激光干涉仪用途
激光干涉仪的设计与应用
激光干涉仪的设计与应用激光干涉仪是一种利用激光干涉原理测量物体长度的仪器。
它的特点是测量精度高，可达到亚微米级别，适用于各种长度的测量。
在制造、工程、科学等领域都有重要的应用，下面将介绍其设计和应用。
一、激光干涉仪的原理激光干涉仪基于干涉原理，即利用激光的相干性，将两束激光光束分别照射到测量物体的两个不同位置上，然后让光束反射回来，经过干涉产生干涉条纹，通过分析干涉条纹的移动和变化，可以测量物体的长度、形状和表面质量等。
二、激光干涉仪的构造激光干涉仪主要由光源、分光器、反射镜、光电探测器、转换电路等组成。
其中光源是激光器，应具有单色、长寿命、高光强度、小发散角度等特点。
分光器和反射镜将激光分成两束并反射回到测量物体上，然后经过干涉、反射等过程，形成干涉条纹。
光电探测器可以将光电信号转换成电信号，然后经过转换电路放大、滤波、解调等处理，最终得到测量结果。
三、激光干涉仪的应用1.表面形貌测量激光干涉仪可以用于表面形貌测量，例如测量机械零件的平整度、光学元件的表面形状、生物医学材料的表面粗糙度等。
利用干涉技术可以获得高精度的表面高程和表面形状信息。
2.形变测量激光干涉仪也可用于测量物理量的变形，如应力、形变、位移等。
例如在建筑工程中可以利用激光干涉技术测量混凝土梁的挠度和伸缩变形，从而评估结构的安全性。
3.纳米测量激光干涉仪可用于纳米尺度测量，例如测量纳米材料的形貌、纳米粒子的大小等。
利用干涉技术可以获得高分辨率的纳米级别表征。
4.光学元件测试激光干涉仪还可以用于光学元件测试，例如测量透镜、反射镜、光栅等的曲率半径、折射率、相位等。
利用干涉技术可以获得高精度的光学参数信息。
四、其他需要注意的事项使用激光干涉仪时需要注意安全，避免对人眼造成伤害。
此外激光干涉仪的精度和灵敏度都较高，需要进行科学的校准和校验，避免因仪器误差而产生误报。
总之，激光干涉仪作为一种高精度的测量工具，可以在制造、科学、工程等领域有着广泛的应用。
激光干涉仪在机床精度检测中的应用
激光干涉仪在机床精度检测中的应用
激光干涉仪通过测量光的干涉现象来实现精密测量。
它利用激光的特性，通过将激光
分成两束，一束作为参考光束，另一束经过机床的运动系统后作为测量光束。
当两束光重
新合成时，会产生干涉现象，干涉条纹的变化可以反映出机床运动系统的变化。
1. 机床运动误差的检测：激光干涉仪可以实时测量机床的运动误差，例如位置误差、直线度、圆度等。
通过与已知精度的参考标准进行比对，可以评估机床的运动系统是否达
到要求，并及时发现和纠正问题。
2. 机床加工误差的检测：机床在加工过程中，由于刀具磨损、工件变形等原因，会
产生加工误差。
激光干涉仪可以实时监测和记录加工过程中的加工误差，通过分析和比对
测量数据，可以评估机床的加工精度，提高加工质量。
3. 机床刚度的检测：机床的刚度是衡量其抗变形性能的重要指标。
激光干涉仪可以
通过测量机床的刚度进行评估，例如测量机床在不同负载下的变形量，从而评估机床的刚
度性能，为优化机床结构提供参考。
4. 机床热变形的检测：机床在工作过程中会受到热变形的影响，影响其加工精度和
稳定性。
激光干涉仪可以通过测量机床的热变形量，了解机床的热稳定性，并配合温度传
感器等设备，实时监测和控制机床的温度变化，提高机床的热稳定性。
激光干涉仪在机床精度检测中具有重要的应用价值。
通过实时监测和测量，可以提供
高精度和可靠的数据，帮助机床生产厂家和用户评估机床的精度和稳定性，优化机床结构
和加工过程，提高机床的加工质量和生产效率。
激光干涉仪在机床精度检测中的应用
激光干涉仪在机床精度检测中的应用
激光干涉仪是一种高精度、高分辨率的测量设备，广泛应用于机床精度检测中。
机床是制造业中非常重要的加工设备，其精度对产品质量起到决定性的作用。
激光干涉仪通过测量机床加工过程中的振动和变形，可以快速准确地评估机床的精度，并进行相应的调整和修正。
激光干涉仪的工作原理是利用激光的干涉现象来实现测量。
其基本构造包括激光器、分束器、反射镜和探测器等部件。
在实际应用中，激光干涉仪通常需要固定在机床的工作台或主轴上，通过测量激光在加工过程中的干涉信号，来了解机床的精度情况。
1. 测量机床的静态误差：静态误差是指机床在不同位置和方向上的加工精度偏差。
激光干涉仪可以通过测量加工台或主轴在各个位置上的干涉信号来评估机床的静态误差，并得出相应的补偿值。
这样可以及时纠正机床的误差，提高加工的精度和质量。
2. 测量机床的动态响应：动态响应是指机床在加工过程中的振动情况。
激光干涉仪可以实时测量加工台或主轴的振动信号，并将其转化为干涉条纹，通过分析干涉条纹的频率和振幅等参数，评估机床的动态响应。
这样可以及时发现机床的振动问题，并采取相应的措施进行修复和调整。
3. 监测机床的变形情况：机床在加工过程中会因为受到力的作用而发生变形，从而影响加工精度。
激光干涉仪可以通过测量加工台或主轴的变形情况，提供实时准确的变形数据。
这样可以帮助操作人员及时发现机床的变形问题，并采取相应的措施来避免或减少变形对加工精度的影响。
2023年激光干涉仪行业市场分析现状
2023年激光干涉仪行业市场分析现状激光干涉仪是一种利用激光干涉现象来测量物体表面形态、波前误差、波前畸变等参数的精密光学仪器。
它广泛应用于航空航天、科研、医疗、制造等多个领域。
随着科技的发展，激光干涉仪行业市场也不断扩大。
首先，激光干涉仪在航空航天领域具有重要应用。
航空航天领域对精密测量要求非常高，激光干涉仪可以通过测量波前误差和波前畸变来判断光学设备的质量，并进行相应的调整和校正。
这对于航天器在恶劣的太空环境中的正常运行非常重要。
其次，激光干涉仪在科研领域有广泛的应用。
科研人员利用激光干涉仪可以对材料的形态、变形等参数进行高精度测量，为科学研究提供关键数据。
同时，激光干涉仪还能用于光学器件的检测和校准，保证科研实验的准确性和可靠性。
此外，激光干涉仪在医疗领域的应用也日益广泛。
比如，在眼科医疗中，激光干涉仪可以测量患者眼球的波前畸变，为激光手术提供精确的参数。
同时，激光干涉仪还可以用于检测光学镜片的质量，并进行必要的调整和校准。
最后，激光干涉仪在制造业中也有重要的应用。
制造业对产品的精度和质量要求高，激光干涉仪可以实时测量产品的形态和尺寸等参数，以确保产品的质量。
尤其在汽车、船舶、机床等大型制造设备的制造和维护过程中，激光干涉仪发挥着不可替代的作用。
由于激光干涉仪在多个领域都有广泛应用，市场需求不断增长。
虽然激光干涉仪的技术难度较高，但随着科技的进步，激光干涉仪的性能和稳定性也在不断提升，进一步满足市场需求。
综上所述，激光干涉仪在航空航天、科研、医疗、制造等领域具有广泛的应用前景。
随着这些领域的不断发展和技术的进步，激光干涉仪行业市场有望继续扩大。
同时，由于激光干涉仪的技术门槛较高，市场竞争相对较小，潜在利润空间较大。
因此，激光干涉仪行业具有良好的发展前景，值得关注和投资。
激光干涉仪在机床精度检测中的应用
激光干涉仪在机床精度检测中的应用【摘要】激光干涉仪在机床精度检测领域具有重要应用，本文首先简要介绍了激光干涉仪的原理。
然后分别探讨了激光干涉仪在机床定位、加工精度、重点部件和整机精度检测中的具体应用。
通过激光干涉仪可以实现对机床精度的全面检测，为机床的精度提升和故障排查提供重要手段。
最后总结指出，激光干涉仪在机床精度检测领域具有广泛的应用前景，为提高机床加工精度和降低故障率提供了有效的技术支持。
激光干涉仪的应用将进一步推动机床行业的发展，提高机床加工质量，提升整体生产效率。
【关键词】关键词：激光干涉仪、机床、精度检测、定位、加工、重点部件、整机、领域、应用前景、精度提升、故障排查。
1. 引言1.1 激光干涉仪在机床精度检测中的应用激光干涉仪是一种高精度、非接触式测量仪器，广泛应用于机床精度检测领域。
通过测量光波的干涉现象，激光干涉仪能够实现对机床定位、加工精度、重点部件和整机精度等方面的精准检测。
在现代制造业中，机床的精度直接影响到产品的质量和市场竞争力，因此利用激光干涉仪进行精度检测具有重要意义。
激光干涉仪基于激光光束的叠加干涉原理，能够精确测量不同部位的表面平整度、平行度、垂直度等参数，为机床的精度提升提供了重要依据。
激光干涉仪还可以实时监测机床加工过程中的变形和振动情况，帮助工程师及时调整工艺，保证加工精度。
激光干涉仪在机床精度检测中的应用具有广泛前景，为提高机床加工精度和故障排查提供了重要手段。
随着制造业的不断发展和进步，激光干涉技术将在机床领域发挥更加重要的作用，推动行业向着更高精度、更高效率的方向发展。
2. 正文2.1 激光干涉仪原理简介激光干涉仪是一种通过激光光束的干涉现象来测量物体形状、表面轮廓或者位置的精密仪器。
其原理基于光的干涉现象，即光波的叠加。
激光干涉仪通常由激光光源、分光镜、合并镜、待测物体、反射镜、干涉条纹图像采集器等部件组成。
激光干涉仪的工作原理是利用激光器产生的单色平行光束，经分束镜拆分成两束光，分别经过不同路径到达合并镜反射后汇聚在待测物体表面，然后再经待测物体表面反射回来，通过合并镜再次汇聚到干涉条纹图像采集器上。
2024年激光干涉仪市场分析现状
2024年激光干涉仪市场分析现状摘要本文对激光干涉仪市场进行了全面的分析，并针对其当前的现状进行了讨论。
首先，介绍了激光干涉仪的基本原理和应用领域。
然后，分析了激光干涉仪市场的竞争格局和发展趋势。
最后，探讨了激光干涉仪面临的挑战和未来的机遇。
1. 引言激光干涉仪是一种利用激光干涉的原理来测量物体表面形状和位移的仪器。
它具有高精度、非接触、快速测量等优点，广泛应用于工业制造、科学研究、航空航天等领域。
2. 激光干涉仪的基本原理和应用领域2.1 基本原理激光干涉仪基于干涉原理，通过将一束参考激光束与被测激光束进行干涉，利用干涉条纹的形成来测量物体的形状和位移。
2.2 应用领域激光干涉仪广泛应用于以下领域： - 光学元件表面形状测试 - 制造工艺控制 - 振动分析和位移测量 - 生物医学研究3. 激光干涉仪市场的竞争格局3.1 市场规模和增长趋势激光干涉仪市场近年来呈现稳步增长的趋势。
市场规模不断扩大，主要受益于工业制造和科学研究领域的需求增加。
3.2 主要竞争企业激光干涉仪市场存在一些主要的竞争企业，如： - 公司A：拥有多年研发经验和领先的技术实力，在市场上具有较高的知名度和影响力。
- 公司B：以其高性价比的产品和良好的售后服务在市场上占据一定份额。
- 公司C：不断创新，推出新产品来满足市场需求，并积极开拓海外市场。
4. 激光干涉仪市场的发展趋势4.1 技术发展激光干涉仪市场的发展受到技术进步的推动。
近年来，随着光学技术、激光技术和计算机技术的不断发展，激光干涉仪在分辨率、测量速度和精度方面有了显著的提升。
4.2 应用拓展激光干涉仪的应用范围将进一步扩大。
随着生物医学研究和航空航天行业的快速发展，激光干涉仪在这些领域的应用将逐渐增加。
4.3 市场竞争趋势激光干涉仪市场竞争将变得更加激烈。
主要竞争企业在提升产品技术和服务质量方面将加大投入，以增强市场竞争力。
5. 激光干涉仪面临的挑战和机遇5.1 挑战激光干涉仪市场面临一些挑战，包括： - 价格竞争激烈：市场上存在一些低价产品，导致高端产品的竞争压力增加。
激光干涉仪在机床精度检测中的应用
激光干涉仪在机床精度检测中的应用一、激光干涉仪的原理及特点激光干涉仪是一种通过激光光束的干涉现象来测量长度、角度、位移等物理量的仪器。
其原理是利用激光器发射出的一束平行光束，经分束器分成两束光，分别射向被测量的表面，当两束光线并行射向被测表面时，其中一束光线通过反射或透射产生光程差，再经干涉，使两束光合成发生干涉条纹。
通过干涉条纹的形成和移动来测量被测量器件的长度、角度、位移等信息。
激光干涉仪具有高精度、非接触、快速测量、适用于不同材料和形状的表面等优点。
激光干涉仪在机床精度检测中得到了广泛的应用。
1. 几何误差检测在机床的使用过程中，由于零部件的磨损、变形以及装配误差等原因，会导致机床发生几何误差，进而影响加工精度。
激光干涉仪可以通过测量机床各部位的位移和形态变化，实时监测机床的几何误差，准确地识别机床的变形情况，以及对机床进行实时调整和修正，保证机床的加工精度。
2. 运动精度检测机床在加工过程中是需要进行各种轴向或者回转的运动，而这些运动需要保证其稳定性和精度。
激光干涉仪可以通过测量机床各轴的运动轨迹和变换，提供准确的运动精度数据，及时发现运动中的误差和振动，帮助调整机床的运动参数，保证加工的精准度。
3. 工件加工精度检测除了机床本身的精度，工件的加工也是影响加工精度的重要因素。
激光干涉仪可以通过测量工件的表面形态、平整度等参数，判断工件的加工质量，为机床运行参数的优化提供准确的数据支持。
1. 高精度激光干涉仪可以实现亚微米级别的精度，远高于传统的测量方法，可以满足精密加工对精度的要求。
2. 非接触激光干涉仪的测量过程是无需接触被测物体的，可以保证被测物体的表面不受干扰，避免了因接触而带来的误差。
3. 高效率激光干涉仪的测量速度快，可以实现实时监测和测量，提高了机床精度的调整效率。
4. 适用性广激光干涉仪适用于各种不同材质和形状的表面，可以满足不同机床和工件的精度检测需求。
四、激光干涉仪在机床精度检测中的发展前景随着人工智能和大数据技术的发展，激光干涉仪将更加智能化、自动化，可以通过数据分析和处理，实现机床的智能维护和优化，进一步提高机床的稳定性和精度。
激光干涉仪原理及应用概述
激光干涉仪原理及应用概述激光干涉仪的原理可以简单介绍为以下几个步骤：首先，激光器产生激光光束，通过光学系统使光束变得平行。
然后，光束被分成两束，一束作为参考光束，另一束作为测量光束。
参考光束被发送到一个参考反射镜上反射回来，而测量光束则被发送到被测物体上，然后反射回来。
参考光束和测量光束在一个光学平台上交汇，形成干涉条纹。
通过观察、记录和分析干涉条纹的形态变化，可以得到被测物体的表面形貌或者其他参数。
1.工业制造：激光干涉仪可以用于测量工件的平面度、圆度、直线度等形貌参数，用于质量控制和优化生产过程。
2.精密测量：激光干涉仪可以进行亚微米级的位移测量，被用于精密仪器的研发和生产。
3.表面形貌测量：激光干涉仪可以测量微观表面的凹凸及表面光滑度，广泛应用于材料科学、纳米科技等领域。
4.生物医学：激光干涉仪可以测量生物组织的变形、变量等参数，用于医学研究和医疗诊断。
5.振动分析：激光干涉仪可以对机械部件或振动体进行振动频率、幅度等参数的测量，用于机械工程的研究和调试。
激光干涉仪的应用还在不断拓展和发展，不仅可以实现高精度的测量，还可以配合其他技术如像散斑技术、数码图像处理等进行更精确的测量和分析。
此外，随着激光技术的发展，激光干涉仪的体积和成本也在不断降低，有助于其在各个领域的广泛应用。
总之，激光干涉仪作为一种高精度测量仪器，具有广泛的应用前景。
它可以实现精确测量、快速响应和非接触测量等特点，被用于各个领域的研究和应用。
随着技术的进一步发展，激光干涉仪将会在更多领域得到应用，为科学研究和工业生产提供更多的支持和解决方案。
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简介
以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。
单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。
双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。
激光干涉仪在极接近标准状态（温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59％、C O2含量0.03％）下的测量精确度很高，可达1×10−7。
工作原理
一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。
另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。
从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633µm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。
当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光—反射光束(2)和透射光束(3)。
这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。
如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。
如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。
这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。
测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。
应当注意到，激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。
由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。
在实践中，对于技术指标中的测量精度，只有线性位移（定位精度）测量需要进行此类补偿，在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。
产品用途
1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。
检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线，为机床的修正提供可靠依据。
2.激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差，在现场使用尤为方便。
2.1.线性测量
要对线性测量进行设定，使用随附的两个外加螺丝将其中的一个线性反射镜安装在分光镜上。
这个组合装置称为“线性干涉镜”，它形成激光光束的参考光路。
线性干涉镜放置在激光头和线性反射镜之间的光路上，如下图所示。
线性测量的应用
线性轴测量与分析
中图仪器为多种机床控制器提供了机床误差自动补偿软件包。
控制器制造商提供了一种功能，允许您通过指定每个机床轴的补偿值来消除机床定位系统中的任何误差。
线性及回转定位误差都可以进行补偿。
通过进行补偿，您可以将误差降低到几乎为零的程度，显著提高了机器精度。
这是一个完美的设想，但必须知道要获得误差补偿值，您必须首先在轴上的不同点测量移动工件的预期位置和实际位置之间的微小差异。
幸运的是，已经有了一个解决方案：中图仪器激光干涉仪系统和定位误差补偿软件包配合使用。
需要测量的误差可能被认为很小，即微米左右，然而这种误差在一个轴上的累计结果可能会相当大。
使用激光干涉仪测量这些误差，并用补偿软件进行记录，可以轻松获取在轴上多点测量的误差表。
这些误差能够被转译成补偿值，控制器可在移动工件沿轴移动时使用这些补偿值。
中图仪器定位误差补偿软件作为标准校准软件提供。
软件提供“循序渐进”的用户界面，指导您完成误差补偿的各个步骤。
高精度传感器校准
只需要【线性测量光学镜组】。
用于精密透镜测量（直径）的极坐标测量系统
需要【线性测量光学镜组】和【固定90度转向镜】。
平面镜干涉测量法
面干涉镜使用平面镜而不是角锥反射镜返回测量光束测量线性位移。
平面镜的优势在于比中图仪器标准角锥反射镜重量轻，这就使得平面干涉镜适合于振动分析的应用场合。
另外，它允许测量光学镜组沿与测量方向成90度方向移动，因此非常适合测量XY坐标工作台。
小型光学镜组件
对于光学镜重量或尺寸可能影响机器动态性能或光学镜安装遇到困难的应用场合，中图仪器还提供小型光学镜组件，最大限度降低重量对机器动态性能的影响。
详见下图：
2.2.角度测量
与线性测量原理一样，角度测量需要角度干涉镜和角度反射镜，并且角度反射镜和角度干涉镜必须有一个相对旋转。
相对旋转后，会导致角度测量的两束光的光程差发生变化，而光程差的变化会被SJ6000激光干涉仪探测器探测出来，由软件将线性位置的变化转换为角度的变化显示出来。
水平轴
垂直轴
角度测量的应用
倾斜工作台/准直平台的测量/（切片机/校正机等）
XY工作台的俯仰（印刷电路板钻床、LCD校正机）
测量导轨在垂直方向上的直线度
角度反射镜记录下导轨在不同位置时的角度值，由软件分析出导轨的直线度信息。
2.3.直线度测量
SJ6000激光头出射后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束，并入射到直线度反射镜中。
经直线度反射镜反射后，沿着新光路返回到直线度干涉镜中，镜直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口，有光电探测器、分析器完成计数和测量。
在直线度测量过程中，可以由直线度干涉镜或者直线度反射镜运动所产生相对于运动轴的横向移动来进行测量，一般尽可能的采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动，这样操作有利于提高测量的准确性和精度。
直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量，这取决于
直线度干涉镜和反射镜安装的方法。
直线度测量应用
机器轴直线度误差的测量（数控机床、坐标测量机等）
由于导轨磨损、事故造成的导轨损坏以及地基不牢导致的导轨弯曲等，会对机器的定位、加工精度带来直接的影响。
直线度测量可以显示出机器导轨的弯曲或直线度的情况，并可由生成的直线度误差对机器的性能做出评价和补偿。
机器轴、直线导轨组件
当需要测量导轨较长时，传统的直角测量方法无法提供这样的测量长度和精度，测量时较重的角锥反射镜的移动可能会对测量的准确性产生影响，所有一般建议将质量较轻的直线度干涉镜作为移动部件。
机床工作台直线度测量
测量时，直线度反射镜固定在机床的工作台上，直线度干涉镜安装在移动的刀具位置，通过刀头的移动就可以记录下机床刀头的直线度。
2.4.垂直度测量
垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸，进行垂直度测量就是在同一基准上对
两个标称正交轴分别进行直线度的测量。
然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。
共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺用于至少一次测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。
垂直度测量应用
机器轴垂直度误差测量（数控机床、坐标测量机等）
垂直度测量通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的非直角度。
垂直度误差可能是导轨磨损、事故造成导轨损坏或机器地基差或龙门双驱动机器上的两原点传感器未准直造成的。
垂直度误差将对机器的定位精度及插补能力产生直接影响。
典型情况下对于超过1.5米长的机器轴，像使用激光干涉仪这样的光学方法是唯一的选择，因为传统的实物基准，如直角尺（金属或大理石等）的长度一般局限于1米的范围内。
X,Y轴垂直度对准
X,Y工作台和水平面垂直度测量光学镜组的设定如图所示。
不管是什么类型的XY平台，包括龙门型或者混合型或者其他类型的XY平台，无论是大型或者小型平台，重要的是有一个共同的参考基准，就如图中所示的直线度反射镜。
测量过程中直线度反射镜保持不动。
坐标测量机垂直度和水平轴之间的垂直度测量
对于涉及垂直轴的垂直度测量，需要额外的增加直线度的附件，主要包括一个将光束偏转90°的光束转向镜。
2.5.平面度测量
平面测量是在角度测量的基础上做的延伸，利用角度测量的附件记录下一系列平面位置角度，转化为高度的变化，按照对角线的方法测量出平台上不同位置的高度变化值，就可以得到整个平台的平面度。
测量一个平面的平面度，需要在平面上采集若干条测量直线，平面度测量有两种标准的方法：
2.6.回转轴测量
利用SJ6000激光干涉仪的角度测量附件，结合高精密零级多齿分度台，便可以对回转轴进行校准。
高精度零级多齿分度台可以旋转并锁定到0°到360°中72个位置中的任何一
个，每个位置的间隔为5°，定位误差在1″。
用激光头、角度干涉镜和角度反射镜测量转台的角度位置。
软件将转台的角度位置与来自激光头和角度光学镜的读数合并在一起，显示被校准轴的真实转角位置。
3.激光干涉仪可方便地安装在测长机上，取代原测长机的坐标系统，作为一般计量室中的长度基准。
4.激光干涉仪又是一种高精度的位移传感器，可直接安装于坐标镗、螺丝磨等精密机床及坐标测量机上作为坐标系统，使定位精度大为提高。
5.激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，仪器可按预定的间距自动完成检测和刻划工作。
6.激光干涉仪与圆分度器结合使用是一套高精度长度—角度比相计，可作为机床传动链，丝杆螺旋线等误差的测量系统。