清洗制绒
1-清洗制绒设备操作规程(v8.6)
3 1）信息栏 显示当前时间、日期；显示设备模式（手动或自动模式），与PLC的通讯状况：正常（OK），登录名称：Service(服务)、Operator（操作者）等。 2）报警诊断信息栏 显示当前出现的报警的相关信息： 日期、时间：出现报警的时间； 功能部件：出现报警的部件； 功能：出现报警的部件的执行功能； 错误信息：出现的报警信息，相关错误解释可查阅操作手册； 状态：报警的状态。未解决、已承认等。 3）按钮信息栏 A、软件登录。 B、软件版本信息 C、用户管理 D、关闭操作模式，所有输出信号将被关闭。。 E、将机器切换到手动模式。所有部件的操作模式将切换到手动模式。 F、将机器切换到服务操作模式。此按钮非设备维护人员禁止点击。 G、将机器切换到自动操作模式 H、切换主界面。 I、 进入Service界面，将会显示各种输入、输出信号状态。
晶体硅太阳能电池生产线清洗制绒工序
总结词
去除表面污垢，提高表面清洁度
详细描述
碱洗工序主要利用碱性溶液清洗硅片表面，去除油脂、污垢等杂质，提高表面的 清洁度和吸附能力，为后续的制绒工序提供良好的表面条件。
制绒流程
总结词
形成绒面结构，提高光吸收效率
详细描述
制绒工序是利用化学反应在硅片表面形成绒面结构，使入射光在硅片表面产生漫反射和散射，从而提高太阳能电 池的光吸收效率。制绒过程中需控制反应温度、时间和溶液浓度等参数，以保证绒面结构的均匀性和一致性。
硅片在生产过程中会沾染各种污 染物，如灰尘、油脂等，清洗制 绒的目的是将这些污染物去除，
恢复硅片表面的洁净。
去除切割损伤
晶体硅太阳能电池的制造过程中， 硅片需要进行切割，这个过程中会 在硅片表面产生损伤，清洗制绒可 以去除这些切割损伤。
增强表面活性
通过清洗制绒，可以去除硅片表面 的氧化层，暴露出新鲜的硅表面， 增强其表面活性。
定期进行应急演练，提高员工的应急 处理能力。
配备相应的应急处理设备和物资，如 急救箱、灭火器等。
在发生紧急情况时，应迅速采取相应 措施，确保人员安全和设备稳定。
环保措施及排放标准
清洗制绒过程中应采用环保型清洗剂，减少对环境的污 染。
定期对生产线进行清洁和维护，确保生产环境的整洁和 卫生。
废气、废液等废弃物应按照国家相关标准进行排放和处 理。
展方向。企业致力于研发环保型清洗制绒工艺，降低能源消耗和环境污
染。
03
高精度与高效率
为了提高产品质量和生产效率，生产线清洗制绒技术向高精度和高效率
方向发展。企业不断优化清洗制绒工艺，提高设备的精度和稳定性，实
现高效生产。
市场前景及竞争态势
晶硅片制绒与清洗
定期检测制绒液的成分和质量，确保其符合工艺 要求，及时更换不合格的制绒液，避免对硅片造 成不良影响。
制绒设备维护与校准
定期对制绒设备进行维护和校准，确保设备运行 正常，制绒槽、喷头等部件无磨损、堵塞等现象。
清洗质量控制
清洗流程监控
对清洗流程进行严格监控，确保每一步骤都按照规定的工艺要求 进行，防止遗漏或错误操作。
半自动清洗
02
03全自动清洗源自采用机械或简单的自动化设备进 行清洗，提高了效率和清洗质量。
利用先进的自动化设备和控制系 统，实现高效、高精度的清洗， 是目前主流的清洗技术。
清洗技术的应用场景
光伏产业
晶硅片是光伏电池的主要原料，清洗技术用于制 备高质量的光伏电池。
半导体产业
晶硅片用于制造集成电路、微电子器件等，清洗 技术用于制备高纯度、高精度的半导体器件。
制绒技术的应用场景
制绒技术主要应用于太阳能电池制造领域，特别是晶体硅 太阳能电池制造领域。通过制绒技术可以提高太阳能电池 的光电转换效率，从而提高整个光伏系统的发电效率。
制绒技术还可以应用于其他需要增加光散射和吸收的领域 ，如光电子、光通信、照明等领域。
02 晶硅片清洗技术介绍
清洗技术原理
物理清洗
新型制绒技术
制绒工艺优化
通过不断优化制绒工艺参数，提高制 绒效果和降低成本，以满足光伏产业 对晶硅片质量、效率和经济性的要求。
为了提高晶硅片的表面质量和效率， 新型制绒技术的研究和开发将不断涌 现，如离子注入、激光刻蚀等。
清洗技术未来发展趋势
环保清洗技术
随着环保意识的提高，环保清洗 技术将成为未来的发展趋势，如 超声波清洗、激光清洗等。
高效清洗设备
清洗制绒的作用
清洗制绒的作用清洗制绒的作用1.保持制绒品质•清洗制绒可以去除制绒过程中残留的杂质和污垢，确保制绒品质的纯净和可靠性。
•通过清洗制绒，可以使制绒品的色彩更加鲜艳，光泽更加亮丽，提升其外观效果和质感。
2. 增强制绒品的舒适度•清洗制绒可以去除制绒过程中可能残留的化学物质和残留处理剂，减少对皮肤的刺激，提高制绒品的舒适度。
•通过清洗制绒，可以使制绒品的纤维更加柔软和亲肤，增加其舒适度和亲密感。
3. 延长制绒品的使用寿命•清洗制绒可以去除制绒品表面的污垢和细菌，防止其引发异味和滋生病菌，从而延长了制绒品的使用寿命。
•通过清洗制绒，可以保护制绒品的纤维结构，减缓纤维的老化和磨损，延长其使用寿命。
4.保护制绒品的环境友好性•清洗制绒过程中，采用环保洗涤剂和水处理技术，减少了对环境的污染和损害，提高了制绒品的环保性。
•通过清洗制绒，可以降低制绒品对水资源的消耗，减少了制绒行业对水资源的压力，保护了自然环境的可持续发展。
结论清洗制绒在保持制绒品质、增强舒适度、延长使用寿命和保护环境方面起到了至关重要的作用。
在制绒过程中，适时进行清洗制绒，不仅可以提高制绒品的品质和舒适度，还可以延长其使用寿命并保护环境。
因此，我们应该高度重视清洗制绒的作用，将其作为制绒过程中的重要环节来对待。
清洗制绒的正确方法与注意事项清洗制绒在提高制绒品质和舒适度的同时，也需要遵循一些正确的方法和注意事项，以确保清洗的效果和安全性。
以下是清洗制绒的正确方法和注意事项：1. 选择适当的清洗剂•在清洗制绒过程中，应选择适合制绒品材质和污渍类型的清洗剂，避免使用过强的化学物质，以免损坏纤维结构。
•可以选择环保洗涤剂，减少对环境的负面影响，并确保清洗效果和舒适度的同时，对皮肤无刺激。
2. 使用合适的清洗工具•在清洗制绒时，应使用柔软的刷子或海绵等工具，轻轻刷洗制绒品表面，避免使用过强的力量和粗糙的工具，以免损坏纤维结构。
•对于较为脏污的制绒品，可以选择泡洗的方式，将制绒品完全浸透于洗涤剂中，加速清洗效果。
光伏电池制备工艺项目二清洗制绒
光伏电池制备工艺项目二清洗制绒
注意事项
❖ 1）停做滞留的硅片要用胶带封好箱，标签注明材料批 号、供应商和实际数目。
❖ 2）每批投片前要检查化学腐蚀槽中的液位，不合适的要 及时调整。
❖ 3）小花篮和承载框任何时候不能放在地上。 ❖ 4）严格控制标准检查绒面质量，绒面不合格的硅片要按
❖ 在实际工艺中，HF和HNO的3比例、添加剂、温度和时 间等因素，都对绒面结构产生影响。
光伏电池制备工艺项目二清洗制绒
多晶硅生产
❖ 1．准备工作 ❖ 1）穿戴好工作衣帽、防护口罩和干净的橡胶手套； ❖ 2）操作员打开包装，查看规格、电阻率、厚度、
单多晶、厂家、编号是否符合要求； ❖ 3）操作员检查硅片是否有崩边、裂纹、针孔、缺
❖ 4）操作员在设备自动运行过程中，不能离开，需 时刻监视设备运行情况；
光伏电池制备工艺项目二清洗制绒
生产
❖ 5）收片
❖
收片员在小花篮下垫
海绵垫片，双手轻轻拿硅片
两端，将硅片轻轻插入小花
篮，如图所示。发现有硅片
发亮、未吹干、药液残留等 异常现象，及时报告工序长
、品管员、工艺员，共同解
决。
光伏电池制备工艺项目二清洗制绒
照检验卡片和工序控制点操作，按照规定的程序进行处置。 ❖ 5）硅片在制绒槽时，绝不能拿出硅片检查绒面情况，要
进入漂洗槽后再查看绒面情况。 ❖ 6）操作化学药品时，一定要带好防护手套。 ❖ 7）制绒设备的窗户在不必要时不要打开，机器设备在
运行时，不得把头、手伸进机器内，以防造成伤害事故。 ❖ 8）制绒机卫生保养时，要防止电线浸水短路，擦洗槽
光伏电池制备工艺项目二清洗制绒
分析
多晶硅片的表面清洗与制绒
多晶硅片的表面清洗与制绒摘要：太阳能电池生产过程中采用硅片作为基底，对硅片的制绒清洗属于第一道工序，主要目的有两个：①去除硅片表面杂志损伤层，②在硅片表面腐蚀出微观绒面结构。
本文在不同生产参数变化情况下对减薄量、反射率、电池效率等参数进行跟踪，通过D8反射仪、Haml测试仪进行测试和表征。
通过多组试验数据可得到最优链式多晶硅清洗制绒工艺。
关键词：太阳能电池；清洗制绒；减薄量；反射率0.引言清洗制绒是多晶硅生产的首要环节，在清洗制绒过程中形成微观蠕虫状绒面结构，通过此结构减少光的反射，提高短路电流，增加PN结面积，提升开路电压，是提高太阳能电池转换效率的重要途径。
多晶硅的晶向属于多向性，常采用的清洗制绒方式为酸性溶液各向同性腐蚀，也是目前最常用的批量生产方案[[1].2]。
在酸性溶液中主要是是HF与HNO3两种，其中HF主要取其酸性作用，HNO3主要是取其氧化性强的作用，两者结合形成强氧化性酸溶液对硅片进行腐蚀[[]3.4.5]。
主要反映过程如下：3Si+4HNO3→3SiO2+2H2O+4NO ↑ (1)SiO2+4HF→SiF4+2H2O (2)SiF4+4HF→H2SiF6 (3)本文所有技术跟踪全部在链式酸制绒设备上进行，多晶硅片进入设备后，酸腐蚀反应开始在硅片表面发生，因损伤层的深浅不一形成不规则的蠕虫状绒面结构。
为得到较低的反射率，本文通过对不同影响因素的调整来进行验证，争取得到最优清洗制绒工艺。
1.实验流程设计选取同锭切割硅片进行分组，共分2组，每组选取1000片，进行如下实验安排：1）对制绒槽药温度的确定在制绒槽药液寿命中段，分别采取20℃、22℃、24℃、26℃、28℃温度进行硅片腐蚀，然后每组选5片进行腐蚀量及反射率测试，记录其平均值。
2）对HF/HNO3配比的确定选取1）试验中最优组制绒温度，然后进行HF：HNO3=1:1/3:2/2:1/5:2/3:1不同浓度下腐蚀，然后每组选5片进行腐蚀量及反射率测试，记录其平均值。
晶体硅太阳能电池生产线清洗制绒工序
1000mm
Blow Off
300L
50L
200L
50L
200L
50L*2
HF+HNO3
NaOH
HF+HCl
Dryer
3℃
RT
25℃
RT
RT
RT
9# Output
ccoonnffiiddeennttiaial l
2、清洗制绒的工艺设备及操作流程工艺
多晶制绒的影响因素：
1.温度对氧化反应的影响比较大，对扩散及溶解反应的影响比较小。温度升高，反应速度 常数会增大，物质传输速度也增大。 2.水的加入主要降低了硝酸的浓度，从而减小了酸液对硅片的氧化能力 3. 硫酸能提高溶液粘度，也不参加腐蚀反应，可以稳定反应速度，增加腐蚀均匀性。 （rena刻蚀设备加硫酸而kuttler并不加）
解决方法
备注
绒面没有制满
H2没有及时脱离硅片表 面 硅酸钠含量过大
脂肪酸玷污
反应过于剧烈
延长制绒时间、 增加NaOH 增加IPA
重新配槽、改 善喷淋 规范生产操作 手法 增加2#槽HNO3
反应过多
增加2#槽HF
没有完全吹干 反应速度过快或过慢
改善吹风、增 加6#槽HF含量
手动添加2#槽 的药液含量
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晶体硅太阳能电池生产线 清洗制绒工序培训
王大男
光伏电池评测中心
目录
1、清洗制绒的作用及方法； 2、清洗制绒的工艺设备及操作流程； 3、主要检测项目及标准； 4、常见问题及解决方法； 5、未来工艺的发展方向；
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1、清洗制绒的作用及方法
清洗制绒操作规程
前清洗&制绒作业指导书前清洗&制绒作业指导书1.目的硅片表面制绒。
2 原理在低浓度NaOH水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。
化学反应方程式：Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑。
3.职责3.1 生产准备3.1.1 穿上工作服，戴上PVC/乳胶手套，加药操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。
3.1.2 确保手套没有粘有油脂性物质,在插片过程中请使用真空吸笔,如有其他取片需要,严禁直接接触硅片的表面，只允许接触硅片的两侧.手套若接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。
3.1.3 在“工艺流程卡”上准确记录硅片批号、生产厂家、硅片类型，电阻率和投入数。
3.1.4 检查抽风是否正常，检查DI水的电阻率，实际观察值需＞2MΩ·cm,上班前并做好相应记录，低于规定数值，立即通知工艺人员。
3.2 生产操作过程A：制绒槽的操作过程3.2.1 把DI水装入制绒槽中，使水位到达预定的刻度，盖上槽盖，开启加热。
3.2.2 当屏幕显示制绒槽温度达到，先按工艺规定的配液比例加入 NaOH, 盖上盖子，无篮循环，鼓泡数分钟，使溶液混合均匀。
3.2.3 制绒槽持续加热溶液，直到控制屏幕实际显示温度达到工艺规定要求。
3.2.4 按工艺配液比例要求加入IPA、添加剂,盖上盖子。
3.2.5 当温度稳定后，开始投料生产，改为有篮鼓泡。
3.2.6 正式生产时，当硅片从制绒槽中提出后，在漂洗槽检查硅片质量（外观与重量检查，标准见质量检查一项）。
3.2.7在每个槽中做完一批后，需要定量补料，补料范围为：根据实际生产出片制绒效果结合工艺参数。
3.2.8 如果当班在下班时制绒槽如果没有做满20批，则不需要将药液放掉，下个班次可以继续使用10个批次。
B：其它辅助槽的操作过程3.2.9 预清洗、HF、HCL槽将水位加到预定刻度处（在相应的槽中有标定刻度），溢流槽加满水。
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清洗制绒SOP
1.开机：
1.1开启总电源，打开排风开关。
1.2开启烘干炉电源及面板上开关，打开加热开关。
1.3开启清洗制绒机器电源开关及面板上开关，并打开3#.5#.7#槽相应的加热开关，将15#后槽注入水后打开15#加热开关。
1.4开启去磷硅玻璃机器电源开关及面板上开关，并将4#后槽注入水后打开4#加热开关。
1.5开启石英管清洗机面板上电源开关。
2. 关机：
2.1关闭石英管清洗机面板上电源开关。
2.2关闭去磷硅玻璃机器电源开关及面板上开关，并关闭4#加热开关将4#中的水排干。
2.3关闭清洗制绒机器电源开关及面板上开关，关闭15#后槽加热开关并将水排干。
2.4关闭烘干炉面板上电源开关及加热开关，然后关闭机器电源开关。
2.5最后关闭总电源及水的阀门。
3．注意事项：
3.1清洗制绒机器3#.5#.7#槽加热前应注意后槽水位，不足应及时补满，10#柠檬酸应时常用PH试纸测试溶液浓度是否达到相应要求。
3.2去磷硅玻璃机器第1#槽氢氟酸也应时常测试浓度是否达到相应要求。
3.3石英管清洗机内氢氟酸也应时常测试溶液浓度是否达到相应要求。
1. 准备工作：
1.1穿好工作衣，工作鞋，带好工作帽，隔热手套及口罩。
1.2清洁车间的每个地方，用干净的抹布将机器表面的NaOH擦洗干净。
2. 操作过程：
清洗制绒机器：
2.1将每日领来的片子插入花篮中待水和溶液浓度到达相应要求后将装有片子的花篮放入1#内用超声波清洗并开启鼓泡开关，1#至14#按要求清洗。
2.2呆花篮中片子到15#槽开启15#槽切水开关，并按要求进行切水。
2.3将切完水的片子拿到烘干炉中烘10分钟。
2.4将烘干的片子取出通过传递窗送到下一道工序。
去磷硅玻璃机器：
2.1将刻蚀完的硅片放入1#槽内，开启鼓泡和循环按钮，用HF清洗。
2.2将花篮取出放入2#槽，溢流清洗。
2.3将花篮取出放入3#槽，溢流清洗。
2.4开启4#切水开关进行切水。
2.5将切完水的片子拿到烘干炉中烘10分钟。
2.6将烘干的片子取出用作业车将硅片送到下一道工序。
石英管清洗机：
2.1将石英管放入装有HF的槽内洗4小时。
2.2待时间满4小时后，将槽内HF溶液抽入另一空槽内。
2.3放清水冲洗3边（以PH试纸检验，石英管内臂是否残留酸）。
2.4将石英管取出，送至扩散车间。
烘干炉：
2.1将带有硅片的花篮放入烘干炉内。
2.2等到一定时间后，烘干炉会自动发出提示音，随后关闭提示按钮。
2.3启动烘干炉尾部传输按钮将烘干炉总的花篮取出。
2.4烘干后将花篮中的硅片通过传送窗进入下一道工序。
注意事项：
2.1注意区分清洗制绒和去磷硅玻璃的片子进烘干炉前应做好相应的区分措施，避免片子搞乱。
2.2注意石英管清洗机内的水位以浸没石英管尾部为准。
2.3注意在清洗石英管时随滚轴滚动而偏离。