(整理)文献综述 硅基异质结太阳电池的研究
硅基材料在太阳能电池中的应用研究
硅基材料在太阳能电池中的应用研究太阳能电池作为一种高效、清洁的能源转换方式，一直以来都受到人们的关注和研究。
随着技术的不断发展和革新，目前市面上出现了各种不同类型的太阳能电池，其中最为重要的一个是硅基太阳能电池。
硅基材料作为太阳能电池中的重要组成部分，具有很多优良的性能，可以大大提高太阳能电池的效率和稳定性。
因此，硅基材料在太阳能电池中的应用研究已经成为当前人们关注的热点话题之一。
硅基材料是目前太阳能电池中最常用的一种材料，主要包括单晶硅、多晶硅和非晶硅。
其中，单晶硅和多晶硅是硅基太阳能电池的主要材料，它们具有很高的太阳光转换效率、良好的稳定性和长寿命等优点。
而非晶硅材料因为其制备工艺较为简单，可以为太阳能电池的生产提供更大的灵活性和便利性。
在硅基太阳能电池的制造过程中，其中一个最重要的步骤就是硅基材料的纯净化处理。
由于硅基材料的制备与纯化过程十分复杂、精细，因此这一步骤对于太阳能电池的生产质量和效益至关重要。
目前，人们已经发明了许多不同的技术和方法来提高硅基材料的制备效率和质量，如Czochralski法、区域熔凝法和气相沉积法等，这些方法在硅基材料的纯净化和制备方面具有很大的优势和应用潜力。
另外，在硅基太阳能电池的应用研究方面，还有一个非常重要的问题，就是如何提高硅基材料在太阳能电池中的光电转换效率和稳定性。
针对这一问题，一些研究人员已经开始探索不同的方法和技术。
其中，一些新型的硅基太阳能电池技术（如薄膜硅太阳能电池、异质结硅太阳能电池、量子点硅太阳能电池等）因为其材料和工艺的不同，具有不同的性能和应用特点。
这些新型技术的出现，为硅基太阳能电池的研究和应用带来了新的机遇和挑战。
薄膜硅太阳能电池：薄膜硅太阳能电池是一种新型的太阳能电池，其主要特点是采用了较薄的硅片来制备太阳能电池，相比于传统的单晶硅电池、多晶硅电池等，它的成本和能耗都更为低廉。
同时，薄膜硅太阳能电池因为其材料和工艺的不同，具有更强的适应性和灵活性，可以应用于更多的环境和地形。
硅基太阳能电池的研究与应用
硅基太阳能电池的研究与应用随着能源需求的不断增长，人类正在寻找各种可替代传统化石燃料的新能源。
太阳能作为一种可再生能源，受到了广泛的关注。
在太阳能领域中，硅基太阳能电池是目前最为成熟和普及的一种太阳能电池类型。
本文将介绍硅基太阳能电池的研究现状、发展历程和应用前景。
一、硅基太阳能电池的研究现状硅基太阳能电池是最早被发明的太阳能电池，自20世纪50年代以来，不断得到研究和改进，并成为目前市场上最常见的太阳能电池类型。
硅基太阳能电池一般分为单晶硅、多晶硅和非晶硅太阳能电池。
目前，硅基太阳能电池的研究重点主要涉及以下几个方面：1. 提高转换效率。
硅基太阳能电池的效率受到多种因素的影响，如材料、结构和工艺等。
近年来，研究者们通过探索新型硅基材料、优化器件结构和使用先进的制造工艺等方式，不断提高硅基太阳能电池的转换效率。
目前，硅基太阳能电池的效率已经达到了22%以上。
2. 降低制造成本。
硅基太阳能电池制造过程中，原材料成本、加工成本和制造工艺等都是制造成本的重要组成部分。
为了降低制造成本，研究者们正在开发新型材料和制造工艺，例如新型半导体材料和低成本加工工艺等。
3. 提高稳定性和耐久性。
硅基太阳能电池在使用过程中，会受到氧化、光照、温度和湿度等因素的影响，从而导致电池性能下降或失去功效。
为了提高硅基太阳能电池的稳定性和耐久性，研究者们正在开发更稳定和耐久的材料和结构设计。
二、硅基太阳能电池的发展历程硅基太阳能电池发展历程可追溯至19世纪末期，当时研究者们观察到硅元素对于光电效应的作用。
20世纪50年代，贝尔实验室的研究者们首次制造出硅基太阳能电池，并将其应用于通信设备。
此后，硅基太阳能电池逐渐被推进到各个领域，成为可再生能源的代表。
1960年代末期至1970年代初期，世界各国开始在太阳能电池领域开展研究，并相继推出了一系列的太阳能电池类型，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅太阳能电池等。
其中，单晶硅太阳能电池由于其转换效率高和稳定性好等特点，成为硅基太阳能电池研究的重点。
硅基太阳能电池的研究与开发
硅基太阳能电池的研究与开发硅基太阳能电池是太阳能电池的一种常用型号，也是目前市场上多数应用的太阳能电池类型。
随着技术的进步，近些年来，对硅基太阳能电池的研究与开发越来越深入，已经实现了诸多进展。
本文将简要介绍硅基太阳能电池的基本原理，并探讨其研究与开发的发展趋势以及存在的问题。
一、硅基太阳能电池的基本原理硅基太阳能电池是将硅材料制成的半导体材料作为电池的基底，通过掺杂和光电效应将太阳能转化为直流电能的一种电子设备。
硅基太阳能电池的基本原理是：将硅材料分成P型和N型，通过P-N结的形成，使得在光照条件下P-N结处出现电势差，从而产生电流。
硅基太阳能电池的效率主要取决于阳光的强度和频率。
二、硅基太阳能电池的研究与开发硅基太阳能电池是目前太阳能电池应用领域最广泛的电池类型之一。
半导体领域的技术进步对硅基太阳能电池的研究与开发产生了重要的影响。
目前，硅基太阳能电池的研究与开发主要包括以下方面。
1、提高光电转换效率光电转换效率是硅基太阳能电池性能的核心指标，并且一直是硅基太阳能电池研究的重点。
为了提高光电转换效率，研究人员不断尝试新的制造技术，例如通过控制硅晶体生长、改变制造工艺，掺杂新的材料等方法，这些方法都可以有效提高硅基太阳能电池的效率和稳定性。
2、降低制造成本由于硅基太阳能电池在制造过程中需要使用的材料相对较昂贵，因此导致硅基太阳能电池的制造成本较高。
为了降低制造成本，研究人员提出了很多的解决方案，例如采用新型材料、改变制造流程等方法。
3、提高硅基太阳能电池的适应性硅基太阳能电池在实际应用场景中，面对的环境条件不尽相同。
研发人员希望通过提高硅基太阳能电池的耐热、抗湿、抗辐射等性能，使它能够适应不同的环境条件和应用需求。
三、存在的问题与发展趋势虽然硅基太阳能电池的技术和应用已经获得重大的突破，但是依然存在以下问题。
1、光伏容量限制问题硅基太阳能电池能同时转换或吸收的光类别非常有限，在一定范围内，其转换效率格外受限。
硅基太阳能电池研究及制备技术
硅基太阳能电池研究及制备技术硅基太阳能电池是目前应用最广泛的太阳能电池技术之一，其优点在于成本较低、稳定性高、寿命长等。
随着科技的不断发展和节能环保的大力倡导，人们对太阳能电池的使用需求不断扩大，硅基太阳能电池也得到了越来越广泛的应用。
本文将从研究和制备技术两个方面来探讨硅基太阳能电池。
一、硅基太阳能电池的研究硅基太阳能电池的研究始于20世纪50年代，经过几十年的发展，目前已经成为商业应用最为广泛的太阳能电池之一。
硅基太阳能电池的基本结构是pn结，它由n型硅和p型硅组成，在有光的情况下，光子能够激发电子，使其从价带跃迁到导带中，从而形成了电流。
近年来，随着科技的发展，硅基太阳能电池的研究也不断在进行着革新和升级。
一种新的硅基太阳能电池被研究出来，它比传统的硅基太阳能电池效率更高，成本更低。
这种太阳能电池被称为“极薄太阳能电池”，其厚度仅有几微米，可以被制成卷曲的柔性太阳能板，广泛应用于装备、建筑、交通等领域。
二、硅基太阳能电池的制备技术硅基太阳能电池制备技术的发展是硅基太阳能电池产业不断发展的关键。
目前，硅基太阳能电池的制备技术主要有两种，分别是多晶硅太阳能电池和单晶硅太阳能电池。
多晶硅太阳能电池是市场上使用较为广泛的一种太阳能电池，其制备工艺比较简单，成本较低，但效率较低。
制备多晶硅太阳能电池的工艺主要分为：铸造、切片、多晶硅晶体生长、花生壳型加工等步骤。
多晶硅太阳能电池因为成本低、稳定性好，被广泛应用于大规模光伏发电领域。
单晶硅太阳能电池由于其晶片结构紧密，电子传导能力强，效率更高。
由于其制备工艺比较耗费资源，成本较高，因此市场上应用较少。
制备单晶硅太阳能电池的工艺主要分为：Czochralski 法、放电加热法（DSSC法）和悬浮区法等。
这些方法都需要高温、高真空等条件，并且成本高，能源消耗大，因此市场规模相对较小。
三、结语随着人们对可再生能源的需求不断增强，硅基太阳能电池产业将有更广阔的发展前景。
硅基太阳能电池的研究和发展
硅基太阳能电池的研究和发展近年来，随着能源短缺的问题日益凸显，人们对新能源的探索和研究越来越急切，其中，太阳能便是备受瞩目的一种。
在太阳能发电中，太阳能电池是至关重要的组成部分，而硅基太阳能电池更是目前应用最广、发展最快的一种太阳能电池。
一、硅基太阳能电池的基本原理硅基太阳能电池的基本原理十分简单，它是利用光的辐射从而将太阳能转化为电能。
在太阳光的照射下，硅基太阳能电池会产生电子和空穴，并且它们会沿着相应的导体移动，从而形成电流。
因此，硅基太阳能电池的本质是将太阳光能够转换为电能。
二、硅基太阳能电池的分类根据硅材料的结晶形态，硅基太阳能电池可以分为单晶硅、多晶硅和非晶硅三种类型。
其中，单晶硅和多晶硅是最常见的两种，它们的转化效率较高，而非晶硅则转化效率较低。
三、硅基太阳能电池的发展历程硅基太阳能电池的发展历程可以追溯到上世纪50年代。
当时，最先提出硅基太阳能电池的概念是贝尔实验室的斯科特·麦克利顿，他发现将硼掺杂的硅晶体暴露在太阳光下，产生的光伏效应可以将太阳光转化为电能。
但是，硅基太阳能电池在早期研究中存在着一些问题，如太阳能转化效率低、生产成本高等问题，这成为了硅基太阳能电池发展的瓶颈。
直到20世纪70年代，随着电池材料技术的改善，硅基太阳能电池的转化效率得以提高，因此，硅基太阳能电池也才逐渐成为了许多国家和地区的发展重点。
四、硅基太阳能电池的发展前景目前，世界范围内已经有许多国家和地区在硅基太阳能电池领域投入了大量资金和人力，以推动这一技术的发展。
而硅基太阳能电池的应用也越来越广泛，如光伏发电、太阳能灯光、太阳能充电器等等。
未来，随着人们对新能源需求的不断增加以及太阳能技术的不断革新，硅基太阳能电池的发展前景一定是非常广阔的。
而且，在硅基太阳能电池的研究和开发过程中，许多新的科技应用和发明也将会进一步推动太阳能领域的发展。
结语：硅基太阳能电池的研究和发展，不仅关乎于人类的环境保护和节能减排，更关乎于人们未来的生活质量和经济发展。
硅基异质结高效光伏电池中的关键问题研究
硅基异质结高效光伏电池中的关键问题研究摘要：硅基异质结光伏电池可以达到双面发电的目的，温度系数比较低，转换效率相对比较高，没有电位诱发衰减与光致衰减。
本文主要针对这种电池结构特点与制备工艺这两方面关键问题展开研究，以此来突出这种光伏电池的优越性。
关键词：硅基异质结；光伏电池；结构特点；制备工艺光伏产业具有巨大的发展潜力，其在迭代技术的支持下形成了爆发式的发展速度，其中的异质结高效太阳能电池属于近两年来发展比较火热的新型高效技术，但是当前仍然存在着成本过高的问题，还需从降本的角度来开展研发工作。
现针对高效光伏电池相关的研究情况进行总结。
1、硅异质结太阳电池的结构特点这种光伏电池属于对称结构，所以电池受到的应力影响比较小，更容易实施薄片化处理；加工这种电池的工艺流程并不复杂，全程采取低温工艺技术，加工环境的温度不超过200℃左右，这种电池加工工艺技术有助于减少能源损耗，符合节约生产理念，同时也减轻了高温给硅片带来的负面影响，如热损伤；该光伏电池中引入本征非晶硅薄膜，对晶体硅表面存在的缺陷起到了钝化的作用；相比传统型的单晶硅光伏电池，其开路电压更高，可高达750mV；电池厚度持续降低，开路电压有望继续升高。
传统单多晶硅电池的性能对温度环境很敏感，过高的温度会对电池的性能，如输出电压和电流，会产生明显的影响，例如，在炎热的中东地区，环境温度皆超过40℃，组件工作温度在100℃上下，传统单多晶硅光伏组件的功率输出都会有明显的降低。
HJT电池优良的表面钝化效果大大降低了载流子复合几率，这使其具备极高的开压（>745mV），也因此具备了低温度系数(~ -0.25%/℃)，在热带，例如中东、印度、北非等地区，相对于常规单多晶，HJT组件具备了明显的发电优势。
在热带地区的组件运行中，相较于传统单多晶组件，相同瓦数下HJT组件具有10%相对功率输出增益。
在普通晶体硅光伏电池中，玻璃材料的离子会向电池片表面迁移，从而和发射极之间产生相互作用，导致电位诱发衰减现象产生。
《硅异质结太阳电池的优化及银纳米线透明前电极的应用》范文
《硅异质结太阳电池的优化及银纳米线透明前电极的应用》篇一一、引言随着能源危机的日益严重，可再生能源的研究与开发变得尤为重要。
其中，硅基太阳电池因具有高效率、低成本、长寿命等优点，成为了当前研究的热点。
硅异质结太阳电池作为硅基太阳电池的一种，其性能的优化及其关键材料的应用显得尤为重要。
本文将重点探讨硅异质结太阳电池的优化方法，以及银纳米线透明前电极在其中的应用。
二、硅异质结太阳电池的优化硅异质结太阳电池的优化主要涉及材料选择、结构设计以及工艺改进等方面。
1. 材料选择：选择高质量的硅材料是提高太阳电池性能的基础。
通过采用单晶硅、多晶硅等高纯度硅材料，可以有效提高光吸收效率和电性能。
此外，掺杂工艺也是提高硅异质结太阳电池性能的关键。
适当的掺杂浓度和分布可以提高载流子的传输效率，降低电池的内阻。
2. 结构设计：合理的结构设计可以优化光子的吸收和载流子的传输。
通过调整硅异质结的能带结构，使其与太阳光谱更好地匹配，从而提高光子的吸收率。
此外，优化电极结构和降低反射损失也是提高电池性能的有效途径。
3. 工艺改进：采用先进的制备工艺可以提高硅异质结太阳电池的效率。
例如，采用化学气相沉积、物理气相沉积等制备技术，可以制备出高质量的薄膜材料和透明导电层。
此外，激光刻蚀、等离子体处理等工艺也可以有效提高电池的性能。
三、银纳米线透明前电极的应用银纳米线作为一种具有优异导电性和透明度的材料，在硅异质结太阳电池中具有广泛的应用前景。
1. 提升透明度：银纳米线作为透明前电极，具有较高的可见光透过率，可以有效提高电池的光电转换效率。
同时，其优异的导电性能也使得其在电极制备中具有很高的应用价值。
2. 降低反射损失：银纳米线电极具有优异的反射特性，可以有效降低太阳电池的反射损失，从而提高光子的吸收率。
此外，通过优化银纳米线的结构和分布，可以进一步提高其光学性能和导电性能。
3. 改善载流子传输：银纳米线电极的制备过程中，可以通过调整其形貌和尺寸来优化载流子的传输性能。
硅基太阳能电池的研究
硅基太阳能电池的研究随着燃料短缺和环境污染等问题的加剧，全球对可再生能源的需求越来越迫切。
而太阳能作为最纯净的可再生能源之一，已成为当今世界最受瞩目的能源之一。
硅基太阳能电池作为最常见的太阳能电池，一直处于不断的研究之中，以提高其转换效率。
硅基太阳能电池的结构硅基太阳能电池是由p型硅、n型硅以及接口形成的太阳能电池。
n型硅表面镀有抗反射材料，以提高光吸收效率。
p型硅和n型硅的接触面称为pn结。
当太阳能照射到pn结时，电子和空穴被激发，形成电流。
这个电流经过导线进入电路，从而产生电能。
硅基太阳能电池的优缺点硅基太阳能电池的最显著的优点就是成本相对较低，而且材料容易获取。
此外，这种电池还具有可靠性强、寿命长、环境适应性好和维护方便等优点。
而与此同时，硅基太阳能电池也存在着一些缺点，其中最重要的缺点就是低转换效率。
硅基太阳能电池的转换效率约为20%左右，这意味着只有20%的阳光能被转化成电能，其余的能量则浪费在形成热能上。
目前，硅基太阳能电池的研究主要集中在提高其转换效率和降低成本两个方面。
为了提高转换效率，研究人员正在探索不同的方法，如使用多层次结构和多晶硅等技术。
另外，一种新的材料：铟锡氧化物，也被人们用来探索提高硅基太阳能电池效率的方法之一。
研究人员认为，铟锡氧化物可以提高硅基太阳能电池对光的吸收能力，进而提高转换效率。
此外，研究人员还在不断地试图开发更高效的太阳能电池和开发更加环保的材料，以及降低硅基太阳能电池的制造成本。
总结随着人们对可再生能源的需求越来越迫切，硅基太阳能电池作为最常见的太阳能电池，一直处于不断的研究之中。
硅基太阳能电池的优点在于成本低、寿命长、环境适应性好和维护方便等等。
而硅基太阳能电池的缺点就是低转换效率。
为了解决这个问题，研究人员正在探索不同的提高效率的方法，如多层次结构和多晶硅等技术。
铟锡氧化物作为新材料，也被人们视为提高硅基太阳能电池效率的方法之一。
虽然在研究的过程中还存在一些困难，但是人们相信，随着技术的不断发展和完善，硅基太阳能电池的效率将会越来越高，成本也会越来越低，真正实现太阳能作为可再生能源的可持续发展。
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华南理工大学本科毕业设计文献综述硅基异质结太阳电池的研究班级_______09级信息工程2班__ 姓名___________胡思凯_________ 学号_________200931281039_____ 指导教师________耿魁伟____________作为一种取之不尽的清洁能源,太阳能的开发利用引起人类的极大关注[13]。
目前,大规模商业化太阳能电池仍以硅太阳能电池为主,正开发的有GaAs[4]、GaN[5]、CdS[6]、铜铟硒[7]和ZnO[810]等新型材料太阳能电池。
其中,GaAs和GaN太阳能电池虽在空间应用中比硅太阳能电池更有优势,但属于!族化合物,挥发性强、工艺复杂,制备成本高;CdS和铜铟硒对人类具有一定的毒副作用,不符合绿色环保能源发展的要求。
氧化锌（ZnO）由于其优越的物理特性，如具有较大的禁带宽度（室温，~3.37 eV）和激子束缚能（~60 mV），而且热稳定性好、抗氧化性能优越，已经成为一种极具发展前景的II–VI族半导体材料，其在光电子应用领域也已经引起了广泛关注。
关于硅基ZnO薄膜的生长及发光性质已有广泛的研究,但对于P型硅纳米线（SiNWs）为衬底上制备ZnO异质结太阳能电池的研究尚不成熟。
硅纳米线是新型的一维纳米材料(SiNWs),由于其自身所特有的光学、电学性质和半导体所具有的特殊性质已越来越引起纳米科技界的广泛关注。
通过最近几年的研究表明, SiNWs料具有很强的广谱光吸收特性和室温下的可见光发光特性。
因此，对一维纳米材料形貌的控制、生长机理的探索以及各种性能的测量与改进,是人们研究的重点。
一.目前，化学腐蚀法和化学气象沉积（cvd）已经成为制备SiNWs主要的2种技术。
此次毕业设计打算以这两种不同的方法制备SiNWs，比较两种方法的优劣。
1.化学腐蚀法,HF溶液4.6mol／L,AgNO3溶液0.02mol/L,腐蚀温度50℃,腐蚀时间30min时制备出的大面积阵列一维SiNWs。
2.3.用SiH4做反应气体，H2作载气，在氢的辉光放电中淀积SiNWs，反应室预真空约1.33Pa,沉积温度为380度。
利用sem电镜观察生长结构，X射线衍射仪（XRD）观察X射线衍射谱，生长取向，紫外—红外分光光度仪测量pl特性。
二.分别以两种方法制成的SiNWs为衬底，利用金属锌的真空蒸镀制备ZnO/SiNWs，控制沉积厚度分别为30,40,50,60nm.然后放在氧化条件下进行退火处理，在气氛炉中氧化2小时,控制退火温度分别为600，700，800，900度观察发光特性。
利用sem电镜观察生长结构，X射线衍射仪（XRD）观察X射线衍射谱，生长取向。
在其测试环境为室温,测试光源为模拟太阳光AM1.5(100mW/cm2)的标准辐照的条件下，测量I/V特性。
华东师范大学博士学位论文双旋转靶共溅法制备和研究掺铝氧化锌薄膜及其在硅薄膜太阳能电池中的应用姓名：朱红兵申请学位级别：博士专业：纳米物理学指导教师：黄素梅Jürgen Hüpkes 20100501 摘要本论文对应用于硅基薄膜太阳能电池中的掺铝氧化锌薄膜（ＺｎＯ：ＡＩ）进行了系统地研究。
在本论文中ＺｎＯ：ＡＩ薄膜主要采用非反应磁控溅射方法和双旋转陶瓷靶（ＺｎＯ：Ａ１２０３－－９９．５：０．５ｗｔ％）以及采用反应磁控溅射方法和双旋转金属靶（Ｚｎ：Ａ１－－－９９．５：０．５ｗｔ％）Ｎ备而得。
用于掺铝氧化锌薄膜制备的玻璃衬底尺寸可以达到３０ｅｍｘ３０ｇｉｎ。
由于在溅射过程中管状陶瓷靶以及金属靶始终保持旋转，因此这两种溅射沉积方法极大地提高溅射靶材的利用率从而有效地降低生产成本。
此外，高速溅射沉积薄膜也是本论文研究的一个重要的目标和方向。
作为一种重要的并具有极大发展潜力的透明导电材料，ＺｎＯ：Ａ１薄膜的光学电学属性是本论文的研究重点。
在本论文中，制备的ＺｎＯ：ＡＩ薄膜主要目标是应用于硅基薄膜太阳能电池中，作电池的前电极，因此对其初始和刻蚀后的薄膜表面形貌也进行了深入地考虑和研究。
对于采用中频电源激发从旋转陶瓷靶材中磁控溅射制备ＺｎＯ：Ａ１薄膜，本论文系统地研究了衬底温度、工作气压、电功率、氩气流量和氧气流量以及磁场方向等各种不同的实验参数对其各种属性的影响。
此外，本文也系统深入地研究了ＺｎＯ：Ａ１薄膜在０．５％的稀盐酸中的刻蚀行为以及其均匀性特性。
在对低速沉积（２ｋＷ）ＺｎＯ：ＡＩ薄膜研究中，成功地获得了电阻率低至３．６×１０４Ｑ．ｅｍ，载流子迁移率高达５０ｃｍ２／Ｖｓ以及刻蚀后具有最佳表面形貌的高质量导电透明薄膜。
在对高速沉积（１４ｋＷ）ＺｎＯ：Ａ１研究中，薄膜沉积速率可以高达１１０ｎｍ／ｍｉｎ且保持优良的光学和电学特性。
在对硅薄膜太阳能电池应用研究中，优化的旋转陶瓷靶溅射制备的ＺｎＯ：Ａ１薄膜作为前电极被应用于微晶硅（¨ｃ—Ｓｉ：Ｈ）及无定形硅／微晶硅叠加（俚．Ｓｉ：Ｈ／肛ｃ—Ｓｉ：ｍ薄膜太阳能电池中，分别取得了８．５％和１１．３％高的能量转换效率。
另外，对于采用更加高效低廉的反应磁控溅射技术和双旋转金属靶材制各Ｚｎ０：Ａ１薄膜，本文通过利用等离子体发射监控系统，研究了在不同的沉积条件下的反应溅射沉积过程，并高速反应溅射制备出了Ｚｎ０：ｈｌ薄膜，获得了高达１１０ｎｍ／ｍｉｎ的沉积速率，且所获薄膜具有优良的光电特性。
其中电阻率低于３．３Ｘ１０‘４Ｑ．Ｅｒａ，迁移率可以高达４７ｇｉｌｌ２／Ｖｓ，同时具有很高的光透射率。
此外，还系统研究了不同沉积条件下制备的Ｚｎ０：Ａ１薄膜呈现出的初始表面形貌和刻蚀后的表面形貌特征。
本论文应用一种独特的两步刻蚀方法，即先采用稀ＨＦ刻蚀，然后采用ＨＣｌ刻蚀，对高速沉积的ＺｎＯ：ＡＩ薄膜进行刻蚀和表面研究。
此高速沉积的ＺｎＯ：Ａ１薄膜包括通过非反应溅射沉积的薄膜和反应溅射沉积的薄膜。
通过这种独特的刻蚀方法，刻蚀后的高速沉积的ＺｎＯ：Ａ１薄膜呈现出适合于硅基薄膜太阳能电池的表面结构。
利用此种刻蚀方法处理优化制备的ＺｎＯ：ＡＩ薄膜，然后应用于ｕｃ．Ｓｉ：Ｈ薄膜电池以及ｃｔ－Ｓｉ：ｔ－Ｉ／ｇｃ．Ｓｉ：Ｈ双节叠加薄膜太阳能电池，分别取得了高达８．２％和１１．４％的能量转换效率。
本论文工作成果表明高速沉积的ＺｎＯ：Ａ１薄膜制备技术结合此双刻蚀方法在硅薄膜太阳能电池的应用方面具有相当大的发展潜力。
关键词：氧化锌，透明导电氧化物，磁控溅射，硅薄膜太阳能电池ＡｂｓｔｒａｃｔＩｎｔｈｉｓｓｔｕｄｙ，ｍａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｅｄＺｎＯ：Ａ１ｔｈｉｎｆｉｌｍｓｆｏｒａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｉｎｓｉｌｉｃｄｎｔｈｉｎｆｉｌｍｓｏｌａｒｃｅｌｌｓｈａｖｅｂｅｅｎｓｙｓｔｅｍａｔｉｃａｌｌｙｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．ＺｎＯ：Ａ１ｔｈｉｎｆｉｌｍｓｗｅｒｅｐｒｅｐａｒｅｄｗｉｔｈｎｏｎ—ｒｅａｃｔｉｖｅｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｆｒｏｍｄｕａｌｒｏｔａｔａｂｌｅｃｅｒａｍｉｃｔａｒｇｅｔｓ（ＺｎＯ：Ａ１２０３２９９．５：０．５叭％）ｏｒｗｉｔｈｒｅａｃｔｉｖｅｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｆｒｏｍｄｕａｌｒｏｔａｔａｂｌｅｍｅｔａｌｌｉｃｔａｒｇｅｔｓ（Ｚｎ：ＡＩ＝９９．５：０．５眦％）．Ｔｈｅｓｉｚｅｏｆｇｌａｓｓｓｕｂｓｔｒａｔｅｓｃａｎｂｅｕｐｔｏ３０ｃｍ×３０ｃｍ．Ｂｏｔｈｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓｃａｎｇｒｅａｔｌｙｅｎｈａｎｃｅｔｈｅｕｔｉｌｉｚａｔｉｏｎｏｆｔａｒｇｅｔｍａｔｅｒｉａｌｓｄｕｅｔｏｔｈｅｒｏｔａｔｉｎｇｏｆｔａｒｇｅｔｓｄｕｒｉｎｇｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ．Ａｓａｐｒｏｍｉｓｉｎｇｔｒａｎｓｐａｒｅｎｔａｎｄｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅｏｘｉｄｅ（ＴＣＯ）ｍａｔｅｒｉａｌ，ｔｈｅｏｐｔｉｃａｌａｎｄｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＺｎＯ：ＡＩｆｉｌｍｓｗｅｒｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄ，ｅｘａｍｉｎｅｄａｎｄａｎａｌｙｚｅｄ．Ｍｅａｎｗｈｉｌｅ，ｏｎｅｏｆｔｈｅｍａｉｎａｉｍｓｏｆｔｈｅｗｏｒｋｉｓｔｏｄｅｖｅｌｏｐａＴＣＯｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｐｒｏｃｅｓｓｗｉｔｈａｈｉｇｈｇｒｏｗｔｈｒａｔｅ．Ｉｎａｄｄｉｔｉｏｎ，ｆｏｒｔｈｅｐｒａｃｔｉｃａｌａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｉｎｓｉｌｉｃｏｎｔｈｉｎｆｉｌｌｓｏｌａｒｃｅｌｌｓ，ｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｏｆａｓ—ｇｒｏｗｎａｎｄａｆｔｅｒ－ｅｔｃｈｅｄＺｎＯ：Ａ１石ｌｍｓｗｅｒｅａ】ｓｏｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄａｎｄｅｘａｍｉｎｅｄｉｎｄｅｔａｉｌｓ．ＭａｇｎｅｔｒｏｎｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｏｆＺｎＯ：Ａｌｔｈｉｎｆｉｌｍｓｆｒｏｍｄｕａｌｒｏｔａｔａｂｌｅｃｅｒａｍｉｃｔａｒｇｅｔｓｗｅｒｅｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｕｎｄｅｒｍｉｄ－ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ（ＭＦ）ｅｘｃｉｔａｔｉｏｎ．Ｔｈｅｉｎｆｌｕｅｎｃｅｓｏｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓｓｕｃｈａｓｓｕｂｓｔｒａｔｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ，ｗｏｒｋｉｎｇｐｒｅｓｓｕｒｅ，ｄｉｓｃｈａｒｇｅｐｏｗｅｒ，ａｒｇｏｎｇａｓｆｌｏｗ，ｏｘｙｇｅｎｇａｓｆｌｏｗａｎｄｍａｇｎｅｔｒｏｎｄｉｒｅｃｔｉｏｎｏｎｖａｒｉｏｕｓｏｐｔｉｃａｌａｎｄｅｌｅｃｔｒｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｏｆＺｎＯ：Ａｌｆｉｌｍｓｗｅｒｅｓｙｓｔｅｍａｔｉｃａｌｌｙｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｉｎａｄｄｉｔｉｏｎ，ｅｔｃｈｉｎｇｂｅｈａｖｉｏｒｓａｎｄｒｅｓｕｌｔｅｄｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓｗｅｒｅａｌｓｏｓｔｕｄｉｅｄ．ＬｏｗｇｒｏｗｔｈｒａｔｅＺｎＯ：Ａｌｆｉｌｍｓ（ａｔ２ｋＷ）ｗｉｔｈ１０ｗｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙｏｆ３．６×１０４Ｑ．ｃｍａｎｄｈｉ曲ｃａｒｒｉｅｒｍｏｂｉｌｉｔｙｕｐｔｏ５０ｃｍＺ／Ｖｓａｓｗｅｌｌａｓｏｐｔｉｍｕｍｓｕｒｆａｃｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓａｆｔｅｒｅｔｃｈｉｎｇ，ｗｅｒｅａｃｈｉｅｖｅｄ．Ｈｉ曲ｇｒｏｗｔｈｒａｔｅＺｎＯ：Ａ１ｆｉｌｌｓ（ａｔ１４ｋＷ）ｗｉｔｈａｈｉｇｈｒａｔｅｃｌｏｓｅｔｏ１１０ｎｍ／ｍｉｎａｎｄｎｉｃｅｏｐｔｉｃａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｗｅｒｅｏｂｔａｉｎｅｄ．ＯｐｔｉｍｉｚｅｄＺｎＯ：Ａ１ｆｉｌｌｓｄｅｐｏｓｉｔｅｄｆｒｏｍｃｅｒａｍｉｃｔａｒｇｅｔｓｗｅｒｅａｐｐｌｉｅｄｉｎＰＣ－Ｓｉ：Ｈａｎｄａ—Ｓｉ：Ｈ／ＰＣ－Ｓｉ：Ｈｓｏｌａｒｃｅｌｌｓａｓｆｒｏｎｔｃｏｎｔａｃｔｓ．Ｈｉｇｈｅ妇ｃｉｃｉｅｎｃｉｅｓｏｆ８．５％ａｎｄ１１．３％ｆｏｒｂｏｔｈｋｉｎｄｓｏｆｃｅｌｌｓｗｅｒｅａｃｈｉｅｖｅｄ，ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．ＺｎＯ：ＡｌｆｄｍｓｗｅｒｅｄｅｐｏｓｉｔｅｄｆｒｏｍｄｕａｌｒｏｔａｔａｂｌｅｍｅｔａｌｌｉｃＺｎ：Ａｌｔａｒｇｅｔｓｂｙｒｅａｃｔｉｖｅｌｙｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｓ，ｗｈｉｃｈｗｅｒｅｃｏｎｔｒｏｌｂｙａｐｌａｓｍａｅｍｉｓｓｉｏｎｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ（ＰＥＭ）ｓｙｓｔｅｍａｎｄｃａｒｒｉｅｄｏｕｔｕｎｄｅｒｄｉｆｆｅｒｅｎｔｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ．ＲｅａｃｔｉｖｅｌｙｓｐｕｔｔｅｒｅｄｈｉｇｈｒａｔｅＺｎＯ：Ａｌｆｉｌｍｓ（ｃｌｏｓｅｔｏｌ１０ｎｍ／ｍｉｎ）ｗｉｔｈｌｏｗｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙｃｌｏｓｅｔｏ３．３×１０１Ｑ·ｃｍａｎｄｈｉｇｌｌｍｏｂｉｌｉｔｙｕｐｔｏ４７ｃｍＺ／Ｖｓａｓｗｅｌｌａｓｈｉｇｈｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅｗｅｒｅａｃｈｉｅｖｅｄ．Ｉｔｗａｓｆｏｕｎｄｔｈａｔａｓ．ｇｒｏｗｎａｎｄａＲｅｒ－ｅｔｃｈｅｄＺｎＯ：Ａｌｆｉｌｍｓｄｅｐｏｓｉｔｅｄａｔｄｉｆｉｅｒｅｎｔｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓｄｉｓｐｌａｙｅｄｖａｒｉｏｕｓｍｏｒｐｈｏｌｏｇｉｅｓ．Ａｎｏｖｅｌｃｈｅｍｉｃａｌｗｅｔｅｔｃｈｉｎｇｍｅｔｈｏｄｉ．ｅ．ｔｈｅｅｔｃｈｉｎｇｉｓｆｉｒｓｔｉｎｄｉｌｕｔｅｄＩ－ＩＦｓｏｌｕｔｉｏｎ，ａｎｄｔｈｅｎｉｎｄｉｌｕｔｅｄＨＣｌｓｏｌｕｔｉｏｎ，ｗａｓｓｕｃｃｅｓｓｆｕｌｌｙａｐｐｌｉｅｄｔｏｅｔｃｈｈｉ吐ｒａｔｅＺｎＯ：Ａｌｆｉｌｍｓ，ｗｈｉｃｈｗｅｒｅｄｅｐｏｓｉｔｅｄｕｓｉｎｇｅｉｔｈｅｒｔｌｉ曲ｒａｔｅｎｏｎ－ｒｅａｃｔｉｖｅｏｒｒｅａｃｔｉｖｅｓｐｕｔｔｅｒｅｄｔｅｃｌｍｏｌｏｇｉｅｓａｎｄｇｒｅａｔｌｙｉｍｐｒｏｖｅｄｔｈｅｉｒｓｕｒｆａｃｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ．ＧｏｏｄｓｕｒｆａｃｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｏｎｂｏｔｈｔｙｐｅｓｏｆｈｉｇｈｒａｔｅＺｎＯ：Ａｌｆｉｌｍｓｗｅｒｅａｃｈｉｅｖｅｄ．Ｏｐｔｉｍｉｚｅｄｈｉ曲ｒａｔｅＺｎＯ：Ａｌｆｉｌｍｓｔｒｅａｔｅｄｗｉｔｈｔｈｅｎｏｖｅｌｅｔｃｈｉｎｇｍｅｔｈｏｄｗｅｒｅａｐｐｌｉｅｄｉｎ雌一Ｓｉ：Ｈａｎｄ旺－Ｓｉ：Ｈ／ＰＣ—Ｓｉ：Ｈｔａｎｄｅｍｓｏｌａｒｃｅｌｌｓａｎｄｈｉ曲ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｉｅｓｏｆｕｐｔｏ８．２％ａｎｄ１１．４％ｗｅｒｅａｃｈｉｅｙｅｄ。