环保措施落实情况报告-上海集成电路研发中心

上海集成电路研发中心有限公司

开放式集成电路中试线建设工程（一期）环保措施落实情况报告

一、项目概况

1、项目名称和性质

●项目名称：上海集成电路研发中心有限公司开放式集成电路中试

线建设工程（一期）

●项目地址：上海浦东新区高斯路497号

●建设单位名称及性质（独资、合资、国有、民营、集体、股份制、

其他）：国有

●建设项目性质（新建、改建、扩建、技改、变更）：新建

●占地面积，建筑面积（平方米）：

占地面积：30494m2

建筑面积：48601m2

2、环评文件审批

2016年8月由上海市环境科学研究院单位编制环境影响评价文件，获得批复（沪环保许管［2006］975号）。

3、施工期环保措施落实情况

本项目2008年开工建设，建设工程位于上海市浦东张江高科技园区内高斯路497号,建设范围东北至新先锋制药厂,南到东电电子公司,西至高斯路，占地面积：30494m2。项目由信息产业电子第十一设计院设计、土建由上海龙元建设施工，土建施工期间施工期的环境保护措施落实情况良好，办理了施工临时排水许可证，雨污水分

流，严格控制了施工过程中的噪音、粉尘、气味、废水等现象，土建施工期环境监测情况良好。

4、项目主要内容

项目主要内容应包括主体工程及配套设施，主要包括以下几个方面:

●主要产品名称,设计生产能力或规模、功能；

本项目主要为建设国内先进的200-300mm的半导体工艺研发中试线，具备研发、验证90--65纳米技术工艺和对生产线的转移能力。项目设计生产能力2000片硅片/月。本期完成了包括办公楼、主体净化厂房、动力用房和辅佐用房的全部土建部分建设、内装修、主要的基础动力配置和包括酸、碱有机废气排风、废水处理等相应环保处理设施，引进了7台12英寸工艺设备。实际生产能力800片硅片/月

●主要原材料、燃料的名称和用量,用水量、排水量等；

●

●主要生产工艺、生产设备；

集成电路芯片的加工生产工是由去胶、氧化、光刻、刻蚀、扩散、离子注入、化学气相沉积（CVD）、化学机械抛光（CMP）、金属化等基本工序重复多次所组成。基本流程如下图所示。

●主要辅助设施,如锅炉、泵房、空压站、冷却塔、空调等；

5、生产计划

本项目为研发和验证90--65纳米技术工艺和对生产线的转移能力, 日常主要开展各工艺模块的流片验证, 本期流片能力800片硅片/月。

二、环境保护设施概况

●废水，

废水按污染物性质及处理方法，可分为4个系统：酸碱废水系统，含氟废水系统，CMP废水系统、生活污水处理系统。

废水处理系统简介

●废气，

●噪声，

本项目主要噪声源为空压机、冷冻机、排风机、水泵、冷气塔等。大部分集中在动力厂房（CUB楼）内，冷却塔位于动力厂房（CUB 楼）屋顶。对本项目的生产厂房在生产过程中产生的机械噪声、气流噪声振动整体上进行如下措施控制包括：

1、转动设备采用隔振措施。如设备与管道连接部位采用柔性接头。

2、设备基础采用承振设施。降低固体传声引起的噪声污染。

3、CUB楼对外隔墙整体加装吸音隔板。

噪声源及治理措施表

固体废物

项目产生的危险废物送有资质单位进行处置，危险废弃物有废光刻胶、废异丙醇、电镀废液、废化学品空桶等。电镀废液委托上海集承环保技术有限公司和上海天汉环境资源有限公司处理，其余危险废弃物委托上海天汉环境资源有限公司处理。

环境保护管理和监测机构，包括人员安排及培训，检测仪器、监测设备的配置、落实情况；环保设施管理维护制度、环保设施岗位操作制度、突发事故防范措施、应急预案制度（突发环境事故应急预案应至环保部门备案）等环境保护管理制度的制定情况: 公司专门设置了安环部进行安全、环境保护和职业健康的管理，其中安环管理科下设环境组，专门负责公司环保方面的工作，制定并落实相应的环境保护规章制度。各环保设施及装置均设有管理人员，执行落实各项EHS指令，并制定相应的操作规程和作业指导书，做好废水、废气处理设施的运行维保和管理工作。另外，公司委托有资质的环境监测站定期进行环境监测，为环境管理提供依据。

公司已建立了完善的紧急事故处理预案，预案包括《环境污染突发事件应急预案》（已备案）、《应急抢险组织程序》、《火灾事故应急处置规程》、《化学品泄漏紧急应变救灾作业规程》、《气体泄漏紧急应变救灾作业规程》、《排气系统异常处置操作手册》等.同时，公司还成立了专门的应急抢险组织(ERT)，并定期对预案进行演练，发生紧急情况时，可有针对性的启动相应的应急预案，防止对环境产生影响并降低损失。

公司雨水排口设关断阀，当化学品进行进出药液时或附近发生泄漏或事故时，可及时关闭阀门，防止化学品或污水沿雨水口外流。

为确保装置安全生产和人身安全，本项目在特气供应和使用区等有可能发生有毒或可燃气体泄露的场所，均设置了气体泄漏检知器。为确保侦测器正常工作，定期对侦测器进行校正。为能达到及早发现特气泄漏的目的，特气侦测器采用多段报警设置，信号送至公司紧急应变中心（ERC）和动力监控室，进行有毒及可燃气体的显示和报警。各特气室和洁净室现场设置了声光报警装置，一旦侦测器测到特气泄漏能第一时间通知现场的工作人员进行撤离。在特气监控室的监控电脑上还能进行远程操作，紧急情况下可直接在电脑上关闭现场的特气设备，停止特气供应，能做到即迅速又安全的切断危险气源。主要建筑物均按消防规范设感烟火灾报警探测器，生产厂房另加设极早期空气采样系统（VESDA），以尽早发现火患并采取相应的措施确保厂房安全。同时还在各区域设置手动报警按钮及声光报警系统、自动喷淋灭火系统、消火栓系统、应急广播系统，以利于火灾的扑救及人员的及时疏散。

三、信息公开情况

项目环境监测由上海市浦东新区环境监测站进行监测，竣工环境保护验收监测报告公示稿，于2016年11月14日至2016年11月21日在上海环境科学网上进行了公示，公众反馈意见：无。

四、存在问题和整改措施。

无

建设单位（公章）