表面尘埃粒子计数器的工作原理

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2019 年 第 3 期

机，其作用就是用来测量空气中微粒和数通过介绍，使用户能理解此尘埃粒3 使用环境及注意事项

该表面尘埃粒子计数器主要应用于百量及大小的仪器。从而为空气洁净度的评子计数器的工作原理和使用场合，为用级、千级的洁净车间中，用于测量设备表定提供依据。

户的选择提供依据。

面或者台面的尘埃粒子个数，其扫描检测1 概述

头有四个吹起口，用于把表面的尘埃粒子在日益发展的当今社会，各种企业蓬吹起，由当中的吸气口吸入设备中，通过勃发展。有些生产车间的洁净等级要求极激光传感器，由光散射原理进行计数。该高（10级），有的甚至更高（数字越小洁设备在使用过程中，需注意以下几点。

净等级越高）。比如制作液晶屏厂家、人（1）仪器的工作位置必须和采样头

造卫星装配车间、各种各样对环境要求很图2

处于同一个环境当中。

严格的研究院等。目前我们可通过激光尘因为空气中的微粒在光的照射下会发（2）仪器使用时需远离水汽、油埃粒子计数器等检测设备，对其生产的洁生散射，这种现象称光散射。光散射和微污、有腐蚀性的气体和高温气体。

净厂房整体环境能做到检测，使其达到设粒大小，波长、折射等因素都有关联，但（3）为保证计数的准确性，仪器需计要求。但对于设备表面或者桌面吸附的有一个规律，就是微粒散射光的强度随微要每年校准一次。

尘埃粒子很难检测，也比较难控制。而我粒的表面积增加而增大。这样确定了散射尘埃粒子计数器主要参数如下所示。们公司近期研发的表面尘埃粒子计数器就3光的强度就知微粒的大小，这就是光散射外形尺寸：438×296×178（mm ）。能较好地帮助解决这个问题。

式粒子计数器的基本原理。就是说来自光采样粒径：0.3μm、0.5μm、1.0μ2 仪器构成及原理

源的光线被聚焦于测量腔内，当吸入空气表面尘埃粒子计数器由三部分组成。m、3.0μm、5.0μm、10.0μm。

中的每个粒子通过测量腔时，便把入射光第一部分：扫描检测头，它有四个吹流量：28.3 L/min。

散射一次，形成光脉冲信号，经透镜至光起口，主要用于将表面的尘埃粒子吹起，4 结语

检测器，由于光脉冲信号很小，需经光电公司自主研发的表面尘埃粒子计数并在同时把尘埃粒子通过吸入囗吸入设备转换并放大，形在较大的电脉冲信号，通器，在很大程度上解决了客户对于表面粒中，然后通过激光传感器，由光散射原理过电路系统，择要所需信号，让计数系统子无法检测的难题，在国内同行业中始终进行计数。设备可3 s或者6 s计数一次，显示结果。气泵位于仪器内部，工作后产处于领先地位。在这之前检测表面尘埃粒也可设置报警值，当每次计数超过设定值生采样流量，要求气流稳定，振动小。过子的仪器只能采用国外的，现在国内也有时，仪器会有相应的报警提示。

滤器作用是过滤掉大颗粒粒子，避免仪器这个产品了，对于我们国内行业来说，是

排出的空气影响洁净区域。

一个里程碑式的突破。希望在不远的将第三部分：连接主机与扫描采样头的来，有更多的企业来使用。从而确保其环管道，包括取样管道与吹扫管道。该表面境达到要求。

尘埃粒子计数器采用半导体激光光源，检

测精度高、功能简单明了，彩色触摸屏操

图1 扫描采样头吹起和吸气示意图

作，可打印采样结果，贮存、方便用户自

[1] 许钟麟.空气洁净技术原理[M].中第二部分：激光尘埃粒子计数器主

行检测。

国建筑出版社,2003

【参考文献】 表面尘埃粒子计数器的工作原理

◇苏州苏净仪器自控设备有限公司 吴志强