学习心得模板
学习心得体会通用模板5篇
学习心得体会通用模板5篇为了避免在写心得体会的时候出现词不达意的情况，就要紧扣主题，其实心得体会就是一种把大家脑海里的波动用文字记录下来的文字报告，下面是为您分享的学习心得体会通用模板5篇，感谢您的参阅。
学习心得体会通用模板篇1教师专业是动态发展的、终身持续的过程，现代教学应是建立在教师学习基础上的。
必须在加强和发展教师教育，促进教师专业化发展的同时，加快教师专业化进程，以适应学习化社会、终身化学习的需要。
由此通过对教师专业观发展历程的回顾，通过对教师专业能力的时代内涵以及教师继续教育课程改革原则的论证和阐述，探讨教师继续教育课程创新的机制，明确教师的专业成长与教学的发展性是一种不断演进、不断超越的创造发展历程。
因此，努力实施继续教育工程，加强中小学师资队伍的建设，是面临新形势的需要，是增强县域经济实力、综合实力的需要，教师整体素质的提高，为教育夯实了基础，教育的发展必将迎来一个美好的春天。
教师继续教育是教师教育的重要组成部分，是提高全体在职中小学教师整体素质和促进教师专业化的有效途径，也是全面实施素质教育的关键。
学习期间，在与实际相结合不断的实践，取得了非常大的进步。
现将一些学习体会做个小结。
通过学习，我首先是更新了观念：对教师来说，研究是学习、反思、成长、发展的同义词，与专业人员的研究具有质的区别。
它是“以解决问题为目标的诊断性研究及实践者对自身实践情境和经验所做的多视角、多层次的分析和反省。
通过学习，从“过去的我”与“现在的我”的对话交流，是努力摆脱“已成的我”，为不断获得新生的过程。
努力研究自己，其目的就是为了提高自己、发展自己、更新自己。
教师是学生成长的守护人。
他将教师角色定位于学习者、研究者、实践者。
教师首先是学习者，不仅要善于向实践学习，向理论学习，而且要向学生学习。
教师是研究者，带领学生主动积极参与科研课题的研究。
教师是实践者，实践的内涵是“变革”。
教育无小事。
一个细节可能会影响一个孩子的一生。
学心得体会模板5篇
学心得体会模板5篇在看了《成长守护者护苗行动》之后，才发现长大，这个词，一点都不陌生的陌生着，因为，曾经是我们小时几乎每天都期待的用着的:等我长大后，就可以买很多很多糖；等我长大后，就不怕那条狗了；等我长大后，就可以自己去街上了；等我长大后，就可以给外公很多很多钱买肥料。
就是被那时当下的生命体征变化主宰着一切，就像现在的我们一样，看到的、想到的和以为的都是当下最关注的、最无助的和经历中成长变化。
而成长像是一个结果中的中性打包，你的成长经历是什么？成长历程里面给你带来多少故事？又有什么体现和内心感受呢？。
一箩筐的问题，都是成长中记录，其中时间是记录官，也是自己成长中最强大的守护神。
而告诉我时间并且陪伴的人，那就是神的守护者了。
父母是自己儿时最强大的守护者，有着他们的爱和保护，有着各种各样的成长经历的每位，最后，长大了，你们是感恩更多呢，还是感叹更多呢？在自己身上的经历，那是感叹着为什么要自己去感恩呢？感恩在最美的的地方，需要说出来吗？对于经历了一次又一次摔跤的过程中，最后，懂了，内心的感恩和敬畏之心才是让自己成长，让自己尊重自己和爱自己。
以至表达出自己认识这个世界万事万物后，还是那么可爱的像个孩子一样，无忧无虑、没心没肺、快快乐乐的跟着父母聊着，还是孩时那样行空万里，信心百倍斗志昂扬的战胜一切不可能。
一、明确新目标即围绕建设XX国际化大都市目标，按照县局的分阶段、分层次制定的工作规划，找准工作定位，具体职责和工作要求；结合全年工作任务明确目标，夯实责任，立足地税工作的实际情况，制定个人工作计划，明确努力方向。
二、提升新境界即通过学习教育和讨论养现代化思维，掌握现代社会管理知识和信息技术，增强推动科学发展、促进社会和谐和建设国际化大都市的本领；培养市场化意识，掌握外向型经济建设与管理、城市文化特色塑造、现代企业管理等方面的知识与技能，提高运用市场办法破解难题的能力；培养国际化眼光，学习现代商务礼仪、项目运作和商谈技巧，使思维能力、认识水平、工作方法更加符合国际化大都市的要求和需要。
学习心得体会万能模板(5篇)
学习心得体会万能模板（5篇）学习心得体会万能模板（5篇）心得体会不仅是学生个人的总结和反思，也可以与他人进行分享和交流。
学生可以将自己的心得体会与导师、同学或其他参与者分享，从中获得反馈和启发。
以下是带来的学习心得体会万能模板，欢迎大家一起来收看！学习心得体会万能模板【篇1】这个暑假，我又去温州参加了《教育学》专业本科函授学习，刚开始，我很想放弃，因为瑞安去温州的费用比学费还要贵，我还认为三年本科函授只是为了多一张文凭。
后来参加了，才知道函授学习生活是那么的多姿多彩。
浙江师范大学的老师，他们讲课很认真、很投入，旁征博引、深入浅出，让我们开阔了眼界，增长了知识。
使我知道了自己以后要注意的东西，我知道了同行在干什么，明白了一个教师应该具备什么、一堂好课应该是怎样的。
脑子里面的东西变得清晰而不是原来的模糊。
首先，要对自己有一个准确的定位。
始终将自己作为教学者与学习者相统一的角色来看待。
将自己的角色定位于学习者，一个与学生在课堂生活中共同成长的学习者，通过平等地讨论和对话，表达自己的教育认识，吸纳学生合理的教育见解，实现师生的共同成长。
同时，也将自己的课堂教学定位于讨论、对话、商讨、沟通、质疑、批判的过程，不想把自己的课堂搞成一言堂，希望同学能够参与课堂教学，真正成为课堂生活的主人，真正使课堂教学焕发出生命的活力！其次，要让学生在课堂学习过程中找回自信与尊严，这是真正培育学生教育智慧和形成个人教育知识的前提。
所以，在课堂教学中，要多鼓励学生提问与思考，要欣赏学生的表白与论述，要为学生表达自己的认识与思想提供机会与条件。
我希望学生能够成为一名真正的学习者，而不是一名老实的只会用耳朵学习的机器。
为此，我时刻提醒自己，不要在课堂上形成教师的知识与话语的霸权，要倾听学生的表达，要尊重学生的见解，要谦逊地表达自己的认识与看法。
幸好，在这个过程中，我没有教教材，而是用教材教，一定程度上学生与我都获得了某种认识上的自由，我惊喜地看到，许多学生开始能够从教育的角度，用教育的思维，形成教育的理念与智慧。
有关于学习的心得体会范文(模板9篇)
有关于学习的心得体会范文（模板9篇）学习心得体会范文篇一生活让人快乐，学习让人更快乐。
学习中有许许多多的快乐，如果你觉得不是，那就是你平时一定没有认真学习，认真学习的话，你会发现学习中蕴涵着无穷的快乐。
有一次，上英语课，王老师为了让我们能够记牢课本上的英语单词，特意为我们组织了一个小游戏。
我可是特别讨厌上英语课的，听到老师说要给我们做游戏就感到很新奇。
同学们也开始交头接耳地议论起来，班里一下子沸腾了。
一向不给我们玩的王老师怎么让我们做游戏了呢?我们心里都产生了疑问。
王老师看出了我们的心思，大声说：“静一静，静一静。
以后，我们经常会在英语课上做一些英语小游戏，开始快乐教学。
”我们听了欢呼起来。
老师讲了游戏的规则：让一个人开头，走到自己的好友身旁对她说：“getonthetrain，please。
”另一个人道一遍谢后，排到第一个同学的前面，对下一个人说，以此类推，直到座位上没人时，游戏才算结束。
老师把游戏规则说完后，就让我们练习这一句话，同学们热情高涨，每个同学都非常认真……游戏开始了,小廖开了个头,然后欢笑一片,全班同学都沉浸在愉快的学习气份中。
这次的游戏活动，不仅让我们牢记了课本里的英语单词，而且还在有趣的活动中学到了文明用词，感受到了快乐学习的益处。
学习心得体会范文篇二学习是阳光，它可以驱除心中的某影。
学习是雨露，可以滋润干枯的心智。
学习是阳光雨露，它抚慰着我们幼小的心灵。
不知不觉中，学习已伴随我走过了十几个难忘的春夏秋冬，再数个春夏秋冬中，我尝到了学习五味瓶的真正味道。
学习肯定是苦的，特别是在考试前，同学们更是叫苦连天，老师抓紧时间给我们做令人烦琐的复习题，布置了堆起小山的回家作业。
虽然学习很忙碌，很辛苦，但我并没有觉得疲倦，我觉得学习很快乐。
看到了自己有了优异的成绩，我会想：学习是幸福的，当历尽了千辛而获得成功时，学习的果实是那么的甜啊!紧张的学习环境当中，丰富的课外活动也充实了我的视野，欢乐的六一儿童节使动听的歌舞围绕着我们，同学们载歌载舞，沉浸在自己节日的欢乐海洋中，校园组织的春游、秋游……在学习生活中，也充满了竞争，一次又一次的竞选增强了我的信心与经验，给我在某以后的工作中祭定了基础。
学习心得模板模板8篇
学习心得模板模板8篇（经典版）编制人：__________________审核人：__________________审批人：__________________编制单位：__________________编制时间：____年____月____日序言下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。
文档下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种类型的经典范文，如心得体会、规章制度、合同协议、条据文书、策划方案、应急预案、自我鉴定、教学资料、作文大全、其他范文等等，想了解不同范文格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by this editor. I hope that after you download it, it can help you solve practical problems. The document can be customized and modified after downloading, please adjust and use it according to actual needs, thank you!Moreover, our store provides various types of classic sample essays, such as insights, rules and regulations, contract agreements, documents, planning plans, emergency plans, self-evaluation, teaching materials, complete essays, and other sample essays. If you want to learn about different sample formats and writing methods, please pay attention!学习心得模板模板8篇在写心得的过程中，需要尽可能地使用简明的语言展开写作，心得体会是一种内省过程，有助于人们更好地认识自己，理解自己的情感和行为，下面是本店铺为您分享的学习心得模板模板8篇，感谢您的参阅。
学习心得体会简短模板7篇
学习心得体会简短模板7篇1. 学习方法与技巧的体验在学习的过程中，我深深体会到了合适的学习方法与技巧对于提高学习效果的重要性。
通过试错，我找到了适合自己的学习方法，比如制定详细的学习计划、使用记忆技巧、多做练习等。
这些方法和技巧让我更加高效地掌握知识，提高了学习的质量。
2. 目标的重要性设定明确的学习目标对于提高学习动力和效果至关重要。
在学习的过程中，我学会了制定具体且可量化的目标，并为之努力奋斗。
这种有目标的学习方式让我更加专注，对于提高学习效果有着明显的促进作用。
3. 自律与坚持的重要性学习是一个漫长的过程，需要持续不断地努力和坚持。
通过培养自律能力，我能够更好地抵御诱惑和压力，保持学习的动力和耐心。
坚持下去，我发现自己在学习中不断进步，实现了自己的目标。
4. 多元化学习的经验学习不仅仅是在教室里听课，还可以通过多种途径获取知识。
我尝试了阅读相关书籍、参与讨论小组、观看教学视频等方式，丰富了学习的内容和渠道。
多元化的学习经验让我更加全面地了解和掌握知识，提高了学习效果。
5. 克服困难的经历在学习的过程中，我遇到了许多困难和挑战。
但通过积极的态度和努力，我逐渐克服了这些困难，不断提升自己的学习能力。
这个经历让我明白，困难并不可怕，只要有毅力和耐心，就一定能够战胜它们。
6. 合理安排时间的技巧学习需要合理安排时间，通过掌握时间管理的技巧，我能够更好地利用时间，提高学习效率。
我学会了制定每天的学习计划和优先级，合理安排各项任务，减少了拖延和压力，提高了工作效果。
7. 总结反思的意义学习过程中的总结和反思对于巩固知识、发现问题、提高学习效果至关重要。
我在学习的过程中养成了总结和反思的习惯，每次学习完一个知识点，我都会花时间总结和反思，这让我更加深入地理解和掌握知识，从而提高了学习成果。
通过这些学习心得的体会，我明白学习是一个不断探索、不断进步的过程。
只有通过不断地尝试和实践，我们才能找到适合自己的学习方式，提高学习效果，实现自己的学习目标。
学习心得体会万能模板_1
学习心得体会万能模板（经典版）编制人：__________________审核人：__________________审批人：__________________编制单位：__________________编制时间：____年____月____日序言下载提示：该文档是本店铺精心编制而成的，希望大家下载后，能够帮助大家解决实际问题。
文档下载后可定制修改，请根据实际需要进行调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种类型的经典范文，如演讲致辞、总结报告、心得体会、合同协议、条据文书、策划方案、导游词、教学资料、作文大全、其他范文等等，想了解不同范文格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by this editor. I hope that after you download it, it can help you solve practical problems. The document can be customized and modified after downloading, please adjust and use it according to actual needs, thank you!Moreover, our store provides various types of classic sample essays for everyone, such as speeches, summary reports, insights, contract agreements, documentary evidence, planning plans, tour guides, teaching materials, complete essays, and other sample essays. If you want to learn about different formats and writing methods of sample essays, please stay tuned!学习心得体会万能模板当我们心中积累了不少感想和见解时，对于自己的活动经历,通过书写心得体会,来详细记录自己的思想变化过程。
个人学习心得体会1000字(模板10篇)
个人学习心得体会1000字(模板10篇)随着自己在生活中体会到更多心情感悟，这个时候我们可以选择动笔来写下自己的心得体会。
不管是什么类型的心得体会，最重要的都是发表自己的看法。
在整理心得体会的时候你有什么想法吗？下面是编辑帮大家整理的个人学习心得体会,可能你会喜欢，欢送分享。
个人学习心得体会(篇1)受新冠肺炎疫情的影响，我校于20xx年2月24日开启了“停课不停学”网上教学理论形式。
光阴飞逝，网上教学已经过去了6周。
首先，要异常感谢各种形式的教学网络平台，在这个特殊的时期，给我们供应了坚强的技术保障，让我们在疫情之下仍有书可读；其次，必须感谢始终坚守在一线的老师们，隔着万水千山也要经过网络“送学上门”，让居家学习的同学们倍感温馨；再次，也要感谢我们自我，不知不觉90后的我们一夜之间长大了许多，懂得了许多，担待了许多。
在这个特殊时期，网络学习为我们供应了新的教育方式。
我们可以随时随地不受地区和时间的限制，能更加方便和快捷地参与其中并获得新知识。
网课，它可以显示许多优美的动态画面，将抽象枯燥的理论知识，转变成一目了然又生动形象的艺术图片，为我们的学习生活注入了新的活力。
它将理论转变成生活的理论，激发了学生们的学习兴趣。
网课也有回放功能，这为同学温故而知新供应了回溯新知的时机与可能。
但网课也是一把双刃剑。
网课的缺点是自由度太高，助长了局部同学偷懒的心理，在这种自由度下，学习的自律性就成为检验学习效果的试金石。
当然疫情之下，网络教学是诸多项选择择中的最优选择，虽然我们没有了老师们每一天耳提面命的监视，也失去了学校周边的喧嚣和朋友们的欢声，但我们必须当机立断，既要进取防控疫情，也要拿出百倍的勇气、毅力和决心去专注于学习，决不能让疫情磨灭了我们作为中华儿女的斗志。
相信困难只是暂时的，没有哪个春天不会降临，也没有哪块坚冰不被消融，新型冠状病毒不能改变我们的既定目的，只会让我们更加坚强，成功的曙光已从地平线升起，我们也将重拾行囊踏上返校的旅程。
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影响PECVD的工艺参量
（3） 基板温度 用结晶理论进行解释的话：从理论上讲，完整晶体只有在0 K才是稳定的。根据某一确定温度下，稳定状态取自由能最低的原则，单从熵考 虑，不完整晶体更稳定，要想获得更完整的结晶，希望在更低的温度下生成；但是若从生长过程考虑，若想获得更完整的结晶，必须在接 近平衡的条件下生成，这意味着温度越高越好。非平衡度大时，缺陷和不纯物的引入变得十分显著。 从工艺上说，温度低可避免由于水蒸气造成的针孔，温度太低，沉积的薄膜质量无保证。高温容易引起基板的变形和组织上的变化，会降 低基板材料的机械性能；基板材料与膜层材料在高温下会发生相互扩散，在界面处形成某些脆性相，从而削弱了两者之间的结合力。 因此在实际的生长过程中可综合考虑上述两个因素，选择合适的生长温度，使薄膜的结晶程度达到最佳。本工艺中基片温度大约在400℃。 a. 淀积速率随衬底温度的增加略有上升，但变化不显著。由于PECVD工艺的反应动力来自比衬底温度高10～1000倍的“电子温度”，因而 衬底温度的变化对膜的生长速率影响不大。 b. 基板温度与膜应力的关系：从低温到高温，应力的变化趋势是从压应力变为张应力。一种理论解释为：压应力是由于在膜的沉积过程中， 到达膜表面的离子的横向移动的速率太小，来不及到达其“正常”的晶格位置，被后来的离子覆盖，这样离子就相当于被阻塞在某一位置， 最终就会膨胀，形成压应力。张应力的形成是由于在膜的形成过程中，由于反应中间产物的气化脱附，而参加淀积的原子，由于其迁移率 不够大而来不及填充中间产物留下的空位，最后形成的膜就会收缩，产生张应力。 针对这种理论，膜在生长过程中，到达膜表面的离子的横向移动速率正比于样品表面的温度，样品的温度低，膜表面的离子的移动速率就 相应趋小，而离子到达样品的速度主要决定于离子的密度，决定于功率的大小，跟温度基本无关，这样，一方面外部离子不断地大量涌到 样品表面，另一方面，由于温度低，离子的横向迁移率小，离子来不及横向移到其“正常”的晶格位置就被后来的离子覆盖，必然造成阻 塞，成膜厚，阻塞处膨胀，形成压应力。 高温时，由于样品表面的温度比较高，吸附在表面的离子和它们生成的中间产物以及附属产物等就比较容易脱附而逃离表面，返回到反应 室中重新生成气体分子，被真空泵抽走，排出反应室，结果在样品的表面产生较多的空位，最终，生成的膜中由于空位较多，就会引起膜 的收缩，从而易产生张应力。 c. 基板温度还与功率及 、 流量有关，后三者提高，则基板温度也要相应提高。
影响PECVD的工艺参量
（4） 反应气体（流量比，总流量） 反应气体为高纯氨、高纯氮气和高纯硅烷，主要反应气体是高纯氨气和高纯硅烷，氮气主要用来调节系统的真空度 和稀释尾气中的硅烷。PECVD工艺中使用的气体为高纯 和高纯 ，气体流量大约为667sccm，1333sccm。 从氮化硅（ ）分子式可知， / =（3×32）/（4×17）=1.4为理想的质量比，理想的流量比为（1.4×0.599） /0.719=1.16。而在实际当中，硅烷的价格是较昂贵的，因此在生产过程中，廉价的氨气适当过量以达到硅烷的较大 利用率，而以总体的成本最低，经济效益最高为目的。因此，流量比选择Si/N=1/2。在沉积过程中，如果硅烷的量 比率过大，反应不完全，则尾气中的硅烷含量高，过量的硅烷会与空气中的氧气进行剧烈反应，有火焰和爆破声， 对于生产操作不利，且也白白浪费硅烷，同样氨气和氮气的过量也会造成浪费。因此流比的选择必须围绕较好的折 射率和较佳的经济效率来考虑。 a. 在 流量不变的情况下，氮化硅膜的折射率随 流量的增加而增大，而淀积速率却随着下降。由于 流量增加，反应 生成物中的 含量增加，氮化硅呈富硅特性，则薄膜变得更为致密，故折射率变大；另一方面，大流量的 使反应室 内气体浓度增加，气体分子平均自由程变小，淀积到 表面的反应生成物减少，导致淀积速率随 流量增加反而减少。 b. 沉积氮化硅薄膜时，反应气体 和 的流量比是影响薄膜的成分和电学性能的重要因素， 和 的流量大小直接影响着 薄膜中 和N的含量，因此也就影响薄膜的性能和结构。 流量增大使反应气体中的 原子数增多，从而使薄膜中 /N增 大，当 /N比超过0.8时，氮化硅薄膜富 ，因此薄膜的绝缘性能下降。当 流量过小时，由于 的减少薄膜富N，同样使 薄膜的绝缘性能下降。 为了获得生长速率适中以及均匀性好的薄膜，对于选定的高频电压，反应室气体压力必须是相应确定的，当然这应 该是相对于一定的真空泵抽气速率而言，气体压力是进气总量与抽气速率动态平衡的结果。因而反应气体的流量除 了要按一定的相互比例调节以保证淀积膜的化学计量比之外，其总流量也必须是确定的，流量过大会造成过量的沉 积和气体的浪费，不足则会造成沉积量不够，沉积的膜较薄，流量过大或过小都会影响膜的质量。
直接法PECVD
管式PECVD系统：
使用石英管作为沉积腔室，电阻炉作为加热体，将一个可以 放置多片硅片的石墨舟插进石英管中进行沉积。
板式PECVD系统：
系统采用平板型的电极，与样品支架形成一个放电回路，在 腔室中的工艺气体在两个极板之间的交流电场的作用下在空 间形成等离子体
间接法PECVD
微波法：使用微波作为激发等离子体的频段 直流法：使用直流源激发等离子体
设备核心
影响PECVD的工艺参量
（1） 工作频率、功率 PECVD工艺是利用微波产生等离子体实现氮化硅薄膜沉积。微波一般工作频率为2.45GHz，功率范围为2600W— 3200W。高频电磁场激励下，反应气体激活，电离产生高能电子和正负离子，同时发生化学沉积反应。功率，频率 是影响氮化硅薄膜生长的重要因素，其功率和频率调整不好，会生长一些有干涉条纹的薄膜，片内薄膜的均匀性非 常差。 ①. 工作频率是影响薄膜应力的重要因素。薄膜在高频下沉积的薄膜具有张应力，而在低频下具有压应力。绝大多 数条件下，低频氮化硅薄膜的沉积速率低于高频率薄膜，而密度明显高于高频薄膜。所有条件下沉积的氮化硅薄膜 都具有较好的均匀性，相对来说，高频薄膜的沉积均匀性优于低频氮化硅薄膜。 在低频下等离子体的离化度较高，离子轰击效应明显，因此有助于去除薄膜生长中的一些结合较弱的原子团，在氮 化硅薄膜沉积中，主要是一些含氢的原子团，因此，低频氮化硅薄膜中的氢含量相对较低，薄膜的沉积速率也较低， 同时，离子轰击使薄膜致密化，使薄膜密度较大并表现出压应力。在高频下，由于离子轰击作用较弱，薄膜表现为 张应力。 近期的研究发现，氮化硅薄膜的腐蚀速率与应力有密切的关系，压应力对应于较低的腐蚀速率，而张应力对应于较 高的腐蚀速率。（消除应力的一种方法是采用两套频率不同的功率源交替工作，使总的效果为压缩应力和舒张应力 相互抵消，从而形成无应力膜。但此方法局限性在于它受设备配置的限制，必须有两套功率源；另外应力的变化跟 两个频率功率源作用的比率的关系很敏感，压应力和张应力之间有一个突变，重复性不易掌握，工艺条件难以控 制）。 ②. 功率对薄膜沉积的影响为：一方面，在PECVD工艺中，由于高能粒子的轰击将使界面态密度增加，引起基片特 性发生变化或衰退，特别是在反应初期，故希望功率越小越好。功率小，一方面可以减轻高能粒子对基片表面的损 伤，另一方面可以降低淀积速率，使得反应易于控制，制备的薄膜均匀，致密。另一方面，功率太低时不利于沉积 出高质量的薄膜，且由于功率太低，反应物离解不完全，容易造成反应物浪费。因此，根据沉积条件，需要选择合 适的功率范围。
影响PECVD的工艺参量
（8） 抽气速度 在气体压力维持一定的情况下，抽气速率越快气体滞留时间越短，如果抽速一定，则滞留时间不变。随着淀积次数 的增加，机械泵抽气速率下降，维持规定的气体流量反应室气体压力会不断增高；而要保持气体压力不变则又必须 不断减少流量，这不仅造成工艺操作难以掌握，而且技术指标也难以保证，因为虽然压力不变，但在低抽速小流量 情况下，气体在反应室滞留时间增加，造成淀积速率上升，并且影响淀积均匀性。 机械泵抽气速率下降的原因是由于随着工作时间的延续，泵体温度升高，即使采用风冷或水冷装置仍难以维持抽速 不变，因为机械泵从反应室不断抽出的毕竟是250℃以上温度的加热气体。解决这一问题可以考虑除了反应气体之 外，另加一股调节用的氮气，每次淀积时保持有效反应气体流量不变而不断减少氮气来补偿抽气速率的降低，从而 维持气体压力不变。可是如果这股氮气通过反应室的话，将使反应气体的浓度改变，反而会使淀积更加紊乱。我们 可以考虑把这股调节氮气设计成从反应室与机械泵之间进去而不经过反应室，这样不对设备作任何机械加工就可达 到预期目的。 （9） 传送带速度 传送带速度大约在70cm/min。传送带速度过快，膜层厚度小，太慢膜层厚度过大。厚度有时会产生尺寸效应,太薄 和太厚的膜有时结构会不同。 （10） 沉积时间 沉积时间太短，膜厚及折射率达不到要求。时间太长，会造成工艺气体的浪费，增加工艺成本，同时也影响沉积膜 质量。由于膜中都存在机械应力问题，当膜厚过高时，薄膜会开裂，甚至脱落。工艺PECVD沉积的膜厚为80nm，根 据膜厚和沉积速率选择合适的沉积时间。