以是理想的传感器材 料。半导体材料目前已经广泛用在传感器中，在今后相 当长的时间内也将会占主导地位。
第2章
传感器的功能材料及加工工艺
2.1
传感器使用的材料
2.2传感ຫໍສະໝຸດ 的加工工艺 传感器材料： 敏感材料 辅助材料
2.1传感器使用的材料
表 2-1各类材料在传感器中的应用情况
导体、半导体和电介质
导体
有两类导体，即电导体（金属及其合金） 和离子导体或电解液（酸、碱和盐溶液） 金属及其合金被用于传感器时可利用其热 电特性，或者其电导率对温度和应力的依 赖性。 金属还可用来构成能使被测对象产生显著 变化的电路元件，如电涡流传感器中的线 圈、电容式传感器的极板、电化学传感器 中的电极等。
磁传感器
霍尔效应 磁阻效应 压电效应 压阻效应 吸附阻抗变化
压力传感器
气体传感器
吸附引起功函数变化 气体色谱法
携带式气体分析仪
湿度传感器 加速度传感器
吸附阻抗变化 压阻效应 压电效应 FET 的门电压变化 门控制型二极管 热起电 BIP 晶体管制温度测量 BIP 晶体管制温度特性 热激励电流的温度特性 光导电效应 光导电效应 压电效应
传感器
效应
材料 Si， a-Si， 2-6 属薄膜/Si-IC， 3-5-6 属薄膜 /Si-IC， 荧光体 /Si-IC Si-IC， Pt 或 Ir/Si-IC， 2-6 属/Si-IC， HgCdTe，
用途 固体紫外可见光，图像传感器 固体可见光，图像传感器 光生伏特元件 彩色传感器 紫外光摄像管 光导电元件 可见光摄像管 红外光摄像管 红外光传感器 磁场测量 无接触开关 触觉传感元件 压觉传感元件
2.2 传感器的加工工艺
2.2.1结构型传感器的加工工艺
应用不同的加工方法所能得到的加工精度
2.2.1结构型传感器的加工工艺
悬臂梁式称重传感器
2.2.1结构型传感器的加工工艺
1．弹性体的加工和处理
2．应变计的粘贴与固化
3．组桥、布线卫性能检查 4．传感器的性能补偿与老化 5．防潮密封工艺 6．性能检测和标定工艺
④ 微细电火花加工
传统超精密与特种加工技术
线电极电火花磨削法原理示意
采用线电极电火花磨削加工的微结构
2.2.2微机械加工工艺
2. 高能束微机械加工技术 ① 激光束加工 ② 电子束加工电子束加工
激光束加工示意
热型电子束加工示意
2.2.2微机械加工工艺
非热型电子束加工示意
离子束加工 离子束加工的基本原理是将聚焦后的离子束用电 场加速，使其达到高能量状态去撞击工件，使材 料表面的原子获得动能，从工件本体上分离，实 现加工目的。离子束加工主要应用于微机械加工 、溅射加工和注入加工。离子束加工适用于各种 金属材料的切割、焊接、热处理，还可进行工件 表表面强化、等离子弧堆焊及喷涂。
2.1.3有机高分子敏感材料
2.1.4.1有机敏感材料的种类和特性
有机敏感材料
2.1.4.1有机敏感材料的种类和特性
利用有机材料的敏感元件
2.1.4 有机高分子敏感材料
有机高分子湿敏材料
有机高分子气敏材料
有机高分子压电材料
2.1.5 磁性材料
真空中的磁通量与外加磁场强度成正比：
① 掩模制作（掩模原图绘制、掩模母板制作、工作 掩模制作） ② 光刻胶的涂布 ③ 前烘 ④ 曝光 ⑤ 显影 ⑥ 坚膜 ⑦ 蚀刻（湿法蚀刻、干法蚀刻 ） ⑧ 去胶（湿法去胶 、干法去胶 ）