激光干涉衍射测量
激光原理与技术--第六章 激光在精密测量中的应用
半波长的奇数倍时----- 出现明纹。
21
我们把k =士1的两个暗点之 间的角距离作为中央明纹的 角宽度．中央明纹的半角宽度
Δθ0≈λ∕a
◆暗纹中心位置公式:
◆明纹中心位置公式:
明纹 暗纹
◆光强分布公式:
单缝衍射测量仪器示意图
4
6.1.2 激光干涉测长系统的组成
除了迈克尔孙干涉仪以外，激光干涉测长系统还包括激光光源、可移 动平台、光电显微镜、光电计数器、显示记录装置
7.干涉条纹计数时，通过移相获得两路相差π/2的干涉条纹的光强信号， 该信号经放大，整形，倒向及微分等处理,可以获得四个相位依次相差π/2 的脉冲信号（图6-5）。
图6-2 反射器
3
6.1.2 激光干涉测长系统的组成
5.激光干涉仪的典型光路布局有使用角锥棱镜反射器的光路布局，如图6-3示。
图6-3 典型光路布局
6. 移相器也是干涉仪测量系统的重要组成部分。常用的移相方法有机械移相（图6-4）， 翼形板移相，金属膜移相和偏振法移相。
图6-4 机械法移相原理图
13
基本原理
The Michelson interferometer is shown in Figure 1. The basic optical path of laser interferometer length measurement is a Michelson interferometer, and this makes use of interference fringes ,which are the traces of points owing the same path difference, to reflect the information of measured object. It uses the partially reflecting element P to divide the light from laser source into two mutually coherent beams which are reflected by M1 and M2 .The output intensity of an interferometer is a periodic function of the length difference between the measuring path and the reference path of the interferometer. Typical length measurements with a laser interferometer are performed by moving one reflector of the interferometer along a guideway and counting the periodic interferometer signal, e.g. the interference fringes. These results are unambiguous as long as the length difference between two consecutive measurements is within λ/2. Interpolation of the fringes can lead to a resolution of the length measurement below 1nm. The bright fringes occur when the path difference is kλ and the dark fringes when it is (k+1/2)λ,where k is any integer.
激光波长的测定方法
激光波长的测定方法
激光波长的测定方法有多种，以下是几种常见的方法：
1. 干涉法：利用干涉现象测量激光的波长。
常见的干涉法有迈克尔逊干涉仪和杨氏双缝干涉仪等。
通过调节干涉仪的光程差，观察干涉条纹的移动或变化，可以得到激光的波长。
2. 光栅法：利用光栅的衍射效应测量激光的波长。
将激光通过光栅，观察衍射光的角度和位置，根据衍射公式计算得到波长。
3. 分光计法：利用分光仪或光谱仪测量激光的光谱，从光谱中找到峰值对应的波长。
分光仪可以将激光分解成不同波长的光，然后通过光电探测器检测光强，绘制出光谱图。
4. 波速法：利用波速与波长的关系来计算波长。
首先需要知道激光在介质中的传播速度，然后通过测量激光在介质中的传播时间，结合波速公式计算得到波长。
需要注意的是，不同的测量方法适用于不同类型的激光，因此在选择测量方法时需要考虑激光的特性和实验条件。
激光衍射测试技术介绍
演讲人
目录
01. 激光衍射测试技术原理 02. 激光衍射测试技术方法 03. 激光衍射测试技术应用案例 04. 激光衍射测试技术的发展趋
势
激光衍射测试技术原 理
激光衍射现象
激光衍射是光波在传播过程中遇到 障碍物或小孔时，发生散射的现象。
激光衍射现象是由于光波在传播过程 中遇到障碍物或小孔时，发生干涉和 衍射，形成明暗相间的条纹。
应用领域
激光测距：测量距离、速度、加
01
速度等参数 激光雷达：用于自动驾驶、无人
02
机、机器人等领域 激光通信：实现高速、远距离的
03
数据传输 激光医疗：用于眼科、皮肤科、
04
牙科等领域的诊断和治疗
激光衍射测试技术方 法
测试方法分类
01
单光束法：利用 单束激光进行衍 射测试，适用于 简单样品的测试
激光衍射 测试技术 在航空航 天领域的 应用
01
02
03
04
市场前景
激光衍射测试技术在工业生产中的应用越来越广 泛，市场需求持续增长。
随着科技的发展，激光衍射测试技术在科研领域 的应用也越来越多，市场潜力巨大。
激光衍射测试技术在医疗、环保等领域的应用也 在逐步拓展，市场空间广阔。
随着激光衍射测试技术的不断进步，未来市场将 更加多元化，竞争更加激烈。
性质。
激光衍射测试技术 可以分析材料的晶 体结构、晶粒大小、 晶界分布等参数， 为材料的设计和优
化提供依据。
激光衍射测试技术 还可以用于材料的 无损检测，如检测 材料的缺陷、裂纹 等，为材料的质量
控制提供支持。
激光衍射测试技术 在材料分析领域具 有广泛的应用前景， 如金属材料、陶瓷 材料、高分子材料
光学测量方法
光学测量方法光学测量方法是一种利用光学原理进行测量和检测的技术手段。
它通过使用光线与被测量对象相互作用，利用光的传播和反射特性来获取被测量对象的信息。
光学测量方法在科学研究、工业制造和生命科学等领域具有广泛应用。
本文将介绍几种常见的光学测量方法，包括激光测距、衍射测量和干涉测量。
一、激光测距激光测距是一种利用激光束测量距离的方法。
其原理是将激光束发射到被测量对象上，通过测量激光束的发射和接收时间差来计算出距离。
激光测距具有高精度、长测距范围和非接触性的特点，广泛应用于建筑、制造业和地理测量等领域。
二、衍射测量衍射测量是一种利用光的衍射现象进行测量的方法。
当光通过物体边缘或孔径时，会发生衍射现象，产生衍射图样。
通过观察和分析衍射图样，可以获得被测量对象的信息，如物体的大小、形状和表面粗糙度等。
衍射测量广泛应用于光学显微镜、天文望远镜和X射线衍射仪等领域。
三、干涉测量干涉测量是一种利用光的干涉现象进行测量的方法。
当两束或多束光线相交时，会产生干涉现象。
通过观察和分析干涉图样，可以获取被测量对象的信息，如厚度、形状和折射率等。
干涉测量具有高精度和高灵敏度的特点，广泛应用于表面质量检测、光学薄膜测量和光学干涉仪等领域。
四、光学相干层析成像光学相干层析成像是一种利用光学相干层析技术进行图像重建的方法。
它通过使用干涉测量原理，测量多个方向上的光学干涉信号，并通过计算重建出被测量对象的三维结构图像。
光学相干层析成像具有非破坏性、高分辨率和无需标记的优点，广泛应用于医学影像学、材料检测和生物医学等领域。
总结：光学测量方法是一种利用光学原理进行测量和检测的技术手段。
激光测距、衍射测量、干涉测量和光学相干层析成像是常见的光学测量方法。
它们各自具有不同的原理和应用领域，可以满足不同需求的测量和检测任务。
随着科学技术的不断发展，光学测量方法将在更多领域发挥重要作用，推动科学研究和工业制造的进步。
基于激光干涉仪的衍射光栅波前检测
检测装置，便于重复测量，得到的结果可靠性高。
关键词：Ｚ ＹＧ Ｏ干涉仪 ；光栅；衍射 波前；干涉条 纹 中图分类号 ：０ ４ ５ ３ ． ２ ；Ｔ Ｂ ２ ２ 文献标志码 ：Ａ ｄ ｏ ｉ ：１ ０ ． ３ ９ ６ ９ ￣ ． ｉ ｓ ｓ ｎ ． １ ０ ０ ３ ． ５ ０ １ Ｘ． ２ ０ １ ３ ． ０ ３ ． ０ １ １
第４ ０卷第 ３ 期
２ ０ １ ３ 年 ３月
光 电工 程
Ｏｐ ｔ ｏ － Ｅ ｌ ｅ ｃ ｔ ｒ ｏ ｎ ｉ ｃ Ｅ ｎ ｇ ｉ ｎ ｅ ｅ ｒ ｉ． ３ Ｍａ ｒ ｃ ｈ ， ２ ０１ ３
文章编号：１ ０ ０ ３ — ５ ０ １ Ｘ （ ２ ０ １ ３ ） ０ ３ — ０ ０ ６ ７ — ０ ８
衍射光栅及 凹面衍 射光栅 的衍射 波前 进行 了检 测， 得到参考光与衍射光的干涉条纹及相 关信 息， 拓展 了 Ｚ Ｙ Ｇ Ｏ干
涉仪的用途。利用传统的干涉检 测法，检 测时，干涉仪 与标 准透镜及反射镜配合使用 ，标准镜精度接 近 ２ ／ ４ ０ ，干
涉腔精度 为 ２ ／ ２ ０ 。检 测得到平面光栅 一级衍射 光与参考 光的干 涉条纹及光栅的衍射波前 ，分析比较 了两种检测 凹 面光栅的方法。与以往检 测光栅 波前装置相 比，本 文提 出的测量装置精度 高、安装 简单 ，不需要搭 建专 门的波前
基于激光 干涉仪 的衍射光栅波前检测
钱林 勇 ，黄元 申，张大伟 ，倪 争技 ，庄松林
（上海市现代光学系统重点实验室 ，教育部 光学仪 器与系统工程 中心 ； 上海理工大学 光 电信 息与计算机工程学院 ，上海 ２ ０ ０ ０ ９ ３ ） 摘要 ：以往检 测衍 射光栅波前时，需 自行搭 建检 测光路 ，且搭建过程 中由于元件较 多，造成 系统精度难 以保证 ， 得到的测量结果不够理 想。针对这些 问题 ，本文提 出基于 Ｇ Ｐ Ｉ ｒ Ｍ ＸＰ ／ ＤＸ型 Ｚ ＹＧ Ｏ干涉仪搭建检测光路 ，并对平 面
物理实验技术中的光学特性测试方法
物理实验技术中的光学特性测试方法光学作为物理学的重要分支，涉及到很多领域的研究，从天文学到生物学，光学技术都起到了关键作用。
而在物理实验中，对光学特性的测试方法也是不可或缺的。
本文将介绍几种常见的光学特性测试方法，展示它们的原理和应用。
一、衍射和干涉衍射和干涉是光学实验中常用的测量方法之一。
衍射现象是光波在通过一个狭缝或物体边缘时的弯曲扩散。
而干涉则是两个或多个光波相互叠加而形成的干涉条纹。
这两种现象都能提供光波的波长和波速等信息。
通过衍射和干涉现象，可以测量光的波长。
例如，夫琅禾费衍射仪是一种常见的光学仪器，它利用狭缝产生衍射光，通过观察衍射光的干涉条纹，可以计算出光的波长。
这种方法在物理实验中广泛应用于测量激光的波长、光纤的色散等。
干涉仪也是常用的光学实验仪器，它利用干涉现象测量物体的形状和薄膜的厚度等。
例如，薄膜干涉仪可以通过观察薄膜上的干涉条纹来测量薄膜的厚度。
这种方法广泛应用于薄膜涂层的研究和制备中。
二、光电技术光电技术是利用光的电磁性质进行测量和控制的一种技术。
它主要依靠光电效应、光散射和光吸收等原理来实现对光学特性的检测。
光电二极管是光电技术应用最为广泛的器件之一。
通过测量光电二极管的输出电流或电压变化，可以得到光的强度、功率等信息。
在物理实验中，光电二极管广泛应用于光源的测量、光谱的测量以及光电转换器件的研究等。
光电倍增管是一种能够放大微弱光信号的器件。
它利用光电效应将光转化为电子，然后利用倍增过程将电子不断放大，从而提高信号的强度。
在物理实验中，光电倍增管常用于弱信号的测量，如荧光、放射性测量等。
三、散射和吸收光的散射和吸收是光学实验中用于测量物体光学特性的重要方法。
散射是光在物体表面上发生反射或散射的现象，而吸收则是光经过物体后被物体内部吸收的过程。
斯托克斯散射是一种常用的散射实验方法。
它利用光散射的方向和强度变化来分析和研究物质的光学性质。
斯托克斯散射广泛应用于材料的结构表征、颗粒的测量以及生物分子的研究等。
干涉与衍射光强分布测量
前言随着科技进步，当今先进的光谱实验室已不再使用照相干版法获得光谱图形，先进的光学实验室也不再用测量望远镜或丝杠带动光电池来测量干涉、衍射花样的光强分布，所使用的都是以CCD器件为核心构成的各种光学测量仪器。
LM99PC单缝衍射仪/多道光强分布测量系统用线阵CCD器件接收光谱图形和光强分布，利用计算机的强大数据处理能力对采集到的数据进行分析处理，通过直观的方式得到我们需要的结果。
与其他产品相比，LM99PC具有分辨率高（微米级），实时采集、实时处理和实时观测，观察方式多样，物理现象显著，物理内涵丰富，软件功能强大等明显的优点，是传统单缝衍射仪的升级换代产品。
第1章硬件组成一套完整的LM99PC由光具座、激光器、组合光栅、LM501/601 CCD光强分布测量仪和计算机数据采集盒（USB接口），外加一套计算机组成。
LM99PC外观1．激光器：小功率的半导体激光器或He-Ne激光器均可在LM99PC上使用；2．组合光栅：由光栅片和二维调节架构成，见图1，光栅片上有7组图形，见图2。
光栅片上部/ 下部第1组：单缝（a=0.12mm）/ 单丝（0.12mm）第2组：单缝（a=0.10mm）/ 单丝（0.10mm）第3组：单缝（a=0.07mm）/ 双缝（a=0.07mm，d=2）第4组：单缝（a=0.07mm）/ 双缝（a=0.07mm，d=3）第5组：单缝（a=0.07mm）/ 双缝（a=0.07mm，d=4）第6组：双缝（a=0.02mm）/ 三缝（a=0.02mm，d=2）第7组：四缝（a=0.02mm）/ 五缝（a=0.02mm，d=2）d为缝中心的间距与缝宽的比值。
几组多缝结构按排是针对母国光等编第 1 页 共 21 页《光学》P223~P227；P325~P331的教学内容所设计。
3．计算机数据采集盒：计算机数据采集盒用USB 接口与计算机相连，同时以DB15插座通过电缆线与LM601/501 CCD 光强仪后面板各插孔相连。
光电测量 第六讲 干涉与衍射测量
一、干涉测量
1.
干涉与衍射测量
光干涉基本原理
（1）基于电磁场的线性叠加原理 （2）各点电场矢量的矢量和： E = E1 + E 2 + ... 各点电场矢量的矢量和： （3）由于麦克斯韦方程为线性微分方程，所以其解的线性组合仍然是其解 由于麦克斯韦方程为线性微分方程， （4）强激光高强度电磁场情况下，有明显的线性偏差 强激光高强度电磁场情况下， E：电场强度矢量 ：
2 2 2
N λ0 ∆λ0 λ0 N λ0 ∆n 2 2 2 2 ∆L = + ∆N + + [(20 − t ) L0 ∆a] − (aL0 ∆t ) + (∆δ ) + (∆x) 8n n 8n λ0 8n
第六讲
干涉与衍射测量
P点： E ( P, t ) = A cos ϖ (t − k0 ⋅ r ) + φ = A cos(ϖ t − k ⋅ r + φ )
c
P点比原点的光扰动时间滞后：k0 ⋅ r c
平面波：与传播方正交的平面上场点的相位相同。 平面波：与传播方正交的平面上场点的相位相同。
第六讲
பைடு நூலகம்ϖk 0
= E1 + E 2 + 2 E1 • E 2 cos θ
2 2
相位差： θ
= k1 • r − k2 • r + (δ1 − δ 2 ) = r • (k1 − k2 ) + (δ1 − δ 2 )
干涉的四种情况： 干涉的四种情况 ： （ 1）振动方向正交 ； （ 2）振动方向随机变化 ； （ 3）振动方向恒定且 ） 振动方向正交； ） 振动方向随机变化； ） 不正交，初相位为时间的函数，则初相位差在不同时间间隔内随机取值； 不正交 ， 初相位为时间的函数 ， 则初相位差在不同时间间隔内随机取值 ； （ 4）稳定的平 ） 干涉的四种情况：请同学们分析！ 干涉的四种情况：请同学们分析！ 均振动方向，不正交。无限长时间内初相位保持恒定或初相位随是时间的函数，非恒量， 均振动方向，不正交。无限长时间内初相位保持恒定或初相位随是时间的函数， 非恒量， 但有相关性，使得初相位差对时间的平均值保持恒定。 但有相关性，使得初相位差对时间的平均值保持恒定。
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8
判向计数原理框图
27
判向原理图
1、2—光电元件；3—干涉条纹
28
细分原理框图
29
非接触式定位
光源
聚光镜 光电倍增管 狭缝
振动反射镜 左偏离 观察目镜 振子线圈
对准时
被测线纹尺
右偏离
30
1、半光强定位
V V” V V’ V/2
D
He-Ne D1 D2
dI/d t
D” D D’ t
被测 工件
He-Ne
38
6.1.3 激光干涉测长应用举例（2）
激光测气体折射率： n m
0
2L
N 1
双频激光干涉仪测量空气折射率
1:偏振分光棱镜；2: 分光器；3: ¼波片；4: 真空室；5: 抽气口；6: 角锥棱镜；7: 检偏器；8: 光电接收器；9: 补偿环 39
6.1.3 激光干涉测长应用举例（3）
膜厚干涉测量系统
第6章 激光在精密测量中的 应用（1）
6.1 激光干涉测量 6.2 激光衍射测量
1
补充知识：迈克尔逊干涉仪
• 迈克尔孙干涉仪原理图( i1= 0，光垂直入射)
M1
M2/
P
G1
G2
S
L1 L2 F A
M2
2
迈克尔孙干涉仪原理图(
M1 M2/
i1≠ 0)
G1（分光板）
G2（补偿板）
L1 S
M2
L2
b b 0 kL x x k0 k
单缝衍射测量的分辨力、精度和量程:
t db dx k b
2
衍射测量原理图
2 2
kL
kL kL k b L 2 x k x x x k k k
6
M1 M
吐级
7
吞级
8
移级
9
6.1 激光干涉测长
系统主要包括：稳频激光器、干涉仪本体及光电组合体 激光头 稳频器 氦氖激光器 光电组合体 准直透镜 光电转换 鉴向倍频 大气修正 计算机 放大 整形 输出
10
干涉仪本体
迈克尔逊干涉仪的工作原理
原理：激光器发出的激光束到达半透半反射镜P后被分成两束，当两束 光的光程相差激光半波长的偶数倍时，它们相互加强形成亮条纹；当 两束光的光程相差半波长的奇数倍时，它们相互抵消形成暗条纹。
d²I/ dt² t
31
2、白光干涉定位
白光光源 准直 （a) (b) D1 D2 激光器 准直
(c ) 量块 (d) 平晶
32
大气修正
1、大气条件的影响 测长公式：L=Nλ/ 2 * λ——标准激光波长（标准大气条件下传播介质中的激光波长） * 标准大气条件——气温20°C，气压760mmHg，湿度 10mmHg; 测长公式：L=N λ0 /2n 式中：λ0——激光的真空波长； n——标准大气折射率（标准大气压下空气的折射率）； （1）被测物体长度随气温变化； （2）测量起始时刻大气条件偏离标准大气条件造成的条纹计数 误差； （3）测量过程中大气条件偏离测量起始时刻大气条件造成的条 纹计数误差；
0
64 9 8 9 0 .5 m m
8
34
选定气室长度：L
0
64 10
8
nt , p , f 1 N 1 0
空气室 L
真空室
光电检测器
35
6.1.2 激光外差干涉测长技术
直流干涉仪：前置放大器为直流放大器。动镜从静止→运动→静止； 干涉条纹变化频率从0 →最大值→0；光强转化的直流信号的频率变化 范围也从0开始，需用直流放大器。 缺点：外界环境干扰能力差，只能在恒温防震条件下使用。 外差干涉仪：在干涉仪的信号中引入一定频率的载波，使被测信号通 过这一载波来传递，干涉仪能够采用交流放大，隔绝外界环境干扰造 成的直流电平漂移。 载波信号产生方法：使参与干涉的两束光产生一个频率差，这样的两 束光干涉会产生“光学拍”现象，转化为电信号得到差频信号。（光 外差干涉）。
C1
G M S T D1 S1 S2 D2 C B C2
P
C1,C2—角锥棱镜 G—毛玻璃 M—反射镜 C—楔形平板 B—分光器 S—氦氖激光器 T—准直透镜 D1、D2—光电接收器
S1、S2—光栏
该激光干涉仪的量程 ≤1m 最小读数值为0.1μm
P—棱镜
23
R1
R2 T
S
C1 S1 D1
B1 C2
当测量镜正向移动时产生的脉冲为正脉冲，而反向移动时 产生的脉冲为负脉冲。
26
判向计数原理框图
干涉条纹计数时，通过移相获得两路相差π/2的干涉条纹的光强 信号，该信号经放大，整形，倒向及微分等处理,可以获得四个 相位依次相差π/2的脉冲信号。实现干涉条纹的四倍频记数。相 应的测量方程变为
L N
10
6
0 .1 1
10
7
上述要求也是对激光频率稳定度的要求。实际上，除频率不稳定引起的 误差外，还有条纹计数误差、对准误差等等一系列的测量误差。因此， 对激光频率的稳定性的要求就更高些。一般环境条件影响引起激光频率 的相对变化约为10-7，所以要获得： 10 7 的频率稳定度，必须采 取一定的稳频措施
13
干涉仪的分光器件和反射器件
迈克尔逊干涉仪的分光器件、反射器件和总体布局有若干 可能的选择。 干涉仪的分光器件原理：可以分为分波阵面法、分振幅法 和分偏振法。 分振幅平行平板分光器和立方棱镜分光器 偏振分光器以及由晶轴正交的偏光棱镜组成，如沃拉斯顿 棱镜。
14
M1
I3
I1 I M2
I2 I4
B2 S2
D2
考伦凯维奇型激光干涉仪的光路系统
S—氦氖激光器； T—准直透镜； C1—反射棱镜； R1、R2—转向棱镜； C2—角锥棱镜； S1、S2—光栏； B1、B2—分光镜； D1、D2—光电接收器；
24
JG-Ⅱ型激光干涉仪的光路系统
M1
M2
J
PBS C1 C2
T
S1 D1
M3
B1 M4
B2
nl
i 1
N
i i
n
J 1
M
j
lj
因此，M2沿光束2方向上每移动半波长的长度，光束2的光程就改变了 一个波长，于是干涉条纹就产生一个周期的明、暗变化。
这个变化由光电转换装置转变成一个电信号而被光电计数器计数，并 由显示和记录装置加以显示和记录。我们只要记下M2移动时干涉条纹 变化的周期数N就可以得到被测长度(即M2移动的距离)。
2
48
圆孔爱里
49
圆孔衍射测量
图表示了圆孔的夫琅和费衍射原理，接收屏上衍射条纹的光强分布为
I P I0[ 2 J 1( x ) x ]
2
x
2 a sin
1 .2 2
中心亮斑(即第一暗环)的直径为
d 1 . 22
f '
a
圆孔的夫琅禾费衍射原理示意图
50
间隙测量法
其基于单缝衍射的原理。作尺寸的比较测量,如图(a)。作工件形状的轮 廓测量，如图(b)。作为应变传感器使用，如图(c)。
间隙测量法的应用
用间隙测量法测量位移,即测量狭缝宽度b的改变量=b’-b,可采用绝对 法,求出变化前后的两个缝宽b和b’，然后相减。也可以用增量法。后 者所用公式为
2
t
νdt
2
N
37
0
6.1.3 激光干涉测长应用举例（1）
激光测角的原理与小角度干涉仪类似,都是采用三角正弦原理。如图所 示。被测的转角为：
arcsin
L R arcsin
ν D 1 ν D 2 dt
t 0
2R
激光测角原理示意图
1:偏振分光棱镜组；2: 角锥棱镜组；3, 3‘: 检偏器；4, 4’: 光电接收器； 5,5‘: 放大器；6: 倍频和计数卡；7: 计算机
19
1、机械法移相
e/4
0 π/2 π
2π
π
2、移相板移相 （1）翼形板移相
20
d
β
β= 1√ndλ 2d β = 1 √2 n d λ 2d
(2)介质膜移相板移相
21
λ d 8 (n-1) 3、分光器镀膜分幅移相 4、偏振移相
d=
I
B
I’
E
λ/8
B
I0
Ia Ia’ Ib Ib’
22
美国B—B公司生产的一种激光干涉仪的光路系统
I 1′ I 2′ I 3′ I 4′
分光棱镜
平板分光器
n1
n2
分光棱镜
偏振分光器
15
n0 >ne e e
o
渥拉斯顿棱镜
双折射偏振分光棱镜
洛匈棱镜
16
干涉仪的分光器件和反射器件
干涉仪中常用的反射器件：平面反射器、角锥棱镜反射器（图a）、直 角棱镜反射器（图b）、猫眼反射器（图c）
17
干涉仪的典型光路布局和移相器
L N
2
被测长度L通过运算和显示电路直接显示出来
11
迈克尔逊干涉仪的基本误差分析
如果我们不考虑计数N的误差，则由于波长的不稳定所造成的测长L的相 对误差为(前者是干涉测长系统的设计问题，后者是波长的相对误差)
L L N N L L
如果我们要求在一米长的范围内由于波长不稳定所引起的测量误差小于 0.1m，则要求激光波长的稳定度为