MEMS技术及其应用(整理版)
微机电系统技术及应用
微机电系统技术及应用微机电系统技术（Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS）是指一种集成微型机械、电子和计算机技术的系统，它利用微型加工技术将传感器、执行器和电子元器件等多种功能集成到一个芯片上，从而实现在微小空间内进行感测、信号处理和控制的复杂系统。
自20世纪80年代以来，MEMS技术在各个领域得到了广泛的应用，成为现代科技进步的重要方向之一。
一、MEMS技术的基本原理MEMS技术的实现基于微机械制造技术，即利用光刻、蚀刻、离子注入、薄膜沉积、微调工艺等多种微加工技术，在硅基底板上制造出微型机械和微型电子元器件，将它们集成在一起实现控制系统的复杂功能。
常见的MEMS元件包括传感器和执行器两类。
传感器一般是将物理量转换成电信号输出的元件，MEMS传感器主要有压力传感器、加速度传感器、角速度传感器、温度传感器、化学传感器等，它们的结构和工作原理各不相同。
以加速度传感器为例，它主要是通过微型悬臂等结构感受加速度的作用，在振动部件上加上感应电极，利用柔性连接器将机械运动转化成电信号输出。
执行器是将电信号转换成物理运动的设备，MEMS执行器主要有微型电机、微泵、微阀门和微喷头等。
以微型电机为例，它主要包括固定部件和旋转部件，其结构具有一定的复杂性。
电机的旋转部件通常采用转子-定子结构，采用MEMS技术可以制造出特殊形状的转子并将其悬挂在薄膜支撑结构上，转子与定子之间通过电容传感器实现控制，电容传感器输出的信号被用于控制电机的转速和方向。
二、MEMS技术的应用领域MEMS技术的应用范围非常广泛，包括空间、军事、医疗、汽车、电子信息等多个领域，在以下几个方面得到了广泛应用。
1.传感器MEMS传感器可以感测体积小、重量轻、功耗低、响应速度快、精度高等诸多优点，使之成为传感器领域的重要技术。
它广泛应用于汽车行业、工业自动化控制、医疗设备等领域，如安全气囊用于汽车碰撞检测、指纹识别传感器、手机加速度传感器等。
MEMS应用的综述
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Micro-valve
2 .Patterning and DRIE etching through from the backside to fabricate the inlet and the outlet. 3 .A low-stress 1 um thick silicon nitride membrane is grown over all surfaces of both wafers. 4 .Boss is released using DRIE etching from top of diaphragm wafer.
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MEMS的关键技术
MEMS技术研究内容极为广泛，其中它的关 键技术有：
设计技术 材料的选择技术 制作和加工工艺（略） 测试技术（略） 多传感信息融合技术 微能源技术 微驱动技术
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Hale Waihona Puke 设计技术MEMS产品设计包括系统、器件、电路、封装等设计。 采用CAD能设计出具有低成本，高性能，更为复杂 的新型微系统。MEMS器件的设计需要综合多学科理 论分析，这大大增加了设计参数选择的难度，常规分 析计算已无法满足设计要求。计算机技术的进步使得 CAD技术在MEMS器件设计中得到广泛的应用，2D和 3D计算机绘图技术的发展能够对复杂的MEMS结构及 版图进行计算机设计。 有限元分析技术的应用可以精确的计算数值求解方 法来分析和预测器件的性能。对器件工作的静态、准 静态和动态模拟成为可能。从而使我们能够对MEMS 器件的结构和工艺进行计算机模拟和设计优化。
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MEMS的应用的兴起
MEMS的原理及应用
MEMS的原理及应用前言微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems，MEMS）是一种将微米尺度的机械元件和微电子元件集成在一起的技术。
它结合了机械学、电子学和计算机科学等领域的知识，广泛应用于各个领域。
本文将介绍MEMS的原理及其在不同领域的应用。
MEMS的原理MEMS的核心原理是利用微米尺度的机械结构来感知和操控物理量。
这些微米尺度的结构通常由硅或其他材料制成，并且与电子元件集成在一起。
MEMS器件利用微机械结构的运动或变形来实现各种功能。
下面是一些常见的MEMS原理：1.微加工技术：MEMS器件通常是通过光刻和微加工技术制作的。
这些技术允许制造出微米级别的机械结构和电子元件。
2.机械传感器：MEMS器件中最常见的一类是机械传感器，用于感知物理量如压力、加速度、温度等。
典型的机械传感器包括压力传感器、加速度传感器和陀螺仪等。
3.微操控器件：除了传感器，MEMS还包括微操控器件，用于操控物理量如运动、振动等。
例如，微镜头用于手机的自动对焦功能就是一种微操控器件。
4.集成电子元件：最重要的一点是，MEMS器件通常与集成电子元件一起工作。
传感器通过电子元件将感知到的物理量转化为电信号，而操控器件则接收电信号并操控相应的物理量。
这种集成使得MEMS器件具有高度的智能化和自动化能力。
MEMS的应用MEMS技术在各个领域都有广泛的应用。
下面列举了几个典型的应用领域：1. 电子设备•手机：MEMS技术使得手机具备了更多的功能，如自动对焦摄像头、陀螺仪和加速度传感器等。
•智能手表：智能手表中的MEMS技术可以实现计步器、心率监测和气压计等功能。
•耳机：MEMS技术可以用于制作微型麦克风和降噪器，提高音质和通话质量。
2. 医疗领域•生物传感器：MEMS技术可以用于制作微型生物传感器，实现疾病的早期诊断和监测。
•药物传递系统：利用MEMS技术，可以制作微型药物传递系统，实现精确的药物控制和释放。
mems压力传感器原理及应用
mems压力传感器原理及应用一、MEMS压力传感器的基本原理MEMS压力传感器是一种微机电系统（MEMS）技术应用的传感器，它通过测量介质的压力来实现对物理量的检测。
其基本原理是利用微机电系统技术制造出微小结构，通过这些结构对介质产生的压力进行敏感检测，并将检测到的信号转换为可读取的电信号。
二、MEMS压力传感器的结构1. 敏感元件：敏感元件是MEMS压力传感器最核心的部分，它通常由微型弹性薄膜或微型悬臂梁等制成。
当介质施加在敏感元件上时，它会发生形变，从而改变其阻抗、电容、电阻等物理参数。
2. 支撑结构：支撑结构是用于支撑敏感元件和保持其稳定工作状态的部分。
通常采用硅基板或玻璃基板制成。
3. 封装壳体：封装壳体主要用于保护敏感元件和支撑结构不受外界环境影响，并提供良好的密封性和机械强度。
三、MEMS压力传感器的工作原理1. 压电式压力传感器：压电式压力传感器是利用压电效应来测量介质的压力。
当介质施加在敏感元件上时，会使得其发生形变，并产生相应的电荷，从而实现对介质压力的检测。
2. 电阻式压力传感器：电阻式压力传感器是利用敏感元件阻值随着形变程度的变化来检测介质的压力。
当介质施加在敏感元件上时，会使得其发生形变，从而改变其阻值大小。
3. 电容式压力传感器：电容式压力传感器是利用敏感元件与基板之间的微小空气间隙产生的电容值随着形变程度的变化来检测介质的压力。
当介质施加在敏感元件上时，会使得其发生形变，从而改变其与基板之间空气间隙大小。
四、MEMS压力传感器的应用1. 工业领域：MEMS压力传感器广泛应用于工业自动化、流量计量、液位控制等领域中。
2. 汽车领域：MEMS压力传感器在汽车领域的应用主要包括轮胎压力检测、制动系统控制、发动机燃油喷射等方面。
3. 医疗领域：MEMS压力传感器在医疗领域的应用主要包括血压计、呼吸机等方面。
4. 生物医学领域：MEMS压力传感器在生物医学领域的应用主要包括心脏起搏器、人工耳蜗等方面。
MEMS技术在材料研究中的应用
MEMS技术在材料研究中的应用随着科技的发展和进步，MEMS技术（微机电系统）也日益成为材料研究的重要工具。
MEMS技术基于微纳米级别的制造方法，可以实现微型化、集成化和高精度控制等特点，因此被广泛应用于各种领域，特别是在材料研究中。
本文将从MEMS的基本原理及其在材料研究中的应用角度来探讨。
MEMS技术的基本原理MEMS技术是一种基于微纳米级别的制造方法，包括微纳米加工、表面处理、微电子学和微流体等技术，可以实现微型化、集成化和高精度控制等特点。
其制造过程以硅晶片为主要材料，通过先进的微纳米加工技术将所需的微结构设计在硅片上，制造出微小的机械结构，再通过微电子学和微流体学技术实现微小器件的电气控制和信号处理。
材料研究一直是科学技术发展的一个重要领域。
MEMS技术在材料研究中的应用，主要表现在以下几个方面。
1. 材料表征和测试MEMS技术可以制备出一系列微型机械测试设备，例如压力传感器、力传感器、位移传感器等，可以对材料进行各种力学性能的测试与表征。
通过这些微型测试设备，可以研究材料性质、材料在不同环境下的性能变化、材料的疲劳性能等。
2. 材料制备和加工利用MEMS技术可以制备出一系列微型加工设备，例如微机械刀具、微抛光机、微喷雾设备等，可以对材料进行微小的制备和加工，制造出微型零件、微型器件、微流控芯片等。
例如利用微型加工设备可以制备出超浸润黑磷薄膜，并应用于柔性电子器件和太阳能电池等领域。
3. 材料传感和监测MEMS技术也可以制备出各种传感器和监测器件，例如温度传感器、湿度传感器、光学传感器等，可以对材料的物理、化学等性质进行监测和传感。
这些设备可以应用于各种领域，例如医疗、生物、环保等。
4. 材料微结构研究MEMS技术可以制备出各种微结构，例如微孔、微阵列、微通道等，可以用于研究材料的微观结构和规律。
例如利用微纳加工方法可以制备出高密度的钨钨化物纳米阵列，并应用于微波辐射源等领域。
结语MEMS技术拥有微小化、集成化和高精度控制等优良特性，在材料研究中具有广泛的应用前景。
常用的几种mems的特征和应用领域
常用的几种mems的特征和应用领域MEMS是Micro-Electro-Mechanical Systems的缩写，意为微机电系统，它是一种利用大规模集成电路技术制造微米级结构的机电设备，可实现机械、光学、电磁等多种功能，并具备微型化、高集成度、低功耗、低成本等优点。
以下是常用的几种MEMS的特征和应用领域。
1. 加速度传感器加速度传感器是测量物体加速度的一种MEMS传感器，它通过转换加速度信号为电信号来实现测量。
加速度传感器可广泛应用于汽车制造、航空飞行、医疗设备等领域，例如汽车气囊和车辆稳定控制系统中，可以帮助车辆进行控制和防止熄火。
此外，加速度传感器也常应用于移动设备，如智能手机、智能手表等，可以实现屏幕旋转、计步器和姿态控制等功能。
2. 压力传感器压力传感器是一种用于测量压力、重力和加速度的MEMS传感器，它通过感应压力对敏感元件的影响，将压力信号转化为电信号。
压力传感器广泛应用于汽车、医疗、环保领域等。
例如，在汽车领域中，压力传感器可用于制动系统、气囊和轮胎压力监测系统等；在医疗领域中，它可用于血压计和呼吸机等设备，帮助诊断和治疗。
3. 光学切换器光学切换器是一种可控制光路的MEMS元件，它通过微机电技术制造微型反射镜来实现光路的切换和控制。
光学切换器可广泛应用于通信领域、光学传感器和生命科学领域等。
例如，在通信领域中，光学切换器可用于光纤通信中的光开关、波分复用器和分光器等设备；在生命科学领域中，它可用于分子分析、细胞生物学中的荧光显微镜和核磁共振成像仪等设备。
4. 微型投影仪微型投影仪是一种利用MEMS技术制造微型光学元件和电子光源的光电设备，它能够将图像投射到屏幕或其他表面上。
微型投影仪可广泛应用于移动设备、办公和教育等领域。
例如，在移动设备领域中，它可用于诸如智能手机、平板电脑和手持游戏机等设备中；在办公和教育领域中，它可用于多媒体投影仪、白板和投影仪等设备。
综上所述，MEMS技术在各个领域都有着广泛的应用，它可以帮助我们更好地控制和操作物质，并为我们带来更舒适的生活和更高效的工作方式。
微纳机电系统技术在智能制造中的应用
微纳机电系统技术在智能制造中的应用1. 前言智能制造是指利用现代信息化技术，将产品的整个生命周期贯穿管理和控制的一种现代制造方式。
而微纳机电系统技术（MEMS）是一种跨学科的技术，涉及电子、机械、光学等多个领域。
本文将探讨MEMS在智能制造领域的应用。
2. MEMS技术概述MEMS技术是指通过微机电工艺制造出微型机械、光学、微电子元件等集成系统，实现微小化、集成化、低功耗、高灵敏度、高可靠性的特点。
MEMS技术的应用范围很广，例如传感器、执行器、生物芯片、光学器件等多个领域。
3. MEMS在智能制造中的应用3.1 MEMS传感器MEMS传感器可以实现多种参数的测量，例如压力、温度、湿度、振动等。
这些传感器可以嵌入到智能制造设备中，实现对设备的监测和控制。
例如，在智能汽车制造中，可以使用MEMS压力传感器监测轮胎的气压，实现对轮胎状态的实时监测和预警。
3.2 MEMS执行器MEMS执行器可以实现精确的位置和形状控制，例如微型机械臂、微型阀门等。
这些执行器可以用于智能机器人的制造中，实现机器人手臂的精确控制，或者用于微流控芯片的制造中，实现微小液体体积的准确控制。
3.3 MEMS生物芯片MEMS生物芯片可以实现对生物分子的高灵敏检测和分析，例如蛋白质、DNA等。
这些芯片可以用于药物筛选、疾病诊断等多个领域。
例如，在智能医疗领域，可以使用MEMS生物芯片对肿瘤标志物进行检测，实现早期肿瘤的诊断和治疗。
3.4 MEMS光学器件MEMS光学器件可以实现光学成像、光学通信、激光加工等多种功能。
这些器件可以用于智能制造设备中的光学测量和控制中。
例如，在智能制造设备的加工过程中，可以使用MEMS光学器件进行产品质量的检测和控制。
4. MEMS在智能制造中的未来发展随着科学技术的进步和经济的发展，MEMS技术在智能制造中的应用也将越来越广泛。
未来，MEMS技术将实现更高的集成度和更低的功耗，实现更多领域的应用。
同时，MEMS技术将与其他技术相结合，例如人工智能、大数据等，实现更智能化、更高效的智能制造。
mems技术3篇
mems技术第一篇：mems技术的发展与应用MEMS技术是指微型机电系统（Micro Electro Mechanical Systems）技术，即微型化的机械和电子元件集成在一起形成的系统。
该技术呈现出体积小、质量轻、功耗低、成本低、可靠性高、快速响应等优点，已经被广泛应用于数字信号处理、通信、医疗、航空航天等领域。
MEMS技术的发展可以追溯到20世纪60年代。
最初，MEMS技术主要应用于传感器领域，特别是压力和加速度传感器。
到了20世纪80年代，随着微电子技术的发展，MEMS技术得以进一步发展，并开始在生产中进行广泛应用。
MEMS技术的应用领域相当广泛，对于制药和生命科学应用来说，MEMS技术可以用于制定特定的生物反应器、可穿戴医疗设备和便携式医疗器械；在汽车制造领域，MEMS技术被应用于空气流量计、车速传感器、制动系统和车辆稳定控制系统；在航空航天领域，MEMS技术被广泛应用于姿态控制、导航、卫星通信和测量和检验系统等。
总的来说，MEMS技术的发展极大地推动了科技进步，让我们在各个领域的应用中都得到了非常大的便利。
相信在不久的将来，MEMS技术的应用领域会更加广泛。
第二篇：mems传感器的原理与应用MEMS传感器指的是采用MEMS技术生产的传感器，常用于测量物理量。
其原理是利用微型机械系统制造技术制造出来的结构，实现了对物理量的转换。
由于采用这种技术制造，MEMS传感器可以实现微型化和集成化，同时具有准确、灵敏度高、响应速度快、功率消耗低等优点。
MEMS传感器的应用非常广泛。
它们可以用于测量加速度、压力、温度、重力、光强度等物理量，并将数据变换成电信号输出。
MEMS传感器已经被广泛应用于航空航天、汽车制造、制造业、医疗设备、安全和控制等领域。
例如，在汽车行业中，MEMS传感器可以测量车速、制动压力、空气温度等数据，并控制车辆的稳定性；在医疗设备方面，MEMS传感器能够测量体温、心率、呼吸频率等生命体征信号，帮助医生确定病情。
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Materials
• 硅基材料 单晶硅，多晶硅，非晶硅，二氧化硅，氮化硅，碳
化硅，SOI(Silicon On Insulator)。 • 聚合物材料 光刻胶，聚二甲硅氧烷 • 其他材料
砷化镓，石英，玻璃，钻石，金属。
驱动材料
• NiTi • 坡莫合金 • 锆钛酸铅（PTZ） • 水凝胶（Hydrogels）
• 技术基础：设计、工艺加工(高深宽比多层微结构)、微装配工艺、 微系统的测量等。
• 应用研究：如何应用这些MEMS系统也是一门非常重要的学问。人们 不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS器件用于 实际系统，并从中受益。
MEMS器件根据其特性分成微传感器、微执行 器、微结构器件、微机械光学器件等。
世界上第一个微静电马达
What is the peculiarity of MEMS technology?
• MEMS是受到集成电路工艺的启发而发展起来的，它不仅具有集成 电路系统的许多优点，同时集约了多种学科发展的尖端成果。
1、微型化特点 2、多样化特点 3、稳定性特点
4、集成化特点 5、批量化特点 6、广义化特点
微射流MEMS技术应用于糖尿病治疗.
这个一次性胰岛素注射泵融合了Debiotech的胰岛素输注系统技术和ST的微射流 MEMS芯片的量产能力。纳米泵的尺寸只有现有胰岛素泵的四分之一. 微射流技术还能 更好地控制胰岛素液的注射量，更精确地模仿胰岛自然分泌胰岛素的过程，同时还能检 测泵可能发生的故障，更好地保护患者的安全。 成本非常低廉。
在汽车上的应用
MEMS传感器及其组成的微型惯性测量组合在汽车 自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统 （ABS）、减震系统、防盗系统等。GPS定位系统. *在汽车里作为加速表来控制碰撞时安全气囊防护 系统的施用 * 在汽车里作为陀螺来测定汽车倾斜，控制动态 稳定控制系统 * 在轮胎里作为压力传感器，
MEMS的应用
Application Fields of MEMS
由于MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、 功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、功能强 大、可以批量生产等传统传感器无法比拟的优点， 因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监测、 军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十 分广阔的应用前景。
• 1959年就有科学家提出微型机械的设想，但直到1962年 才出现属于微机械范畴的产品—硅微型压力传感器。其 后尺寸为50～500微米的齿轮、齿轮泵、气动蜗轮及联接 件等微型机构相继问世。而1987年由华裔留美学生冯龙 生等人研制出转子直径为60微米和100微米的硅微型静电 电机，显示出利用硅微加工工艺制作微小可动结构并与 集成电路兼容制造微小系统的潜力，在国际上引起轰动， 科幻小说中描述把自己变成小昆虫钻到别人的居室或心 脏中去的场景将要成为现实展现在人们面前。同时，也 标志着微电子机械系统(MEMS)的诞生。
MEMS技术及其应用
主要内容
• MEMS技术简介 • MEMS技术应用 • 微机械制造技术 • MEMS器件
MEMS简介
What is MEMS Technology?
MEMS (microelectromechanical systems) are devices that involve integrated microdevices or systems, usually comprised of electrical and mechanical components, produced using microelectronics-compatible batch-processing techniques.
Manufacturing Technology of MEMS
• 大机械制造小机械，小机械制造微机械
– 日本为代表
• LIGA工艺
– Lithograpie(光刻)、Galvanoformung(电铸) Abformung(塑铸)
– 德国为代表
• 硅微机械加工工艺：体硅工艺和表面牺牲层工艺
– 美国为代表
硅片上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical System。
由于MEMS是微电子同微机械的结合，如果把微电子电路比作人 的大脑，微机械比作人的五官（传感器）和手脚（执行器），两者的 紧密结合，就是一个功能齐全而强大的微系统。
微电子机械系统是以微电子、微机械及材料科学为基础，研究、设计 和制造具有特定功能的微型装置（包括微结构器件、微传感器、微执行器 和微系统等方面）的一门科学。
航空航天的应用
在 1995年的国际会议上已有人正式提出研制全硅卫星的概念 。 即整个卫星由硅太阳能电池板、硅导航模块、硅通信模块等组 合而成 ,这样 ,可使整个卫星的质量缩小到以 kg计算 ,从而使卫 星的成本大幅度降低 。
美国提出的硅固态 卫星的概念图，这 个卫星除了蓄电池 外，全由硅片构成 ，直径仅15cm。
国外MEMS 技术在引信中的应用
• MEMS 技术在精确打击弹药引信中的应用
美国FMU2159/ B 硬目标侵彻灵巧引信及加速度计
MEMS 技术在灵巧弹药引信中的应用
采用MEMS 技术的弹道修正引信
装有弹道修正引信的MK64 制导炮弹
MEMS 技术在轻武器面杀伤弹药引信中的应用
单兵20 mm 高爆 榴弹微机电引信
生物医疗和医学上的应用
微机械技术在生物医疗中的应用尤其令人惊叹。例如:将微型传感器用口服或皮 下注射法送入人体 ,就可对体内的五脏六腑进行直接有效的监测 。 将特制的微型机器人送入人体 ,可刮去导致心脏病的油脂沉积物 ,除去体内的胆固醇 , 可探测和清除人体内的癌细胞 ,进行视网膜开刀时 ,大夫可将遥控机器人放入眼球内 , 在细胞操作、细胞融合、精细外科、血管、肠道内自动送药等方面应用甚广。 MEMS的微小 可进入很小的器官和组织 和智能 能自动地进行细微精确的操作 的特 点 ,可大大提高介入治疗的精度 ,直接进入相应病变地进行工作 ,降低手术风险。 同微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试,MEMS时 ,可进行基因分析和遗传诊 断 ,利用微加工技术制造各种微泵、微阀、微摄子、微沟槽、微器皿和微流量计的器 件适合于操作生物细胞和生物大分子。所以 ,微机械在现代医疗技术中的应用潜力巨 大 ,为人类最后征服各种绝症延长寿命带来了希望。
仿生学中的应用（仿生纤毛）
地下水流微传感器
Field of Research
• 理论基础：在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规 律仍然起作用，但由于尺寸缩小带来的影响（Scaling Effects）， 许多物理现象与宏观世界有很大区别，因此许多原来的理论基础都 会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理 等，因此有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、 微光学和微结构学进行深入的研究。
These systems merge computation with sensing and actuation to perceive the physical world at a miniaturized level.
MEMS定义
早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人 员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件， 如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块
优点: 操作简单:整个检查仅为吞服胶囊、记录与回放观察三个 过程。医生只需在回放观察过程中，通过拍摄到的图片即 可对病情做出准确判断。 安全卫生:胶囊为一次性使用，避免交叉感染 ;外壳采用不 能被消化液腐蚀的医用高分子材料，对人体无毒、无刺激 性 ,能够安全排出体外。 扩展视野:全小肠段真彩色图像清晰微观，突破了小肠检 查的盲区，大大提高了消化道疾病诊断检出率。 方便自如:患者无须麻醉、无须住院，行动自由，不耽误 正常的工作和生活。
机械类
微传感器
磁学类 化学类
生物类
力学 力矩 速度
加速度
位置
流量 角速度(陀螺)
气体成分
湿度
PH值 离子浓度
微执行器 马达 齿轮 开关 扬声器
微结构器件 薄膜 探针 弹簧 微梁
微腔 沟道 锥体 微轴
微光学器件 微镜阵列
微光扫描器
微斩光器 光编码器 微光阀
微干涉仪 微光开关 微透镜
MEMS制造工艺
真空镀膜仪ຫໍສະໝຸດ 磁控溅射• 电子在电场的作用下加速飞向基片的过程 中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离 子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场 的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶 材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积 在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片 的过程中受到磁场洛仑磁力的影响，被束 缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域 内等离子体密度很高，二次电子在磁场的 作用下围绕靶面作圆周运动，该电子的运 动路径很长，在运动过程中不断的与氩原 子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材， 经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低，摆 脱磁力线的束缚，远离靶材，最终沉积在 基片上
胰岛素注射泵疗法或者连续皮下注射胰岛素（CSII）可以替代一天必须输注几次的 单次胰岛素注射法，这种疗法越来越被人们看好。按照CSII治疗方法，糖尿病患者连接 一个可编程的注射泵，注射泵与一个贮液器相连，胰岛素就从这个贮液器输注到人体皮 下组织内，在一天的输液过程中，可根据病人的情况设定液量。
其他应用
在军事上的应用
MEMS已在空间超微型卫星上得到应用 ,该卫星外形尺寸为 2. 54 cm ×7. 62 cm ×10. 6 cm,重量仅为 250 g 。2000年 1月 ,发射的两颗试验小卫星是证明空基防 御能力增强的一个范例。对小卫星试验来说幸运的是 ,因其飞行寿命短 ,所以 ,暴 露在宇宙辐射之下并不是关键问题。小卫星上基于硅的 RF开关在太空应用中表 现出优异的性能 ,这得益于它的超微小尺寸。作为一个在海上应用的实例 ,MEMS 引信 /保险和引爆半导体,微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试, F/SA 装 置已成功地用于潜艇鱼雷对抗武器上。引信 /保险和引爆装置的工作包括 3个独 立步骤:发射鱼雷后 ,解除炸药保险、引爆 引信 和防止在不正确时间爆炸 保险 。 使用镀有金属层的硅结合巧妙的封装技术 ,MEMS F/SA器件要比传统的装置小 1 个数量级 ,可安装在 15. 88 cm的鱼雷上 ,这是其他方法做不到的 .