MEMS陀螺仪简介剖析

隧道效应检测
按检测方式
闭环模式
速率陀螺 按工作模式
速率积分陀螺
开环模式 整角模式
2.4 MEMS陀螺仪性能参数
MEMS陀螺仪的重要参数包括：分辨率（Resolution） 、零角速度输出（零位输出）、灵敏度（Sensitivity）和测 量范围。这些参数是评判MEMS陀螺仪性能好坏的重要标 志，同时也决定陀螺仪的应用环境。 分辨率是指陀螺仪能检测的最小角速度，该参数与 零角速度输出其实是由陀螺仪的白噪声决定。这几个参 数主要说明了该陀螺仪的内部性能和抗干扰能力。对使 用者而言，灵敏度更具有实际的选择意义。测量范围是 指陀螺仪能够测量的最大角速度。不同的应用场合对陀 螺仪的各种性能指标有不同的要求。

1、体积小、重量轻。适合于对安装空间和重量要求苛 刻的场合，例如弹载测量等。 2、低成本。 3、高可靠性。内部无转动部件，全固态装臵，抗大过 载冲击，工作寿命长。 4、低功耗。


5、大量程。适于高转速大g值的场合。
6、易于数字化、智能化。可数字输出，温度补偿，零 位校正等。
MEMS陀螺仪原理与器件
一般的微机械陀螺仪由梳子结构的驱动部分和电容板形状的 传感部分组成。有的设计还带有去驱动和传感耦合的结构。
梳子结构的驱动部分
传感耦合的结构
电容板形状的传感部分
2.3 MEMS陀螺仪分类
微机构陀螺可以从以下几个方面进行划分：振动结构， 材料，加工方式，驱动方式，检测方式和工作模式。
压电式 静电式 按驱动方式 微 机 械 陀 螺 分 类 电磁式 压电检测 电容检测 压阻式检测 光学检测
3.1 MEMS陀螺仪的校准
2.使用角速率测量台确定灵敏度 因为陀螺仪能够直接测量角速率，所以角速率测量台 是校准陀螺仪灵敏度的最佳参考标准。 在一个精确角速率 测量台内有一个内嵌温度单元。为了确保在校准陀螺仪过 程中角速率测量台不受环境振动的影响，角速率测量台被 臵于一个振动隔离平台之上。 把手持设备臵于一个正方体的铝盒或塑料盒内，然后 把整个系统安装在角速率测量台上进行校准。使角速率测 量台沿顺时针和逆时针两个不同方向旋转。如果被校准的 是多轴陀螺仪，把方正形测试盒臵于角速率测量台上的不 同方位，然后重复上面的校准过程。收集完陀螺仪在不同 状况下的原始数据后，即可确定零速率输出值、灵敏度、 失准矩阵和g灵敏度值。 校准陀螺仪还可以选用步进电机旋转测量台，用一台 个人电脑控制步进电机旋转测量台。
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传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，因此它 主要是一个不停转动的物体，它的转轴指向不随承载它 的支架的旋转而变化。MEMS陀螺仪利用科里奥利力—— 旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。 在空间设立 动态坐标系。 用以下方程计 算加速度可以 得到三项，分 别是来自径向 加速度、科里 奥利加速度和 切向加速度。
3.1 MEMS陀螺仪的校准
每个陀螺仪在出厂前都经过严格的性能测试以及 灵敏度和零速率输出值校准。不过，当陀螺仪组装到 印刷电路板后，因为机械或电焊应力的影响，零速率 输出值和灵敏度可能会略微偏离工厂校准调试值。 对于游戏机和遥控器等应用，设计人员只要用数 据表中的典型零速率和灵敏度参数，即可把陀螺仪的 测量信号转换成角速率。 对于要求严格的应用，设计人员需要重新校准陀 螺仪的零速率输出值、灵敏度和以下重要参数: 失准 (又称跨轴灵敏度)、线性加速度灵敏度或g-灵敏度、长 期运行偏差稳定性、导通-导通偏差稳定性、长时间工 作后偏差和灵敏度漂移。
3.4 MEMS陀螺仪的应用
微机械陀螺体积小、功耗低、 成本低、抗过载能力强、动态范 围大、可集成化等优点，可嵌入 电子、信息与智能控制系统中， 使得系统体积和成本大幅下降， 而且总体性能大幅提升，因此在 现代军事领域具有广泛的应用前 景。 在陀螺仪的传统应用领域， 国防军事应用中，高精度微机械 陀螺将可用于导弹、航空航天、 超音速飞行器等高精度需求的军 用产品中。
2.5 MEMS陀螺仪的选用
陀螺仪在选用时，必须注意被测参数的物理环境和必要的性能指标。 具体要求分列如下：
1.性能要求
⑴ 随机漂移、随机游走系数、输出噪声 随机漂移——指由随机的或不确定的有害力矩引起的漂移率。 随机游走系数——由白噪声产生的随时间累计的陀螺仪输出误差系数。 不同结构形式、不同原理的陀螺仪对漂移率定义和要求不同，机 械式陀螺仪精度使用的是随机漂移，光纤陀螺仪使用的随机游走系数。
2.2 MEMS陀螺仪结构
MEMS 陀螺仪的设计和工作原理可能各种各样,但是公开 的MEMS陀螺仪均采用振动物体传感角速度的概念。利用振 动来诱导和探测科里奥利力而设计的MEMS陀螺仪没有旋转 部件、不需要轴承，已被证明可以用微机械加工技术大批量 生产。 通过改进设计和静电调试使得驱动和传感的共振频率一 致，以实现最大可能的能量转移，从而获得最大灵敏度。大 多数 MEMS 陀螺仪驱动和传感模式完全匹配或接近匹配，它 对系统的振动参数变化极其敏感，而这些系统参数会改变振 动的固有频率，因此需要一个好的控制架构来做修正。如果 需要高的品质因子(Q) ，驱动和感应的频宽必须很窄。增加 1%的频宽可能降低 20%的信号输出。还有阻尼大小也会影响 信号输出。
绝大多数微机械陀螺仪依赖于由相互正交的振动和转动引起的 交变科里奥利力。这种结构由两个振动并不断地做反向运动的物体 组成，如图所示。当施加角速率Ω时，每个物体上的科里奥利效应产 生相反方向的力，从而引起电容变化。电容差值与角速率成正比， 如果是模拟陀螺仪，电容差值转换成电压输出信号；如果是数字陀 螺仪，则转换成最低有效位。 如果在两个物体上施加线性加速度，这两个物体则向同一方向运 动。因此，不会检测到电容变化。陀螺仪将输出零速率输出值或最 低有效位，表示MEMS陀螺仪对倾斜、撞击或振动等线性加速度不敏 感。
3.1 MEMS陀螺仪的校准
1.消除零速率不稳定性 为修正导通-导通偏差不稳定性，在陀螺仪上电后，用户 可以采集50～100个输出数据样本，取这些样本的平均值作 导通零速率输出值 R0，假设该陀螺仪是静止状态。 因为温度变化和测量噪声，当陀螺仪是静止状态时，陀 螺仪的每次读数可能略有不同。设定一个阈值 Rth ，如果陀 螺仪测量值的绝对值小于阈值，则使陀螺仪的读数归零。这 个方法将消除零速率噪声，当陀螺仪静止时，角位移不会累 加。 每当陀螺仪静止时，用户可以采集50～100个陀螺仪数 据，然后取这些样本的平均值作为零速率输出值 R0 。这个 方法可以消除零速率运行偏差和微小温度变化。
3.1 MEMS陀螺仪的校准
3.使用数字罗盘确定灵敏度 如果没有角速率测量台，可以使用数字罗盘代替角速率 测量台。 在校准陀螺仪前，需要校准数字罗盘的倾斜度， 然后将其臵于周围没有干扰磁场的平台上。合并在固定采样 间隔内采集的数字罗盘相对方向信息和陀螺仪输出数据，按 公式校准陀螺仪的灵敏度。
3.2 MEMS陀螺仪的测试
各种原理的陀螺仪
1.1 MEMS陀螺仪
微机械陀螺 仪是高新技术产 物，具有体积小、 功耗低等多种优 势，在民用消费 领域和现代国防 领域具有广泛的 应用前景。其成 本低，能批量生 产，目前已经能 够广泛应用于汽 车牵引控制系统、 医用设备、军事 设备等低成本需 求应用中。
体积微小的微机械陀螺仪
现在广泛使用的MEMS陀螺仪可应用于航空、航天、航海、 兵器、汽车、生物医学、环境监控等领域。并且MEMS陀螺仪 相比传统的陀螺仪有明显的优势：
MEMS 陀螺仪使用的输出噪声这个指标。并且一定要选定合适的带 宽，在能满足使用要求的前提下，尽量选择带宽较低的陀螺仪，因为带 宽越大，输出噪声越大。
2.5 MEMS陀螺仪的选用
⑵ 测量范围 选择陀螺仪的量程时，应注意：最大输入角速率——陀 螺仪正、反方向输入角速率的最大值，在此输入角速率范围内，陀螺仪 标度因数非线性满足规定要求。 ⑶ 阈值——陀螺仪能敏感的最小输入角速率。由该输入角速率产生的输 出至少应等于按标度因数所期望输出值的50％。 ⑷ 分辨率——陀螺仪在规定的输入角速率下，能敏感的最小输入角速 率增量，至少应等于按标度因数所期望输出增量的50％。选择陀螺仪的 测量范围时，最大的角速率是陀螺仪的量程的2/3，最小的角速率应该 高于阈值、分辨率。 ⑸ 标度因数——陀螺仪输出量与输入角速率的比值。 它是用某一特定 直线的斜率表示的，该直线是根据整个输入角速率范围内测得的输入、 输出数据，用最小二乘法拟合求得。 ⑹ 标度因数非线性度——在输入角速率范围内，陀螺仪输出量相对于最 小二乘法拟合直线的最大的偏差与最大输出量之比。
划片和封装技术用于微陀螺仪结构及敏感部件组合体 单体分离及外部连接引线制作等，完成微陀螺仪基本器件 制作。
3. MEMS陀螺仪的测试及应用
与其它陀螺仪一样，完成微机械陀螺仪的陀螺体的制 作只是完成了整个 MEMS 陀螺仪研究工作的一部分。还有 陀螺仪信号提取与校准，灵敏度测试、量程测试、线性度 测试、固有频率测试、抗过载能力测试等各种性能的测试。
2.6 MEMS陀螺仪的工艺方法
具体的常用MEMS器件加工工艺方法：
具体的刻蚀技术主要有光刻、湿法刻蚀、反应离子刻 蚀、聚焦离子束刻蚀等，一般用来制作MEMS陀螺仪结构；
主要的加工工艺有分子束外延、薄膜淀积、氧化、扩 散、注入、溅射、蒸镀等技术用以加速度敏感部件及相应 的电极和引线的制作；键合技术用于敏感部件与陀螺仪结 构之间的连接。
如果物体在圆盘上没有径向运动，科里奥利力就不会产 生。因此，在MEMS陀螺仪的设计上，这个物体被驱动，不 停地来回做径向运动或者震荡，与此对应的科里奥利力就是 不停地在横向来回变化，并有可能使物体在横向作微小震荡， 相位正好与驱动力差90度。MEMS陀螺仪通常有两个方向的 可移动电容板。径向的电容板加震荡电压迫使物体作径向运 动（有点象加速度计中的自测试模式），横向的电容板测量 由于横向科里奥利运动带来的电容变化（就象加速度计测量 加速度）。因为科里奥利力正比于角速度，所以由电容的变 化可以计算出角速度。