激光测厚仪原理-激光测厚仪工作原理

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激光测厚仪原理

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激光测厚仪一般是由两个激光位移传感器上下对射的方式组成的,上下的两个传感器分别测量被测体上表面的位置和下表面的位置,通过计算得到被测体的厚度。激光测厚仪的优点在于它采用的是非接触的测量,相对接触式测厚仪更精准,不会因为磨损而损失精度。相对超声波测厚仪精度更高。相对X射线测厚仪没有辐射污染。

两个激光位移传感器的激光对射,被测体放置在对射区域内,根据测量被测体上表面和下表面的距离,计算出被测体的厚度。

激光测厚仪的基本组成是激光器、成像物镜、光电位敏接收器、信号处理机测量结果显示系统。激光束在被测物体表面上形成一个亮的光斑,成像物镜将该光斑成像到光敏接收器的光敏上,产生探测其敏感面上光斑位置的电信号。当被测物体移动时,其表面上光斑相对成像物镜的位置发生改变,相应地成像点在光敏器件上的位置也要发生变化,两者之间的关系式中:

X、X`——分别是被测物位移和光敏器件上像斑的位移;

L、L`、α——是系统的结构参数,是根据具体使用要求而选定的。

由此可见精确地测量X`就可以得到被测物体的位移量,这就是三角法测量位移的原理。

主要指标:

可测范围:0~500mm

最高精度:0.5μm

测量速度:最高9400Hz

测量距离:10~200mm

被测体水平方向运动速度最高560m/min

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