高可靠性压力传感器的设计方法

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2024版《智能传感器》PPT课件

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数据融合与校准策略
多传感器数据融合
将来自多个传感器的数据进行融 合处理,以提高测量精度和可靠 性。常用的数据融合方法包括加
权平均、卡尔曼滤波等。
传感器校准
对传感器的输出进行校准,以消除 传感器本身的误差。常用的校准方 法包括零点校准、量程校准等。
环境因素补偿
考虑环境因素对传感器输出的影响, 如温度、湿度等,对传感器输出进 行补偿,以提高测量精度。
政策法规环境分析
政策支持
各国政府纷纷出台相关政策,支持智能传感器产业的发展,包括 财政补贴、税收优惠、研发支持等。
法规标准
为了保障智能传感器的质量和安全,各国纷纷制定相关法规和标准, 规范市场秩序,推动产业健康发展。
国际贸易环境
随着全球经济一体化的深入发展,智能传感器产业面临更加开放的 国际贸易环境,同时也面临着更加激烈的国际竞争。
网络通信实现方法
嵌入式系统网络通信实现
通过嵌入式系统中的网络接口模块 和相应的网络通信协议栈实现智能
传感器之间的网络通信。
自定义网络通信实现
借助物联网平台提供的网络通信功 能,实现智能传感器与物联网平台
之间的数据交互和远程控制。
物联网平台网络通信实现
通过云平台提供的API接口和网络 通信服务,实现智能传感器与云平 台之间的数据交互和协同处理。
《智能传感器》PPT课件
contents
目录
• 智能传感器概述 • 智能传感器工作原理与分类 • 智能传感器信号处理技术 • 智能传感器接口电路设计与实践 • 智能传感器网络通信协议及实现 • 智能传感器性能指标评估方法 • 智能传感器应用案例分析 • 智能传感器未来发展趋势预测
01
智能传感器概述

霍尼韦尔6df6g压力传感器说明书

霍尼韦尔6df6g压力传感器说明书

霍尼韦尔6df6g压力传感器说明书【实用版】目录1.霍尼韦尔压力传感器概述2.霍尼韦尔压力传感器的性能特点3.霍尼韦尔压力传感器的应用领域4.霍尼韦尔压力传感器的使用方法与注意事项5.霍尼韦尔压力传感器的优缺点分析正文一、霍尼韦尔压力传感器概述霍尼韦尔压力传感器是一款由霍尼韦尔公司生产的高品质压力传感器,具有高精度、高稳定性、高可靠性等特点。

它可以将压力信号转化为标准电信号,用于测量流体、气体等介质的压力变化,广泛应用于工业、汽车、医疗、航空等领域。

二、霍尼韦尔压力传感器的性能特点1.高精度:霍尼韦尔压力传感器具有很高的测量精度,可以准确地测量压力变化,满足各种应用场景的需求。

2.高稳定性:霍尼韦尔压力传感器具有很好的稳定性,可以在长时间内保持测量精度,减少误差。

3.高可靠性:霍尼韦尔压力传感器具有较高的可靠性,可以在恶劣的环境下正常工作,降低故障率。

4.响应速度快:霍尼韦尔压力传感器具有较快的响应速度,可以实时测量压力变化,提高系统的响应速度。

5.抗干扰能力强:霍尼韦尔压力传感器具有较强的抗干扰能力,可以有效抵抗各种干扰信号,保证测量结果的准确性。

三、霍尼韦尔压力传感器的应用领域霍尼韦尔压力传感器广泛应用于工业、汽车、医疗、航空等领域,具体包括:1.工业自动化:用于流程控制、生产过程监测、设备运行状态检测等。

2.汽车行业:用于汽车发动机控制系统、刹车系统、油压检测等。

3.医疗行业:用于医疗设备、监护仪、呼吸机等。

4.航空航天:用于飞行控制系统、飞机发动机控制等。

四、霍尼韦尔压力传感器的使用方法与注意事项1.使用方法:将霍尼韦尔压力传感器与被测介质相连接,通过信号线连接到控制系统,即可实现压力信号的测量。

2.注意事项:(1)在安装时,应确保传感器与被测介质的接触良好,避免出现漏气现象。

(2)使用过程中,应注意保护传感器,防止受到机械损伤或腐蚀。

(3)在接线时,应确保接线牢固,避免线松动造成信号丢失。

压力传感器特性研究及其应用

压力传感器特性研究及其应用

压力传感器特性研究及其应用•相关推荐压力传感器特性研究及其应用压力传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。

按不同的测试压力类型,压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器。

下面是小编整理的压力传感器特性研究及其应用,欢迎大家分享。

压力传感器压力传感器是一种能够感知压力信号,并根据一定的规律将压力信号转换成可用的输出电信号的装置。

在压力测量中,有表压、负压、绝对压力、真空度之分。

工业上使用的压力示值大多是表压,所以绝对压力是表压和大气压之和。

如果测得的压力低于大气压,则称为负压或真空度。

测量压力的传感器在工作原理上分为压阻式压力传感器、压电式压力传感器、电容式压力传感器、压磁式压力传感器、霍尔式压力计等。

压阻式压力传感器半导体应变片式传感器在实际应用中被称为压阻式压力传感器,压阻式压力传感器在早期利用半导体应变片粘贴在弹性体上制成。

工业上使用的压力指示大多是表压,所以绝对压力是表压和大气压之和。

如果测得的压力低于大气压,则称为负压或真空度。

压阻式压力传感器的主要特点是体积小、重量轻、易于集成、灵敏度和分辨率高,适合于微压力检测。

但由于它是由半导体硅材料制成的,所以对温度很敏感。

没有温度补偿,温度误差会很大。

压阻式压力传感器应用由于压阻式压力传感器具备一系列优点,在航天、航海、医疗设备、石油化工中都得到了广泛应用。

在如今的社会形势下,全球市场对呼吸机、制氧机、血压计等医疗设备的'需求呈爆炸式增长,其中压阻式压力传感器是呼吸机的关键部件。

在家用呼吸机、医用呼吸机和高精度血压计的应用中,压阻式压力传感器供不应求。

压阻式压力传感器产品压阻式压力传感器工艺复杂,制造工艺要求高。

下面列出了两种典型的压阻式压力传感器的技术参数,以便进行客观的比较和说明。

图来自工控论坛压力范围0~10kPa压力范围属于相对较小的压力测量范围。

在实际应用中,选择的范围应略大于所用范围。

工作温度一般工业应用与集成电路系统的要求在-40℃~80℃之间,两款产品达到了-40℃~125℃的工作温度范围,能够满足大多数应用。

高频压力传感器原理

高频压力传感器原理

高频压力传感器原理一、引言高频压力传感器是一种常用于测量高频振动和脉冲压力的传感器。

它具有高精度、高灵敏度和高频响应等特点,在工业控制、航空航天、汽车工程等领域有着广泛的应用。

本文将深入探讨高频压力传感器的工作原理,并介绍其应用和未来发展方向。

二、高频压力传感器工作原理高频压力传感器的工作原理基于压阻效应。

当外界施加压力作用于传感器的敏感元件上时,敏感元件内部的电阻值会发生相应的变化。

通过测量敏感元件的电阻变化,可以间接获得所施加的压力大小。

三、高频压力传感器的结构高频压力传感器通常由敏感元件、信号调理电路和输出接口组成。

1. 敏感元件敏感元件通常采用银浆或半导体材料制成的薄膜电阻器。

该材料具有良好的压阻特性,能够根据外界压力的变化改变电阻值。

敏感元件的参数设计决定了传感器的灵敏度和频响特性。

2. 信号调理电路信号调理电路负责接收并处理敏感元件的输出信号,将其转化为符合要求的电压信号。

常见的信号调理电路有差分放大器、滤波电路和放大器等。

3. 输出接口输出接口将信号调理电路处理后的信号输出至外界设备。

常见的输出接口有模拟电压输出和数字信号输出。

四、高频压力传感器的应用高频压力传感器在许多领域有着广泛的应用,下面列举几个主要应用领域。

1. 工业控制高频压力传感器可用于工业流体管道的压力监测和控制。

通过对传感器输出信号的分析,可以及时判断管道中是否存在异常,并根据需要进行调整,以确保生产线的正常运行。

2. 汽车工程高频压力传感器在汽车发动机管理系统中起着重要作用。

它可以测量汽缸的燃烧压力,通过对压力信号的监测和分析,可以提高发动机的燃烧效率、降低排放并延长发动机寿命。

3. 航空航天高频压力传感器在航空航天领域的应用十分广泛。

它可以测量飞行器机身表面的气动压力分布情况,并帮助飞行员进行飞行控制。

4. 医疗设备高频压力传感器在医疗领域的应用主要集中在呼吸机、血压监测仪等设备上。

它可以实时测量患者的呼吸压力、血压等重要参数,为医生提供准确的数据支持。

压力传感器过载的影响以及简单的保护方法

压力传感器过载的影响以及简单的保护方法

压力传感器过载的影响以及简单的保护方法1. 压力传感器过载的影响压力传感器是一种常见的工业传感器。

它主要用于检测压力变化,并将这些变化转化为电信号输出。

但是,如果在使用时产生了过高的压力,会给传感器带来很大的影响。

以下是压力传感器过载的影响:1.1 误差增大在传感器正常工作时,它会输出一个与受测压力对应的电压信号。

但是,当传感器超负荷时,可能会输出错误的信号。

这会导致输出数据误差增大。

1.2 破坏过载可能会导致压力传感器内部的零件超负荷,导致零件损坏或甚至破坏。

这样就需要更换传感器,增加了维护成本。

1.3 降低可靠性如果压力传感器始终工作在高负荷状态下,那么其组件和元件的寿命将大大降低。

这会导致传感器性能下降,并降低其可靠性。

2. 简单的保护方法开发人员可以通过一些简单的方法来保护压力传感器不受过载损坏。

以下是一些保护方法:2.1 定期校准压力传感器需要定期校准。

校准可以帮助排除可能影响传感器精度的障碍,帮助在使用前识别问题。

2.2 安装降压阀安装降压阀可以防止压力过载。

降压阀可以帮助控制和稳定压力,确保传感器在正常范围内工作。

2.3 使用保护电路保护电路是附加在传感器输入和输出电路中的一些保护电路,旨在帮助保护传感器并防止其过载。

保护电路可以快速响应传感器的过载状态,并保护传感器不受损坏。

2.4 选择适当的传感器在选择压力传感器时,开发人员应该考虑其额定负荷。

确保选择的传感器符合设计规范并充分满足使用需求。

结语在使用压力传感器时,需要注意其负载。

过载可能会导致传感器性能下降,损坏或破坏。

因此,我们应该定期校准压力传感器,并使用降压阀、保护电路等方法来保护传感器。

传感器课件ppt

传感器课件ppt

更加精准和灵活的自动化操作。
物联网中的传感器应用
1 2 3
环境监测
物联网中的传感器可以对环境进行实时监测,包 括温度、湿度、气压、光照等参数,为环境控制 提供数据支持。
智能家居
传感器在智能家居中的应用也越来越广泛,如智 能门锁、智能照明、智能空调等,提高生活的便 利性和舒适度。
工业物联网
在工业物联网领域,传感器能够实时监测设备的 运行状态和工作参数,帮助实现预测性维护和优 化生产过程。

THANKS
感谢观看
02
传感器技术基础
电阻式传感器
总结词
通过电阻值变化来测量物理量变化的传感器
详细描述
电阻式传感器是通过测量电阻值变化来测量物理量变化的一种传感器。它通常由敏感元件和转换元件组成,敏感 元件能够感知被测物理量,转换元件能够将敏感元件的电阻值转换成电信号输出。常见的电阻式传感器有热电阻 、光敏电阻、湿敏电阻等。
随着微电子技术的发展,传感 器的小型化成为了一个重要的 趋势。小型化的传感器可以更 方便地应用于各种场合,降低 了对空间的要求。
随着人工智能技术的发展,智 能化的传感器也成为了未来的 发展趋势。智能化的传感器可 以具备自我诊断、自我校准、 自我适应等功能,更好地满足 各种应用需求。
随着物联网技术的发展,传感 器的网络化也成为了未来的重 要趋势。网络化的传感器可以 实现远程监控、数据共享等功 利用电容原理来测量物理量变化的传感器
详细描述
电容式传感器是利用电容原理来测量物理量变化的传感器。它通常由两个平行电极和敏感元件组成, 当敏感元件受到被测物理量的影响时,电极之间的电容值会发生变化,从而引起电信号的输出。常见 的电容式传感器有差压电容传感器、压力电容传感器、位移电容传感器等。

压力传感器说明

压力传感器说明

陶瓷压阻式压力传感器陶瓷压阻式压力传感器 概述:陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料,并具有绝佳的热稳定性。

高性能、低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向,在欧美国家有全面替代其它类型传感器的趋势,在中国也被越来越多的用户所接受。

陶瓷压阻式压力传感器,是在净化环境下通过高温烧结工艺直接将惠斯通电桥和补偿电路沉淀在印陶瓷膜片上,并通过激光刻蚀方法调整偏移量和温度特性,因此具有测量精度高、长期稳定性好、耐高温、耐腐蚀、抗冲击等优点,广泛使用于汽车、工业控制以及食品、医药等领域。

外形尺寸外形尺寸::1、电源正 2、 传感器输出负 3、 电源负4、 传感器输出正 主要技主要技术指标术指标术指标::1.外形尺寸:φ18.0×6.35 mm2.量程范围:0-250 bar3.工作电压:2-40V4.零点输出:± 1 mv5.输出灵敏度:2-4mv/V 典型值2±0.2 mv/V6.线性、迟滞、重复性:0.1 %7.响应时间:<1mS8.使用温度:-55~150℃9.温度漂移:±0.01%FS/℃、±0.02%FS/℃10. 安全过载:3倍额定量程(灵敏度为典型值时)11.稳定性: 优于0.15 %FS / 年汽车机油压力变送器概述:汽车机油压力变送器选用高精度、高稳定性的干式陶瓷压阻式压力传感器敏感芯体,并集成专用调理芯片,对传感器的便宜、灵敏度、温漂进行补偿,将被测介质的压力转换成标准电信号。

高质量的传感器、全自动的贴片和激光调校生产线、精湛的封装技术、完善的装配工艺确保了该产品的高质量和优异性能。

本产品提供多种螺纹接口形式和引线方法,能够最大限度的满足客户的需求。

特点特点:集成度高、体积小;精度高、稳定性好、功耗低、一致性好;抗腐蚀能力强;抗过载冲击和干扰能力强;过压过流保护;适用温度范围广。

技术参数技术参数::1、 量程范围:0-10bar (可定制)2、 供电电压:5±0.25V DC(最低2.7V DC)3、 输出方式:比例电压输出 0.5-4.5v 标准信号输出(可定制)4、 综合精度:0.5% 1% (0-80℃)5、 工作温度:-40~125℃6、 响应时间:<1ms7、 温度漂移:<±0.01%FS/℃8、 线性、迟滞、重复性:<0.1%9、 稳定性:优于0.15%FS/年10、外壳材料:不锈钢 11、外壳防护等级:IP65 12、螺纹接口:1/8NPT 1/4NPT M20*1.5 M18*1.5 (外螺纹)用户可自选 13、电气连接:标准Packard Metri-pack 连接器 14、接线方式:三线制电压:红(+) 黑(地) 绿(输出)概述:电压输出型压力变送模块,采用陶瓷压阻式压力传感器做为敏感元件,并用本公司自行研发的芯片对传感器的偏移、灵敏度、温漂和非线性进行补偿,具有集成度高、体积小、精度高、一致性好、抗干扰能力强、响应速度快、温度范围宽等卓越特性。

pg35压力传感器说明书中文版

pg35压力传感器说明书中文版

pg35压力传感器说明书中文版PG35压力传感器说明书感谢您选择使用PG35压力传感器。

本说明书将为您提供有关该产品的详细信息和正确使用方法。

在使用之前,请仔细阅读本手册,并按照说明进行操作。

1. 产品概述\nPG35压力传感器是一种高精度、高可靠性的压力测量设备。

它采用先进的传感技术,能够准确测量液体或气体的压力,并将其转化为电信号输出。

2.技术规格\n- 测量范围:0-1000kPa\n- 精度等级:±0.5%FS\n- 输出信号:4-20mA\n- 工作温度范围:-20℃至80℃\n- 电源电压:24VDC3. 安装和连接\n3.1 安装\n在安装PG35压力传感器之前,请确保安装环境干燥、清洁,并远离振动和冲击。

将传感器固定在需要测量压力的位置上,确保其与被测介质充分接触。

3.2 连接\n将传感器的电源线和信号线连接到相应的设备上。

请注意,电源线和信号线应正确连接,以免损坏设备。

4. 使用方法\n4.1 开机和校准\n在使用PG35压力传感器之前,请确保电源已连接并正常工作。

按下电源开关,传感器将开始工作。

为了确保测量的准确性,建议在使用前进行校准操作。

4.2 参数设置\nPG35压力传感器具有一些可调参数,如量程、输出信号等。

您可以根据实际需求进行相应的参数设置。

具体的设置方法请参考附带的参数设置手册。

5. 注意事项\n- 请勿将传感器暴露在过高或过低的温度环境中,以免影响其性能。

\n- 请勿将传感器接触腐蚀性液体或气体,以免损坏设备。

\n- 请勿随意拆卸或修理传感器,以免造成安全隐患或损坏设备。

\n- 请定期清洁传感器表面,并检查连接线路是否正常。

6. 常见问题解答\nQ: 为什么我的PG35压力传感器测量结果不准确?\nA: 可能是由于未正确校准或参数设置不正确导致的。

请参考说明书中的校准和参数设置部分进行操作。

Q: 我可以将PG35压力传感器用于测量液体和气体吗?\nA: 是的,PG35压力传感器适用于测量液体和气体的压力。

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高可靠性压力传感器的设计方法
发表时间:
2018-06-14T17:13:54.727Z 来源:《电力设备》2018年第5期 作者: 张洪亮 王曼曼
[导读] 摘要:压力传感器广泛应用于各种现代工业生产中,对于在机车、冶金、石油化工、动力机械、航空航天等工程领域应用的传感器
来讲,研究高可靠性及耐高温的压力传感器具有重要的实际意义。

(
中国电子科技集团公司第四十九研究 所黑龙江省哈尔滨市 150001)

摘要:压力传感器广泛应用于各种现代工业生产中,对于在机车、冶金、石油化工、动力机械、航空航天等工程领域应用的传感器来
讲,研究高可靠性及耐高温的压力传感器具有重要的实际意义。例如航空发动机进出口油压测量,发动机燃烧室气体压力测量、汽车发动
机用机油压力测量、增压热燃气喷口压力测量时,一旦传感器失效或者泄漏,不仅会造成测量输出异常,甚至会造成人员伤亡。目前,工
业上常见的压力传感器芯片为扩散硅原理,压敏电阻和衬底通过PN结电隔离,当工作温度超过120℃时硅材料本征激发PN结会反向
导电,所以不能在高于120℃的环境下进行压力测量,传感器敏感元件的安装结构通常为O型密封圈
“悬浮”结构,存在泄露隐患。针对某
工程领域实际需求,提出了一种高可靠性压力传感器的设计方法,传感器芯片采用扩散硅原理,具有优良的高温性能,敏感元件通过电子
束焊接连接,输出信号还将进行温度补偿。最后经过环境试验证明,该产品的可靠性和性能指标可以满足工程要求。

关键词:高可靠性;压力传感器;设计方法
1
传感器设计
1.1
敏感元件设计

芯片是传感器的核心,功能是将被测压力转换为电信号。为了满足高温使用需求,传感器芯片为SOI结构,结构以衬底硅作为机械
支撑,顶层单晶硅膜用于制造器件,中间的绝缘介质作为隔离层。SOI压力芯片利用硅氧化物实现敏感电阻之间以及与基片之间的电隔
离,替代了传统的扩散硅PN结电隔离技术,因而具有良好的高温工作特性。芯片由硅材料和玻璃组成,硅材料和玻璃之间是静电封装结
构。

敏感元件本设计采用隔离密封的充灌结构,芯片侵泡于填充夜中,该结构具有工艺成熟、灵敏度高、稳定性好、被测介质与敏感芯片
无接触等优点,能充分发挥硅材料优良的线性特性。敏感元件结构如图
1所示,主要由芯片、管座、膜片等零件组成。敏感芯片采用高温胶
粘贴装配在耐高温的金属管座上;芯片与金属外引线通过金丝内引线连接,该工艺成熟可靠;金属外引线采用金属-玻璃封接工艺与管座
连接固定,具有较高的机械强度、耐高温性和良好的密封性;不锈钢波纹膜片气密性隔离敏感芯片和被测介质,可避免芯片受介质影响;
不锈钢波纹膜片通过激光焊接固定在压环和管座之间;不可压缩的填充液硅油被真空净化处理后灌入感压腔内,灌封完成后用封油珠焊接
密封充灌油路;当压力作用在波纹膜片上时,膜片变形通过硅油传导压力至芯片,芯片上电桥桥臂电阻变化产生相应信号。

图1压力敏感元件结构
1.2
整机结构设计

整机结构设计需满足防水、防尘、抗电磁干扰、抗振动和冲击、体积小、重量轻、便于装配等要求。传感器为机电一体化产品,整机
结构主要由电路板、壳体、固定件、基座、敏感元件和阻尼塞等组成。压力传感器工作时通过基座螺纹安装固定在被测管路及箱体上,基
座材料选用不锈钢316L,材料采用固溶热处理后加工使用。固定件在传感器内部起承接固定作用,固定件下端内部螺纹与基座连接,
固定件下端外部螺纹与壳体连接,固定件上端有4个螺纹孔,通过4个M2螺钉和平垫圈固定电路板,螺纹均涂覆环氧胶拧紧防松,胶体
填充螺纹缝隙间。固定件和壳体材料选用铝合金以减轻整机的质量,壳体表面进行导电氧化处理。传感器导线选用高温导线。阻尼塞可降
低大冲击压力对膜片的损伤,还可避免尖锐物品损坏敏感元件膜片。敏感元件和基座安装结构将直接决定传感器的密封强度,常见的安装
结构为密封圈隔离安装、螺纹安装和焊接安装3种。传感器结构设计采取了O型密封圈和焊接相结合的安装方式。O型圈悬浮式结构利用
橡胶的弹性及柔性可充分隔离装配应力。焊接采用电子束焊接,无需填充材料,与激光焊接技术相比具有焊接面积小、速度快、不易损伤
精密电子器件、焊接参数易于控制等优点。电子束焊接技术(electron
beam welding,EBW)是利用高速电子
的动能转化为热能,使焊缝处的金属材料迅速熔化融合从而达到焊接的目的。由于高温会导致敏感元件内部硅油性质变化,因此决定焊接
部位为敏感元件上端面,焊缝形式为径向环形焊缝,且在焊接处设计散热锥面已降低敏感元件表面温度。
1.3
温度补偿设计

在实际工程应用中为使传感器的技术指标及性能不受温度变化影响而采取的一系列技术措施称为温度补偿技术。压力传感器的温度补
偿通过电路设计实现,利用专用的传感器信号调理芯片实现温度补偿的方法具有集成度高、精度高、便于批量化生产等优点。Max14
52是一款较常见的信号调理芯片,该芯片是一款高度集成的信号处理器,具有放大、校准和温度补偿功能,其综合工作特性可以逼近传
感器所固有的可重复能力,可同时实现零位和灵敏度的补偿。该芯片还可用于加速度传感器、湿度传感器的温度补偿及校准。电路主要由
稳压源、信号处理器和敏感元件电桥组成。稳压源提供稳定5V电压,信号处理器通过BDR管脚给电桥供电,通过INP和INM管脚
接收电桥感受压力后输出的电压信号,在信号处理器内部通过温度补偿曲线对信号进行补偿,并由OUT管脚直接输出补偿后的电压信
号。信号处理器对电桥的供电可设置为恒流供电或恒压供电,本设计选用恒流供电模式。补偿完成后的传感器在低温-40℃和高温6
0℃零位差值不大于0.005V,且温度范围内输出稳定。
2
环境试验
2.1
力学试验

传感器力学试验包括振动试验、模拟运输试验、冲击试验和过载试验。振动试验和模拟运输试验均在电动振动台上进行,冲击试验在
跌落式冲击台上进行,过载试验在中型离心机上进行。试验方向均沿产品相互正交的3个方向,试验过程中传感器通电测试,传感器输出
需满足零点输出要求,传感器外观无损伤。
2.2
自然环境试验

传感器自然环境试验包括低气压试验、温度循环试验、湿热试验、高温试验、低温试验、温度冲击试验、霉菌试验和盐雾试验。试验
过程中产品在环境试验箱通电检测。试验中的传感器输出正常,试验后产品结构完好,在常规条件(温度:20℃,湿度:30%~5
0%)下加电测试传感器的性能指标,结果和试验前的指标基本保持一致,说明该传感器可以经受自然环境的考核。传感器高温试验温度
为150℃,保温时间2h,试验系统原理,将传感器装到加压工装上,工装和传感器放入温度试验箱中,工装通过油管与箱外活塞式压
力计连接,传感器通过测试电缆与箱外电源和数字表连接。
2.3
电磁兼容试验

电磁兼容试验考核的试验项目包括CE102、CS101、CS114、CS115、CS116及RS103测试。试验中传感
器未发生异常现象,试验后传感器的电气性能输出均正常,传感器电磁兼容性可以满足大多数工程应用中使用要求。

结论

高可靠性压力传感器在军事和民用领域均有十分重要的应用价值,本文提出了一种高可靠性压力传感器的设计方法。通过各项试验对
传感器进行了性能验证,经试验与测试表明,采用该设计的压力传感器不仅可靠性高,且尺寸小,重量轻,能够满足高可靠性工程领域的
使用需求。目前该产品已在实际工程中应用,测试效果良好。针对工程应用中对高可靠性压力传感器的使用需求,提出了高可靠性压力传
感器的设计方法,设计的传感器机械结构简单,密封性能优良
;电路采用温度补偿设计,温度范围内精度高。传感器通过了可靠性强化试验
的考核,试验表明该传感器可以满足极端环境的应用需求。

参考文献:
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马婷婷,马书鯼,张爱军.MEMS压力传感器工艺可靠性测试评价[J].电子器件,2017,40(06):1359-1363.
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