真空炉压升率
真空自耗炉知识
ZH—0.001型真空自耗电极电弧炉主要用于熔炼钛、铌、锆等活泼金属和钨、钼等难熔金属，除此之外，也用来熔炼铁基、镍基、钴基等合金材料。
其特点是可以进行高温，高速熔化，脱气效果显著，熔融金属不受耐火材料污染，能够减少金属中的非金属夹杂物。
由于本设备采用了比较新式的电控系统，电极升降即可以手动控制，又可以自动控制，均匀调节熔化速度：追踪灵敏，没有扰动，运行可靠。
本设备型号意义；Z-“真空”H-“自耗电弧”0.001-“锭重”（以钛计）“吨”。
本设备适合于下列条件工作：1．环境温度在5~40℃范围内。
2．海拔不超过1400米。
3．相对湿度不超过90%。
4．在没有剧烈震动和颠簸，没有导电尘埃，爆炸性气体和能破坏金属及绝缘的腐蚀性气体的房间。
二、主要技术数据1．熔炼金属量：1kg（以钛计）2．工作电压：20~45V3．最大工作电流：1200A4．极限真空度：6.6X10-3Pa。
5．熔炼前真空度：1.33X10-2Pa6.压升率：<4 Pa/H。
7．自耗电极规格：Ø25~Ø40X400mm。
8．铸锭规格：Ø60X100mm。
9．冷却水消耗量：6m3/H。
10．冷却水进口水压：2.5~3.5kg/cm2。
11．冷却水进口水温：<25℃。
12．操作，控制交流电源为三相四线制380/220V，50HZ。
三、工作原理ZH-0.001真空自耗电极电弧炉是利用压制成的被熔金属棒料，在真空或保护气氛下进行熔炼的。
在工作过程中金属棒料本身作为上电极（负极），在电流电源作用下与置于结晶器中的下电极（正极）产生电弧，利用电弧的高温使上电极本身熔化，并在水冷结晶器中被迅速冷却凝固，而得到金属或合金的锭子。
四、结构概述ZH-0.001真空自耗电极电弧炉主要由九个部分组成：炉体、上电极升降机构、结晶器、下电极装置、底架及操作台、真空系统、水冷系统、电控系统和直流电源等。
1、炉体是一个立式圆筒形容器，炉体顶盖上装有观察装置。
真空退火炉 升率温
真空退火炉升率温
真空退火炉的升温率是指在加热过程中温度的上升速度。
升温
率通常以摄氏度/分钟（°C/min）或摄氏度/小时（°C/h）来衡量。
升温率的选择取决于具体的退火工艺要求和材料的特性。
升温率的选择需要考虑以下几个方面：
1. 材料的性质，不同材料对温度变化的敏感程度不同。
某些材
料对快速升温更为敏感，而另一些材料可能需要较慢的升温速度以
避免热应力引起的损伤。
2. 退火工艺要求，不同的退火工艺可能对升温率有具体要求。
例如，某些工艺需要快速升温以实现晶粒长大，而其他工艺可能需
要较慢的升温以减小晶粒尺寸。
3. 炉子的能力，真空退火炉的升温速度受到炉子本身的性能限制。
炉子的加热功率、加热元件的设计以及真空系统的性能都会影
响升温率的选择。
在实际操作中，升温率通常根据材料的特性和工艺要求进行优
化。
较快的升温率可以提高生产效率，但也可能增加材料的热应力
风险。
较慢的升温率可以减小热应力，但可能会延长退火时间。
总之，选择适当的升温率需要综合考虑材料的性质、退火工艺
要求和炉子的能力。
在实际操作中，可以通过试验和经验总结来确
定最佳的升温率，以确保材料在退火过程中获得最佳的性能和质量。
真空热处理炉-技术规格书
*h)系统精度：±1.7℃，测试温度950℃；
*i)真空度：工作真空度5×10-3Pa，极限真空度5×10-4Pa范围；
*j)抽气速率：在冷态、空载、清洁、干燥、无污染的条件下，从启动真空系统开始，30分钟内达到5×10-2Pa，50分钟内达到工作真空度5×10-3Pa；
4.2.2全金属热区
*a)隔热屏：隔热屏由至少5层，（3层钼，最内层为Plansee钼镧合金和2层不锈钢）组成。热区的各元件应具有抗高压、抗热疲劳和热老化性，无活动部件；
*b)加热元件：应采用经特别加工过的Plansee钼镧合金加热带，每整圈分为三段。加热元件的支撑件可以方便地拆卸和安装,维修方便。
5设备附件和备件
a)提供设备运行2年的备件、易损件，供货范围应包含加热元件、各类真空油、真空规管、12支N型热电偶等，分项报价计入投标总价；
b)设备附件应包括装卸料车、炉内的装料盘、料框、储气罐，分别报价计计入投标总价；
4.2.7水冷却系统
真空炉选用全封闭水冷却系统，制造商应提供炉子进出口水的流量、压力、温度要求和接口管径等相关指标。水质要求应符合常规真空炉标准。
4.3设备主要用途
该真空炉用于航空产品零部件的各种结构钢、不锈钢、钛合金、磁性材料和高温合金制件的真空热处理。
4.4设备总体要求
*a)设备设计、制造符合ISO国际标准，设备运行符合中国环保标准；
*k)压升率：不大于0.27Pa/h。（按AMS2769A的要求进行测试）；
l)分压控制Байду номын сангаас能：分压范围13～133Pa；
*m)最大气冷压强：6bar；
*n)冷却速度：空炉从1200℃冷却到300℃时间不大于5分钟；
真空炉压升率
【摘要】真空正压气淬炉是处理航空零件的关键设备。
本文对进口真空正压气淬炉在使用过程中所出现的故障进行了分析，提出了维修方案，并对所出现的故障逐一进行了维修，从而确保了进口真空正压气淬炉的正常使用。
H3636-6bar 真空正压气淬炉是我院20 世纪90 年代从国外引进，用于处理航空零件的关键设备。
有一段时间，零件在进行真空热处理后，表面颜色发黑，捆绑零件的金属丝产生氧化并发生断裂的问题。
经初步分析，并对产生氧化的捆绑零件所用的金属丝进行化学分析，断定产生上述问题的根本原因是由于真空气淬炉自身的真空度与压升率不够而造成的。
目前，国际上对真空热处理炉的真空性能通常采用极限真空度与压升率这两个参数来评价。
而所处理的零件的工艺则明确要求，用于处理零件的真空正压气淬炉必须满足如下性能指标的要求：压升率< 6. 7 ×10 - 1Pa/h 、极限真空度高于5 ×10 - 3Pa 。
而对该真空正压气淬炉进行的真空性能测试试验结果为：压升率为3. 3Pa/ h ，极限真空度为8 ×10 - 2 Pa 。
因此，达不到该真空正压气淬炉处理零件应满足的真空性能指标的要求。
一、炉子的故障分析与判断首先，根据炉子的极限真空度与压升率的理论计算进行分析与判断。
用炉子自身的抽空系统对炉室进行抽真空时，冷炉的极限真空度可用下式进行计算：式中P ———冷炉的极限真空度，Pa ;Se ———泵对炉室的有效抽速，L/ s ;Q1 ———炉室的漏气率，Pa·L/ s ;Q2 ———炉室内的表面放气流量，Pa·L/ s ;P0 ———泵的极限真空度，Pa 。
当炉子经过长时间抽空后，则炉室表面放气很小，此时Q2 可以忽略不计，则( 1) 式将成为下式：P = Q1/ Se + P0 ( 2)由公式( 2) 可以得出如下的结论：( 1) 当炉室内没有漏气时，即Q1= 0 ，则P = P0 ，就是说冷炉的极限真空度等于泵的极限真空度。
VHP300真空热压炉技术参数
VHP300真空热压炉技术参数VHP300/50-2000真空热压中频炉技术参数(一)VHP300/50-2000真空热压中频炉技术参数：1最高温度：2000℃；2工作温度：1800℃；3升温时间：由室温升至2000℃≤120min（空炉）；4工作区尺寸：φ300×300mm(直径×高度)；5冷态极限真空度：≤5*10－4Pa；6热态极限真空度:≤5*10－3Pa(空炉1600℃)；7压升率：≤0.3Pa/h；8压机吨位：50T；9水冷压头直径：φ130mm；10压头行程：150mm；11控温精度：±1℃；12均温性：±5℃（950℃恒温30分钟K偶测量）；13可充惰性气体保护，达到微正压(≤0.11MPa绝压)；14加压方式:上压头单向加压;15测温方式:双铂铑热电偶（低温段），高温红外测温仪（高温段）。
（二）VHP300/50-2000真空热压中频炉安装条件：1）炉体占地面积：3000*3000(mm)；总面积：5000*5000（mm）；2）安装形式：立式；3）电源：180kw，380V；4）水源：压力≥0.2MPa，流量≥5t/h；（三）VHP300/50-2000真空热压中频炉机械结构：1）加热室：用于真空或保护气氛；加热器为钨网，在均温区外环形分布；并分为两部分，一部分随炉门开启，另一部分固定在炉体内，方便装卸模具；保温材料从里到外依次为钨屏、钼屏、不锈钢反射屏，不锈钢外壳；为获得较好的保温效果，节省能源，在反射屏外层安装一层莫来石保温层；钨网三区分布，保证了最佳的温度均匀性和工件的均匀受热。
发热体更换方便。
整个加热区可以作为一个结构完备的部件被拆卸出来，便于维护和修理。
2）炉体：立式安装，前开门方式；双层水冷结构，内外层均为不锈钢；内部按高真空要求抛光，外表面喷砂处理；炉体上设有真空接口、电极引入装置、热偶测温装置、光学测温装置、充气装置、放气装置；炉体与炉门密封结构为法兰形式，手轮螺栓锁紧。
真空气相沉积炉说明书
常见故障
可能原因
排除方法
备注
真 空 抽 不 上 但 不 1． 低真空规管工 1． 调整真空规管 在 充 气 烧 结 时 才
漏气（指真空表长 作 电 流 不 正 工作电流。 打开充气阀
时间数值不动）。
确。
2． 更换机械泵油
2． 机械泵油老化 3． 关闭充气阀 3． 充气阀未关闭
真空气相沉积炉说明书
型号：ZT-76-22
制造商：上海晨华电炉有限公司
2013 年 6 月
一、设备特点
1.本设备为气相沉积功能+真空烧结设计，采用石墨碳管为发热体，碳毡为 保温层（厚度 80mm，多层碳毡/石墨纸高温复合，真空环境热导率≤0.27W/m/K）。
2.二台 2X-70 真空泵，一套为工作，另一套备用，如一台损坏将不影响另一 台正常抽真空使用。
热 电 偶 自 动 进 出 1． 内、外限位失 1． 调整或更换内 电 炉 升 温 前 应 观
失灵，报警灯报警 灵。
外限位装置。 察 内 限 位 指 示 灯
2． 压缩空气压力 2． 测量压缩空气 是否亮，应亮着。
不足
压力是否在
0.4~0.6MPa
使 用 一 段 时 间 后 加 热 器 电 阻 值 变 1． 根据仪表说明
3.2 启动 1）合上刀闸，再接通负荷。先检查供电三相负荷（包括零线 220V），如发现 其中一相无电等不正常现象时，应立即切断。 2）测试断水报警功能是否完好，超温报警功能是否完好。 3）用手动调节电位器加热方法判断加热器加热是否正常，三相负载电流是 否平衡。最大电流、电压与变压器上参数是否相符。 4）把控制仪表的开关放在自动位置上，经常注意控制屏上的输出指示是否 正常，电流、电压表有无指示。 5）送入保护气氛后，炉内必须保持微正压（0.01MPa <表压<0.04MPa）。操 作者不要站在面对炉口的地方工作，防止意外发生。 6）选择自动充气的，应预先测试一下其功能是否完好，避免使用时出错。 具备过压自动排气功能的，也应预先测试一下。 7）炉子升温中注意测量冷却水的回水温度，其回水温度不应超过 55℃，回
25kg真空熔炼炉产品说明
25kg真空熔炼炉产品说明一、设备用途本产品主要供大专院校、科研单位及生产企业在真空或保护气氛条件下对金属材料（如不锈钢、镍基合金、铜、合金钢、镍钴合金、稀土钕铁錋等）的熔炼处理，也可进行合金钢的真空精炼处理及精密铸造。
三、结构说明本产品由炉盖、炉体、炉底、坩埚回转机构、真空系统及中频电源控制系统等组成。
炉盖、炉体及炉底均采用双层水冷结构，保持炉壳温度不超过60℃。
炉盖打开方式为手动，炉盖上设有观察孔及挡板，为便于熔化过程中添加合金元素，炉盖上特设有合金加料器。
炉体内有一感应线圈，通过手动转动炉外手柄可轻松将坩埚内熔液浇入锭模，锭模可设计成水冷形式。
坩埚上部设有一测温装置。
真空系统采用二级泵，即K-300油扩散泵与2X-70机械泵，机械泵上设有电磁放气阀避免停电后返油。
真空机组上设有放气阀及充气阀。
电炉抽真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运转正常后，先打开通向炉体的低真空阀（上蝶阀），预先对炉体抽气，此阀打开时应缓慢，以免机械泵排气口处有油喷出。
炉体抽真空同时，打开另一低真空阀（下蝶阀），对扩散泵抽气，当真空度达到15Pa 后，先开启扩散泵上的冷却水，然后对扩散泵加热，一般经过45分钟左右扩散泵起作用，就可关上通向炉体的真空阀（上蝶阀），打开大真空阀（主蝶阀），真空度很快可以达到1.33×10-1Pa以上，即可对电炉通电加热。
新炉第一次加热因放气较多，真空度容易下跌，另外材料加热放气也使真空下跌，所以要慢慢升温真空度下跌到1.5帕停止加热，等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加热。
因扩散泵低于20帕就无法工作，另外扩散泵油在太低真空下易氧化，扩散泵就无法作用。
也可在低真空下加热除气，等放气基本结束，再开高真空。
另外电炉在不用时抽真空状态下保存，下次抽气快些。
欲停止抽真空，应先关闭高真空阀（主蝶阀），然后停止加热，1个半小时后，关闭低真空阀，停止机械泵运转，只有在扩散泵完全冷却之后，才切断其冷却水供应。
铜材光亮退火用预抽真空炉和保护气氛
调质处理相比，螺杆钻具的定子和转子中频感应调质热处理生产线在现场使用取得了良好的效果。
（!）硬度对比"工件经传统工艺调质后，硬度在（#$$%&’(）)*范围内，同一工件上硬度偏差较大，不均匀。
采用本生产线进行感应调质后硬度在（#+(% &,(）)*范围之内，硬度比较均匀（硬度偏差主要发生在端面）。
（#）金相组织对比"采用本生产线进行感应调质后，工件的组织细小，明显优于传统的工艺。
（&）力学性能对比"采用本生产线后，工件的抗拉强度和屈服强度高于原工艺和国标；塑性较原工艺低，较参考指标高，见表#。
表!"力学性能对比结果#$%&’!"()*+$,-.)/,’.0&1)2*’34$/-3$&+,)+’,1-’.试样号工艺!-./01!2./01"3（4）#（4）!传统工艺!(!3++(56&#本生产线工艺!!,(!(#’!#3,&参考指标)!!((’3(!#,3 "")此指标为工厂参照《热处理技术数据手册》制定。
""（,）直线度对比"经传统工艺调质后，工件变形量较大，需要校直，采用本生产线进行感应调质后工件的变形量很小，不需校直。
""（3）表面质量对比"传统加热时间长，表面氧化脱碳较多。
""淬火、回火两用机床降低了用户的资金投入，生产占地少，设备的性能价格比高。
本成套设备加热速度快，生产效率高，基本不氧化脱碳，无噪音，易于机械化和自动化，符合现代化生产&7标准（789:可靠、7;<:安全、7;=>?@节约）及&A标准（ABBC低温、AC:;?清洁、A;C/安静）。
与本生产线配套的外围设备有!(((D=;整流变压器、感应加热用及淬火用的冷却水系统等。
致谢：感谢刘宝民先生对本项目的大力支持。
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【摘要】真空正压气淬炉是处理航空零件的关键设备。
本文对进口真空正压气淬炉在使用过程中所出现的故障进行了分析，提出了维修方案，并对所出现的故障逐一进行了维修，从而确保了进口真空正压气淬炉的正常使用。
H3636-6bar 真空正压气淬炉是我院20 世纪90 年代从国外引进，用于处理航空零件的关键设备。
有一段时间，零件在进行真空热处理后，表面颜色发黑，捆绑零件的金属丝产生氧化并发生断裂的问题。
经初步分析，并对产生氧化的捆绑零件所用的金属丝进行化学分析，断定产生上述问题的根本原因是由于真空气淬炉自身的真空度与压升率不够而造成的。
目前，国际上对真空热处理炉的真空性能通常采用极限真空度与压升率这两个参数来评价。
而所处理的零件的工艺则明确要求，用于处理零件的真空正压气淬炉必须满足如下性能指标的要求：压升率< 6. 7 ×10 - 1Pa/h 、极限真空度高于5 ×10 - 3Pa 。
而对该真空正压气淬炉进行的真空性能测试试验结果为：压升率为3. 3Pa/ h ，极限真空度为8 ×10 - 2 Pa 。
因此，达不到该真空正压气淬炉处理零件应满足的真空性能指标的要求。
一、炉子的故障分析与判断首先，根据炉子的极限真空度与压升率的理论计算进行分析与判断。
用炉子自身的抽空系统对炉室进行抽真空时，冷炉的极限真空度可用下式进行计算：式中P ———冷炉的极限真空度，Pa ;Se ———泵对炉室的有效抽速，L/ s ;Q1 ———炉室的漏气率，Pa·L/ s ;Q2 ———炉室内的表面放气流量，Pa·L/ s ;P0 ———泵的极限真空度，Pa 。
当炉子经过长时间抽空后，则炉室表面放气很小，此时Q2 可以忽略不计，则( 1) 式将成为下式：P = Q1/ Se + P0 ( 2)由公式( 2) 可以得出如下的结论：( 1) 当炉室内没有漏气时，即Q1= 0 ，则P = P0 ，就是说冷炉的极限真空度等于泵的极限真空度。
但是不管炉体密封得如何可靠，炉室总是会有漏气存在的，这是不争的事实。
( 2) 在漏气率Q1 一定的情况下，有效抽速Se 越大，则冷炉的极限真空度就越高。
由此可见，提高冷炉的极限真空度的有效方法是：减小漏气率Q1 和增大泵的有效抽速Se ( 此值是本设备自身的固定的指标，只会逐渐降低) 。
( 3) 当炉室内的漏气率Q1 比较大，而泵的有效抽速Se 又足够大，由( 2) 式可见，仍然可以得到较高的冷炉极限真空度，但是真空正压气淬炉会出现过膛风的问题，从而使被处理的工件表面氧化，亮度降低，致使所生产的产品不合格。
因此，漏气率是评价真空正压气淬炉是否漏气的重要性能指标之一。
综合以上理论计算的分析，漏气率是判定H3636 真空正压气淬炉是否漏气的关键参数。
如何保证H3636 真空正压气淬炉漏气率满足要求，则是制定维修方案的关键环节。
在真空设备维修中，通常采用静态升压法可以计算出该真空设备的漏气率( 压升率) ，从而用来判断该真空设备是否存在漏气。
静态升压法：就是将被检容器抽真空到一定压强后，关闭真空阀门，将被检容器与真空泵隔离开；用真空计测量出一定时间间隔( t ) 内压强( P) 的变化值( ΔP)来，最终计算出该容器的漏气率( 压升率) 。
而用真空计每隔一定时间测量一次容器的压强，就可以绘出通常情况下压强与时间的曲线，利用几条不同的曲线( 如图1 所示) ，就可以判断真空设备到底属于以下哪种情况：漏气、放气、或是两者的组合形式。
直线a ：是一条平行与时间坐标轴的直线，压强不随时间变化而变化，说明容器既不漏气，也不放气。
曲线b ：压强开始上升的较快，而后上升速度渐渐变慢而趋于平衡，这说明容器中只有放气而没有漏气。
斜线c ：是一条具有一定斜率的直线，说明只有漏气曲线d ：开始时压强上升较快，而后逐渐减慢，说明容器内既有放气又有漏气。
曲线d ：开始时压强上升较快, 而后逐渐减慢, 说明容器内既有放气又有漏气。
首先，开启H3636 真空正压气淬炉自身的真空抽气系统对该炉子进行抽真空后，关闭主阀和前级泵，测试炉体内压强的变化，绘制出实际压强- 时间曲线( 如图1所示) 。
通过将实际压强- 时间曲线与理论压强- 时间曲线进行对比分析后，可以得出H3636 真空正压气淬炉既有漏气问题又有放气问题。
其次，根据H3636 真空正压气淬炉的维修经验进行分析与判断。
影响H3636 真空正压气淬炉漏气率的因素有：( 1) 外部空气漏入H3636 真空正压气淬炉的炉室中，使漏气率升高。
( 2) H3636 真空正压气淬炉的炉室内部表面放气，使漏气率升高。
( 3) H3636 真空正压气淬炉的炉室夹层( 包括炉门夹层) 及气体冷却系统的水管漏水，使漏气率升高。
( 4) 真空阀门及充气组阀内部不严漏气，使漏气率升高。
通过公式( 1) 和( 2) 进行分析可知影响H3636 真空正压气淬炉的极限真空度的因素有：( 1) 泵的极限真空度下降，也使冷炉极限真空度下降。
( 2) 泵的有效抽速Se 变小了，也使冷炉极限真空度下降。
( 3) 漏气率Q1 增大了，使冷炉极限真空度下降。
( 4) 炉内表面放气量Q2 增大了( 或炉内进入水及放气物质)，使冷炉极限真空度下降。
( 5) 测量仪表因污染而不准确，影响冷炉极限真空度的测量。
第三，根据H3636 真空正压气淬炉的构造特点，分析可能产生漏气故障的原因。
H3636 真空正压气淬炉是由炉体、加热系统、冷却系统、控制系统、测量系统、真空抽气系统、冷却水循环系统和充气系统等部分组成，其结构示意图如图2 所示。
影响H3636 真空正压气淬炉漏气率的具体部位的分析：( 1) 炉体外部漏气部位有：炉门密封、主阀阀杆密封、气动球阀阀杆密封、放气阀阀芯密封、防爆阀阀芯密封、预抽阀阀杆密封、热电偶密封、加热电极密封等。
( 2) 炉体内壁表面放气。
( 3) 炉室夹层( 包括炉门夹层) 及气体冷却系统的水管漏水。
( 4) 预抽阀的阀体内部漏气，充气组阀中充气阀( 高真空气动碟阀) 、补气阀、分压组阀( 减压阀、微调阀、电磁阀) 内部漏气。
影响H3636 真空正压气淬炉极限真空度的具体部位的分析：( 1) 滑阀泵的极限真空度降低。
( 2) 罗茨泵的极限真空度降低。
( 3) 扩散泵的极限真空度降低。
( 4) 连接滑阀泵、罗茨泵、扩散泵管道密封，前级阀阀杆密封，防爆装置的密封等密封处漏气。
( 5) 炉体漏气。
( 6) 测量仪表及测量规管因污染而不准确。
根据上面影响炉子真空技术指标及可能存在故障的部位的分析，我们制定了检修方案。
二、炉子的维修方案利用进口的氦检漏仪配合下述维修方案的检漏过程的开展：( 1) 检查真空仪表是否在有效期使用范围之内，同时检查真空规管的安装是否存在漏气现象。
( 2) 滑阀泵维修方案：检查滑阀泵内部部件配合间隙磨损情况，滑阀泵的轴头密封圈是否漏油，排气装置的排气阀片的密封情况，真空油路密封情况，真空泵油是否污染及测试滑阀泵的极限真空度。
( 3) 罗茨泵维修方案：检测罗茨泵转子与转子之间、转子与泵腔内壁之间的间隙，检查齿轮及轴承磨损情况，罗茨泵的轴头密封圈情况，罗茨泵两端的润滑油是否污染及测试罗茨泵的极限真空度。
( 4) 对连接滑阀泵、罗茨泵和扩散泵的管道密封进行检漏，对前级阀阀杆的密封进行检漏，对防爆装置的密封等处进行检漏，保证上述密封处不漏气。
( 5) 扩散泵维修方案：检查泵芯各级喷嘴的位置和间隙是否正确，泵的加热功率及泵的自身冷却效果是否正常，扩散泵油是否氧化，扩散泵的油量是否满足要求。
对扩散泵及与之连接的管道与阀门、真空测量点、冷阱等密封处进行检漏。
对扩散泵进行检漏，因为扩散泵油加热到工作温度后，扩散泵油将分解出氢气( H2)和碳氢化合物( CH4 、C2H6) 等，而通过漏孔渗入的空气达到一定量时，这些分解物与渗入空气中的氧气发生化学反应，会产生爆燃，既会伤人又损坏设备。
测试扩散泵的极限真空度。
( 6) 炉体外部漏气部位维修方案：对炉门密封、主阀阀杆密封、气动球阀阀杆密封、放气阀阀芯密封、防爆阀阀芯密封、预抽阀阀杆密封、热电偶密封和加热电极密封等处密封进行检漏。
( 7) 炉体内部放气维修方案：①对炉体内部适当加热，使炉体内部吸附的气体释放出来而被抽走。
②抽真空的同时将氩气充入炉体，使部分挥发物及吸附气体随着氩气一起被抽走。
③再用酒精擦洗炉体的内壁，清除吸附物，减少放气量。
④长时间对炉室抽真空，使炉室表面放气减至最小。
( 8) 炉室夹层( 包括炉门夹层) 及气体冷却系统的管路漏水的检查方案：冷却循环水在长期的使用过程中，水中的杂质吸附在夹层及水管的内表面，夹层及水管的焊接处受到腐蚀而容易出现渗水问题。
在不通水时，这些杂质就会将微漏孔堵死。
炉子工作时，在受到炉内高温和压差( 炉体夹层和水管内有水压，炉体内部处于真空状态) 的双重作用下，微漏孔就会产生微渗水的问题。
检查方案如下：将炉体夹层和水管内的水用压缩空气吹净，再用真空泵连接到炉体夹层及冷却水管的进水口或出水口，对炉体夹层和水冷管抽真空，以便对炉体夹层和水管进行检漏。
( 9) 预抽阀、充气组阀阀体的内部漏气的检查方案：①对预抽阀阀体内部进行检漏。
②充气组阀由充气阀、补气阀、分压组阀( 减压阀、微调阀、电磁阀) 组成。
充气组阀及手动球阀的连接结构示意图如图3 所示。
对充气阀门的内部漏气的检查方案：关闭图3 中充气气路上的手动球阀，将手动球阀与充气组阀之间的氩气用真空泵抽出，形成真空状态，也就是说没有氩气通过分压阀、补气阀或充气阀的内部向炉子内泄漏。
再对炉子抽真空，测试H3636 真空正压气淬炉的漏气率是否合格，就可以说明分压阀、补气阀和充气阀当中是否存在某个阀门有漏气的问题。
判断方案如下：将分压阀、补气阀、充气阀其中两个阀门封堵，利用测试H3636 真空正压气淬炉的漏气率是否合格的方法测试另外一个阀门是否漏气。
对分压阀、补气阀、充气阀逐一进行检测，最后判断出具体是哪一个阀门漏气。
( 10) 氩气的纯度( 含氧量、含水量) 不合格，也会影响热处理产品的质量。
利用专用的露点仪与微量氧测定仪检测瓶装氩气的纯度。
对储存氩气的储气罐、管道和阀门进行检漏，保证这些部件不漏气。
利用专用的露点仪与微量氧测定仪对储气罐内的氩气进行时时的纯度检测，从而使充入炉室内的氩气的纯度达到相关技术指标的要求。
三、故障维修( 1) 真空仪表在有效期使用范围之内，经检漏仪检漏，真空规管处的保护阀门存在漏气问题，将该阀门进行更换。
( 2) 经过检查，罗茨泵转子与转子之间、转子与泵腔内壁之间的间隙在允许范围内，齿轮磨损非常小，不用更换，但轴承磨损严重，因此将该轴承进行了更换。
罗茨泵的轴头密封圈漏油，将轴头密封圈进行了更换，并更换了罗茨泵两端的润滑油。