微纳机电系统
微纳米机电系统
微纳机电系统微/纳米科学与技术是当今集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程与微电子工程所产生的新兴、边缘、交叉前沿学科技术。
微/纳米系统技术是以微机电系统为研究核心，以纳米机电系统为深入发展方向，并涉及相关微型化技术的国家战略高新技术。
微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS ) 和纳机电系统(Nano Electro Mechanical System, NEMS )是微米/纳米技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。
MEMS已经在产业化道路上发展，NEMS还处于基础研究阶段。
一、引言从微小化和集成化的角度，MEMS (或称微系统)指可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，直至接口、通讯和电源等于一体的微型器件或系统。
而NEMS(或称纳系统) 是90年代末提出来的一个新概念，是继MEMS 后在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统，一般指特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米级结构所产生的新效应(量子效应、接口效应和纳米尺度效应) 为工作特征的器件和系统。
二、纳米系统的意义、应用前景微纳系统的意义应用前景由于微/纳机电系统是一门新兴的交叉和边缘学科，学科还处于技术发展阶段，在国内外尚未形成绝对的学科和技术优势；微/纳米技术还是一项支撑技术，它对应用背景有较强的依赖性，目前它的主要应用领域在惯导器件、军事侦察、通信和生物医学领域，以及微型飞机和纳米卫星等产品上。
2.1 .重要的理论意义和深远的社会影响微/纳米系统技术是与其它广泛学科具有互动作用的重要的综合技术，涉及学科领域广泛。
微/纳米系统技术是认识和改造微观世界的高新技术，微/纳米系统是结构集成化、功能智能化的产物。
微/纳米系统表现出的智能化程度高、实现的功能趋于多样化。
例如，微机电系统不仅涉及到微电子学、微机械学、微光学、微动力学、微流体学、微热力学、材料学、物理学、化学和生物学等广泛学科领域，而且会涉及从材料、设计、制造、控制、能源直到测试、集成、封装等一系列的技术环节。
微纳机电系统的设计与模拟分析
微纳机电系统的设计与模拟分析引言近年来，微纳机电系统成为了科技领域的热门研究方向之一。
作为微型机械结构和电子元件的有机结合，微纳机电系统在电子通信、医疗健康、能源环保等领域具有广泛的应用前景。
本文将探讨微纳机电系统的设计与模拟分析，从理论到实践，系统地介绍微纳机电系统的设计原理、建模方法以及模拟分析技术。
一、微纳机电系统的设计原理微纳机电系统是通过集成微型机械结构和电子元件，通过微纳加工技术实现的一种微型化系统。
在设计微纳机电系统时，需要考虑以下几个关键原理。
1.机械结构的设计原理微纳机电系统是由微型机械结构组成的，对于机械结构的设计原理需要兼顾结构刚度、质量和可靠性等方面。
在设计时，可以借鉴力学原理，如应力分析、振动分析等，以保证机械结构的性能满足系统的需求。
2.电子元件的集成原理微纳机电系统中，电子元件的集成是实现系统功能的重要途径。
通过将传感器、执行器等电子元件集成到微型机械结构中，可以实现多个功能模块间的高效协同工作。
因此，在设计中需要考虑电子元件的布局、连接等问题。
3.微纳加工技术的应用原理微纳机电系统的制造离不开微纳加工技术的支持。
微纳加工技术包括光刻、电子束曝光、化学蚀刻等，可以实现对微型机械结构和电子元件的精确加工。
在设计过程中，需要充分考虑微纳加工技术的限制和特点，以确保设计方案的可实现性。
二、微纳机电系统的建模方法为了更好地理解微纳机电系统的行为和性能，需要对系统进行建模和仿真分析。
下面介绍几种常用的微纳机电系统建模方法。
1.有限元法建模有限元法是一种广泛应用于工程领域的建模方法，适用于对微纳机电系统进行结构力学和振动分析。
通过将微纳机电系统离散为多个有限元，利用平衡方程和边界条件求解节点的位移和应力分布，从而得到系统的结构响应。
2.多物理场耦合建模微纳机电系统往往涉及多个物理场的相互作用，如结构力学、热学、电磁学等。
在建模时，可以使用多物理场耦合的方法，将物理量耦合方程集成到一个综合模型中，从而综合考虑各个物理场的影响。
微机电系统的研究与应用
微机电系统的研究与应用微机电系统（MEMS）是一种高度集成的微小机械和电子元件技术，是微纳制造技术和微电子技术在一起的产物。
MEMS具有多种优点，如体积小、功耗低、成本低、可扩展性强等等，在很多应用领域都有广泛的应用。
本文将介绍MEMS的研究与应用，并探讨其未来的发展前景。
一、MEMS的研究MEMS的研究始于20世纪60年代的加利福尼亚大学伯克利分校。
随着纳米技术的快速发展，MEMS的研究和应用进入了高速发展的阶段。
目前，MEMS领域的研究主要分为三个层面：设计、制造和系统级集成。
1. 设计层面MEMS的设计可以使用多种软件工具，如CAD软件、仿真软件等。
其中，CAD软件包括自动化设计程序和虚拟原型软件，可以帮助MEMS设计师更轻松地创建MEMS结构的物理模型。
仿真软件可以帮助设计师进行操作和测试，以确保设计符合要求。
2. 制造层面MEMS的制造是一种高度技术化的过程，主要包括：CMOS制程、LIGA制程、SOI制程、PDMS制程等。
其中，CMOS制程被广泛应用于MEMS传感器和微型执行器的生产线中。
3. 系统级集成层面MEMS系统级集成是MEMS工业的一个研究重点。
它是将MEMS技术应用到实际系统中的过程，通常包括电路设计、机械部件设计、软件开发等一系列工作。
在这个层面上，集成MEMS 系统通常需要多学科合作，涉及到电子、机械、计算机等多个领域。
二、MEMS的应用MEMS的应用非常广泛，以下是几个常见的领域：1. 生物医学MEMS技术在生物医学领域具有重要的应用价值。
例如，MEMS传感器可以用来监测生命体征、检测血糖、血压等。
微流体芯片可以用来进行药物筛选、细胞培养、DNA芯片检测等。
2. 工业自动化MEMS技术在工业自动化中发挥着越来越重要的作用。
例如，MEMS传感器和微型执行器可以用来进行无线控制、智能油田开发、智能物流等。
3. 环境检测MEMS技术可以用来检测环境，例如检测空气污染物、水质、土壤质量等。
mems微机电系统名词解释
mems微机电系统名词解释MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是一种集成微型机械、电子与传感器功能于一身的微型设备。
它结合了传统的机械制造技术、半导体工艺和微纳米技术，将微型机械部件、传感器、电子电路以及微纳加工技术集成在一个晶圆上，以实现微型化、多功能化和集成化的目标。
以下是一些与MEMS相关的名词解释：1. 传感器（Sensor）：一种能够感知并转换外部物理量、化学量或生物量的设备，可以将感应到的物理量转化为电信号。
2. 执行器（Actuator）：一种能够接收电信号并将其转化为相应的机械运动的设备，用来实现对外界的控制或作用。
3. 微型机械（Micro-Mechanical）：指尺寸在微米或纳米级别的机械部件，由微细加工技术制造而成，具有微小、精确和高效的特点。
4. 纳米技术（Nanotechnology）：一种研究和应用物质在纳米尺度下的特性、制备和操作的技术，常用于MEMS器件的加工制造。
5. 惯性传感器（Inertial Sensor）：一种基于测量物体运动状态和变化的MEMS传感器，如加速度计和陀螺仪。
6. 压力传感器（Pressure Sensor）：一种可以测量气体或液体压力的MEMS传感器，常用于汽车、医疗、工业等领域。
7. 加速度计（Accelerometer）：一种测量物体在空间中加速度的MEMS传感器，常用于移动设备、运动检测等应用。
8. 微镜（Micro-Mirror）：一种利用MEMS技术制造的微型反射镜，通常用于显示、成像和光学通信等应用。
9. 微流体器件（Microfluidic Device）：一种用于实现微小流体控制的MEMS器件，常用于生化分析、药物传递和微生物学研究等领域。
10. 无线传感器网络（Wireless Sensor Network）：一种由多个分布式的MEMS传感器节点组成的网络系统，可以实现对环境信息的实时采集、处理和通信。
微机电系统在机械传感器中的应用及进展
微机电系统在机械传感器中的应用及进展微机电系统（MEMS）是一种基于微纳技术的集成系统，它将微电子技术、微机械技术和传感器技术相结合，可以制造出微小而高性能的传感器与执行器。
在现代科技发展的背景下，微机电系统在机械传感器方面的应用及进展逐渐受到关注。
本文将就微机电系统在机械传感器中的应用及进展进行探讨。
一、微机电系统的基本原理微机电系统是利用微纳米加工技术将微电子电路和微机械系统集成在一起，实现功能精细、体积微小的系统。
其基本原理包括两个方面：1. 微电子技术：微电子技术是MEMS中的核心，它利用半导体材料和集成电路技术，将传感器与执行器制造在微小的芯片上，实现高精度和高灵敏度的测量与控制。
2. 微机械技术：微机械技术是MEMS中的关键，它利用光刻、腐蚀、薄膜制备等工艺，制造出微小而复杂的结构，如微悬臂梁、微压力传感器等。
这些微结构能够实现物理量与电信号的相互转化。
二、微机电系统在机械传感器中的应用微机电系统在机械传感器领域有着广泛的应用，主要体现在以下几个方面：1. 加速度传感器：MEMS加速度传感器是微机电系统最成功的应用之一。
它可以测量物体的加速度，并通过微电子电路将加速度转化为电信号。
在汽车安全气囊、智能手机、运动监测等领域中得到了广泛应用。
2. 压力传感器：MEMS压力传感器是另一个重要的应用领域。
通过微压力传感结构的变形，可以测量介质的压力。
MEMS压力传感器在汽车制动系统、工业自动化等领域中有着广泛的应用。
3. 温度传感器：MEMS温度传感器可以测量环境温度，并通过微电子电路将温度转化为电信号。
它在智能家居、医疗设备等领域中得到了广泛应用。
4. 气体传感器：MEMS气体传感器可以测量环境中特定气体的浓度。
它在环境监测、工业安全等领域中发挥着重要作用。
三、微机电系统在机械传感器中的进展随着科技的发展，微机电系统在机械传感器中也取得了不断的进展。
以下是一些进展的方向：1. 尺寸缩小：借助于微纳加工技术的不断进步，MEMS传感器的尺寸可以做到越来越小。
微纳机电系统技术 国家政策
微纳机电系统技术国家政策
近年来，随着社会需求和技术发展，微纳机电系统技术在国家面
临巨大发展机遇和挑战。
为了提高民用微纳机电系统技术的应用水平，促进产业化发展，国家制定了一系列具体的政策措施。
首先，国家大力支持微纳机电系统技术的研发和示范建设。
国务
院印发了《关于做好民用微纳机电系统研发和示范应用的若干意见》，指出要加大技术研发投入，建设重点实验室，并支持民用微纳机电技
术关键设备等项目的研发和升级。
其次，实施支持产业化发展的政策。
国家立法院出台了《支持和
促进民用微纳机电行业创新发展若干措施》，明确了营建地方微纳机
电工程技术研发和标准体系建设、技术转化示范项目、工程技术中心
以及科学教育基金等政策措施。
此外，政府还增设了一系列的税收优惠政策，充分发挥微纳机电
系统技术产业化发展的作用，实施减税补贴，降低成本，并有助于开
发新技术和新产品。
最后，国家计划支持微纳机电系统技术的国际化发展。
国家运行
了一系列平台，如开放实验室、产业创新联盟、国际联合实验室等，
促进企业、高校和科研院所之间的合作。
另外，国家还支持企业参加
国际研讨会、国际标准的制定和国际竞争，以进一步提升企业的国际
竞争力。
微纳机电系统中的摩擦与磨损问题研究
微纳机电系统中的摩擦与磨损问题研究微纳机电系统是一种非常小型化的机电系统，由于其尺寸极小，其摩擦与磨损问题也成为研究的热点之一。
微纳机电系统的应用范围非常广泛，如MEMS加速度计、惯性导航、振荡器、光机电系统、生物芯片等。
在利用微纳机电系统进行生物医学检测中，由于样品的特殊性，其对微纳机电系统材料的选择、特性以及微纳机电系统中的摩擦与磨损问题提出了更高的要求。
在微纳机电系统中，由于尺寸很小，所以体积相对较小，重量也不太重，而且速度和力量都很小，这给微纳机电系统的设计提供了很大的自由度。
但是，由于微纳机电系统中的零部件非常小，所以材料的选择和设备的制造都非常困难。
摩擦与磨损是微纳机电系统中非常重要的问题，因为在微纳机电系统中，由于尺寸较小和力量较小，传统的摩擦理论和磨损评估方法都不一定适用。
微纳机电系统中的摩擦与磨损是导致微纳机电系统失效的主要原因之一。
因此，对微纳机电系统中的摩擦与磨损进行研究，可以优化微纳机电系统的设计和制造，保证微纳机电系统的性能和寿命。
微纳机电系统中的摩擦与磨损是依赖于材料的，所以选择合适的微纳机电系统材料是解决微纳机电系统中摩擦与磨损问题的重要手段。
微纳机电系统材料需要具备高硬度、高强度、良好的耐腐蚀性以及高温性能等特点。
微纳机电系统中的摩擦与磨损问题可以通过改进设计和选择合适的材料进行优化。
首先，微纳机电系统的设计需要考虑材料的性能，在设计过程中需要根据材料的特性、摩擦和磨损特点以及应用环境等因素进行系统的优化。
其次，选择合适的微纳机电系统材料也是保证系统性能的关键。
常用的微纳机电系统材料包括金属、半导体、有机聚合物、无机玻璃、高分子、陶瓷等。
这些材料在微纳机电系统中具有不同的应用特点和优缺点，需要根据具体应用场景进行选择。
通过对微纳机电系统中摩擦与磨损问题的深入研究，可以实现微纳机电系统的高效稳定工作，并且使微纳机电系统具有更长的使用寿命。
未来，随着技术的不断发展和进步，微纳机电系统的应用前景将会越来越广阔，并且微纳机电系统中摩擦与磨损问题的研究也将会进入一个更加深入的阶段。
微纳机电系统技术在智能制造中的应用
微纳机电系统技术在智能制造中的应用1. 前言智能制造是指利用现代信息化技术，将产品的整个生命周期贯穿管理和控制的一种现代制造方式。
而微纳机电系统技术（MEMS）是一种跨学科的技术，涉及电子、机械、光学等多个领域。
本文将探讨MEMS在智能制造领域的应用。
2. MEMS技术概述MEMS技术是指通过微机电工艺制造出微型机械、光学、微电子元件等集成系统，实现微小化、集成化、低功耗、高灵敏度、高可靠性的特点。
MEMS技术的应用范围很广，例如传感器、执行器、生物芯片、光学器件等多个领域。
3. MEMS在智能制造中的应用3.1 MEMS传感器MEMS传感器可以实现多种参数的测量，例如压力、温度、湿度、振动等。
这些传感器可以嵌入到智能制造设备中，实现对设备的监测和控制。
例如，在智能汽车制造中，可以使用MEMS压力传感器监测轮胎的气压，实现对轮胎状态的实时监测和预警。
3.2 MEMS执行器MEMS执行器可以实现精确的位置和形状控制，例如微型机械臂、微型阀门等。
这些执行器可以用于智能机器人的制造中，实现机器人手臂的精确控制，或者用于微流控芯片的制造中，实现微小液体体积的准确控制。
3.3 MEMS生物芯片MEMS生物芯片可以实现对生物分子的高灵敏检测和分析，例如蛋白质、DNA等。
这些芯片可以用于药物筛选、疾病诊断等多个领域。
例如，在智能医疗领域，可以使用MEMS生物芯片对肿瘤标志物进行检测，实现早期肿瘤的诊断和治疗。
3.4 MEMS光学器件MEMS光学器件可以实现光学成像、光学通信、激光加工等多种功能。
这些器件可以用于智能制造设备中的光学测量和控制中。
例如，在智能制造设备的加工过程中，可以使用MEMS光学器件进行产品质量的检测和控制。
4. MEMS在智能制造中的未来发展随着科学技术的进步和经济的发展，MEMS技术在智能制造中的应用也将越来越广泛。
未来，MEMS技术将实现更高的集成度和更低的功耗，实现更多领域的应用。
同时，MEMS技术将与其他技术相结合，例如人工智能、大数据等，实现更智能化、更高效的智能制造。
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微纳机电系统一．引言微/纳米科学与技术是当今集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程与微电子工程所产生的新兴、边缘、交叉前沿学科技术。
微/纳米系统技术是以微机电系统为研究核心，以纳米机电系统为深入发展方向，并涉及相关微型化技术的国家战略高新技术。
微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS ) 和纳机电系统(Nano Electro Mechanical System, NEMS )是微米/纳米技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。
MEMS已经在产业化道路上发展，NEMS还处于基础研究阶段。
从微小化和集成化的角度，MEMS (或称微系统)指可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，直至接口、通讯和电源等于一体的微型器件或系统。
而NEMS(或称纳系统) 是90年代末提出来的一个新概念，是继MEMS 后在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统，一般指特征尺寸在亚纳米到数百纳米，以纳米级结构所产生的新效应(量子效应、接口效应和纳米尺度效应) 为工作特征的器件和系统。
二．微纳系统的意义、应用前景由于微/纳机电系统是一门新兴的交叉和边缘学科，学科还处于技术发展阶段，在国内外尚未形成绝对的学科和技术优势；微/纳米技术还是一项支撑技术，它对应用背景有较强的依赖性，目前它的主要应用领域在惯导器件、军事侦察、通信和生物医学领域，以及微型飞机和纳米卫星等产品上。
2.1.重要的理论意义和深远的社会影响微/纳米系统技术是与其它广泛学科具有互动作用的重要的综合技术，涉及学科领域广泛。
微/纳米系统技术是认识和改造微观世界的高新技术，微/纳米系统是结构集成化、功能智能化的产物。
微/纳米系统表现出的智能化程度高、实现的功能趋于多样化。
例如，微机电系统不仅涉及到微电子学、微机械学、微光学、微动力学、微流体学、微热力学、材料学、物理学、化学和生物学等广泛学科领域，而且会涉及从材料、设计、制造、控制、能源直到测试、集成、封装等一系列的技术环节。
微/纳米系统技术的发展以之为基础，反过来也将带动相关学科和技术的发展。
世界上著名的大学，如美国麻省工学院、加州大学伯克利分校、卡麦基隆大学，以及圣地亚国家实验室等无不把发展微/纳米技术作为重要的研究方面。
我国一些著名大学尽管研究方向侧重不一，但也无一例外地重点发展微/纳米技术，实现学科群跨越式发展。
2.2.巨大的经济效益微机电系统在美、欧、日等发达国家已经形成了一个新兴产业，仅美国微机电系统2005年的商业产值预计可达650亿美元。
以控制汽车安全气囊展开的微加速度计为例，估计未来几年内，由分立组件构成的传统加速度计将全部被微加速度计所代替。
传统加速度计的单件成本超过50美元，而基于MEMS技术的同类微加速度计的单件成本仅为5到10美元。
相比之下，微加速度计更小、更轻、更可靠，功能更趋于完善。
2.3.国防建设的要求现代军事装备正朝着微型化、集成化、高精度方向发展，微机电系统充分适应了这一趋势，特别是在活动空间狭小，操作精度要求高，功能高度集成的航空航天等领域有广阔的应用潜力。
微型飞机( UAV)在未来战争中日益显示出特殊地位，成为最具发展潜力的现代作战武器之一；利用微机械数组进行机翼流体状态检测，并通过微致动来实现宏观飞行控制有望改变传统飞机的模式，并改善其机动性能；微型喷射技术可以有效地实现导弹、卫星等航空航天飞行器的飞行姿态控制和调整。
在领海内布撒微型传感器形成动态监测网络系统，可以监测敌船活动。
在核研究领域，核材料的用量和配比必须精确把握，微量泵、微型传感器等可发挥重要作用，还可用MEMS技术制作引信和开关等。
纳米技术的发展也将带动军事技术的变革。
世界各主要军事大国相继制定了名目繁多的军用纳米技术开发计划。
美国开发纳米技术的经费中有一半左右来自国防部系统。
与传统武器相比，纳米武器具有许多不同的特点与超常性能武器装备系统超微型化、高度智能化；以神经系统为主要打击目标。
成本低、体积小，可大量使用。
2.4.应用前景自80年代末美国首先出现直径为100μm的静电微电机以来，微机电系统研究迅猛发展，各种微驱动器、微传感器、微控制器以及微机器人相继问世，且各种机构趋于高度集成，形成相对完备的微机电系统，整个系统的尺寸缩小到几毫米甚至几百微米。
微机电系统在国防、工业、航空航天、生物医学、精密仪表、通信、汽车、环保、生物工程和自动化等领域具有广阔应用前景。
具体应用类型有:1) 生物医学领域: 在此领域内已开发出对细胞进行操作的许多微机械, 如微对象的操作台、微夹钳等。
还可利用植入式机器人对人体内脏和血管进行送药、诊断和手术等操作。
2) 流体控制领域: 利用微型阀、微型泵进行流量元素分析、微流量测量和控制。
3) 信息仪器领域: 利用扫描隧道显微镜STM可将1M b it 的信息储存在一平方微米的芯片上, 另外, 微磁头、微打印头可以完成信息的输入、输出及传递工作。
4) 航空航天领域: 利用微型传感器和微型仪器，监测石油输送情况。
微型卫星和小卫星在此领域也完成了许多情报搜集工作。
5) 微机器人: 微机器人是微系统最典型的应用。
在许多特殊场合, 在人难以接近或不能接近的空间中，微机器人完成人的工作, 如狭小空间中的机器人、电缆维修机器人等。
纳米技术自20世纪90年代以来取得了飞速发展。
目前，科学研究的前沿已经深人到单原子的探测和操纵中，制作具有特殊功能的人造分子和纳米器件已成为可能。
近几年来，随着人们生活水平和对健康要求的不断提高，纳米科技发展的一个显著变化就是倾向于在生物及医学方面的应用，比如生物分子超灵敏检测、癌症早期诊断和治疗、药物的运输和缓式释放等。
美国朗讯科技公司和英国牛津大学的科学家已经制造出一种可以开合的纳米镊，用它钳起分子或原子并组合起来以制造纳米机械。
三．微纳机电系统国内外发展趋势国际上微机电系统技术发展崛起于20世纪80年代末期，我国自20世纪90年代初便组织有关高校和研究所开始跟踪研究。
美国国会已把微机电系统的研究作为21世纪重点发展的学科之一，美国国家基金会也拨巨资开始了微机电系统的研究，日本通产省自20世纪90年代开始正式启动了微机械研究计划。
欧共体国家也在尤里卡计划中将微机电系统作为一个重要的研究内容，并在法、德两国组织实施。
在我国，微机电系统的研究已经得到国家科技部、国家自然科学基金委员会、总装备部及国防科工委等国家部委及地方部门的重视。
与其它学科的发展相比，我国微机电系统研究的起步时间与工业发达国家相距不远，但由于我国微电子领域以及基础学科的基础较弱，随着微机电系统逐步走向产业化，我国与国际先进水平的差距在迅速拉大。
近来，随着微机电系统展现的诱人前景，以及作为一项国家战略高新技术的明确定位，各有关部门在制订中长期发展规划时均将其作为重点发展的领域。
纳米技术的应用前景和深远影响也迫使各国致力于在纳米研究领域占有一席之地。
从2000年10月1日起美国实施国家纳米技术规划，称“纳米技术将领导下一次工业革命”，并把其作为美国政府当前科技研究与开发的第一优先计划。
2000年7月，美国国家科学技术委员会宜布实施纳米技术创新工程，2001年度用于纳米技术研究的专款约为5亿美元。
日本及西方各发达国家也制定相关计划，投入巨资抢占纳米技术战略高地。
日本设立纳米材料研究中。
德国也把纳米技术列为新世纪科研创新的战略领域。
我国政府对纳米技术也很重视，国际上纳米研究刚起步时，我国就紧跟国际水平，在科技部、国家自然科学基金委员会、教育部和中国科学院、国防科工委等有关部委支持下，先后在“攀登”计划、国家重大基础研究项目、基金委重大项目、科学院创新工程等项目立项，并在资金上对纳米研究给予支持。
目前，我国已对纳米技术和纳米材料中的许多重大问题开展了广泛深入研究，取得了显著成效，提高了中国在纳米技术研究中的地位。
纳米机电系统是纳米技术的核心技术之一。
它是微机电系统向更为微观领域的发展，是用纳米技术由微观向宏观构造系统的技术。
原子、分子操纵、纳米加工、分子自组装等新技术的突破为纳米机电系统的设计、制作和装配提供了技术基础。
纳米机电系统的研究、发展将推动纳米技术的进步和在军事与国民经济中的应用水平。
2000年前后，NEMS随着纳米技术的飞速发展已经初见端倪，相对于MEMS来说，NEMS 具有更小的体积和更高的谐振频率及质量因子，在军事侦察、生物医疗等领域有着较好的应用前景。
纳米机电系统技术可应用在纳米信息系统和纳米攻击系统上。
纳米信息系统是指以纳米技术为核心的信息传输、存储、处理和传感系统，包括微型间谍飞行器、袖珍遥控飞机、“间谍草”、高性能敌我识别器、报警传感器和纳米卫星等。
纳米攻击系统是运用纳米技术制造的微型智能攻击武器，主要用于微机器人电子失能系统、昆虫平台、“蚂蚁雄兵”、“机器虫”；纳米技术应用于军用灵巧蒙皮的研制，可变革传统的飞行器和水下航行器的功能结构，大大提高其隐身等性能，并有望实现智能行进系统。
近期，纳机电系统的发展主要应集中在：纳米机电系统与纳米机械；生物医学纳米技术(Biomedical Nano-technology)，微/纳米尺度流体力学特性纳米机械、分子动力学以及分子装配技术，纳米尺度结构与力学行为。
纳米微机电系统(Nano-MEMS)乃至纳米机电系统(NEMS)实现方法及技术典型纳米信息系统和纳米攻击系统原理与实现技术等。
四．展望微米纳米技术是一门新兴的、多学科交叉的研究领域，汇集了电子、机械、材料、制造、检测，以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，是科学技术创新思维的结果，极富挑战性。
对微米纳米技术要采用创新的研究方法、多学科的综合集成、运用先进的检测和工艺手段以及不同的制造范例。
在实际工作中要重视微米纳米技术相互之间的关联性，把微米纳米技术工作紧密结合起来开展，这有利于创新、有利于赢得机遇。
同时研究设计工作必须与制造技术紧密相联系，这有利于微米纳米技术的结合，有利于它们相互促进。