飞秒激光微加工的研究进展

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第４３卷第１期
２０１３年１月
激光与红外
ＬＡＳＥＲ＆ＩＮＦＲＡＲＥＤ
ＶｏＩ＿４３．Ｎｏ．１
Ｊａｎｕａ￣，２０１３
文章编号：１００１－５０７８（２０１３）Ｏ１－００１４－０５
・
综述与评论・
飞秒激光微加工的研究进展
顾理，孙会来一，于楷。，赵方方
（１．天津市现代机电装备重点实验室天津工业大学机械工程学院，天津３００３８７；２．四川省制造与自动化重点实验室西华大学四川成都６１００３９；３．辽宁省铁岭港华燃气有限公司技术设备部，辽宁铁岭１１２０００）
ｙｅａｒｓ．Ｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒｐｕｌｓｅｓｈａｖｅｕｎｄｅｒｇｏｎｅｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅｌａｂｏｒａｔｏｙｒｐｒｏｃｅｓｓｔｏｂｅｃｏｍｅａｕｓｅｆｕｌｔｏｏｌｆｏｒｍａｔｅｉａｒｌｍｉ —
２．ＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇａｎｄｉｔｓＡｕｔｏｍａｔｉｏｎ，ＸｉｈｕａＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｃｈｅｎｇｄｕ６１００３９，Ｃｈｉｎａ；
摘
要：综述了近年来国内外利用飞ຫໍສະໝຸດ Baidu 激光微加工的研究进展。飞秒激光脉冲作为材料微纳
加工的一项工具，已经从实验室进入到工业化阶段。介绍了飞秒激光在微纳加工领域的一些研究情况，分别就飞秒激光烧蚀微加工以及双光子聚合加工进行了阐述。最后分析了飞秒激光微加工目前存在的问题及未来发展的主要方向。关键词：飞秒激光；微加工；烧蚀；双光子聚合
ｂｙｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒ
ＧＵＬｉ一，ＳＵＮＨｕｉ — ｌａｉ一，ＹＵＫａｉ，ＺＨＡＯＦａｎｇ — ｆａｎｇ＇
（１．ＳｃｈｏｏｌｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＴｉａｎｊｉｎＰｏｌｙｔｅｃｈｎｉｃＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｔｉａｎｊｉｎ３００３８７，Ｃｈｉｎａ；
ｃｒｏ — ｎａｎｏ — ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｉｎｉｎｄｕｓｔｉａｒｌｉｆｅｌｄ．Ｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ，ｗｅｉｎｔｒｏｄｕｃｅｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｏｆｆｅｍｔｏ — ｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒｐｒｅｃｉｓｅｍｉｃｒｏ — ｎａｎｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ．Ｔｗｏｄｉｉｆｅｒｅｎｔｆａｂｉｒｃａｔｉｏｎｍｅｃｈａｎｉｓｍｓａｒｅｄｅｓｃｉｂｒｅｄｗｈｉｃｈａｒｅｌａｓｅｒａｂｌａｔｉｏｎａｎｄｔｗｏｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒｉｚａ —
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅａｒｔｉｃｌｅｒｅｖｉｅｗｓｔｈｅｐｒｏｇｒｅｓｓｏｆｍｉｃｒｏ — ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎｂｙｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄ１ａｓｅｒａｔｈｏｍｅａｎｄａｂｒｏａｄｉＵｒｅｃｅｎｔ
３．ＴｅｃｈｎｉｃａｌＥｑｕｉｐｍｅｎｔＤｅｐａｒｔｍｅｎｔＨｏｎｇＫｏｎｇａｎｄＣｈｉｎａＧａｓＣｏ．，Ｌｔｄ．（Ｔｏｗｎｇａｓ），Ｔｉｅｌｉｎｇ１１２０００，Ｃｈｉｎａ）
中图分类号：ＴＮ２４９文献标识码：ＡＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１ — ５０７８．２０１３．Ｏ１．００３
Ｒｅｓｅａｒｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓｏｆｍｉｃｒｏ — ｎａｎｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ
ｔｉｏｎ．Ｆｉｎａｌｌｙ，ｔｈｅｅｘｉｓｔｉｎｇｐｒｏｂｌｅｍｓａｎｄｆｕｔｕｒｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｍｉｃｒｏ — ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｂｙｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒａｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄＫｅｙｗｏｒｄｓ：ｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒ；ｍｉｃｒｏ — ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ；ａｂｌａｔｉｏｎ；ｔｗｏ — ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒｉｚａｔｉｏｎ