《电容式传感器的工作原理及其在压力测量中的应用》
电容式传感器的工作原理
电容式传感器的工作原理
首先，我们来了解一下电容的基本概念。
电容是指导体之间存储电荷的能力，
通常用C来表示，单位是法拉（F）。
电容的大小与导体间的距离和导体形状有关，可以用以下公式表示：
C = ε0 εr A / d。
其中，C为电容，ε0为真空中的介电常数（8.85×10^-12 F/m），εr为介质
的相对介电常数，A为导体间的有效面积，d为导体间的距离。
由此可见，电容与
导体间的距离和介质的介电常数密切相关。
在电容式传感器中，通常会有两个导体或电极，它们之间会形成一个电容。
当
目标物体靠近或远离电容式传感器时，导体间的距离会发生变化，从而导致电容的大小发生变化。
这种变化可以通过电路进行检测和测量，进而得到目标物体的信息。
电容式传感器可以应用于各种领域，如工业自动化、汽车制造、医疗设备等。
以工业自动化为例，电容式传感器可以用于检测物体的位置和形状，从而实现自动化生产线的控制和监测。
在汽车制造中，电容式传感器可以用于检测车辆的液位、压力等信息，保障车辆的安全和稳定运行。
在医疗设备中，电容式传感器可以用于监测患者的呼吸、心跳等生理参数，为医生提供诊断和治疗的依据。
总之，电容式传感器利用电容的变化来检测目标物体的信息，其工作原理基于
电容与距离、介质的关系。
通过合理设计电路和信号处理方法，可以实现对目标物体的准确检测和测量。
电容式传感器在工业、汽车、医疗等领域有着广泛的应用前景，将为各行业带来更高效、更安全、更便捷的解决方案。
电容式压力传感器
电容式压力传感器首先，我们来了解一下电容式压力传感器的工作原理。
电容式压力传感器通常由两个金属电极和一个介质组成。
当介质受到压力作用时，介质的形变会导致电容的变化，进而改变传感器的输出信号。
通过测量电容的变化，就可以得到介质受到的压力大小。
这种测量原理使得电容式压力传感器具有了很高的灵敏度和精度，能够满足对压力测量的精确要求。
其次，电容式压力传感器具有很高的响应速度。
由于电容的变化是瞬时的，因此传感器对压力的变化能够迅速做出响应，这使得电容式压力传感器在需要快速测量压力的场合中表现出色。
比如在汽车制动系统中，需要对制动液压力进行快速准确的测量，电容式压力传感器就能够胜任这样的任务。
另外，电容式压力传感器还具有很高的稳定性和可靠性。
由于其结构简单、工作原理清晰，因此传感器在长期使用过程中能够保持良好的性能，不易出现故障。
这使得电容式压力传感器在工业生产中得到了广泛的应用，比如在注塑机、冲压机等设备中，都需要对压力进行实时监测，而电容式压力传感器能够稳定可靠地完成这样的任务。
此外，电容式压力传感器还具有很高的适应性。
它可以适用于各种介质的压力测量，比如液体、气体等，而且可以适应不同的工作环境，比如高温、高压等。
这使得电容式压力传感器在航空航天、石油化工等领域中得到了广泛的应用，满足了不同场合对压力测量的需求。
总的来说，电容式压力传感器具有很高的灵敏度、响应速度、稳定性和适应性，能够满足各种工业生产、汽车制造、航空航天等领域对压力测量的需求。
随着科技的不断进步，电容式压力传感器的性能还将不断提升，应用范围也将进一步扩大。
相信在未来的发展中，电容式压力传感器将会发挥更加重要的作用，为各行各业的发展做出更大的贡献。
《电容式传感器的工作原理及其在压力测量中的应用》讲解
c A 0r A dd
图 1：平行板电容器 ε为电容极板间介质的介电常数, ε0 =8.83×10-12F／m,其中ε0 为真空介电常数, εr 为极板间介质相对介电常数; A 为两平行板所覆盖的面积; d 为两平行板之间的 距离。 当被测参数变化使得上式中的 A，d 或ε发生变化时, 电容量 C 也随之变化。如 果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电 容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。电容式传感器可以分为三种类型： 变间隙式、变面积式和变介电常数式。
电容量也不同，变介电常数式电容式传感器就是依据此原理制作的。 如图 6 是变变介电常数电容传感器原理图。
图6 当在电容器两个极板之间充以空气以外的其他介质时，介电常数相应变化，电容量发 生改变，构成了变介电常数型电容传感器。 变介电常数电容传感器的结构较多，其中有利用一些非导电固体的湿度变化，介质自 身介电常数变化的电容传感器，可以用来测量粮食、纺织品、木材、煤炭等物质的湿度。
In all types of capacitive sensors as the sensor capacitor element, the sensor element by changes in the measured physical quantity as a change in capacitance is converted, after measuring circuit into a voltage, current or frequency. Capacitive sensors are widely used in displacement, vibration, angle, acceleration and other mechanical measurement of the amount, also applies pressure, differential pressure, level, level and other thermal processing of the measurement. This paper describes the working principle of the capacitive sensor and its application in pressure measurement. Keywords: capacitive pressure sensor measurement applications development works 1.引言
压力传感器测量原理
压力传感器测量原理
压力传感器是一种用来测量物体受到的压力大小的装置。
其工作原理通常基于压力对挠性零件的变形产生影响，进而通过检测变形量来确定压力的大小。
常见的压力传感器原理有以下几种：
1. 应变片原理：压力传感器中的应变片通常由金属薄片组成，当受到外部压力作用时，应变片会发生微小的形变。
这种形变会引起应变片上的电阻值发生变化，传感器测量电路能通过测量电阻的变化来识别压力的大小。
2. 电容原理：电容式压力传感器中的感应电极和固定电极之间的距离与介质的压力大小成反比。
当介质压力改变时，感应电极与固定电极之间的距离发生变化，进而改变了电容值。
通过测量电容值的变化，传感器可以确定压力的大小。
3. 压阻原理：压阻式压力传感器通常采用一种感应材料，当受到压力作用时，该材料的电阻值会发生变化。
通过测量材料电阻的变化，传感器可以获得被测物体的压力信息。
4. 谐振频率原理：谐振频率型压力传感器利用谐振腔体的固有频率与被测介质的压力相关联的特性。
当介质压力改变时，谐振腔体的固有频率也会发生变化。
通过测量固有频率的改变，传感器可以确定被测物体的压力大小。
以上是压力传感器常用的几种原理，不同原理的压力传感器适用于不同的应用场景。
电容式传感器原理与应用
电容传感器电容式传感器广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，且逐步应用于压力、压差、液面等方面的测量。
本章着重介绍电容式传感器的结构原理及结构形式，讨论电容式传感器的测量电路、影响电容式传感器精度的因素及提高精度的措施。
要求初步掌握电容式传感器的原理及应用一、 电容传感器的工作原理及输出特性工作原理：由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为由平板电容公式：d Sd SC 0r εεε==可知：当d ，S 和r ε中的某一项或某几项有变化时，就改变了电容C 。
在交流工作时，改变C 就相当于改变了容抗X C ，从而使输出电压或电流发生变化。
d 和S 的变化可以反映线位移或角位移的变化，也可以间接反映弹力、压力等的变化；r ε的变化，则可以反映液面的高度、材料的温度等的变化。
二、电容式传感器的结构形式结构类型：改变极板距离d 的变间隙式，改变极板面积S 的变面积式，改变介电常数r ε的变介电常数式。
三、 电容式传感器的特性1．变间隙式电容增大S 和减小d 均可提高传感器的灵敏度。
2. 变面积式电容传感器太大，极板的另一边长a 不宜过小，否则会因边缘电场影响的增加而影响线性特性。
3．变介电常数式电容传感器当电容式传感器中的电介质改变时，其介电常数变化，从而引起了电容量发生变化如图：B AC C C +=4．差动电容传感器在实际应用中，为了提高传感器的灵敏度，常常做成差动形式。
5．电容传感器的性能改善（1）静电击穿问题应对办法：为防止击穿，通常在两极板间再附加一层云母或塑料薄片（2）边缘效应应对办法：增设防护电极，如图3-8（3）寄生电容。
产生原因；电容式传感器除了极板间的电容外，极板还可能与周围物体（包括仪器中的各种元件甚至人体）之间产生电容联系，这种电容称为寄生电容。
应对办法：对传感器进行静电屏蔽，即将电容器极板放置在金属壳体内，并将壳体良好接地。
电容式传感器原理及其应用PPT课件
2.1 变面积式电容传感器
变面积式电容式传感器通常分为线位移型 和角位移型两大类。
〔1〕线位移变面积型
常用的线位移变面积型电容式传感器可分 为平面线位移型和柱面线位移型两种结 构。
➢ 对于平板状结构，在图4-2〔a〕中，两极板有效覆盖面积就发生变化，电容 量也随之改变，其值为：
➢
➢ 式中，
，为初始电容值。
➢ 当电容式传感器的电介质改变时，其介电常数变化， 也会引起电容量发生变化。
➢ 变介电常数式电容传感器就是通过介质的改变来实 现对被测量的检测，并通过传感器的电容量的变化 反映出来。它通常可以分为柱式和平板式两种，如 下图。
〔a〕柱式
〔b〕平板式
变介电常数式电容传感器
➢ 变介电常数式电容传感器的两极板间假设存在导电 物质，还应该在极板外表涂上绝缘层，防止极板短 路，如涂上聚四氟乙烯薄膜。
➢ 电桥的输出电压为：
2.2 变压器电桥电路
电容式传感器接入变压器电桥测量电路如下图，它可 分为单臂接法和差动接法两种。
〔a〕单臂接法
〔b〕差动接法
〔1〕单臂接法
图4-8(a)所示为单臂接法的变压器桥式测量电路，高 频电源经变压器接到电容桥的一个对角线上，电容 构成电桥的四个臂，其中 为电容传感器。
〔a〕电容器的边缘效应
〔b〕带有等位环的平板式电容器
图4-14 等位环消除电容边缘效应原理图
〔2〕保证绝缘材料的绝缘性能 ① 温度、湿度等环境的变化是影响传感器中绝缘材料
性能的主要因素。 ②传感器的电极外表不便清洗，应加以密封，可防尘、
防潮。 ③ 尽量采用空气、云母等介电常数的温度系数几乎为
零的电介质作为电容式传感器的电介质。 ④ 传感器内所有的零件应先进行清洗、烘干后再装配。
电容式传感器的工作原理及其在压力测量中的应用
C1=ε0εrA0 从上式可以看出, 传感器的电容量 C 与角位移θ呈线性关系。
2.3 变介质型电容式传感器 因为各种介质相对介质常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电
2.电容式传感器的基本工作原理 以储存电荷为目的制成的元件称为电容器。由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平
板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为
c A 0r A dd
平行板电容器
ε为电容极板间介质的介电常数, ε0 =8.83×10-12F／m,其中ε0 为真空介 电常数, εr 为极板间介质相对介电常数; A 为两平行板所覆盖的面积; d 为两平行板之间的距离。
近年来随着科学技术的发展,电容式传感器的缺点不断地被克服,应用也越来越广泛,尤其 是出现了数字式智能化的电容式传感器,它是一种先进的数字式测量系统。将其测量部件技 术与微处理器的计算功能结合为一体,使得测量仪表至控制仪表成为全数字化系统。数字式 智能化传感器的综合性能指标、实际测量准确度比传统的传感器提高了很多。 2011 年，美国 Consensic 公司推出革命性新型微机电（MEMS）智能电容式压力传感器 CPS120，是全世界唯一一家数字式 MEMS 电容式压力传感器的厂商。 CPS120 智能压力传感器基于系统级封装解决方案（SIP），包含超小型电容式 MEMS 绝对压 力传感单元，同时集成智能高精度数字电路（ASIC）和温度传感器。相比其他压力传感器 厂商传统的压阻式（PRT）绝对压力传感器，电容式压力传感器可以提供更高的精度、更低 的功耗、更好的稳定性和一致性、以及工作在极端温度、湿度环境下的超强能力。 除了 CPS120 以外，已有 MEMS 电容式加速度传感器、MEMS 硅膜电容式气象压力传感器 等一系列智能传感器问世。总之,随着传感器技术的发展,电容式传感器的形式将会多种多样, 其形式应以非接触式为研制重点。其发展方向是通过广泛应用微机等高新电子技术来获得全 面性能的进一步提高,同时还要向着小型化、智能化、多功能化的方向发展。 6.总结
电容式传感器的应用及原理
电容式传感器的应用及原理1. 电容式传感器简介电容式传感器是一种常见的传感器类型，其原理是根据电容的变化来检测物体的位置、压力、液位等参数。
电容式传感器具有灵敏度高、响应速度快、可靠性好等优点，广泛应用于工业控制、汽车电子、医疗器械等领域。
2. 电容式传感器的原理电容式传感器的原理基于电容的变化。
电容是指导体之间存在的电场能量，与导体之间的间距和面积有关。
当两个导体之间的间距或面积发生变化时，电容值也会发生变化。
电容式传感器通常由两块金属板组成，它们之间有一层绝缘材料，如空气或塑料。
当外部物体接近或远离传感器时，两个金属板之间的间距会发生变化，从而改变了电容。
传感器通过测量电容的变化来检测物体的位置或其他参数。
3. 电容式传感器的应用3.1 位置检测电容式传感器常用于检测物体的位置。
例如，在工业自动化领域中，可以通过安装电容式传感器来检测机器人手臂的位置，以实现准确定位和控制。
此外，电容式传感器也常用于触摸屏、触摸按钮等电子设备中，用于检测手指或其他物体的位置。
3.2 压力监测电容式传感器还可以应用于压力监测领域。
通过将电容式传感器安装在受压物体上，当受压物体发生变形时，导致电容变化。
通过测量电容的变化，可以推断受压物体的压力大小。
这种应用常见于汽车制动系统、液压系统等领域。
3.3 液位检测电容式传感器还可以用于液位检测。
通过将电容式传感器安装在液体容器中，当液位发生变化时，导致电容变化。
通过测量电容的变化，可以确定液位的高度。
这种应用广泛用于化工厂、油罐、水处理等领域。
3.4 温度测量电容式传感器也可以应用于温度测量。
通过利用温度对电容介质的影响，可以测量温度变化。
这种应用常见于温度计、温度控制器等设备中。
4. 电容式传感器的优点•灵敏度高：电容式传感器对物体的微小变化可以敏感地检测到。
•响应速度快：电容式传感器可以实时检测物体的位置、压力等参数变化。
•可靠性好：电容式传感器具有较高的稳定性和可靠性，适用于长期稳定工作的场合。
电容式传感器的工作原理
电容式传感器的工作原理电容式传感器是一种常用的传感器，它利用电容的变化来实现对物体的测量和检测。
在电容式传感器中，电容的变化与物体的位置、形状、介电常数等因素有关，因此可以应用于各种测量场合。
下面我们将详细介绍电容式传感器的工作原理。
首先，电容式传感器由两个电极构成，它们之间的空间形成一个电容。
当有物体靠近电容式传感器时，物体的介电常数会影响电容的数值，从而引起电容的变化。
这种变化可以通过电路进行测量和分析，从而得到物体的位置、形状等信息。
其次，电容式传感器的工作原理基于电容的计算公式，C=ε0εrA/d，其中C为电容的数值，ε0为真空中的介电常数，εr为物体的相对介电常数，A为电极的面积，d为电极之间的距离。
根据这个公式，我们可以看到电容式传感器的变化与物体的介电常数、电极的面积和距离等因素有关。
另外，电容式传感器还可以利用电容的变化来实现非接触式的测量。
由于电容式传感器不需要与物体直接接触，因此可以避免对物体造成损伤，并且可以应用于一些特殊的测量场合。
此外，电容式传感器还可以通过改变电极的布局和结构来实现不同的测量要求。
例如，可以采用平行板电容的结构来实现对平面物体的测量，也可以采用圆形电极的结构来实现对球形物体的测量。
最后，电容式传感器的工作原理还可以应用于一些特殊的领域。
例如，在微机电系统（MEMS）中，电容式传感器可以实现对微小物体的测量，从而应用于微型加速度计、压力传感器等领域。
总的来说，电容式传感器的工作原理是基于电容的变化来实现对物体的测量和检测。
它具有测量精度高、非接触式测量、结构灵活等优点，因此在工业控制、医疗诊断、环境监测等领域有着广泛的应用前景。
希望通过本文的介绍，读者对电容式传感器的工作原理有了更深入的理解。
电容式传感器原理及其应用
电容式传感器原理及其应用
传感器通常由两个电极组成：一个是探测电极，用于和物体接触形成
电容；另一个是参考电极，用于和环境隔离，提供一个参考电容。
当物体
接近传感器时，探测电极和参考电极之间的电容会发生变化。
1.位置检测：在机器人、自动门、车辆等设备上，可以使用电容式传
感器来检测物体的位置，以便进行准确控制。
2.形状检测：电容式传感器可以根据物体所形成的电容来检测物体的
形状，适用于模具、雕塑、冲压等领域。
3.压力检测：电容式传感器可以根据物体施加的压力来测量电容的变化，常用于汽车空调系统、机械手等设备中的压力控制。
4.湿度检测：在湿度计、空调、除湿器等设备中，电容式传感器可以
通过测量物体和介质之间的相对湿度来判断湿度的变化。
5.液位检测：电容式传感器可以通过测量液体的介电常数来判断液位
的高低，用于液位测量仪表、储罐等设备。
6.运动检测：电容式传感器可以通过检测物体运动时电容的变化来实
现运动检测，常用于门禁系统、人体感应灯等。
7.接近开关：电容式传感器可以检测物体与传感器之间的距离，常用
于接近开关、自动水龙头、触摸屏等设备。
8.手势识别：电容式传感器可以检测手的位置和动作，实现手势识别，常用于智能手机、智能手表等设备中。
总结来说，电容式传感器具有广泛的应用领域，可以用于位置检测、形状检测、压力检测、湿度检测等。
其原理是通过测量电容的变化来获取物体或环境的相关信息，为现代科技领域提供了重要的技术支持。
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自动检测技术及应用姓名王世夫学号 201105620107年级 2011级专业电气1班系（院）汽车学院指导教师张伟年月日电容式传感器的工作原理及其在压力测量中的应用 摘要：电容式传感器以各种类型的电容器作为传感器元件，通过传感器元件将被测物理量的变化转换为电容量的变化，在经过测量电路转化为电压、电流或频率。
电容式传感器广泛的应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的测量，还应用于压力、差压、液位、料位等热加工量的测量。
本文主要介绍电容式传感器的工作原理及其在压力测量中的应用。
关键词：电容式传感器 工作原理 压力测量 应用发展1.引言电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种参量型传感器。
电容式传感器广泛应用于压力、液位、位移等各种检测中，由于形式多种多样，传感器电容值相差很大。
电容式传感器可分为变面积变化式、变间隙式、变介电常数式三类。
变面积变化式一般用于测量角位移或较大的线位移。
变间隙式一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。
变介电常数式常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。
这种传感器具有高阻抗、小功率、动态范围大、动态响应较快、几乎没有零漂、结构简单和适应性强等优点。
70年代末以来,随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的电容式传感器。
这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小，使其固有的缺点得到克服。
电容式传感器是一种用途极广，很有发展潜力的传感器。
2.电容式传感器的基本工作原理以储存电荷为目的制成的元件称为电容器。
由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为平行板电容器ε为电容极板间介质的介电常数, ε0 =8.83×10-12F ／m ,其中ε0为真空介电常数, εr 为极板间介质相对介电常数; A 为两平行板所覆盖的面积; d 为两平行板之间的距离。
当被测参数变化使得上式中的A ，d 或ε发生变化时, 电容量C 也随之变化。
如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。
电容式传感器可以分为三种类型：变间隙式、变面积式和变介电常数式。
d Ad Ac r εεε0==2.1变间隙式电容式传感器如图2为变极距型电容式传感器的各型原理图。
图2当传感器的εr 和A 为常数, 初始极距为d 0时, 由可知其初始电容量C 0为若电容器极板间距离由初始值d0缩小Δd, 电容量增大ΔC, 则有C1=C0+ΔC=由该式可知, 传感器的输出特性C =f(d)不是线性关系, 而是双曲线关系。
电容式传感器起始电容量一般设置在十几皮法至几十皮法，极板间隙设置在100~1000чm 的范围比较妥当，动极板移动位移应该小于两极板间距1/10~1/4，电容可增加2~3倍。
2.2变面积电容传感器如下图是变面积型电容传感器原理图。
变面积线位移电容传感器原理图 变面积角位移电容传感器原理图 图4 图5移动动极板，改变两极板之间的有效面积，电容量也随之改变，电容C 为：d A c ε=00d Ar εε=20200000)(1)1(d d d d c d d d A r ∆-∆+=∆-εε⎪⎭⎫ ⎝⎛-=∆-=a X C d x a b C X 1)(000ε传感器灵敏度为：电容增量：很明显, 这种形式的传感器其电容量C 与水平位移Δx 是线性关系。
如图 5 是电容式角位移传感器原理图。
当动极板有一个角位移θ时, 与定极板间的有效覆盖面积就改变, 从而改变了两极板间的电容量。
当θ=0 时, 则C 0=ε0εr A 0d 0式中: εr 为介质相对介电常数; d 0 为两极板间距离; A 0两极板间初始覆盖面积，当θ≠0时, 则C 1=ε0εr A 0从上式可以看出, 传感器的电容量C 与角位移θ呈线性关系。
2.3变介质型电容式传感器因为各种介质相对介质常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也不同，变介电常数式电容式传感器就是依据此原理制作的。
如图6是变变介电常数电容传感器原理图。
图6当在电容器两个极板之间充以空气以外的其他介质时，介电常数相应变化，电容量发生改变，构成了变介电常数型电容传感器。
变介电常数电容传感器的结构较多，其中有利用一些非导电固体的湿度变化，介质自身介电常数变化的电容传感器，可以用来测量粮食、纺织品、木材、煤炭等物质的湿度。
图7如图7 是一种变极板间介质的电容式传感器用于测量液位高低的结构原理图。
设被测介质的介电常数为ε1, 液面高度为h, 变换器总高度为H, 内筒外径为d, 外筒内径为D, 则此时变换器电容值为d b x C K ⋅-=∆∆=εx d b C C C ∆⋅=-=∆ε0C 0由变换器的基本尺寸决定的初始电容值, 所以C 0 由上式可知, 此变换器的电容增量正比于被测液位高度h 。
变介质型电容传感器有较多的结构型式, 可以用来测量纸张, 绝缘薄膜等的厚度等，图 8是一种常用的结构型式。
图8图中两平行电极固定不动, 极距为d 0, 相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中, 从而改变两种介质的极板覆盖面积。
传感器总电容量C 为式中: L 0, b 0为极板长度和宽度; L 为第二种介质进入极板间的长度。
若电介质εr1=1, 当L=0时, 传感器初始电容C 0=ε0εr １L 0b 0/d 0。
当介质εr2进入极间L 后, 引起电容的相对变化为可见, 电容的变化与电介质εr2的移动量L 呈线性关系。
变介电常数式电容式传感器常用于测量液位高度，也可以测量纸张、绝缘薄膜等的厚度，还可以用来测量粮食、纺织品、木材等的非导电固体介质的湿度。
3.电容式传感器优缺点 d D h H d D h c ln )(2ln 21-+=πεπεd D h d D H ln )(2ln 21εεππε-+=d D h c ln )(210⋅-+=εεπdD H ln 2πε=000021)(1d L L b c c c r -=+=εε0000)1(2L L c c c c c r -=-=∆ε电容式传感器具有以下优点：结构简单，性能稳定，可以在恶劣环境下工作；动态响应好，灵敏度高，分辨力强，没有由于震动引起的漂移，但它同时也具有以下缺点：测试导线分布电容对测量误差影响较大，电容量的变化与极板间距离变化为非线性。
电容式传感器具有一系列的优点，随着电子技术的发展，测试导线分布电容对测量误差的影响以及非线性的缺点也可得到克服，所以电容式传感器在自动监测中得到越来越广泛的应用。
4.电容式传感器的应用电容传感器可用来测量直线位移、角位移，振动振幅(可测至0.05μm的微小振幅)，尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量，还可用来测量压力、差压力、液位、料面、粮食中的水分含量、非金属材料的涂层、油膜厚度、测量电介质的湿度、密度、厚度等等。
在自动检测和控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。
当测量金属表面状况、距离尺寸、振动振幅时，往往采用单电极式变极距型电容传感器，这时被测物是电容器的一个电极，另一个电极则在传感器内。
如图9所示为电容差压传感器。
构成：膜片——动极板，一般采用不锈钢材料制作，需要加预张力。
玻璃基片上镀有金属层的球面极板，这里的球面很夸张。
球面的作用是压力过大时（过载）保护膜片，并改善系统的非线性。
后续测量电路常使用差动脉冲调宽电路。
电容式传感器的应用比较广，主要用于测量位移、压力、速度、介质、浓度、物位等物理量。
相应地，产生了很多类型的电容式传感器，如电容式位移传感器、电容式压力传感器、电容式加速度传感器、电容式液位传感器等等。
现在传感器的应用十分广泛，其发展趋势逐渐趋向固态化、集成化、多功能化、图像化以及智能化。
例如：1、ZCS1100型精密电容位移传感器。
本传感器可以在线检测压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。
该传感器是一个单一的通道，高性能线性位移测量系统，创新的电容位移测量技术，提供了纳米测量能力，成本低，适合测量任何导电目标。
2、FWS-CⅡ型在线电容式水分检测传感器。
在线检测各种工作机械的液压、润滑系统介质的含水率，特别是外部水容易渗入机械内部的轧钢机、造纸机、汽轮机、船舶机械。
监视循环油系统是否存在泄漏，如水冷却器等。
监视工作机械的密封元件是否损坏，引起外部水渗入。
监视环境空气湿度对润滑液压系统油品品质和含水率的影响。
，从而精确测定润滑油质量，预测设备故障，是设备润滑油管理中的关键部件。
本传感器采用螺纹连接，体积小，重量轻，结构可靠，测量精度高，工作稳定，具有较强的抗电磁干扰性能。
封闭型不锈钢制外壳具有很好的防水防尘性能。
可直接安装于工厂现场液压润滑管道上。
是理想的在线水分检测传感器。
该传感器还可与控制室中的二次仪表或控制器相连，在线、连续、实时的检测各种低水分油品的含水率。
直接显示，远程控制和报警。
实现数据存储，积算、传输和控制功能。
普遍应用于大中型机械联动机组的液压、润滑循环系统例如：高线轧机和板带轧机润滑油系统、板带轧机和棒线轧机液压传动系统、汽轮发电机组润滑系统、造纸机组润滑系统、船舶机械润滑系统、燃料油库。
粘度计，污染度，湿度计电容式传感器3、FW-C1型电容式润滑油实时在线监测传感器。
本传感器可以在线准确测定润滑油的污染程度，包括氧化程度、含水量和其它机械化学杂质污染度，从而精确测定润滑油质量，判定是否需要更换润滑油，即可节约油料，又能预测设备故障，是设备润滑油管理中改变传统的按期换油，实现按质换油的关键部件。
本传感器采用螺纹连接，体积小，重量轻，结构可靠，是理想的在线润滑油检测传感器，可普遍应用于各类大型动力机械，轴承，齿轮箱，泵机和汽轮机的润滑油检测质量实时检测中。
该传感器还可与控制室中的二次仪表或控制器相连，实现数据存储，积算、传输和控制功能。
5电容式传感器的发展趋势近年来随着科学技术的发展,电容式传感器的缺点不断地被克服,应用也越来越广泛,尤其是出现了数字式智能化的电容式传感器,它是一种先进的数字式测量系统。
将其测量部件技术与微处理器的计算功能结合为一体,使得测量仪表至控制仪表成为全数字化系统。
数字式智能化传感器的综合性能指标、实际测量准确度比传统的传感器提高了很多。
2011年，美国Consensic 公司推出革命性新型微机电（MEMS）智能电容式压力传感器CPS120，是全世界唯一一家数字式MEMS电容式压力传感器的厂商。
CPS120智能压力传感器基于系统级封装解决方案（SIP），包含超小型电容式MEMS绝对压力传感单元，同时集成智能高精度数字电路（ASIC）和温度传感器。