胎压传感器
汽车常用传感器之胎压监测传感器

汽车常用传感器之胎压监测传感器
胎压监测传感器(TPMS)是一种用于检测汽车轮胎内部胎压的传感器,它可以即时检
测并报告轮胎胎压。
由于轮胎是汽车行驶的重要部件之一,正确的胎压可以提高行车安全、减少轮胎磨损、延长轮胎使用寿命和节省燃油等方面的效益。
因此,在现代汽车上,TPMS
已经成为一种必备的传感器。
胎压监测传感器可以分为两种类型:间接式TPMS和直接式TPMS。
其中,间接式TPMS
通过车轮传感器探测车轮旋转速度的变化来诊断胎压低下的情况。
而直接式TPMS则是通过安装在轮胎内部的传感器来检测胎压。
直接式TPMS包括四个基本部分:传感器、电池、捕获器和计算机。
传感器通常是安装在汽车轮毂上的微型无线电发射器,负责检测胎压并将信息发送到计算机。
电池为传感器
提供能量,捕获器负责接收来自传感器的信息。
计算机将处理胎压数据,并在需要时向驾
驶员发出警告信号。
在汽车行驶过程中,TPMS一旦检测到轮胎的压力低于预设值,就会发出警告信号,包括闪烁的灯光、警告声音或提醒信息。
驾驶员可以采取适当的措施来调整轮胎压力并避免
潜在的危险。
除了提高行车安全之外,TPMS还有许多其他的好处。
例如,正确的胎压可以降低轮胎磨损,提高轮胎耐久性,并延长轮胎使用寿命。
合适的胎压还可以帮助节省燃油,减少车
辆的二氧化碳排放量。
最后,由于存在TPMS,驾驶员也可以更容易地检测和解决潜在的胎压问题,从而减少额外的麻烦和费用。
胎压传感器故障处理方法

胎压传感器故障处理方法
处理汽车胎压传感器故障时,首先要明确故障的具体表现,比
如是否有胎压警告灯亮起,或者是否显示特定轮胎的胎压异常等情况。
接下来,可以采取以下方法进行处理:
1. 检查胎压,首先,可以使用胎压计检查各个轮胎的实际胎压,确保它们符合制造商规定的标准胎压范围。
如果发现胎压不正常,
可以先调整胎压至正常范围,然后重新启动车辆,看是否解决了胎
压传感器故障。
2. 检查传感器安装,检查传感器是否安装在轮胎上,并且是否
有松动或损坏的情况。
如果发现传感器有损坏或松动,需要重新安
装或更换传感器。
3. 检查传感器电池,胎压传感器通常使用电池供电,如果传感
器电池电量不足,可能导致传感器无法正常工作。
可以尝试更换传
感器电池,然后重新启动车辆,看是否解决了问题。
4. 检查接收器,有些车辆胎压传感器需要通过接收器与车辆的
电子系统进行通信,如果接收器出现故障,也会导致胎压传感器无
法正常工作。
可以检查接收器是否正常工作,如果需要更换,可以联系专业技师进行处理。
5. 重置系统,有些车辆配备了胎压传感器重置功能,可以尝试使用车辆手册中提供的方法进行重置,有时候重置系统可以解决一些简单的故障问题。
总的来说,处理胎压传感器故障需要根据具体情况采取相应的方法,如果以上方法无法解决问题,建议及时联系专业的汽车维修技师进行诊断和处理,以确保行车安全。
胎压传感器的工作原理

胎压传感器的工作原理
胎压传感器是一种用于监测车辆轮胎内部气压的设备。
它通过以下原理来实现测量和传输气压数据:
1. 压力测量原理:胎压传感器内置微小的压力传感器,通常采用压阻或压电传感原理。
当压力传感器受到来自轮胎内部气体的压力作用时,它会产生一个与气压成比例的电信号。
2. 信号传输原理:传感器会将测得的压力信号转换成数字信号,并通过无线通讯方式传输给车辆中控系统或胎压监测仪。
常用的无线通讯方式有RFID技术、蓝牙或无线传感网络等。
3. 数据显示原理:接收到传感器发送的胎压数据后,车辆中控系统或胎压监测仪会对数据进行处理并在车内的仪表盘上显示。
同时,也可通过车载APP或其他设备来监测和提醒驾驶员胎
压异常情况。
胎压传感器的工作原理基于以上几个步骤,能够实时监测轮胎内部的气压情况,帮助驾驶员及时发现胎压异常,提高行车安全性。
胎压传感器的故障解决方法

胎压传感器的故障解决方法胎压传感器是现代汽车安全系统中的重要组成部分,它能够实时监测车辆轮胎的气压情况,并在出现异常时及时提醒驾驶员。
然而,随着车辆的使用,胎压传感器也会出现各种故障,例如误报、失灵等问题。
本文将针对胎压传感器常见的故障进行分析,并提出相应的解决方法,希望能够帮助车主有效解决胎压传感器故障问题。
首先,当车辆仪表盘显示胎压传感器故障灯亮起时,驾驶员应该及时检查轮胎气压情况。
如果轮胎气压正常,那么很可能是传感器本身出现了故障。
这时,可以先尝试重新设置胎压传感器。
具体操作方法是,将车辆点火,但不要启动发动机,然后按下车内的胎压重置按钮,等待一段时间后,再松开按钮。
如果胎压传感器故障灯熄灭,则表示问题解决。
如果故障灯仍然亮起,那么可能需要更进一步的排查。
其次,如果重新设置胎压传感器无效,那么可能需要检查传感器的电池情况。
一些胎压传感器是使用电池供电的,当电池电量不足时,就会出现故障。
此时,可以使用专门的胎压传感器检测仪来检测传感器的电池电量,如果电量不足,就需要更换电池。
需要注意的是,不同车型的胎压传感器电池类型不同,更换时需要选择适合的电池规格。
此外,胎压传感器的安装位置也可能影响其正常工作。
有些车辆的胎压传感器安装在轮胎内侧,长期受到路面的冲击和振动,容易造成传感器损坏。
这时,需要将车辆送到专业的汽车维修店进行检修,有需要时更换传感器。
最后,如果以上方法都无效,那么可能是胎压传感器本身出现了硬件故障,需要更换全新的传感器。
在更换传感器时,建议选择原厂配件或者品牌正规的产品,以确保其质量和性能。
总之,胎压传感器的故障解决方法需要根据具体情况进行分析和处理。
在遇到胎压传感器故障时,驾驶员可以先尝试重新设置传感器,检查电池情况,排查安装位置等方法,如果无效,就需要及时寻求专业的汽车维修帮助。
希望本文所述的方法能够帮助车主有效解决胎压传感器故障问题,确保行车安全。
汽车常用传感器之胎压监测传感器

汽车常用传感器之胎压监测传感器1. 引言1.1 胎压监测传感器的作用胎压监测传感器是一种用于监测车辆轮胎胎压的重要装置,其作用包括提高行车安全、延长轮胎使用寿命、减少汽车燃油消耗、减少碳排放等。
通过实时监测轮胎胎压,胎压监测传感器可以及时发现轮胎胎压异常,提醒驾驶员进行轮胎维护或更换,避免危险情况的发生。
胎压监测传感器还可以帮助驾驶员调整胎压到最佳状态,提高行车舒适性和操控性,并且减少车辆在高速行驶时的抖动和侧滑现象,大大提升了驾驶员的驾驶体验。
胎压监测传感器在提升汽车安全性、降低维护成本、改善驾驶体验等方面发挥着非常重要的作用,是现代汽车不可或缺的一部分。
1.2 胎压监测传感器的分类胎压监测传感器根据其工作原理和安装位置的不同,可以分为直接式胎压监测传感器和间接式胎压监测传感器两种分类。
直接式胎压监测传感器是将传感器直接安装在每个车轮的轮辋上,通过传感器检测轮胎内部的气压信息,来实时监测每个轮胎的胎压情况。
这种传感器的优点是测量准确度高,能够及时反馈给驾驶员轮胎的胎压状态,增强了驾驶员对车辆的控制性和安全性。
间接式胎压监测传感器则是通过车辆的ABS(防抱死系统)或其他传感器来间接监测胎压状态。
这种传感器相对于直接式传感器来说,成本更低,但测量准确度有所降低。
根据实际需要和预算考虑,车主可以选择适合自己车辆的胎压监测传感器类型。
无论是直接式还是间接式胎压监测传感器,在保障驾驶安全方面都起着至关重要的作用。
2. 正文2.1 直接式胎压监测传感器直接式胎压监测传感器是一种能够直接测量轮胎胎压的传感器,它通常安装在每个车轮上的轮毂内部。
这种类型的传感器能够准确地监测每个轮胎的胎压,并将数据传输给汽车的胎压监测系统。
直接式胎压监测传感器通常由压力传感器、无线发射器和电池组成。
当轮胎胎压低于正常值时,传感器会自动发送信号给驾驶员,并警示其进行胎压调整或轮胎更换。
由于直接式胎压监测传感器能够实时监测轮胎胎压,因此能够更准确地提醒驾驶员注意轮胎状况,确保行车安全。
汽车常用传感器之胎压监测传感器

汽车常用传感器之胎压监测传感器汽车胎压监测传感器是一种能够监测车辆轮胎胎压的装置,通过监测胎压的变化,及时提醒驾驶人员轮胎胎压是否正常,以确保行车安全的传感器。
随着汽车智能化技术的不断发展,胎压监测传感器已经成为了汽车的标配,广泛应用于各类轿车、SUV、商用车等汽车上。
本文将对胎压监测传感器的工作原理、作用、分类及未来发展进行介绍。
一、胎压监测传感器的工作原理胎压监测传感器一般采用无线电频率识别技术(RFID)或者直接测量胎压的传感器技术,通过传感器内部的压力探头测量轮胎的胎压,并将测得的胎压信息通过车载系统传输到车载显示屏或者车载电脑上,使驾驶员能够实时了解轮胎的胎压情况。
部分高端汽车还可以通过手机APP等方式远程监测车辆轮胎的胎压情况。
1. 提高行车安全性:在行车过程中,轮胎的胎压情况直接关系到行车安全。
胎压偏高或偏低都会影响到行车稳定性和制动距离,轮胎胎压过低还容易导致爆胎。
胎压监测传感器能够及时发现轮胎胎压异常,提醒驾驶员及时检查,从而减少爆胎和交通事故的发生。
2. 延长轮胎使用寿命:合理的胎压可以保证轮胎的均匀磨损,延长轮胎的使用寿命,降低车辆的使用成本。
3. 节约燃油:适当的胎压可以降低车辆的油耗,通过监测轮胎的胎压,驾驶人员可以及时调整胎压,降低车辆的油耗。
根据其安装位置不同,胎压监测传感器可以分为内置式和外置式两种。
1. 内置式胎压监测传感器:内置在轮胎的胎压传感器通常由胎压传感器和接收器共同构成。
胎压传感器安装在轮胎内部,直接测量轮胎的胎压情况。
这种传感器安装在车轮胎内,对车轮的美观度要求较高。
内置式胎压监测传感器的测量精度较高,信号传输稳定,安装位置不易被破坏,因此在豪华车型和商务车型上更为普遍。
目前,随着汽车智能化技术的不断发展,胎压监测传感器也在不断演进。
未来,胎压监测传感器有望通过与车载导航系统、车载电脑的联网,实现更加精准的监测,并能够进行胎压数据的自动分析和处理。
随着传感技术和无线通讯技术的进步,胎压监测传感器的成本也将逐渐下降,同时其测量精度和稳定性也将得到进一步提升。
胎压传感器的故障解决方法

胎压传感器的故障解决方法胎压传感器是现代汽车上的重要部件,它能够监测车辆轮胎的气压情况,并在气压异常时发出警报。
然而,有时候胎压传感器也会出现故障,导致误报或者无法正常工作。
接下来,我们将介绍一些常见的胎压传感器故障及解决方法。
首先,当车辆的胎压传感器出现故障时,驾驶员可能会收到来自车辆仪表盘上的警报。
这时,我们可以通过以下方法来解决问题:1. 检查轮胎气压,首先,我们需要使用胎压计检查每个轮胎的实际气压是否符合车辆制造商的建议数值。
如果发现某个轮胎的气压偏低,可以尝试充气至正常数值,并观察警报是否消失。
2. 重置胎压传感器,有些车辆配备的胎压传感器可以通过重置来解决故障问题。
具体的重置方法可以在车辆的用户手册中找到,一般来说,重置过程需要按照特定的步骤来完成,例如在特定速度下行驶一段时间等。
3. 检查传感器电池,胎压传感器通常会搭载电池,如果电池电量不足,就会导致传感器无法正常工作。
在这种情况下,我们需要将传感器取下,更换电池,并重新安装传感器。
另外,有时候胎压传感器故障可能并不是由于实际气压问题所致,而是传感器本身出现了故障。
这时,我们可以考虑以下解决方法:1. 检查传感器连接线,传感器连接线的损坏或者脱落可能会导致传感器无法正常工作。
因此,我们需要仔细检查传感器连接线的状态,并确保连接牢固。
2. 更换传感器,如果经过上述方法仍然无法解决问题,那么可能需要考虑更换胎压传感器。
在更换传感器时,建议选择原厂配件或者具有良好口碑的品牌产品,以确保传感器的质量和稳定性。
综上所述,当车辆的胎压传感器出现故障时,我们可以通过检查轮胎气压、重置传感器、更换电池、检查连接线或者更换传感器等方法来解决问题。
在进行以上操作时,建议遵循车辆的用户手册或者寻求专业技师的帮助,以确保操作的准确性和安全性。
希望以上内容能够帮助您解决胎压传感器故障问题,保障驾驶安全。
汽车常用传感器之胎压监测传感器

汽车常用传感器之胎压监测传感器胎压监测传感器(TPMS)是现代汽车上的一个重要的安全装置,用于监测车辆的轮胎压力是否正常。
它可以提醒驾驶员及时检查和调整轮胎压力,避免因胎压过低或过高而导致的安全隐患。
胎压监测传感器主要由以下几个部分组成:1.传感器本体胎压监测传感器通常安装在轮胎内侧,由一个电子传感器和一个固定在轮辋上的天线组成。
传感器本体主要负责监测轮胎的压力和温度,并将数据发送给车辆电控单元进行处理。
2.接收器车辆的电控单元会接收传感器发来的信号,并根据收到的数据计算出每个轮胎的压力值和温度值。
如果有任何一个轮胎的压力过低或过高,车辆的电控单元会发出警报提示驾驶员检查。
3.显示器有些车辆的仪表板上会配有胎压监测器的显示器,可以显示每个轮胎的压力值和温度值。
这样驾驶员可以随时了解车辆的轮胎状况。
胎压监测传感器的工作原理是利用电磁波传输原理,通过传感器和车载接收器间的无线信号传递,将检测的胎压信息传达到车载计算机,车载计算机经过分析后,可提供实时胎压监测结果。
胎压监测传感器的作用非常明显,如果轮胎压力不足,胎面与路面的接触面积减小,轮胎侧壁受到较大的扭曲,轮胎在行驶中的磨损也会加剧,甚至可能导致轮胎破裂。
而过高的轮胎压力则会使轮胎易磨损,减少轮胎寿命。
应当注意的是,胎压监测传感器需要定期检查,并进行校准。
在轮胎更换后,传感器也需要重新进行校准以确保准确性。
如果胎压监测传感器出现故障,需要及时更换。
实际上,一些车辆在出厂前并没有配备胎压监测传感器,但是在驾车时,一定要时刻注意轮胎是否正常,对于轮胎不确定的情况,一定要及时进行检修或者更换。
总之,胎压监测传感器既是安全装置,也是环保装置。
科学使用胎压监测传感器,能够有效延长轮胎使用寿命,减少耗油量,降低二氧化碳排放,为我们创造更加安全、经济、环保的驾驶环境。
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基于集成压力传感器的无源胎压监控系统研究张兆华,陈磊,李坤,林惠旺,刘理天,乌力吉,任天令(清华大学微电子学研究所,北京100084)1 引言2002年,由于凡世通(Firestone)轮胎的质量问题,造成了超过100人死亡和400人受伤的事件,引起了汽车业和美国政府的高度重视,普利斯通/凡世通公司被迫收回650万只轮胎。
据美国汽车工程师学会最近的调查,每年75%的轮胎故障是由于轮胎渗漏或充气不足引起的。
据公安部统计,在中国高速公路上发生的交通事故有70%是由于爆胎引起的,而在美国这一比例则高达80%。
如何防止爆胎已成为安全驾驶的一个重要课题。
据国家橡胶轮胎质量监督中心分析,保持标准的车胎气压和及时发现车胎漏气是防止爆胎的关键,而汽车轮胎压力监视系统将是预防爆胎的理想工具。
由于轮胎压力变化通常是一个渐变的过程,即使由于异物刺破轮胎而导致的轮胎泄气也有一个持续过程,因此通过实时监测轮胎压力,并在轮胎压力出现异常后的第一时间报警,能够为驾驶员正确处理突发情况争取宝贵时间,从而保证行车的安全。
为此,美国运输部和美国国家高速公路安全管理局制定了相关政策,规定从2003年11月到2006年10月31日期间新出厂的轻型汽车将逐步引入轮胎压力监视系统。
2 胎压监控的基本原理目前,轮胎压力监测系统主要有两种解决方案,直接系统和间接系统。
直接式轮胎压力监测系统是利用安装在每一个轮胎里的压力传感器直接测量轮胎的气压,并对各轮胎气压进行显示及监控,当轮胎气压太低或有渗漏时,系统会自动报警。
间接式轮胎压力监测系统是通过汽车ABS系统的轮速传感器来比较轮胎之间的转速差别,以达到监控胎压的目的,该类型系统的主要缺点是:①不能显示出各条轮胎准确的瞬时气压值;②同一车轴或者同一侧车轮或者所有轮胎气压同时下降时不能报警;③不能同时兼顾车速、检测精度等因素。
很明显,直接传感系统更有效。
直接式轮胎压力监控系统又分为主动式(active)和被动式(passive)两种。
主动式系统是采用在硅基上利用MEMS工艺制作电容式或者压阻式压力传感器,将压力传感器安装在每个轮圈上,通过无线射频的方式将信号传送出去,安装在驾驶室里的无线接收装置接收到该压力敏感信号,经过一定的信号处理,显示出当前的轮胎压力。
主动式技术的优点是,技术比较成熟,开发出来的模块可适用于各厂牌的轮胎,但缺点同样比较突出,其感应模块需要电池供电,因此存在系统使用寿命的问题。
被动式轮胎压力监控系统的传感器是采用声表面波(SAW)来设计的,这种传感器通过射频电场产生一个声表面波,当这个声表面波通过压电衬底材料的表面时,就会产生变化,通过检测声表面波的这种变化,就可以知道轮胎压力的情况。
虽然此技术不用电池供电,但是它需要将转发器整合到轮胎中,需各轮胎制造商建立共通的标准才有可能实施。
轮胎气压实时监测与报警系统目前还没有统一的标准,各公司都在努力开发具有竞争力的产品,以期在未来的竞争中立于不败之地。
具有分辨率高、无源、体积小三个特征的胎压监控系统将是未来的发展趋势。
轮胎气压监测系统要检测出轮胎气压的异常状况,只有具有高分辨率才能有高的精度。
电池寿命是有限的,且容量也受温度影响。
为提高系统的可靠性,传感器最好能进行无源检测。
轮胎能否正常工作不仅与气压有关,还与温度、车轮转速及载质量等有关,未来的压力传感器在测量轮胎气压的同时,还应能测量轮胎内温度和载质量。
许多研究表明,利用轮胎气压传感器收集到的信息,可对车辆悬挂系统进行故障监测并校正导航系统。
因此,未来的传感器应该是集各种功能于一身的无源智能型传感器。
3 无源TPMS磁场电磁耦合设计方案3.1 原理电感耦合是一种变压器模型,通过空间高频交变磁场实现耦合。
依据的是电磁感应定律,实际上是通过交变磁场在轮胎内测量发射模块的线圈中感应出电压和电流,给轮胎内测量发射模块提供能量。
电感耦合方式一般适合于中、低频工作的近距离射频识别系统。
3.2 方案设计该系统至少包含轮胎内测量模块和阅读器两部分。
一般情况下,胎内测量模块由低频耦合天线(大面积的线圈)、专用微型芯片和高频发射天线组成。
低频耦合天线从交变磁场中获得工作所需的能量,专用芯片负责测量压力和将压力信息转化为RF信号,高频发射天线将RF信号发射到空间。
阅读器包含有接收器、控制器以及低频驱动电路、低频天线、高频接收天线。
控制器通过低频天线向空间发射出供胎内测量电路使用的电磁波,发射磁场的一小部分磁力线穿过距阅读器天线线圈一定距离的轮胎内测量模块低频耦合天线线圈,通过感应,在低频耦合天线线圈上产生一个电压Ui,将其整流后作为胎内测量接收模块的电源。
将一个电容与阅读器的天线线圈并联,电容器电容的选择依据是:它与天线线圈的电感一起,形成谐振频率与阅读器发射频率相符的并联振荡回路。
该回路的谐振使得阅读器的天线线圈产生非常大的电流,这种方法也可用于产生供远距离应答器工作所需要的场强。
胎内测量模块的低频耦合天线线圈和电容器构成振荡回路,调谐到阅读器的发射频率。
通过该回路的谐振,应答器线圈上的电压达到最大值。
这两个线圈上的结构也可以解释作变压器(变压器的耦合),变压器的两个线圈之间只存在很弱的耦合,阅读器的天线线圈与胎内测量模块的低频耦合天线线圈之间的功率传输效率与工作频率f、应答器线圈的匝数n,被应答器线圈包围的面积A、两个线圈的相对角度以及它们之间的距离成比例。
胎内测量模块获得能量工作后,将压力信息调制到RF信号发射出来,阅读器的高频接收天线接收到RF信号后,接收器将RF信号解调后将压力信号传给控制器,控制器将压力信号通过人机界面告知车主。
3.3 难点和解决思路电感耦合系统的效率不高,所以一般适用于低电流电路,作用距离短,一般只有几十厘米。
提供能量有限,所以模块中的传感器电路的设计就很重要。
其关键是:①芯片的设计要效率高,能在低电流的情况下完成测量和发射的任务;②微型芯片工作所需要的全部能量必须由阅读器供应。
高频的强电磁场由阅读器的天线线圈产生,所以阅读器的设计要提供足够的磁场强度。
本系统要求作用距离大约30~40 cm,能提供大约20 mA的大电流,因此设计上具有挑战性。
为实现预期目标,可以从两方面做出努力:一方面是尽可能提供较大的电流和能量供芯片正常工作;另一方面则应该对测量芯片采用低功耗设计,尽量降低胎内测量模块正常工作所需的电流。
4 直接胎压监控系统设计与分析本文设计了一种直接式TPMS,其原理如图1所示。
该系统由两部分组成,轮胎模块和车载接收模块。
其中,轮胎模块包括压力和温度传感器、A/D变换器、控制器及射频发射器等,如图2所示。
车载接收模块包括了射频接收器、控制器以及显示报警装置等,如图3所示。
该系统的基本工作原理如下,把轮胎模块装置在轮胎内,压力和温度传感器检测轮胎内部当前的应力和温度信息,获得的模拟信号经过A/D变换器转换成数字信号,然后通过射频发射器发送出去。
车载接收模块装置在驾驶室内,射频接收器接收来自轮胎模块的应力和温度信息,当轮胎压力过高或者过低时,通过显示和报警装置发出报警信息。
在轮胎模块,设计了一种新型的压力温度集成传感器作为轮胎压力监控传感器。
该传感器集成了压力和温度两种传感器,具有体积小、成本低、测量精度高等特点。
采用低噪声四通道放大器,可以方便实现对压力和温度两种信号的放大。
控制器采用摩托罗拉的MC6S08QG8芯片,该单片机的工作电压为3 V,与传感器的工作电压一致。
射频发射芯片采用摩托罗拉的MC33493芯片,该芯片具有3 V供电以及功耗低等特点。
在车载接收模块,射频接收解码芯片采用摩托罗拉的MC33594芯片,该芯片是和射频发射芯片MC33493芯片配套的射频接收芯片,其工作电压是5 V。
控制器采用摩托罗拉的MC9S08AW16单片机,该芯片的内核为S08,可以与轮胎模块的单片机MC6S08QG8采用同样的开发环境,另外该芯片为5 V供电,与射频接收芯片以及LCD显示芯片电平兼容。
5 新型的胎压监控传感器分析压力传感器和温度传感器是轮胎压力监控系统的关键部件,设计并制作了一种新型传感器,它包含压阻式压力传感器和温度传感器两部分。
其中,压阻式压力传感器主要是利用半导体的压阻效应,把一个惠斯通电桥做在一个硅杯上,如图4所示。
当硅杯受到压力后发生形变,惠斯通电桥的四个桥臂电阻就会发生变化,打破了电桥的电平衡,从而会有一个电信号的输出。
温度传感器采用单电阻结构,在n型硅衬底上制作一个p型电阻。
囚为p型注入电阻有一个正的温度系数,当温度发生变化时,电阻的阻值就会发生相应的变化。
通过给电阻以电流源供电,就可以通过测量电阻上的电压来检测温度的变化。
图5是本文制作的传感器芯片的电镜照片。
图5(a)为器件正面全貌;图5(b)为薄膜正面;图5(c)为薄膜背面。
其中压敏元件采用比常规更厚的50μm硅杯薄膜(500 μm×500μm),增大了体硅上高应力区的面积,在降低工艺要求的同时提高了线性测量范围和过载压力。
压敏电阻设计为折线结构,采用优化的几何尺寸,并将其部分制作在高应力体硅上以获得更高灵敏度。
体硅上的温敏电阻随压敏电阻利用同步注入工艺制作,减小了工艺复杂度。
该器件工艺简单,成品率高,与标准IC工艺兼容。
初步的测试结果表明集成传感器具有良好的性能。
压力传感器的满量程输出为150 mV,压力测量范围为0~500 kPa,灵敏度为0.3 mV/kPa。
温度传感器的灵敏度为1.24 mV/℃,非线性为1.6%。
压力温度集成传感器完全适用于胎压监控系统的要求。
6 结论在分析了轮胎压力监摔系统的原理及各种不同解决方案的基础上,设计了一种新型的轮胎压力监控系统解决方案。
根据TPMS的要求,设计制作了一种压力温度集成传感器,该器件工艺简单,成品率高,与标准IC工艺兼容。
感谢清华大学微电子所微纳器件与系统研究室在芯片制作方面给予的帮助和支持,感谢甘肃天水华天传感器有限公司在传感器封装测试方面所给予的帮助和支持。