白光干涉仪介绍
白光干涉仪工作原理
白光干涉仪工作原理
白光干涉仪是一种使用白光进行干涉实验的仪器，其工作原理基于光的干涉现象。
白光干涉仪由两个反射镜、一个分光镜和一个检测器组成。
它的基本工作原理可以分为以下几个步骤：
1. 白光的分光：白光经过分光镜后会被分成多个不同波长的光束，每个波长对应着一种颜色。
2. 光束的分割：分光镜会将不同波长的光束分成两束光线，一束称为参考光束，另一束称为待测光束。
3. 光束的反射：这两束光线在反射镜上产生反射，并被反射回分光镜。
4. 光束的合成：反射回来的光线再次经过分光镜后会合成为一个干涉图样。
由于白光由多种波长的光组成，因此会产生多个干涉图样，每个波长对应一个图样，整体呈现出彩色的干涉图样。
5. 干涉图样的检测：干涉图样被检测器接收到，并转换成电信号。
通过测量这些电信号的强度和相位差，我们可以推断出待测样品的光学性质和形态信息。
总的来说，白光干涉仪通过将白光分解成不同波长的光束，然
后将这些光束反射、合成和干涉，最终产生出彩色的干涉图样。
通过对干涉图样的检测和分析，可以获得待测样品的光学信息。
艾泰克白光干涉仪的主要参数
艾泰克白光干涉仪的主要参数一、引言艾泰克白光干涉仪是一种非常重要的光学测量仪器，它可以用于测量物体的形状、表面质量、薄膜厚度等。
本文将详细介绍艾泰克白光干涉仪的主要参数。
二、测量原理艾泰克白光干涉仪是利用白光经过半透明反射镜分成两束，分别经过待测物体后再次汇聚到反射镜上形成干涉条纹。
根据不同的干涉条纹图案可以推断出待测物体的形状、表面质量和薄膜厚度等参数。
三、主要参数1. 分辨率分辨率是指在相同条件下，能够分辨出两个不同物体之间最小距离的能力。
在艾泰克白光干涉仪中，分辨率越高，可以检测到更小的表面变化或者薄膜厚度变化。
2. 灵敏度灵敏度指在一定范围内能够检测到最小位移或者表面高低差值。
在艾泰克白光干涉仪中，灵敏度越高，可以检测到更小的位移或者表面高低差值。
3. 测量范围测量范围是指在艾泰克白光干涉仪中能够测量到的最大高度或者薄膜厚度。
一般来说，测量范围越大，可以适用于更广泛的应用场景。
4. 光源艾泰克白光干涉仪的光源一般采用氙灯或者LED灯。
氙灯具有较高的亮度和稳定性，但是使用寿命较短。
LED灯具有长寿命和低功耗等优点。
5. 采集速率采集速率是指在单位时间内能够采集到多少条数据。
在艾泰克白光干涉仪中，采集速率越快，则可以更快地获取到待测物体的形状、表面质量和薄膜厚度等参数。
6. 数据处理方式艾泰克白光干涉仪的数据处理方式一般分为在线处理和离线处理两种方式。
在线处理可以实时获取待测物体的形状、表面质量和薄膜厚度等参数，离线处理则需要将采集到的数据保存下来后再进行处理。
四、应用场景艾泰克白光干涉仪可以广泛应用于汽车制造、电子制造、航空航天等领域。
例如，可以用于检测汽车表面的涂层质量、电子元器件的尺寸精度等。
五、总结艾泰克白光干涉仪是一种非常重要的光学测量仪器，具有分辨率高、灵敏度高、测量范围大等优点。
在应用中需要根据具体情况选择合适的光源和数据处理方式，以及选择适当的测量范围和采集速率。
白光干涉仪的原理及应用
白光干涉仪的原理及应用一、原理介绍白光干涉仪是一种利用光波的干涉现象来测量物体表面形态的仪器。
它利用了光波的相干性原理，通过将光分为两个不同的路径，然后再使它们重新相遇，观察到干涉现象来测量物体的形态。
白光干涉仪的基本原理是利用Michelson干涉仪的工作原理，通过使用一束单色光束和一束白光束进行干涉而得到的干涉条纹，来测量物体的形状、薄膜的厚度等参数。
二、白光干涉仪的基本构成白光干涉仪由以下几个部分组成：1.光源：白光干涉仪一般使用白炽灯、钠灯或氘灯作为光源。
这些光源会发出一种宽光谱的光束，使得可以获得多个不同波长的光，从而形成干涉条纹。
2.分光装置：白光干涉仪通常采用Michelson干涉仪的布局，其中的分光装置用来将光分为两个不同的路径。
常见的分光装置有像乐醇棱镜、分光镜等。
3.干涉装置：干涉装置是指将两束光束再次合并并进行干涉的部分。
常见的干涉装置如Michelson干涉仪中的半反射镜和平板玻璃。
4.接收装置：接收装置用来接收干涉条纹并将其转化成可观察的图像。
常见的接收装置有像鼠、CCD相机等。
三、白光干涉仪的应用白光干涉仪在很多领域中都有广泛的应用，下面列举了一些常见的应用场景：1.快速测量物体形状：白光干涉仪可以利用干涉条纹的变化来测量物体的形状。
通过记录干涉条纹的位置和形态，可以得到物体表面的高度信息，从而实现对物体形状的快速测量。
这种应用广泛用于工业领域中的质量控制和产品检测。
2.薄膜厚度测量：白光干涉仪可以通过测量干涉条纹的移动来确定薄膜的厚度。
当一束光经过薄膜后，在干涉条纹上会出现位移。
通过测量出位移的大小，可以计算出薄膜的厚度。
这种方法在光学薄膜制备和表面处理等领域中有广泛的应用。
3.表面质量评估：白光干涉仪可以通过测量物体表面的几何形状来评估表面质量。
利用干涉仪可以测量出物体表面的起伏、平整度等参数，从而得到表面的质量评估结果。
4.生物医学应用：白光干涉仪在生物医学领域中也有广泛的应用。
白光干涉仪使用方法
白光干涉仪使用方法
白光干涉仪是一种用来测量光学元件表面形貌或者材料折射率的工具。
它利用分束器将一束白光分成两束，并分别经过待测样品和参考面后再合成在一起，产生干涉条纹，通过观察和分析干涉条纹的形态、数量和间距等特征来推导出被测物体的表面高度差或者折射率信息。
白光干涉仪使用方法：
1、调整平面反射镜：将左边的平面反射镜向右移动，直到上方的光源像在左下角。
2、调整分束器：将分束器向右缓慢旋转，观察左侧和右侧的屏幕上是否出现亮度变化。
找到最亮的位置。
3、调整平行度：将右侧镜子稍微调整一下，使得两个屏幕上的波纹条纹清晰、平行。
4、观察干涉图案：在右侧镜子前加入待测物品，观察干涉图案。
如果需要进行更精细的测量，可以通过调整平面反射镜的位置来改变干涉图案。
白光干涉仪测金属膜厚的方法
白光干涉仪测金属膜厚的方法1. 引言白光干涉仪是一种常用的测量金属膜厚的仪器。
金属膜厚的测量对于许多应用非常重要，例如光学涂层、电子器件、太阳能电池等。
本文将介绍白光干涉仪测量金属膜厚的原理、方法和步骤，并讨论其优缺点。
2. 原理白光干涉仪基于干涉原理，利用波的干涉现象测量金属膜的厚度。
当白光垂直入射到金属膜表面时，部分光被反射，部分光被透射。
反射光和透射光在相对相位差的作用下发生干涉，形成明暗条纹。
这些条纹的间距和形态与金属膜的厚度密切相关。
3. 测量方法3.1 校准仪器在进行金属膜厚度测量之前，需要校准白光干涉仪以确保准确的测量结果。
校准的目标是确定干涉仪的零点位置和相对位移。
3.1.1 零点位置校准将白光干涉仪置于一个无金属膜的平坦表面上，调整仪器使得干涉条纹达到最小对比度或消失。
这个位置对应于零膜厚。
3.1.2 相对位移校准在已校准的零点位置上，加入一个已知厚度的标准膜。
通过调整干涉仪的相对位移，使得干涉条纹的位置发生平移。
测量平移的距离，并记录标准膜的厚度。
这样可以建立起干涉仪位移与膜厚之间的关系。
3.2 测量金属膜厚度3.2.1 准备样品准备待测金属膜样品，并确保其表面平整、清洁。
3.2.2 放置样品将样品放置在白光干涉仪的测量台上，并固定样品位置。
3.2.3 调整仪器调整白光干涉仪，使得干涉条纹清晰可见。
调整光源强度、角度和仪器的聚焦等参数，以获得最佳的干涉效果。
3.2.4 测量膜厚记录干涉条纹的位置，并使用之前校准得到的位移与膜厚关系，计算出金属膜的厚度。
3.2.5 重复测量为了提高测量的准确性，可以重复测量多次，并取平均值作为最终的结果。
4. 优缺点4.1 优点•非接触式测量：白光干涉仪可以在不破坏样品的情况下进行测量，适用于脆弱或敏感的材料。
•高精度：白光干涉仪可以实现亚纳米级的膜厚测量精度。
•宽波长范围：白光干涉仪可以适用于不同波长范围的金属膜测量。
4.2 缺点•有限的适用范围：白光干涉仪对于高反射率或低反射率的金属膜可能不适用。
基恩士白光干涉仪检测限值-概述说明以及解释
基恩士白光干涉仪检测限值-概述说明以及解释1.引言1.1 概述基恩士白光干涉仪是一种常用于表面形貌和薄膜膜厚测量的精密仪器。
通过干涉原理，它能够测量出样品表面的微小高低起伏，以及膜厚的变化情况。
这种仪器具有高精度、快速测量、非接触性等特点，被广泛应用于光学、半导体、电子等领域。
本文将着重介绍基恩士白光干涉仪的检测限值，即在不同条件下的最小可测量值。
通过分析检测原理和仪器性能，可以确定基恩士白光干涉仪在实际应用中的测量范围和精度，为用户提供参考和指导。
1.2 文章结构文章结构部分:本文分为引言、正文和结论三部分组成。
在引言部分中，将对基恩士白光干涉仪的检测限值进行介绍，包括概述、文章结构和目的。
在正文部分中，将详细介绍基恩士白光干涉仪的简介、检测原理和检测限值分析。
最后，在结论部分中对文章进行总结，探讨基恩士白光干涉仪在实际应用中的前景，并展望未来的发展方向。
整个文结构清晰，内容详实，旨在全面介绍基恩士白光干涉仪的检测限值。
1.3 目的：本文旨在探讨基恩士白光干涉仪在光学检测领域中的应用，并分析其检测限值。
通过对基恩士白光干涉仪的简介、检测原理和检测限值进行详细阐述，旨在帮助读者深入了解该仪器的工作原理和性能特点。
同时，本文还将探讨该技术在实际应用中的潜在前景，为相关领域的研究和应用提供参考和借鉴。
通过本文的研究，希望读者能够认识到基恩士白光干涉仪在光学领域中的重要性，以及其在科学研究和工程实践中的广泛应用价值。
2.正文2.1 基恩士白光干涉仪简介基恩士白光干涉仪是一种高精度的光学检测仪器，通常用于表面形貌测量、薄膜厚度测量、折射率测量等领域。
该仪器利用干涉原理，通过将光波分为两路，然后让它们重新相交产生干涉条纹，从而测量待测物体表面或薄膜的参数。
基恩士白光干涉仪具有高分辨率、高精度、非接触、快速测量等优点，广泛应用于科学研究、工业生产等领域。
其原理是利用光的干涉效应来测量目标物体的表面形貌或薄膜厚度。
白光干涉仪测量显示高度的原理_解释说明以及概述
白光干涉仪测量显示高度的原理解释说明以及概述1. 引言1.1 概述在现代科学和工程领域中，测量显示高度是非常重要的任务之一。
白光干涉仪作为一种精密的测量仪器，被广泛应用于各个领域，如光学、材料科学、半导体制备等。
它通过干涉现象来实现对表面高度差异的精确测量。
本篇文章将详细介绍白光干涉仪的原理，并解释说明其测量显示高度的原理。
1.2 文章结构本文主要分为五个部分。
引言部分对白光干涉仪测量显示高度的原理进行了概述，并阐明本文的目的。
第二部分将详细讨论白光干涉现象以及干涉仪组成与工作原理。
第三部分将介绍使用和操作白光干涉仪时需要注意的设置、调整、测量步骤以及数据记录与分析方法。
第四部分将讨论白光干涉仪在不同应用领域中的应用情况，并探讨其技术局限性。
最后，结论与展望部分将总结本文所述内容，并展望白光干涉仪在未来的改进与发展方向。
1.3 目的本文的目的是为读者提供一个全面且清晰的了解白光干涉仪测量显示高度原理的资料。
通过阐述白光干涉现象、干涉仪的组成与工作原理，以及使用和操作方法，让读者能够更好地理解白光干涉仪这一测量仪器，并掌握其在实际应用中的技术要点和注意事项。
同时，对于白光干涉仪在不同领域的应用情况和技术局限性进行详细阐述，以期引发读者对该领域未来发展方向的思考。
2. 白光干涉仪的原理2.1 白光干涉现象白光干涉是指当宽谱连续光通过两个光学路径，再经过重合时所产生的干涉现象。
这是由于不同波长的光在不同程度上会产生相位差而导致的。
2.2 干涉仪组成与工作原理白光干涉仪主要由一个分束器、两个反射镜和一个待测物体构成。
简单来说，分束器将入射的白光分成两束相干的准平行光，然后通过调整反射镜使得两束平行光以不同的角度照射待测物体。
反射镜将经过物体后返回的反射光重新汇聚，再次经过分束器。
接下来，利用一台增加了直流延迟信号电压的扫描仪对返回的平行光进行扫描，并用一个探测器记录振动条纹信号。
2.3 测量显示高度的原理白光干涉仪可以利用其原理和构造通过显示出截面图或者等高线来测试并观察表面高度的变化情况。
优可测白光干涉仪操作手册
优可测白光干涉仪操作手册
（最新版）
目录
1.优可测白光干涉仪简介
2.白光干涉仪的扫描原理和扫描范围
3.被测物的反射率和显示分辨率
4.白光干涉仪的优点
5.操作手册的概述
正文
一、优可测白光干涉仪简介
优可测白光干涉仪是一种高精度的测量仪器，具有强大的测量功能。
其产品型号为 NA500，像素高达 500 万，能够准确地测量出被测物的各项数据。
二、白光干涉仪的扫描原理和扫描范围
白光干涉仪的扫描原理是利用白光进行干涉测量，其扫描范围可达100um。
这种测量原理具有干涉长度短、干涉条纹可见度大、容易辨别 o 度条纹等优点。
三、被测物的反射率和显示分辨率
优可测白光干涉仪可测量的被测物反射率范围为 0.02%~100%，显示分辨率高达 0.001nm。
这些数据参数保证了测量结果的准确性和可靠性。
四、白光干涉仪的优点
白光干涉仪具有许多优点，如干涉长度短、干涉条纹可见度大、容易辨别 o 度条纹等，这些优点使得它在测量领域具有广泛的应用。
五、操作手册的概述
优可测白光干涉仪的操作手册提供了详细的操作步骤和方法，包括仪器的安装、调试、测量、维护等方面的内容。
通过阅读操作手册，用户可以更好地了解仪器的性能和使用方法，从而提高测量效率和精度。
总之，优可测白光干涉仪是一款高精度、高效率的测量仪器，广泛应用于各种测量领域。
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目 录
概述
概述
光干涉技术---内容
概述
光干涉技术---特点
实时 性
概述
白光 干涉 仪的 发展
智能化 自动化
概述
干涉仪分 辨率由所 用光波长 决定
概述
Stylus触针式
二维测量 接触式
接触式与非接触式测量仪对比
白光干涉仪
三维测量 非接触式 对任何工件均为无损测量
对质地较软或脆性工件有损伤
精度较低，分辨率为微米级
精度高，分辨率可达纳米级
几何路径
国际和国家标准完善 测量速度较慢
光学路径
标准尚不完善 测量速度快
概 述
按光波分光的 方法 分振幅式 分波阵面式
干涉仪分类
按相干光束传播路径 按用途分
共程干涉 非共程干涉
静态干涉 动态干涉
静态干涉
通过测被测面与标准面干涉条纹分布及变形量求得试 样表面微观几何形状、场密度分布和光学系统波像差 通过测量干涉场上指定点的干涉条纹的移动或光程差 的变化量求得试样尺寸大小、位移量等
M为相干调制度，M=m v’ 反映光强幅值的变化 光程差为0时，发生最佳干涉M值最大
白光扫描干涉技术
宽带光源的相干长度短，时间相干 性差，由它产生的两束光波之间的 非相干光程差极小，基本上要在等 光程差位置附近才能观察到干涉条 纹，且条纹也只有为数不多的几条。
图为用CCD相机采集的光滑平面产生的一幅干涉图样，可看出 干涉图像由交替变幻的亮暗干涉条纹组成，中央一条黑纹为 零级条纹，它是零光程差位置，周围有几条互相对称的比较 清晰的条纹。干涉条纹的数目与条纹图像的定向取决于采样 平面与参考平面的相对倾斜角度，干涉条纹最亮点将出现在 对焦最好的地方。
白光干涉
1. 白光是光谱中包含了整个可见光谱区域的光谱 成分的光源，且光谱为连续谱。 2. 白光干涉时，各波长将产生各自的干涉条纹， 光强分布规律符合前面单色光的光强公式。 3. 当光程差为零（零级条纹处）时，各波长的零 级条纹完全重合。随着光程差及干涉级数的增加， 各波长的干涉条纹彼此逐渐错开，使得条纹对比度 逐渐下降，到一定程度时干涉条纹消失。光谱范围 越宽，这种现象越明显。
微位移计 量法
各传 感器 对比
电感和电容式 位移传感器 激光干涉位移 传感器 测量精度高 测量范围小，不适合 在垂直扫描白光干涉 测量系统中 通常结构复杂，对环 境要求较高
较大的测量范围、较高的 分辨率和测量精度
衍射光栅干涉 位移传感器
测量范围大，对使用环境 没有严格的要求，故可精 确计量PZT垂直进给
双光束干涉原理图（迈克尔逊干涉仪）
I ( x, y) I1 I 2 2 I1I 2 COS (1 2 )
光程差 (1 2 ) 相位差
2
光强分布符合余弦规律
半 反 射 膜
两束光经反射折射后，同时到达分光镜上面的干涉板
从扩展光源S发出的光射向平行平面透明薄板P1。P1的后表面镀有半 反射膜，这个半反射膜把S射来的光束，分成振幅近似相等的反射光1 和透射光 2，故 P1 称为分束板。光束1射向平面镜 M1 ；光束 2透过补偿 板P2射向平面镜 M2。M1和M2是在相互垂直的两臂上放置的两个平面反 射镜，二者与P1上的半反射膜之间夹角为450，所以，1、2两束光被M1 和 M 2反射后又回到 P 1的半反射膜上，再会集成一束光射向 E。由于这 两束光来自光源上同一点，因而是相干光，眼睛从E处向M1方向望去 ，可以观察到干涉图样。P2是补偿板，它的作用是使1、2两光束在玻 璃中经过的光程完全相同，为了使其材料和厚度与P1完全相同，制作 时从同一块精密磨制的平板切开而成。P2、P1平行放置。 反射镜M2是固定的，M1可以在导轨上前后移动，以改变1、2两束光 的光程差
对不连续表面尤其是阶梯状表面而言，基于窄带光源 干涉的测量仪器根本无法分辨，而白光干涉的测量仪不 受高度突变的影响，因此被用于表面三维微观形貌测量。
用白光扫描干涉测表面三维形貌
白光扫描干涉测量法： 利用白光干涉测表面三位形貌时，对于被测 表面上的某一点而言，为定位其零光程差位置， 必须采用扫描方式改变参考镜或被测表面的位 置，以此获得该点光强变化的离散数据，再根 据白光干涉的典型特征判别并提取最佳干涉点。
相当于用一系列间距非常小的平行虚平面切割被测 表面，两平面的交线处为光程差等于零的位置。当参 考镜做充分扫描直到不出现干涉条纹时，识别并记录 各点的最佳干涉点位置作为其相对高度值，所有点的 集合便重构了被测表面的三维轮廓。
测量系统
测量系统的组成： 光学系统、 微驱动装置及控制系统 调焦系统、 图像采集及处理系统
白光 扫描 干涉
单色光干涉
白光 扫描 干涉
白光干涉
白光：光谱中包含整个可见光谱区域的光谱成分的光源
白光干涉时，各波长产生各自的干涉条纹
光程差为零，各波长零级条纹完全重合，光强最大
白光 扫描 干涉
白光与单色光对比
寻找零光程差 位置的依据
白光干涉的对比度随 光程差的增大而降低
工作时，干涉显微镜通过一个线性位置扫描器（常用PZT） 驱动以改变测量臂的长度，在扫描过程中记录每一个像素 点的光强值，由此可得到一系列的白光干涉光强值。
正交偏振的两束光不会产生干涉
条纹可见度由 cos( ) 决定
条纹 可见 度
相对光强度/振幅比
两束光强之比为1时，条纹可见度最大 V小于0.2时无法分辨
单色 波双 干涉 方程
I ( x, y) I1 I 2 2 I1I 2 COS (1 2 )
是光强 是光波的相位
I
1 2 , 0, 2
光路 图
干涉条纹仅出 现在有限空间 范围
作为干涉测量 仪器的基准
光程差为零 时光强最大
调整光程差， 确定位移量算 出各点相对高 度
显微 干涉 单元
垂直 扫描
距离高对应浅色区 距离低对应深色区
镜头
用物镜专 用的储存 盒
选择物镜的依据： 1、视场，确定测量的区域 2、光学分辨率，它能区分出的最小特征 3、倾斜度，它显示出怎样的曲面能够被测 量，特别是很粗的表面
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步进 电机 调焦 单元
步进电机
组 成 驱动光路
自动对焦 对焦 方式 手动对焦
慢
CCD监视某像素点 的光强变化并进行 实时计算
半自动对焦
操作手轮观测条 纹的消失或出现
PZT 扫描 单元
结构紧凑
无间隙 不发热
抗干扰
衍射 光栅
衍射光栅干涉计量单元
电感式
计量PZT扫 描步距和 扫描位移 电容式 激光 干涉 衍射光 栅干涉 位 移 传 感 器
LED 冷光源，可看 做点光源，比 较理想。
点光源 一个点向周围 空间均匀发光
扩散光源 干涉条纹的可 见度将降低
干涉 条纹
光波的叠 加原理
相位
相长干涉 相消干涉
波动性
干涉 条纹
干涉条纹的数目与条纹图像取决于 采样平面与参考平面的相对倾角
最亮 点
对焦 最好
双光 束干 涉条 件
时间 相干 性 时 间 相 干 性
时间相干性
条纹可见 度降低
提高
减少双光 束光程差 （=0） 对光源光 谱滤波
条纹 可见 度
空间相干性引起条纹可见度的退化
光源的空间滤波改善空间相干性
用透镜将 光束耦合 到单模光 纤中 用显微物 镜将光束 聚焦到小 孔
点光源
D 1.22
NA NA n sin( )
条纹 可见 度
两束光同偏振状态时 条纹可见度达到最大
理想单色光源时间相 干性无穷大，意味着 一束光可相对于另一 束光通过不同的光程 进行延时仍发生干涉
光源 中心 波长
光程差小于相干 长度，才会产生 干涉条纹
c 2 Lc
光谱带 宽
条纹 可见 度
条纹可见度介于0至1 当可见度V大于0.2时才可辨别出条纹
条纹 可见 度
辐照度
可见度
I1 I 2
测量过程
1、调焦：开始测量时，由计算机控制步进电机大步进给， 使被测物垂直升降。当被测物通过光学系统清晰成像时，调 节步距使被测物做微小进给。当观察到干涉条纹时表示调焦 完成。 2、光学成像：由计算机发出指令控制压电驱动装置的进给 从而带动参考镜的微小进给，这样被测表面的不同高度平面 就会逐渐进入干涉区。如果在充足的扫描范围内进给，则被 测表面的整个高度范围都可以通过最佳干涉点。 3、采集图像：扫描过程中，用CCD摄像头采集每步的干涉条 纹图像，经图像采集卡转换为数字图像后存储于计算机，这 样，扫描结束后每个像素点都有一组该点的光强变化数据。 4、分析处理：再基于白光干涉的典型特征，以某种算法， 对干涉条纹图像进行分析处理，提取最佳干涉点位置，进而 得到各像素点的相对高度，实现对三维形貌的测量。
白光扫描干涉技术
采用白光干涉技术测量表面时，白光干涉图样显著的 特征难以获得，因为条纹只在有限的空间范围内出现， 若干涉仪聚焦不好或散射不均匀，条纹甚至无法获取。 这使得条纹的难获得性对零级条纹的定位非常有利。 零光程差附近光强呈非周期性，有效地消除了模糊误 差，减少了对测量范围的限制，可实现较大高度范围的 测量，克服了窄带光源干涉轮廓仪测量范围小的不足。
是测量光束与参
考光束的相位差
光程差 (1 2 ) 2
机械 结构
1.底座 2.照明光源 3.立柱 4.手轮 5.步进电机 6.压电陶瓷及柔性铰链 D 8.衍射光栅计量单元
结构 单元
1.光学显微干涉单元 2.步进电机调焦单元 3.压电陶瓷扫描单元 4.衍射光栅计量单元 5.扫描控制和测量软 件
白光扫描干涉技术