MEMS传感器现状及应用
MEMS传感器现状及应用
MEMS传感器现状及应用王淑华(中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄050051)摘要:M EM S传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。
首先,简单介绍了M EMS传感器的分类和典型应用。
其次,对M EM S压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEM S传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。
介绍MEM S压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。
最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEM S传感器的发展趋势进行了展望。
关键词:微电子机械系统(M EM S);传感器;加速度计;陀螺仪;压力传感器中图分类号:TH703文献标识码:A文章编号:1671-4776(2011)08-0516-07Current Status and Applications of MEMS SensorsWang Shuhua(T he13th Resear ch I ns titute,CE T C,S hij iaz huang050051,China)Abstract:MEMS sensors feature great varieties,rapid development and w ide applications.Firstly, the catego ries and ty pical applicatio ns of M EM S sensor s are introduced briefly.T hen three typ-i cal M EMS sensors,i1e.the pressure sensor,acceler ometer and g yrosco pe ar e illustrated in de-tail,including the subdiv ision,current technical capability and perfo rmance index,latest resear ch pro gress,products and their applications.Besides that,the research status of the MEM S pr es-sur e sensor using new m aterials for the extreme enviro nm ent at ho me and abro ad is presented. Finally,developm ent trends of M EM S sensors ar e predicted in term s o f new materials,pro ces-sing and assembling technolog y.Key words:micr oelectr omechanical system(M EM S);sensor;accelerom eter;gyr oscope;pr es-sur e sensorDOI:10.3969/j.issn.1671-4776.2011.08.008EEACC:25750引言MEM S传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器,是M EMS器件的一个重要分支。
MEMS技术在传感器制造中的应用
MEMS技术在传感器制造中的应用近年来，随着科技的不断发展，MEMS技术在传感器制造中的应用越来越广泛。
MEMS技术作为微电子技术的重要分支之一，它的出现和应用，不仅为传感器制造行业带来了更加精确、灵敏、智能的传感器产品，也为现代科技的进步提供了坚实的基础。
本文将介绍MEMS技术在传感器制造中的特点、应用、优势和未来发展趋势。
一、MEMS技术在传感器制造中的特点MEMS技术是一种将微电子电路和微机械结构相结合的新型技术，它的特点包括：1.微小化：MEMS技术可以将传感器的体积大幅度缩小，不仅方便携带，而且能够更好地适应不同的测量环境。
2.多功能：MEMS技术可以将多种传感器进行组合，实现一个传感器同时测量多种参数的功能，提高设备的实用性。
3.可靠性：MEMS技术采用非接触式传感和无机械部件的传感方式，效果更加可靠。
二、MEMS技术可以应用在各种传感器的制造中，例如：1.加速度传感器：采用MEMS技术制造的加速度传感器，具有快速响应、高精度等特点，可以广泛应用于汽车安全气囊、机器人导航等领域。
2.压力传感器：MEMS技术下的压力传感器具有高精度、高灵敏度、高温度耐受力等特点，适用于空气压力检测、医疗健康等各种领域。
3.光电传感器：使用MEMS技术制造的光电传感器，可以大大减小尺寸，具有高精度、高速率、低功耗等特点。
三、MEMS技术在传感器制造中的优势1.无机械零件：传统传感器通常有机械零件，这些零部件容易故障，需要维护，而MEMS传感器不需要这些机械零部件，因此可以消除机械故障。
2.成本低：MEMS传感器的制造不需要太多人工干预，只需要少量的原材料，因此成本低。
3.制造灵活：使用MEMS技术可以轻松应用到各种制造技术中，从而增加制造灵活性。
四、未来发展趋势随着人们对高精度、小型化、多功能传感器的需求不断增加，MEMS技术在传感器制造中的应用前景非常广阔。
未来，MEMS技术在传感器制造中的发展主要集中在以下几个方面：1.传感器的超小型化：MEMS技术可以大大缩小传感器的尺寸和重量，未来随着MEMS技术的不断发展，传感器的超小型化趋势将成为必然的趋势。
2023年mems压力传感器行业市场规模分析：全球市场规模超过149亿美元11
2023年mems压力传感器行业市场规模分析：全球市场规模超过149亿美元网讯，mems压力传感器是一种薄膜元件，目前mems压力传感器主要应用在汽车领域以及消费电子和医疗行业。
下游领域的不断拓展带动mems压力传感器市场规模和需求的持续递增。
mems压力传感器行业概况MEMS压力传感器是一种基于微机电系统技术制造的压力传感器，其结构小巧、敏感度高、响应速度快、精度高，并且能够实现数字化输出和集成化设计。
它通过感受被测压力所引起的微小变形，将压力信号转化为电信号输出，广泛应用于工业自动化、汽车制造、医疗设备、航空航天等领域。
目前，传感器的应用已渗透进各行各业，如消费电子、医疗诊断、工业自动化、汽车电子、环境监测、交通运输、资源开发、军事工程等。
随着物联网时代到来，传感器将作为基础设施得到先行进展，MEMS产业化浪潮持续推动，市场规模不断扩大。
依据mems压力传感器市场分析相关数据，2022年全球MEMS传感器行业市场规模为149亿美元，同比增长5.7%，估计2026年市场规模将达到269亿美元，年复合增长率为10.34%。
目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。
硅压阻式压力传感器是采纳高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。
mems压力传感器市场分析从产品结构来看，射频、压力、麦克风、加速度、陀螺仪和惯性组合是目前应用最为广泛的器件。
其中，压力传感器、加速度传感器在MEMS行业占比达到14.3%和10.5%。
mems压力传感器产业链分析作为一种新兴的传感器技术，MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)压力传感器在近年来得到了广泛应用。
目前，MEMS压力传感器市场正处于快速进展的阶段，其应用领域包括汽车、医疗、消费电子、航空航天等众多行业。
MEMS传感器的发展趋势及其应用
• 37•MEMS传感器是一种新型的传感器技术，是多学科领域交叉的前沿科技技术。
本文主要研究MEMS传感器国内及国外的发展现状和趋势以及主要的应用领域。
MEMS突出的优点是利用微电子技术把传感器、执行器和处理电路这三部分集成在一起，组成单片集成传感器或系统，更可以实现传感器芯片的大规模批量制造，已广泛用于信息、汽车、消费、工控等领域，并成为国际竞争的战略制高点。
1 目前国内外研究的现状1.1 国外研究现状究其传感器和MEMS的发展过程，二十世纪六十年代刚出现微加工器件，七十年代主要研究新的技术和扩展应用方面，八十年代系列生产更为复杂的器件，九十年代是集成敏感系统的发展，二OOO年以后无线微系统开始发展。
纵观二OOO年以后的MEMS传感器专利数据，得到以下的数据：虽然从二OOO年以后，MEMS传感器技术迅速发展，但是每个阶段都有各自独到的特点并且存在很大的差异。
为便于分析可以把它划分成三个阶段，二OOO至二OO六年称之为成长期，二OO七至二O一O年定义为发展期，二O一一年到现在被视为迅猛成长期。
伴随着MEMS市场需求的日益增长，可以预测到MEMS技术必定会以快速发展的状态并且一直保持快速地增长势头。
MEMS技术发展依赖与市场的需求，并且以市场需求为导向，它的发展快慢和所需的类型都和市场的所需密不可分。
上世纪九十年代末，随着MEMS技术越来越走向商业，该技术经历了起步期、生长期，大量的微传感器产物大量的冲入了市场。
随后二OOO至二OO 六年这六年期间，主要为汽车工业的发展，而汽车上需要的传感器之多，这其中主要以压力、加速度和热传感器为代表。
而二OO七至二O 一O年这三年，MEMS的发展可以说是进入了多元化阶段，虽然在从专利数量方面分析并没有发生很大的变化，但是应用领域却在不断的扩大、拓宽，例如：在航空航天技术、生物医药领域、医疗电子、消费电子和化工机械等方面，都逐渐展现出了MEMS传感器的影子。
与此同时，物联网和智能制造的成长在一定程度上起到了催促作用。
mems传感器在工业自动化中的应用
1. 走进MEMS传感器在当今工业自动化领域，MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）传感器正逐渐成为不可或缺的一部分。
MEMS传感器是一种微型传感器，它能够将机械运动、热、光和化学等物理现象转化为电信号，从而实现对这些现象的感知和监测。
相比传统的大型传感器，MEMS传感器具有体积小、功耗低、响应速度快等特点，使得它在工业自动化中的应用变得格外引人注目。
2. MEMS传感器在工业自动化中的重要性工业自动化是现代工业生产的重要组成部分，它通过自动化设备和系统，实现工厂生产制造过程的智能化、高效化，以及人机协作的实现。
而MEMS传感器作为工业自动化的基础设施，扮演着至关重要的角色。
它能够实现对工业生产环境、设备运行状态等信息的实时监测和反馈，为工业自动化的智能化提供了关键的技术支持。
3. MEMS传感器在工业自动化中的应用案例3.1 温度传感器温度传感器是工业自动化中常见的一种传感器类型，它能够实时监测工业生产环境中的温度变化，并将这些数据反馈给控制系统。
MEMS技术的应用使得温度传感器体积小、响应速度快，能够更加精准地感知温度变化，从而保障工业生产过程中的温度控制和安全。
3.2 加速度传感器加速度传感器在工业自动化中的应用同样十分广泛。
它能够感知工业设备的振动和运动状态，为设备状态监测和故障诊断提供重要数据支持。
MEMS加速度传感器的小型化和低功耗特点，使得它能够应用于工业自动化领域中各种复杂环境下，实现设备状态的实时监测和预警。
3.3 压力传感器压力传感器在工业自动化中具有广泛的应用场景，例如在液体管道、气动系统等领域。
MEMS压力传感器的微型化和高精度特点，能够实现对工业流体压力变化的高精度监测和控制，为工业自动化流程的安全和稳定提供重要支持。
4. MEMS传感器在工业自动化中的发展趋势随着工业自动化技术的不断发展和深入，MEMS传感器在工业自动化中的应用也将不断拓展和深化。
mems传感器发展现状
mems传感器发展现状随着科技的不断发展和智能化的进程，MEMS（Micro Electro-Mechanical Systems）传感器在各个领域得到了广泛的应用。
MEMS传感器是一种将微纳技术应用于传感器制造的技术，具备体积小、功耗低、响应快、成本低等优点。
以下是MEMS传感器在几个领域的发展现状。
1. 汽车行业：MEMS传感器在汽车行业的应用非常广泛。
例如，加速度传感器可以用于汽车的碰撞检测和空气囊的部署；压力传感器可以用于轮胎压力监测系统，提高行驶安全性；倾角传感器可以用于车辆的自动平衡系统等。
随着自动驾驶技术的发展，MEMS传感器在汽车行业的应用前景更加广阔。
2. 移动设备：MEMS传感器在移动设备中得到了广泛应用，如加速度计、陀螺仪和磁力计等。
这些传感器可以实现屏幕自动旋转、手势控制、电子指南针等功能。
随着智能手机和可穿戴设备的普及，MEMS传感器的需求也大幅增加。
3. 医疗行业：MEMS传感器在医疗行业中也得到了应用。
例如，血压传感器可以用于实时监测高血压患者的血压变化并及时报警；温度传感器可以用于体温监测；心率传感器可以用于心脏疾病的监测等。
MEMS传感器的小尺寸和低功耗特点使其非常适合在医疗设备中使用。
4. 工业控制和安全：MEMS传感器在工业控制和安全中的应用也越来越多。
例如，压力传感器可以用于工业设备的压力监测和泄漏检测；湿度传感器可以用于环境监测和空调控制等。
随着工业智能化的推进，MEMS传感器在工业控制领域的应用将会进一步增加。
总的来说，MEMS传感器在各个领域的应用都有所扩展，尤其是汽车、移动设备、医疗和工业控制等领域。
随着科技的进步和应用场景的不断扩展，MEMS传感器的应用前景将更加广阔。
同时，随着技术的成熟和成本的降低，MEMS传感器的发展也将越来越迅速。
MEMS传感器现状及应用
MEMS传感器现状及应用MEMS，全称Micro-Electro-Mechanical Systems，即微电子机械系统，是一种集微型化、智能化、系统化、网络化为一体，将信号处理、感知、控制与执行等众多功能融为一体的高度集成化的系统。
而MEMS 传感器，作为MEMS技术的重要应用领域，正逐渐在各个行业中发挥出越来越重要的作用。
近年来，随着科技的进步，MEMS传感器的发展取得了长足的进步。
在技术层面，MEMS传感器的设计、制造和封装技术已经越来越成熟，这使得更多的行业可以应用MEMS传感器。
在应用领域方面，MEMS传感器的应用已经渗透到各个行业，包括汽车、医疗、消费电子、通信等。
在汽车领域，MEMS传感器主要用于车辆的安全与控制系统，如ESP （电子稳定系统）、ABS（制动防抱死系统）等；在医疗领域，MEMS 传感器可以实现精细操作，如药物投放、细胞操作等；在消费电子领域，MEMS传感器可以用于实现手机的运动检测、电子罗盘等功能；在通信领域，MEMS传感器则可以实现无线通信中的信号调制和解调等功能。
以医疗领域为例，MEMS传感器的应用为医疗诊断和治疗带来了革新。
例如，在药物输送方面，利用MEMS技术可以制造出微型的药物存储罐和药物释放装置。
当药物释放装置接收到信号后，可以通过微型泵或微型阀门控制药物的释放量，实现药物的精确输送。
同时，在诊断方面，MEMS传感器也可以用于生化分析。
例如，血糖、胆固醇等生化指标可以通过MEMS传感器进行检测。
通过集成的电路和微型化的生物识别元件，可以实现血糖、胆固醇等生化指标的实时监测。
随着科技的不断发展，对MEMS传感器的性能和功能要求也将越来越高。
未来，MEMS传感器将更加注重智能化、微型化、集成化和网络化的发展。
智能化方面，MEMS传感器将更加注重人工智能的应用。
通过集成化的数据处理和算法，可以使MEMS传感器具有更强的数据处理和分析能力，实现更加精准的测量和更高性能的控制。
新型传感器的研究现状及未来发展趋势
新型传感器的研究现状及未来发展趋势传感器是一种现代化技术所必需的元件，它能够将各种物理量转化为电信号。
传感器的应用范围广泛，例如自动化生产、交通运输、医疗诊断、安全监测等领域，因此传感器技术的发展对现代化生产、生活、科学技术的发展有着非常重要的作用。
传感器的种类很多，根据测量的物理量不同，可以分为温度传感器、压力传感器、流量传感器、湿度传感器、加速度传感器、光学传感器等等。
在这些传感器中，新型传感器是一种备受关注的技术。
一、新型传感器的研究现状1. MEMS技术传感器MEMS是微电子机械系统（Micro-Electro-Mechanical System）的缩写，它是一种微型化的电气机械系统，它能够将机械元件和电子元件进行集成化处理。
因此，MEMS技术传感器的优势在于体积很小、功耗低、响应速度快、可靠性高、价格便宜等等。
如今，MEMS技术传感器的应用已经非常广泛，例如手机中的加速度传感器、陀螺仪、磁力计、压力传感器等等，这些传感器的应用大大提升了手机的功能和用户体验。
2. 光纤传感器光纤传感器是一种基于光学原理的传感器，它使用光的传输来测量物理量。
与传统传感器相比，光纤传感器具有很多优势，例如高灵敏度、抗干扰能力强、安全可靠、经济实用，能够实现长距离传递、分布式检测等等。
目前，光纤传感器主要应用在石油天然气、交通运输、环境监测、生命科学等领域。
例如，在石油天然气开采中，光纤传感器可以测量油井的温度、压力、流量等参数，可以帮助确定油井的产量和工作状态，并且可以提高油井的生产效率。
3. 生物传感器生物传感器主要是应用在医疗诊断领域中的，它能够检测人体内的生物分子、细胞和组织等信息。
例如，可以测量血液中的血糖、白细胞计数、酸碱度等指标，可以帮助医生进行疾病的诊断和治疗。
目前，生物传感器技术发展非常迅速，尤其是以DNA、RNA 等为基础的生物传感器，它可以快速、准确地检测病原体、基因变异等信息，有望成为未来医疗诊断中的主要手段。
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毕业设计指导山西大学本科论文MEMS传感器现状及应用MEMS传感器现状及应用摘要: MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。
首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。
其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。
介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。
最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。
关键词: 微电子机械系统(MEMS);传感器;加速度计;陀螺仪;压力传感器Current Status and Applications of MEMS SensorsAbstract: MEMS sensors feature great varieties, rapid development and wide applications. Firstly,the categories and typical applications of MEMS sensors are introduced briefly. Then three typi-cal MEMS sensors, i. e. the pressure sensor, accelerometer and gyroscope are illustrated in de-tail,including the subdivision, current technical capability and performance index, latest researchprogress, products and their applications. Besides that, the research status of the MEMS pres-sure sensor using new materials for the extreme environment at home and abroad is presented.Finally, development trends of MEMS sensors are predicted in terms of new materials, proces-sing and assembling technology.Key words: microelectromechanical system(MEMS); sensor; accelerometer; gyroscope; pres-sure sensor目录目录引言 (1)1 MEMS传感器分类及典型应用 (1)1.1 MEMS传感器分类 (1)1.2 MEMS传感器应用 (1)1.2.1 微机械压力传感器 (1)1.2.2 微加速度传感器 (2)1.2.3微机械陀螺 (2)2 MEMS 传感器的发展 (2)2.1缓慢成长期 (2)2.2缓慢成长期 (2)2.3快速成长期 (3)3 MEMS传感器的发展趋势 (3)4总结 (3)参考文献 (3)引言MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于量化生产、易于集成和实现智能化的特点。
同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
第一个微型传感器诞生于1962 年，至此开启了MEMS 技术的先河[1]。
此后，MEMS 传感器作为MEMS 技术的重要分支发展速度最快，长期受到美、日、英、俄等世界大国的高度重视，各国纷纷将MEMS 传感器技术作为战略性技术领域之一，投入巨资进行专项研究。
随着微电子技术、集成电路和加工工艺的发展，传感器的微型、智能化、网络化和多功能化得到快速发展，MEMS 传感器逐步取代传统的机械传感器，占据传感器主导地位，并在消费电子、汽车工业、航空航天、机械、化工、医药、生物等领域得到了广泛应用[26]。
本文首先介绍了MEMS传感器的产品分类和典型应用。
其次,从最新产品及应用等方面详细阐述了MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪的研究现状。
最后,对MEMS传感器发展趋势进行了展望。
1 MEMS传感器分类及典型应用1.1 MEMS传感器分类MEMS传感器的门类品种繁多,分类方法也很多。
按其工作原理,可分为物理型、化学型和生物型三类[7]。
按照被测的量又可分为加速度、角速度、压力、位移、流量、电量、磁场、红外、温度、气体成分湿度、pH值、离子浓度、生物浓度及触觉等类型的传感器。
MEMS传感器不仅种类繁多,而且用途广泛。
作为获取信息的关键器件, MEMS传感器对各种传感装备的微型化发展起着巨大的推动作用,已在太空卫星、运载火箭,航空航天设备、飞机、各种车辆、生物医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。
制造技术的日益精进使MEMS传感器的参数指标和性能不断提高,与多种学科的交叉融合又使传感器不断推陈出新,应用领域不断拓宽。
1.2 MEMS传感器应用1.2.1 微机械压力传感器微机械压力传感器是最早开始研制的微机械产品，也是微机械技术中最成熟、最早开始产业化的产品。
从信号检测方式来看，微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。
从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。
MEMS压力传感器可用于汽车工业、生物医学及工业控制等领域。
汽车工业采用各种压力传感器测量气囊压力、燃油压力、发动机机油压力[8]、进气管道压力及轮胎压力[9]。
在生物和医学领域,压力传感器可用于诊断和检测系统以及颅内压力检测系统等。
在航天领域, MEMS压力传感器可用于宇宙飞船和航天飞行器的姿态控制、高速飞行器、喷气发动机、火箭、卫星等耐热腔体和表面各部分压力的测量。
1.2.2 微加速度传感器硅微加速度传感器是继微压力传感器之后第二个进入市场的微机械传感器。
其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式。
其中最具有吸引力的是力平衡加速度计，其典型产品是Kuehnel 等人在1994年报道的AGXL50型。
国内在微加速度传感器的研制方面也作了大量的工作，如西安电子科技大学研制的压阻式微加速度传感器和清华大学微电子所开发的谐振式微加速度传感器。
后者采用电阻热激励、压阻电桥检测的方式，其敏感结构为高度对称的4角支撑质量块形式，在质量块4边与支撑框架之间制作了4个谐振梁用于信号检测。
MEMS加速度计可用于消费电子产品,如Thinkpad笔记本电脑采用MEMS加速度计防止振动引起的硬盘损坏使信息丢失。
MEMS加速度计还可用于汽车的安全气囊系统、防滑系统、ABS系统、导系统和防盗系统。
MEMS加速度计在医疗保健、航空航天等方面也有用武之地,如计步器利用三轴MEMS传感器实现健身和健康监测功能。
1.2.3微机械陀螺角速度一般是用陀螺仪来进行测量的。
传统的陀螺仪是利用高速转动的物体具有保持其角动量的特性来测量角速度的。
MEMS陀螺仪相比传统的陀螺仪具有体积小、重量轻、可靠性高、功耗低、易于数字化和智能化等一系列优点。
MEMS陀螺仪已在航空、航天、航海、汽车、生物医学和环境监控等领域得到了应用。
MEMS 陀螺仪可为各种消费类电子产品,如手机、照/摄相机增值,增加图像稳定性、提供步行导航并改进用户界面。
MEMS陀螺仪的研究主要集中于汽车和导航级应用,在汽车工业中可用于GPS导航、汽车底盘控制系统和安全制动系统。
此外,微型低功率导航集成微陀螺可满足小型平台,包括微型无人机、水下无人潜航器和微型机器人进行无GPS导航的技术要求[10-12]。
2 MEMS 传感器的发展从现有文献[1318]中可看出，MEMS 技术虽然起始于20 世纪60 年代但在2000 年以前技术发展较为缓慢。
从上世纪末和本世纪初开始，随着第三次行业化浪潮的推动，MEMS 技术的相关专利数量快速增加，MEMS 传感器的发展亦是如此。
2.1缓慢成长期2000 －2006 年是MEMS 传感器缓慢发展的阶段，这一阶段MEMS 传感器主要的应用领域为汽车工业，其次在生物、化工等领域的应用也逐步增加。
力学传感器的专利数量最多，其次为热学传感器，磁学传感器位于第三，即这一时期MEMS 传感器主要的测量对象为加速度、压力、位移、温度、磁场等。
2.2缓慢成长期2007 －2010 年是MEMS 传感器技术的稳定发展期，每年的专利数量变化较小.力学传感器和热学传感器依然处于前两位，电学传感器和光学传感器超越磁学传感器，位于热学传感器之后，即这一时期MEMS 传感器的测量对象除加速度、压力、位移、温度外，还有电量、电流、电场、红外、激光等。
磁学传感器的专利数量较上一阶段有所减少。
2.3快速成长期在经过几年的平稳发展后，由于消费电子、航空航天、生物医疗市场对MEMS 传感器需求的不断扩大，物联网的兴起，汽车工业的持续需求，以及以中国为代表的新兴的研发地区快速崛起，MEMS传感器技术进入快速发展期，从2011 年开始专利数量出现明显上升，随后上升速度逐年增加。
3 MEMS传感器的发展趋势进入21世纪以来,在市场引导、科技推动、风险投资和政府介入等多重作用下, MEMS传感器技术发展迅速,新原理、新材料和新技术的研究不断深入, MEMS传感器的新产品不断涌现。
目前, MEMS传感器正向高精度、高可靠性、多功能集成化、智能化、微型化和微功耗方向发展。
MEMS 传感器一直是研究的热点和重点,是各国大力发展的核心和前沿技术,引起了各国研究机构、大学和公司的高度重视,欧美和日本等国显示出了明显的领先优势。
国内的一些高校和研究机构已着手MEMS传感器技术的开发和研究,但在灵敏度、可靠性及新技术能力提升方面与国外相比还存在较大差距。
许多MEMS传感器品种尚未具备批量生产的能力,离产品的实用化和产业化还很远,有待于进一步提高和完善。
4总结中国在MEMS 传感器领域的研究较晚，但目前已经成为不可或缺的力量，中国的部分专利权的创新主体协同格局前提下，加大政府科技资金投入不但可以消解技术创新发展中的资金阻滞，又有助于引导企业或单位技术创新意识，从而提高我国创新驱动效率，促进经济快速而稳健的发展。
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