干式真空泵的优化选择
选择真空泵注意事项
选择真空泵注意事项选择真空泵的注意事项？选择真空泵的注意事项：1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。
若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
2、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。
选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。
如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、正确地组合真空泵。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。
如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。
另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
5、真空设备对油污染的要求。
若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。
如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能到达清洁真空要求。
6、正确地选择真空泵的工作点。
每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg.因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。
如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。
9、真空泵的价格、运转及维修费用。
真空泵的选择
真空泵的选择引言真空泵是一种用于排空和抽取气体的设备，广泛应用于科研、工业制造、医疗器械和航天等领域。
选择适合的真空泵对于确保工作效率和产品质量至关重要。
本文将介绍一些常见的真空泵类型，并提供一些选择真空泵的准则。
常见的真空泵类型1. 平衡式真空泵平衡式真空泵是一种常见的真空泵类型，它采用回旋偏心量相互平衡的原理来实现气体抽取。
优点是工作平稳、结构简单、噪音小；缺点是抽气速度相对较低，适用于低真空范围。
2. 旋片真空泵旋片真空泵通过一对旋转的叶片将气体抽入泵腔，然后压缩和排出气体。
优点是结构简单、维护便捷、抽气速度较快；缺点是噪音较大，适用于中真空范围。
3. 壳体积闪蒸真空泵壳体积闪蒸真空泵通过使液体在低压环境下快速汽化，进而抽取气体。
优点是结构紧凑、抽气速度高、可靠性好；缺点是对工作液体的净化要求较高，适用于高真空范围。
选择真空泵的准则1. 抽气速度抽气速度是选择真空泵的重要指标之一。
它取决于所需真空度和系统中的气体流量。
通常情况下，抽气速度越高，真空泵的工作效率越高。
2. 最终真空度不同的应用需要不同的最终真空度。
某些应用需要较高的真空度，例如在高温处理和纳米技术领域。
因此，在选择真空泵时，应根据应用需求确定最终真空度。
3. 泵的尺寸和重量泵的尺寸和重量对于一些特殊的应用场景可能是一个考虑因素。
例如，在移动设备或空间受限的环境中，需要选择小型、轻便的真空泵。
4. 能源消耗能源效率是选择真空泵时需要考虑的另一个重要指标。
更高效的真空泵可以降低能源消耗和运行成本。
5. 维护和保养真空泵的维护和保养也是选择时需要考虑的因素之一。
一些真空泵需要定期更换零件，保养成本较高。
因此，选择维护成本低、易于保养的真空泵是明智的选择。
6. 应用场景和行业要求不同的行业和应用领域对真空泵的要求也不同。
例如，在医疗器械领域，对泵的噪音和振动要求较低。
因此，了解应用场景和行业要求是选择真空泵的重要考虑因素之一。
结论选择适合的真空泵对于确保工作效率和产品质量至关重要。
真空泵的选择
真空泵的选择近年来，随着科技的不断进步，真空技术在许多领域得到了广泛应用。
在实验室、工业生产以及医疗领域，经常需要使用真空泵来提供所需的真空环境。
然而，不同的应用场景需要不同类型的真空泵，因此正确选择适合的真空泵非常重要。
本文将介绍一些常见的真空泵类型，以及选择真空泵的一些建议。
首先，常见的真空泵类型有以下几种：1. 旋转式真空泵：旋转式真空泵通过旋转叶片或者回转转子来实现抽取气体的过程。
这种真空泵适用于大部分实验室应用和工业生产中的中小型真空系统。
旋转式真空泵的特点是结构简单，价格相对较低，但需要定期更换磨损部件。
2. 回收式真空泵：回收式真空泵是一种相对高级的真空泵类型，它具有更低的抽取压力和更高的抽取效率。
这种真空泵适用于对真空度要求较高的应用场景，如半导体制造、太阳能行业等。
回收式真空泵通常具有更复杂的结构和更高的价格。
3. 吸尘器式真空泵：吸尘器式真空泵通过不断变化的容积来实现气体的抽取。
这种真空泵适用于需要更高的气体抽取速度的应用，如大型工业生产中的真空干燥和冷冻。
在选择真空泵时，需要考虑以下几个因素：1. 抽取速度：抽取速度是指单位时间内真空泵能够移除的气体量。
根据实际需求，选择具有足够抽取速度的真空泵非常重要。
2. 真空度：真空泵的真空度是指能够达到的最低气体压力。
在选择真空泵时，需要根据应用场景的要求确定所需的真空度。
3. 核心材料：真空泵的核心材料对其可靠性和耐久性至关重要。
一些特殊环境要求使用特殊材料，如具有防腐蚀性能的材料。
4. 维护和保养：不同类型的真空泵需要不同的维护和保养工作。
在选择真空泵时，需要考虑到日常维护的难易程度。
综上所述，选择合适的真空泵是确保真空系统正常运行的关键。
根据应用场景的要求，选择适合的真空泵类型，并且考虑抽取速度、真空度、核心材料以及维护和保养等因素。
正确选择真空泵将有助于提高工作效率，并确保实验、生产和医疗过程的顺利进行。
干式真空泵在半导体行业中的应用
干式真空泵在半导体行业中的应用近年来，随着半导体行业的迅猛发展，干式真空泵作为一种重要的设备，已成为半导体制造过程中不可或缺的一部分。
干式真空泵凭借其高效、可靠和环保的特点，成功应用于半导体行业的多个环节，如薄膜沉积、化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积等。
本文将就干式真空泵在半导体行业中的具体应用进行探讨。
首先，干式真空泵在薄膜沉积过程中发挥着关键作用。
薄膜沉积是半导体制造中的重要工艺步骤，用于在芯片表面形成不同的薄膜层，以达到特定的电学、光学或磁学性能要求。
在薄膜沉积过程中，高纯度的干净气氛非常关键，而干式真空泵能够有效地去除气体中的水分和杂质，提供稳定的真空环境。
它通过气体冷凝和吸收来去除湿气，并通过内置的过滤器来捕捉微小的杂质颗粒。
同时，干式真空泵还具有低振动、低噪声和易于维护等优势，可以满足薄膜沉积过程中对设备稳定性和可靠性的要求。
其次，干式真空泵在化学气相沉积（CVD）中扮演着重要角色。
化学气相沉积是一种常用的半导体材料制备技术，通过在半导体材料表面沉积薄膜以改变其电学性能。
在CVD过程中，需要将气相前驱物输送到反应室中，并在低压、高温条件下进行反应并沉积在衬底上。
而干式真空泵能够提供稳定且可靠的真空状态，使得气相前驱物的输送和反应更为精确和可控。
干式真空泵使用干燥氮气作为工作气体，可以避免氧气和水蒸气的污染，从而保证了薄膜沉积的质量和一致性。
此外，干式真空泵还广泛应用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）过程中。
PECVD是一种常用的薄膜沉积技术，它在常压下使用等离子体激发气相前驱物，并使其在衬底上沉积形成薄膜。
在PECVD过程中，干式真空泵能够快速排除反应室中产生的离子和流动的气体，确保等离子体的形成和维持。
同时，它还能够有效去除气体中的杂质和水分，防止对沉积薄膜的质量产生影响。
因其高速抽真空和优异的去气体性能，干式真空泵成为PECVD工艺中的理想选择。
综上所述，干式真空泵在半导体行业中的应用非常广泛，涵盖了薄膜沉积、化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积等重要工艺过程。
干式真空泵
干式真空泵一、简介：无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。
随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。
其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。
干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺。
在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。
二、分类：干式真空泵主要有下列几种形式：1）干式螺杆真空泵2）无油往复真空泵3）爪式真空泵4）无油涡旋真空泵三、原理：1）干式螺杆真空泵干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。
它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。
2）无油往复真空泵靠活塞往复运动使泵腔（气缸）的工作容积周期性地变化来抽气的真空泵，又称活塞真空泵。
干式螺杆真空泵和油旋片真空泵对比
⼲式螺杆真空泵和油旋⽚真空泵对⽐
螺杆真空泵的优良性能：
好凯德⼲式螺杆真空泵
好凯德螺杆真空泵是有螺杆式压缩机演变⽽来，其⼯作原理是⼀对平⾏的螺杆状的转⼦作反向旋转，通过两个转⼦与泵腔形成的密封腔容积的变化⽽将⽓体压缩出去，转⼦与转⼦之间，转⼦与泵体之间没有摩擦⽽保持⼀定的间隙，所以寿命长且噪⾳低。
维护⽅便，如泵腔内进⼊污物需清洗时，只需打开泵吸⽓⼝边上的阀门，吸⼊适量的⽔或清洗剂，开启泵运⾏数分钟后即可，⽆需拆卸整台泵。
⼲式螺杆真空泵和油旋⽚真空泵对⽐：
（1）油旋⽚泵：
1.因被抽介质含⽔汽，煤油，变压器油等，长时间使⽤会与真空泵油混合在⼀起，因⽽需要经常更换油
2.有油烟产⽣，会污染周围环境
3.因旋⽚旋转磨损需要经常换旋⽚、排⽓阀
4.极限真空较⾼，长时间使⽤，随着油污染和泵腔，旋⽚磨损⽽性能下降
5.⽆法抽除腐蚀性介质
6.⽆法实现介质回收
7.维护复杂
（2）⼲式⽆油螺杆真空泵：
1.泵腔内属于⼲式的，⽆需换油
2.泵是⼲式的，不产⽣任何排出物，对环境⽆污染
3.泵腔内⽆接触，⽆磨损
4.极限真空⾼，转⼦不接触，长时间使⽤⽆磨损，性能基本不下降
5.经过防腐处理后可抽除有腐蚀性的介质
6.可以实现介质回收
7.不⽤维护
好凯德螺杆真空泵
螺杆真空泵主要特点：
1.螺杆材质为整体式球墨铸铁，强度⾼、可靠性好
2.螺杆转⼦间⽆接触⽆摩擦，转速⾼且平稳
3.噪声振动低，适⽤⽤微电⼦、半导体等安静环境
4.泵腔⽆油结构设计，⽆废⽓、⽆废液排放，特别环保节能
5.具体特种涂层的螺杆转⼦和泵腔，可以抽除可凝⽓体、有毒有害⽓体
6.内部零件可进⾏防腐涂层处理，可适⽤于化⼯制药⾏业的特殊要求。
干式真空泵的应用及前景展望
干式真空泵的应用及前景展望
一、干式真空泵简介
干式真空泵（DryPump）又被称为干式抽真空泵。
它是一种使用气动
力来抽取空气和其他气体的真空泵，主要用于制造真空环境。
它具有真空
泵的一些优点，比如有效耐压能力和高真空度，而且它的工作简单，启动
和停止容易，性能稳定，使用寿命长。
省去容易污染的机械部分，如活塞、缸等，不需要润滑油，可以实现真空环境的快速制造，是真空抽气泵的替
代方案。
二、干式真空泵的应用
1.电子工程：干式真空泵用于氩弧焊毡的真空室制造，它可以除去气体，以获得高真空度的环境，用于电子组件的正确焊接。
2.造船：干式真空泵可用于制造空腔，以缩短造船时间，改善船只的
性能，减少结构材料的占用，从而降低造船成本。
3.制药：干式真空泵用于生产室的真空包装，以获得安全的制药产品，确保产品不会造成污染或污染源。
4.机械工程：干式真空泵可以用于制造各种精密结构，可以用于汽车、航空和工程机械等零部件加工。
5.实验室：干式真空泵被广泛应用于各种实验室，用于真空实验，它
可以快速有效地制造出高真空环境。
真空泵参数及选型
真空泵参数及选型
真空泵参数:。
1.抽取速率：指单位时间内强制抽取的气体流量，单位为升/秒或立
方米/小时。
2. 极限压力：指真空泵能够永久性地将压力降至的最低值，通常使
用帕斯卡（Pa）或毫巴（mbar）来表示。
3.凝结点：指当气体压力降至凝结点以下时，气体开始从气态变为液态。
4.蒸汽回收率：指真空泵从回收系统中回收的蒸汽的百分比。
5.声级：指真空泵在运转时发出的声音分贝数。
真空泵选型:。
1.根据抽取速率：选择的真空泵必须能够满足工作条件下所需的最大
抽取速率。
2.根据极限压力：选择的真空泵必须能够达到所需的极限压力。
3.根据性能：要考虑真空泵的蒸汽回收率和噪声水平等性能参数。
4.根据应用：要根据应用的需求选择真空泵类型，例如，化学实验室
可以使用化学蒸汽泵或干式泵，而半导体制造业则需要使用超高真空泵等。
真空泵如何选择合适型号
真空泵如何选择合适型号真空泵是一种用于排除气体分子的装置，通常应用于科学实验、工业制造和医疗设备中。
根据不同的工作原理，真空泵可以分为机械泵、扩散泵、降压泵等多种类型，每种类型的真空泵都有其适用的场合和性能指标，因此在选择真空泵时需要考虑多个因素，本文将详细介绍如何选择合适型号的真空泵。
真空泵分类在选择真空泵之前，首先需要了解不同类型真空泵的工作原理和特点。
机械泵机械泵通常使用叶轮将气体分子排出真空室，每个叶片由机械装置旋转带动，使气体分子不断被压缩并排出，从而形成真空。
机械泵具有结构简单、工作稳定等特点，在低真空范围内通常是最常用的真空泵。
扩散泵扩散泵利用气体分子的热运动、碰撞和扩散等过程将气体分子排除，具有排除气体分子速度快、抗污染能力强等特点，被广泛应用于真空炉、半导体制造、化工工程、航空航天等领域的高真空环境下。
降压泵降压泵通过快速降低真空室内气体分子的压强实现真空，常见的降压泵有栅栏放电离子泵、环形离子泵等。
由于其可以在高真空范围内起作用，并且压强可调，常用于高能物理实验、计算机芯片制造等领域。
选择合适型号真空泵的考虑因素在选择真空泵时，需要考虑多个因素，如所需真空度、系统尺寸、抽气速度等。
所需真空度真空泵的真空度决定了其所适用的场合和工作效率。
通常将低真空分为粗真空(1-10Pa)和中真空(10-103Pa)两个范围。
如果所需真空度低于10Pa，则建议选择机械泵；如果所需真空度在10-103Pa之间，则会使用扩散泵；如果所需真空度高于10^3Pa，则建议使用降压泵，比如离子泵、栅栏放电离子泵等。
系统尺寸真空泵的尺寸应与实验设备的尺寸匹配，以确保合适的组合性能。
如果设备压力较低，则可以选择小型机械泵和干式泵。
如果设备的尺寸很大，则需要考虑采用机械泵与扩散泵结合的方式。
抽气速度抽气速度是指真空泵单位时间内排除气体的数量。
抽气速度的大小决定了泵的用途，通常用于小型设备和实验中的真空泵抽气速度较低，而大型设备采用大流量的真空泵，以获得更高的产能。
真空泵的选择及注意事项(一)
书山有路勤为径；学海无涯苦作舟
真空泵的选择及注意事项(一)
由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。
因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面。
1、在系统中做主泵
所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺
要求所需真空度的真空泵。
2、粗抽泵
粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开
始工作的真空泵。
3、前级泵
前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强
以下的真空泵。
4、维持泵
维持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。
为
此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。
5、粗真空泵或低真空泵
粗、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空
或粗真空压强范围内的真空泵。
6、高真空泵
高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。
专注下一代成长，为了孩子。
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干式真空泵的优化选择
摘 要：本文介绍在半导体工艺中应用的干式真空泵的几种选择类型
关键词：圆裂片 爪 罗茨 螺杆
1 前言
过去，人们在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵，其中又以悬片式真空泵和活塞式真空泵
为主要代表。而它们在各种应用中的表现越来越不能使人们感到满意。因此，干式真空泵应运而生。
在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来，它们在机械结构设计上有
明显差异。因为这种差异，我们可以将干式真空泵归纳为以下几种类型：圆裂片式、爪式、组合式(罗
茨+爪)、螺杆式。当今，这些类型被不同生产厂家所广泛应用。其中，圆裂片式、爪式和组合式(罗
茨+爪)被称为多级泵。因为它们的工作方式大致相同，都是利用多级真空腔对气体进行反复的压缩
来产生真空。在多次反复压缩的过程当中，气体的温度和压力也产生比较复杂的变化，因而比较容
易引起气体物理特性的变化。而螺杆式被称为单级泵，因为它只靠一个真空腔来产生真空。根据其
气体压缩方式的不同，又可将其分为内部压缩型螺杆泵和外部压缩型螺杆泵。以下就将这些不同类
型的泵在物理特性上作一些探讨，希望能对大家有所帮助。
2 不同类型泵的物理特性
双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最早期的干泵设计
思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得
气体通路相当复杂，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的
真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电
量相对较低。
三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，它只是在旋转一圈中将气体分为三份而
不是象双圆裂片式设计分为两份。三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计有着相同的优点和缺点。为
了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动
的能力下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气起到稀释
和隔离作用。
组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气
效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其最后一级改
为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为五份，就象三圆裂片式设计可以将其分为三份。同
样，在很多工艺中，组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。
在外部压缩型螺杆式设计中，使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到最小，同时使得气体通
路最短也最简单。这样，气体在泵体内停留的时间也最短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比
而使得其耗电量相对较高，但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得
其对氮气用量的要求也非常小而且简单，这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁
的工艺中甚至可以不用氮气。
除了使用一对非等距螺杆以外，内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非
常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量
降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中，这种内部压缩同多级泵一样，极易造成气体在泵体
内的物理化学变化而产生固化或液化。
3 发展趋势
在以上介绍的所有类型的干式真空泵，我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽
气速率相矛盾，因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。当然，
还有一个影响真空泵的抽气速率的重要因素，那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大
尺寸真空泵的抽气速率相匹配，就需要提高它的转速。而想要改变真空泵的转速有两种方法。一是
改变电源的频率，即采用变频器，二是改变齿轮箱的传动比。其中，采用变频器的好处是可以提供
一个闭环控制，但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法，
当然，它只能提供不可控的单一转速。
现在，您可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计，它们各自有着自己的特性和优缺点。一
直以来，使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将
真空泵运行的稳定性考虑进去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的
生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。
由于螺杆式设计为单级设计，同多级泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上
减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
综合考虑，如果用户认为耗电量对他来说最为重要而氮气用量对他来说最不重要，那么内部压缩型
螺杆式可以是一个好的选择。但普遍说来，对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用
量变得更重要。如果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺，而使得你的
库存控制简单化，那么外部压缩型螺杆式是你最好的选
择。
4 结束语
根据您所处的具体状况，综合以上所有设计类型的优点一定是您最理想的选择，但目前还不太可能。
因此，这就要求使用者首先要知道在干泵的设计上有着如此多的不同设计类型，进而根据自身工艺
特点了解各种不同类型泵的设计对其影响。这样，他做出的选择才能够尽可能降低其使用成本，而
获得一个寿命较长的稳定的真空系统。今天，我们已进入干式真空泵时代，同过去悬片和活塞油式
真空泵时代相比，一个受过良好培训的消费者在真空泵的选择上起着举足轻重的作用。要知道，有
如此多类型的干泵可供您选择，而选一个最能和您的半导体工艺相匹配的类型是关键所在。