清洁生产评价指标体系

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清洁生产的标准指标体系

清洁生产的标准指标体系

清洁生产的标准指标体系清洁生产是指在生产过程中,通过优化资源利用、减少污染排放、提高能源利用效率等措施,实现生产过程的清洁化、高效化和循环化。

清洁生产的实施可以有效减少资源消耗和环境污染,提高企业的经济效益和社会效益。

为了评价企业的清洁生产水平,制定了一套清洁生产的标准指标体系。

清洁生产的标准指标体系主要包括以下几个方面:1. 资源利用效率。

资源利用效率是评价清洁生产水平的重要指标之一。

包括原材料利用率、水资源利用率、能源利用率等。

企业在生产过程中应当尽量减少资源的浪费,提高资源的利用效率,降低生产成本,减少对环境的影响。

2. 污染物排放。

污染物排放是清洁生产评价的关键指标之一。

包括大气污染物排放、水污染物排放、固体废物排放等。

企业应当采取有效的措施,减少污染物的排放,保护环境,减少对周围居民的影响。

3. 产品质量。

产品质量是企业的生命线,也是清洁生产的重要内容之一。

企业应当不断提高产品的质量,降低产品的缺陷率,提高产品的使用寿命,减少对环境的影响。

4. 能源消耗。

能源消耗是评价清洁生产水平的重要指标之一。

企业应当采取有效的措施,降低能源的消耗,提高能源的利用效率,减少对环境的影响。

5. 环境管理。

环境管理是企业实施清洁生产的重要保障。

企业应当建立健全的环境管理体系,加强环境监测和环境治理,保护环境,减少对环境的影响。

综上所述,清洁生产的标准指标体系涵盖了资源利用效率、污染物排放、产品质量、能源消耗和环境管理等方面,是评价企业清洁生产水平的重要依据。

企业应当按照这些指标,不断改进生产工艺,提高清洁生产水平,实现可持续发展的目标。

国家已公布的行业清洁生产评价指标体系

国家已公布的行业清洁生产评价指标体系

国家已公布的行业清洁生产评价指标体系行业清洁生产评价指标体系是国家用来评估不同行业在生产过程中对环境影响的一套标准和指标。

这些指标体系的目的是促进企业采取更加环保的生产方法,减少对环境的破坏,提高资源利用效率。

以下是国家已公布的行业清洁生产评价指标体系的相关内容。

首先,行业清洁生产评价指标体系包括企业的技术水平、资源利用状况、环境管理等多个方面。

其中,技术水平是评价企业清洁生产能力的重要指标之一、评价技术水平主要从两个方面考虑,一是企业采用的先进清洁生产技术和装备,二是企业的技术创新能力。

这些指标可以通过企业的专利申请数量、环保设备的安装和更新情况、清洁生产技术的应用程度等方式进行评估。

其次,资源利用状况也是行业清洁生产评价的重要指标。

资源利用状况主要包括能源利用效率、水资源利用和废弃物处理等方面。

评价能源利用效率可以从企业的能源消耗总量和产值之比、能源利用优化程度等方面考虑。

评价水资源利用可以从水耗量、水资源回收利用情况等方面进行评估。

评价废弃物处理可以从废弃物的产生量、处理方式和效果等方面考虑。

另外,环境管理也是行业清洁生产评价指标体系的一部分。

环境管理主要包括企业对环境保护的管理和控制措施。

评价环境管理可以从环境保护设施的安装和运营情况、环境监测和排放控制等方面进行评估。

此外,企业的环境管理制度和环境风险管理体系的完善程度也是评价环境管理的重要指标。

此外,行业清洁生产评价指标体系还可以考虑其他方面的指标,如企业的社会责任、员工的环保意识和涉及应对气候变化的指标等。

评价企业的社会责任可以从企业参与公益活动的情况、员工参与环境保护的行为等方面进行评估。

评价员工的环保意识可以从员工参与环境培训和环保知识普及的情况、员工对环境保护的关注程度等方面考虑。

评价涉及应对气候变化的指标可以从企业的碳排放量、能源消耗和应对气候变化的措施等方面进行评估。

综上所述,国家已公布的行业清洁生产评价指标体系是一套多方面的标准和指标,旨在促进企业采取更加环保的生产方法,减少对环境的破坏,提高资源利用效率。

清洁生产评价指标体系汇总

清洁生产评价指标体系汇总

清洁生产评价指标体系汇总清洁生产是指在生产过程中,通过改进工艺、技术和管理,最大限度地减少资源消耗、能源消耗和环境污染,实现生产过程的清洁、高效和可持续发展。

为了对清洁生产进行评价,需要建立一个科学、全面和可操作的指标体系。

下面是一个常见的清洁生产评价指标体系的汇总。

1.资源消耗指标:-物质消耗:包括原料、水等材料的消耗量。

-能源消耗:包括电力、油气等能源的消耗量。

-水消耗:包括用水量和污水排放量。

2.环境污染指标:-废水排放:包括COD、BOD等污染物的排放浓度。

-废气排放:包括颗粒物、SOx、NOx等污染物的排放浓度。

-固体废弃物排放:包括废弃物的产生量和处置方式。

-噪声污染:包括噪声的分贝值和持续时间。

3.清洁生产措施实施情况:-环保投入:包括环保设施建设和管理所需的投入。

-污染防治措施:包括废水、废气和固体废弃物的处理措施。

-节能措施:包括采用高效节能设备和工艺的情况。

-环境管理系统:包括是否建立环境管理体系和遵守相关环境法规等情况。

4.经济效益指标:-生产成本:包括原材料、能源和人工成本。

-资源利用效率:包括原材料和能源利用效率。

-生产能力:包括产能利用率和产出量。

5.社会效益指标:-员工健康安全:包括工作环境和个人防护设备。

-社会责任履行情况:包括企业的社会责任和公益活动。

-产业链影响:包括对供应商和顾客的影响。

以上只是一个常见的清洁生产评价指标体系的汇总,实际应用中还可以根据具体行业和企业的情况进行适当的调整和补充。

同时,在进行清洁生产评价时,还应考虑到区域环境的特点和政策法规的要求,以便更好地指导企业的实践和优化生产过程。

清洁生产标准与评价指标体系

清洁生产标准与评价指标体系

清洁生产标准与评价指标体系首先,清洁生产标准体系包括技术标准、管理标准和制度标准。

技术标准是指对生产过程中使用的设备、工艺和材料的要求,以减少污染物和废弃物的产生,降低资源的消耗。

管理标准是指对企业内部管理、员工培训和环境监测等方面的要求,以确保清洁生产的实施和持续改进。

制度标准是指对政府、企业和社会组织之间合作和监督的要求,以促进清洁生产政策的贯彻落实。

其次,清洁生产评价指标体系包括环境效益、经济效益和社会效益。

环境效益是指通过清洁生产实施所达到的环境保护和资源节约的程度,通常以减少污染物排放、减少资源消耗和提高生产效率为指标。

经济效益是指通过清洁生产实施所达到的生产成本降低和市场竞争力提高的程度,通常以降低生产成本、增加企业利润和挖掘市场潜力为指标。

社会效益是指通过清洁生产实施所带来的员工健康和企业形象提升的程度,通常以提高员工生活质量和增强企业社会责任为指标。

最后,清洁生产标准与评价指标体系的建立和实施有利于实现环境保护、资源节约和可持续发展的目标。

政府、企业和社会组织可以根据这套体系,制定清洁生产政策和措施,指导企业进行清洁生产实施和评价,推动清洁生产的发展和推广。

同时,这套体系也可以为国际间的清洁生产交流、合作和认证提供参考和依据,促进全球环境保护和经济发展的协调推进。

清洁生产标准与评价指标体系的建立与实施,是实现环境、经济与社会协调发展的必然要求。

在这一体系下,各行业和企业可以根据自身情况,结合清洁生产的技术、管理和制度标准,制定并实施相应的清洁生产计划,以促进资源的有效利用、污染的减少和经济效益的增加。

在技术标准方面,清洁生产要求企业采用先进的生产设备和技术,减少对环境的影响。

例如,通过采用高效节能的设备和工艺、有效的污染物治理技术,可以减少能源消耗和污染物排放。

同时,企业要进行原材料的替代和资源的循环利用,降低生产过程中的废弃物产生,实现资源的有效利用。

在管理标准方面,清洁生产要求企业建立科学的生产管理体系,推动员工参与、培训和监测等方面的改进。

清洁生产标准与评价指标体系

清洁生产标准与评价指标体系

清洁生产标准与评价指标体系1. 引言清洁生产是一种以可持续发展为核心的生产方式,旨在最大程度地减少资源的消耗和环境的污染。

为了评估企业的清洁生产水平,建立起一套标准与评价指标体系是必不可少的。

2. 清洁生产标准的定义清洁生产标准是指企业在生产过程中所应遵循的一系列规范和要求,以实现环境友好和可持续发展。

这些标准可以涉及产品的设计、生产工艺、能源利用、废弃物管理等方面。

3. 清洁生产评价指标体系的构建3.1 指标体系的层次结构清洁生产评价指标体系应当具备一定的层次结构,以便于不同层次的指标之间的关联和衡量。

一般来说,指标体系可以划分为经济、环境和社会三个层次。

3.2 经济层面的指标在经济层面,清洁生产评价指标体系可以包括以下方面的指标:•生产成本:衡量清洁生产所需的成本是否低于传统生产方式;•利润率:衡量清洁生产是否对企业的经济利益产生正面影响;•资源利用效率:衡量清洁生产是否能够有效地利用资源。

3.3 环境层面的指标在环境层面,清洁生产评价指标体系可以包括以下方面的指标:•能源消耗:衡量清洁生产是否能够减少能源的使用;•水资源消耗:衡量清洁生产是否能够减少水资源的使用;•废物排放:衡量清洁生产是否能够减少废物的产生和排放。

3.4 社会层面的指标在社会层面,清洁生产评价指标体系可以包括以下方面的指标:•员工福利:衡量清洁生产对员工的福利和生活质量是否有积极影响;•社区影响:衡量清洁生产对周边社区的积极影响。

4. 清洁生产评价指标的权重分配为了能够在评价过程中给予各个指标以适当的权重,需要对指标进行权重分配。

权重分配可以通过各种方法来完成,例如专家问卷调查、层次分析法等。

5. 清洁生产评价的实施方法清洁生产评价可以通过多种方法来实施,例如:•数据收集与分析:对企业的生产数据进行收集和分析,以评估清洁生产的水平;•现场考察与检查:对企业的生产现场进行考察和检查,以了解清洁生产的实施情况;•可持续发展报告:定期发布可持续发展报告,向社会公众披露企业的清洁生产情况。

清洁生产标准指标体系

清洁生产标准指标体系

清洁生产标准指标体系清洁生产是指在生产过程中,通过技术、管理和制度等手段,减少资源消耗和环境污染,达到经济效益、社会效益和环境效益的综合目标。

清洁生产标准指标体系是评价企业清洁生产水平的重要依据,其建立和完善对于推动企业实施清洁生产具有重要意义。

一、资源利用指标。

资源利用是评价企业清洁生产水平的重要方面,主要包括原料利用率、能源利用率和水资源利用率等指标。

原料利用率是指在生产过程中,企业对原料的利用效率,高效利用原料可以减少资源消耗和减少废弃物排放。

能源利用率是指企业生产过程中对能源的利用效率,采用高效节能技术可以减少能源消耗和减少对环境的影响。

水资源利用率是指企业对水资源的利用效率,合理利用水资源可以减少水资源的浪费和减少水污染。

二、环境排放指标。

环境排放是评价企业清洁生产水平的重要方面,主要包括废气排放、废水排放和固体废物排放等指标。

废气排放是指企业生产过程中产生的废气排放情况,采用清洁生产技术可以减少废气排放和减少大气污染。

废水排放是指企业生产过程中产生的废水排放情况,采用清洁生产技术可以减少废水排放和减少水污染。

固体废物排放是指企业生产过程中产生的固体废物排放情况,采用清洁生产技术可以减少固体废物排放和减少土壤污染。

三、生产过程指标。

生产过程是评价企业清洁生产水平的重要方面,主要包括生产工艺、生产设备和生产管理等指标。

生产工艺是指企业生产过程中采用的生产工艺技术,采用清洁生产工艺可以减少资源消耗和减少环境污染。

生产设备是指企业生产过程中采用的生产设备情况,更新换代生产设备可以提高生产效率和减少能源消耗。

生产管理是指企业生产过程中采用的生产管理制度,建立健全的生产管理制度可以提高生产效率和减少环境污染。

四、社会责任指标。

社会责任是评价企业清洁生产水平的重要方面,主要包括员工福利、社会公益和环境保护等指标。

员工福利是指企业对员工的关爱和福利待遇,关注员工的身心健康可以提高员工的生产积极性和减少员工的流失率。

清洁生产评价指标体系

清洁生产评价指标体系

清洁生产评价指标体系首先,清洁生产评价指标体系应包括资源利用效率指标。

这包括了原材料利用率、能源利用率、水资源利用率等指标,用来衡量企业在生产过程中的资源利用效率。

资源利utilization率是衡量清洁生产水平的重要标志,高资源利用率可以减少资源的浪费,同时也能减少对环境的影响。

其次,环境污染物排放指标也是清洁生产评价指标体系的重要组成部分。

包括了大气污染物排放量、水污染物排放量、固体废弃物排放量等指标,用来衡量企业在生产过程中对环境的污染程度。

减少污染物的排放是清洁生产的核心目标之一。

此外,清洁生产评价指标体系还应包括了社会责任指标。

这包括了企业对员工的关爱程度、对社区的贡献程度以及对消费者的安全保障等指标,用来衡量企业在生产过程中的社会责任感。

最后,清洁生产评价指标体系还应包括了经济效益指标。

这包括了企业的生产成本、产品质量、市场竞争力等指标,用来衡量企业在实施清洁生产措施后的经济效益。

因此,清洁生产评价指标体系需要全面而系统地考量资源利用效率、环境污染物排放、社会责任和经济效益等多个方面。

只有通过科学的评价指标体系,才能准确地反映企业清洁生产的水平,促进企业不断提升清洁生产水平,实现可持续发展目标。

清洁生产评价指标体系是一个综合性的评价工具,它旨在评估企业在生产活动中对资源的利用、环境污染和社会责任等方面的表现,并对企业的经济效益进行评估。

清洁生产评价指标体系不仅能够为企业提供改进的方向,还能够帮助政府和监管部门监督企业的生产活动,促进产业结构的优化和可持续发展。

在资源利用效率指标方面,企业的原材料利用率是一个重要的衡量指标。

该指标可以通过比较企业的用料量和产出量来评估企业的原材料利用效率。

另外,企业的能源利用率也是一个重要的指标,它可以通过比较企业的用能量和产出量来评估企业的能源利用效率。

水资源利用率也是一个重要的指标,它可以通过比较企业的用水量和产出量来评估企业的水资源利用效率。

优化资源利用效率不仅有利于降低企业成本,还能够减少对环境的影响,实现资源节约和循环利用的目标。

清洁生产指标体系及其评价

清洁生产指标体系及其评价

清洁生产指标体系及其评价清洁生产是指通过降低资源消耗和环境污染来提高生产过程的效率和可持续性。

清洁生产指标体系是对清洁生产进行评价和监控的一套指标体系,能够全面反映生产过程中的资源利用效率、环境影响和经济效益等方面的情况。

以下是清洁生产指标体系及其评价的内容。

一、清洁生产指标体系1.资源利用效率指标-能耗指标:反映生产过程中单位产品所需的能源消耗情况,如千克标准煤消耗量。

-物耗指标:反映生产过程中单位产品所需的原材料消耗情况,如吨原材料消耗量。

-水耗指标:反映生产过程中单位产品所需的水资源消耗情况,如立方米水耗量。

-资源利用率指标:反映生产过程中资源的利用效率,如单位产品产值所需的资源投入。

2.环境影响指标-废物排放指标:反映生产过程中废物的排放情况,如废水排放量、废气排放量、固体废物产生量等。

-污染物排放指标:反映生产过程中污染物的排放情况,如二氧化碳排放量、硫化物排放量、氮氧化物排放量等。

-生态破坏指标:反映生产过程中对生态环境的破坏程度,如土地利用变化、生物多样性损失等。

3.经济效益指标-能源成本指标:反映生产过程中能源成本占总成本的比重,如能源成本占比。

-原材料成本指标:反映生产过程中原材料成本占总成本的比重,如原材料成本占比。

-环境治理成本指标:反映生产过程中环境治理成本占总成本的比重,如环境治理成本占比。

-经济效益指标:反映清洁生产对企业经济效益的影响,如销售收入、利润等。

二、清洁生产指标评价1.数据收集:收集企业生产过程中的各项数据,包括资源利用情况、环境影响情况和经济效益情况。

2.指标计算:根据收集到的数据,计算出各个指标的数值,反映清洁生产的状况。

3.指标分析:对计算得到的指标进行分析,判断清洁生产的效果和存在的问题,并确定改进措施。

4.指标比较:将企业的指标与行业标准或其他企业进行比较,以评价企业在清洁生产方面的竞争力和领先程度。

5.绩效评价:综合考虑各个指标的数值和比较结果,对企业的清洁生产绩效进行评价,确定奖惩措施和激励机制。

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Cleaner production assessment indicator system Integrated circuitsmanufacturing industry清洁生产评价指标体系集成电路制造业(标准送审稿)编制说明标准编制组2017年4月目录1 任务来源、起草单位、编制组成员单位与主要起草人 (1)2 集成电路制造业概况 (1)2.1集成电路制造业生产概况 (2)2.2集成电路制造业生产工艺 (5)2.3集成电路制造业能源与水消耗及产排污分析 (6)3 制定标准的必要性和意义 (8)4 主要起草过程 (10)5 制定标准的原则和依据,与现行法律、法规、标准的关系 (13)6 主要条款的说明,主要技术指标、参数、试验验证的论述 (17)6.1范围 (17)6.2规范性引用文件 (17)6.3术语和定义 (18)6.4评价指标体系 (20)6.5评价方法 (25)6.6指标解释与数据采集 (32)7 重大意见分歧的处理依据和结果 (35)8 作为推荐性标准或者强制性标准的建议及其理由 (35)9 指标体系实施可行性分析 (36)9.1技术可行性分析 (36)9.2经济可行性分析 (36)9.3实施可行性分析 (37)10 实施标准的措施建议 (37)11 其他应说明的事项 (37)1 任务来源、起草单位、编制组成员单位与主要起草人北京市政府于2014年2月8日制定出台了《北京市进一步促进软件产业和集成电路产业发展的若干政策》(京政发[2014] 6号),支持高端集成电路生产性项目建设。

为促进产业绿色清洁生产,北京市政府于2015年10月19日发布了《北京市推进节能低碳和循环经济标准化工作实施方案(2015—2022年)》(京政办发[2015] 47号),由于集成电路制造业具有能源消耗量大、污染物种类繁多的特点,本标准被列为工业领域节能低碳与循环经济标准化工作的重点之一。

北京市经济和信息化委员会作为本项目的主管部门,下达标准制定任务,由中国航空综合技术研究所负责标准制定工作。

本标准的主要起草单位为中国航空综合技术研究所。

本标准编制组其它成员单位为北京市主要集成电路芯片制造企业、集成电路封装企业和相关科研院所,包括中国科学院微电子研究所、中芯北方集成电路制造(北京)有限公司、北京燕东微电子有限公司、中国航天北京微电子技术研究所、威讯联合半导体(北京)有限公司、瑞萨半导体(北京)有限公司、北京首钢微电子有限公司、北京市华芯微半导体有限公司、北京飞宇微电子有限责任公司。

本标准的主要起草人是贾爱娟、刘波林、李亚健、徐桢梓、蔺增金、赵元闯、赵晓农、魏会敏、修文华、徐伯珺、张宏涛、刘洋等。

2 集成电路制造业概况根据《国民经济行业分类》(GB/T 4754),集成电路制造业属于计算机、通信和其他电子设备制造业下的电子器件制造业,行业代码为3963。

集成电路制造业产业链包括芯片制造和集成电路封装, 芯片制造主要是根据设计企业下发的订单进行生产;集成电路封装主要是将集成电路芯片切割分片,通过一定工艺完成封装,位于产业链的下游。

2.1 集成电路制造业生产概况(1)集成电路芯片制造业生产概况2015年,全球集成电路芯片总产能为1635万片/月,其中,前十大厂商产能共计1173.7万片/月(截至2015年底)。

在前十大芯片制造厂商中,总部位于美国的有4家,来自韩国与台湾的分别有2家,日本与欧洲各1家,产能数据如图2-1所示。

当前全球芯片制造业呈现出由西向东转移的趋势,我国大陆地区集成电路芯片制造业在技术和规模上都取得了较快发展,目前集成电路芯片制造企业主要集中在长三角地区(上海、江苏、浙江)、珠三角地区(深圳、珠海、福建)、环渤海地区(北京、天津、大连)及中西部地区(武汉、成都、重庆、西安)等,截止2014年底,集成电路芯片生产线总产能达到241万片/月,其中12英寸月产能为50.5万片,8英寸月产能为76.6万片,6英寸月产能为73.5万片,5英寸月产能为19万片,4英寸月产能为21.4万片。

以中芯国际、华虹宏力、华力微电子、华润微电子为代表的本土集成电路芯片制造企业正迅速崛起,在技术上取得了重大突破,目前国内12英寸生产线技术水平达65-40-28nm,8英寸生产线技术水平达0.25-0.18-0.13-0.11μm,6英寸生产线技术水平达1.0-0.8-0.35μm。

图2-1 2015年全球前十芯片制造商产能目前北京共有中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、中芯北方集成电路制造(北京)有限公司、北京燕东微电子有限公司、中国航天北京微电子技术研究所等集成电路芯片制造企业,已形成多条集成电路芯片生产线,其中中芯国际(北京)拥有月产能3万片的12英寸芯片生产线,中芯北方拥有两条月产3.5万片的12英寸生产线;燕东微电子拥有一条月产3万片的6英寸生产线,目前正在新建一条月产5万片的8英寸生产线;航天微电子拥有4英寸生产线,此外部分高校和科研机构也拥有集成电路芯片生产的中试线,产能较少,如中科院微电子所等。

以中芯国际(北京)和中芯北方为代表的集成电路芯片制造企业在技术上与国际先进水平逐渐缩短,12英寸集成电路芯片生产线上生产技术主要采用65~20nm制程技术,工艺技术采用了多项革命性的新技术。

除了晶片的尺寸增大外,在各项工艺技术上都进行了很多新的改革和技术升级。

(2)集成电路封装业生产概况与集成电路芯片制造业相比,集成电路封装测试业技术难度相对较低,除了发达国家,发展中国家也大力发展集成电路封装产业,全球半导体封装厂前20家企业主要集中在东南亚,其中,中国内地占8家。

2015年,我国的集成电路封装测试业在现有集成电路产业产业结构中占比最大,销售额达到1384亿元,占我国集成电路产业总销售额的38.3%。

从地域分布上来看,目前我国封装测试业已形成了长三角、环渤海、珠三角、中西部地区等主要区域。

其中,长电科技、华天科技、南通富士通为代表的企业在封装测试技术领域已经逐步接近甚至超过国际先进水平,获得海外客户的一致认可。

目前,北京市规模较大的封装企业有威讯联合半导体(北京)有限公司、瑞萨半导体(北京)有限公司,其中威讯联合2015年产量约为32亿颗,瑞萨半导体最大月产能为1亿片。

多年来,威讯联合与瑞萨半导体两家企业一贯采用国际先进的封装技术和设备,具有较高的产品可靠性,受到国际客户的广泛认可,因此这两家企业一直稳居国内十大封装测试企业。

首钢微电子自更名后,前工序停产,目前专注于集成电路的封装、测试业务。

此外,航天微电子、华芯微半导体、飞宇微电子等企业也从事集成电路封装测试工作,目前也取得了较大的技术突破,进入规模量产阶段。

“十二五”期间,北京市集成电路封装企业在封装工艺、材料和设备研发及产业化方面取得了良好的发展,产学研用与供应链各环节之间的联系进一步增强,创新体系与创新效果大为改善,进一步推动了北京市集成电路行业发展。

2.2 集成电路制造业生产工艺(1)集成电路芯片制造工艺集成电路芯片制造工艺精密复杂,针对不同企业、不同尺寸的产品也有所不同,但主要工艺包括硅片切割、研磨、清洗、热氧化、均胶、光刻、显影、刻蚀(包括干法刻蚀和湿法刻蚀)、扩散/离子注入、气相沉积(包括物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD))、金属化、化学机械抛光(CMP)等,这些工序反复交叉,包括检测和测试在内工艺步数达到800~1000,甚至更多。

硅片切割研磨清洗热氧化均胶光刻显影刻蚀扩散/离子注入气相沉积金属化化学机械抛光(CMP)图2-2 集成电路芯片制造工艺(2)集成电路封装工艺集成电路封装工艺针对不同企业和产品也有所不同,典型的封装工艺主要包括装配、键合和塑封等核心工序,涉及到粘膜、背面减薄、切片/清洗、粘片、焊线、键合、塑封/固化、打印/切筋、去毛边、引线电镀、成型、测试和包装等环节。

粘膜背面减薄切片/清洗粘片焊线塑封/固化打印/切筋去毛边成型测试包装键合引线电镀图 2-3 集成电路封装工艺2.3 集成电路制造业能源与水消耗及产排污分析(1)集成电路芯片制造业能源与水消耗及产排污分析① 能源与水消耗分析集成电路芯片制造工艺精密复杂,对于生产车间环境要求极高,其生产过程中对环境的洁净度和动力供应的稳定性依赖极高,对于温湿度的控制要求极为严格,并且在工艺中使用了大量的新鲜水,因而对于能源和水的消耗量很大。

其中,主要消耗能源包括电力、热力、蒸汽、天然气等,水消耗一般包括新鲜水和再生水。

② 产排污分析集成电路芯片制造工艺中,使用了大量有毒有害化学品,根据芯片制造工序物料平衡图2-4,制造工序中使用了大量固体药品、气体药剂和液体药品,加之在工艺中需要大量的超纯水清洗,因此产生了大量的工艺废水、废气和固体废弃物。

其中,废水主要为超纯水清洗芯片、去光刻胶及蚀刻等程序所排出的废液,包括含氟废水、有机废水以及部分酸碱废水等。

废气来源于工序中使用的酸碱物质、有机溶剂和毒性气体,几乎所有环节都可能是空气污染源,废气主要包括有机废气、酸碱废气和有毒废气。

硅片投入芯片集成电路芯片制造工序固体药品液体药品气体药剂纯水废弃硅片酸性废水含氟废水有机废水有机废气酸碱废气有毒废气图2-4 典型集成电路芯片制造工序物料平衡图(2)集成电路封装业能源与水消耗及产排污分析① 能源与水消耗分析集成电路封装业在生产过程中对于环境的要求也非常严格,其生产过程中对环境的洁净度和动力供应的稳定性同样极其依赖,对于温湿度的控制要求极为严格,并且在工艺中使用了大量的新鲜水,因而对于能源和水的消耗量很大。

其中,主要消耗能源包括电力、热力、蒸汽、天然气等,水消耗一般包括新鲜水和再生水。

② 产排污分析集成电路封装工艺中,主要污染源为切割、电镀、浸锡、清洗等废水。

根据封装工序物料平衡图2-5,工序中使用了固体药品、液体药品、银浆、金线、银线、树脂、锡球、框架等原辅料,最终产生了大量废水、废气和固体废弃物。

其中,废水包括切割/研磨废液、电镀废液、浸锡废液、清洗废液以及纯水设备再生废液,污染物主要包括有机物、金属离子、氟化物及酸碱物质等。

废气主要包括酸碱废气、有机废气及部分粉尘。

芯片投入成品电路封装工序纯水固体药品液体药品银浆金线银线树脂锡球框架废芯片废水废气废化学药品废树脂废框架废银浆废锡球图2-5 典型集成电路封装工序物料平衡图3 制定标准的必要性和意义(1)集成电路制造业是北京市未来发展的重点。

集成电路制造业是关系国民经济和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业,是信息产业发展的核心和关键。

集成电路产业已被北京市政府列为今后重点发展的8大高精尖产业之一,为促进软件产业和集成电路产业的新发展,北京市政府于2014年2月8日制定出台了《北京市进一步促进软件产业和集成电路产业发展的若干政策》(京政发[2014] 6号),重点支持特色工艺芯片制造生产线和高端集成电封装测试生产线等集成电路产业重大投资项目。

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