真空镀膜设备通用技术条件(标准状态：被代替)

PVD真空镀膜设备行业分析

目录 （一）PVD真空镀膜技术 (1) （二）真空镀膜技术具体应用领域 (2) （三）行业现状分析 (4) （四）行业市场表现分析 (5) （五）行业竞争格局分析 (6) （六）行业与上下游的关系 (6) （七）行业周期性、区域性、季节性特征 (9) （八）进入本行业的主要障碍 (9) （九）影响行业发展的有利因素和不利因素 (10) （十）行业发展方向 (11) （十一）总结 (12)

PVD真空镀膜机设备行业分析

（一）PVD真空镀膜技术 PVD真空镀膜技术，PVD是Physical Vapor Deposition的缩写，意思是“物理气相沉积”，指在真空条件下，用物理方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。 PVD(物理气相沉积)技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜，三种主要的真空镀膜技术可以满足常生产、生活领域的所有常见基材（塑料、玻璃、金属、薄膜、陶瓷等）的镀膜需要。近十多年来，真空离子镀技术发展最快，已经成为当代最先进的表面处理方法之一。 PVD镀膜技术种类表 类型介绍 蒸发镀膜加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 溅射镀膜利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。 离子镀膜离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离 子体中进行。 其他如真空卷绕镀膜是一种利用物理气相沉积的方法在柔性基体上连续镀膜的技术，以实现柔性基体的一些功能性、装饰性属性。 需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。溅射类镀膜，可以理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。离子镀大大提高了膜层粒子能量，可以获得更优异性能的膜层，扩大了“薄膜”的应用领域，是一项发展迅速、受人青睐的新技术。广义来讲，离子镀膜的特点是：镀膜时，工件（基片）带负偏压，工件始终受高能离子的轰击，形成膜层的膜基结合力好、膜层的绕

设备技术状态评定表

0类、金属切削机床完好标准(1一7项为主要项目) 1、精度性能、能满足生产工艺要求，精密机床主要精度性能达到出厂标准; 2、各传动系统运转正常，变速齐全; 3、各操作系统动作灵敏可靠; 4、润滑系统装置齐全，管道完整，油路畅通，油标醒目; 5、电气系统装置齐全，管线完整，性能灵敏，运行可靠; 6、滑动部位运转五常，各滑动部位及零件无严重拉、研、碰伤; 7、安全防护装置齐全可靠; 8、机床内外清洁、无黄袍、无油垢，无锈蚀，油质符合要求; 9、基本无滑油、漏水、漏气现象; 10、零部件完整，随机附件基本齐全，保管妥善。 注：1、符合完好标准项目者填"√"，不符合者填"×"; 2、完好标准中所有项合格为一级，次要项有一项不合格其余项合格为二级， 主要项有一项不合格，或次要项有两项不合格，为不完好设备。

一类：镀压剪冲设备完好标准(1一7项为主要项目) 1、出力能满足生产工艺要求； 2、各传动系统运转正常，变速齐全； 3、各操作系统动作灵敏可靠； 4、润滑系统装置齐全，管道完整，油路畅通，油标醒目，油质符合要求，基本无滑油、 水、气现象; 5、电气系统装置齐全，管线完整，性能灵敏，运行可靠; 6、滑动部位运转正常，各滑动部位及零件无严重拉、研、碰伤; 7、安全防护装置齐全可靠; 8、内外清洁，外观油漆良好或有少量脱落，标牌齐全清晰，无黄袍、无油垢、无锈蚀。 注：1、符合完好标准项目者填"√"，不符合者填"×"; 2、完好标准中所有项合格为一级，次要项有一项不合格其余项合格为二级，主要 项有一项不合格，或次要项有两项不合格，为不完好设备。

二类：动力设备完好标准(1一5项为主要项目) 1、动力基本达到原设计要求。 2、各传动系统运转正常，各滑动面无较重锈蚀、磨损。 3、电气和控制系统、安全阀、压力表、水位计等装置齐全、灵敏可靠。 4、无超温、超压现象，基本无漏水、漏油、漏气现象; 5、润滑装置齐全，管道完整，油路畅通，油标醒目，油质符合要求。 6、附机和零件、部件齐全，内外整洁。 注：1、符合完好标准项目者填"√"，不符合者填"×"; 2、完好标准申所有项合格为一级，次要项有一项不合格其余项合格为二级，主 要项有一项不合格，或次要项有两项不合格，为不完好设备。 3、工业锅炉、空气压缩设备完好标准参看"铁路设备管理手册"附件二十四。

设备完好标准全集

各种设备完好标准全集 项目标准 1、基础 级别：①一级完好设备，②二级完好设备，③不完好设备 一级：基础稳固，无腐蚀、倾斜、裂缝，连接牢靠，无松动断裂和脱落现象 二级：基础稳固，无腐蚀、倾斜、裂缝，连接牢靠，无松动断裂和脱落现象 不完好：有腐蚀、倾斜、裂缝、松动、断裂和脱落现象 2、结构 一级：结构完整，零部件齐全，磨损、腐蚀和变形均在允许范围内

二级：结构、零部件基本完整齐全，虽有部门缺陷但不影响安全运行 不完好：不完整齐全，并已影响安全运行 3、润滑 一级：润滑良好，没有油、水、气等介质的跑、冒、滴、漏现象 二级：润滑基本完好，无严重跑、冒、滴、漏现象 不完好：有严重跑、冒、滴、漏现象 4、计量仪表和防护装置 一级：计量仪表灵敏可靠，安全防护装置齐全 二级：主要计量仪表和安全防护装置齐全可靠 不完好：不齐全可靠

5、设备精度和运行效能 一级：运行正常，设备精度达到公称能力，即原出厂技术要求 二级：运行正常，设备精度能符合工艺技术要求 不完好：运行已不正常，不能满足工艺技术要求 注：五个项目中只要有一项出现不完好设备状况，则为不完好设备。 近几年，不少企业又依照企业标准的格式制定了企业设备完好标准,为确定与核算设备完好率提供了更科学合理的依据。同时企业都确定设备完好率为企业中所有完好生产设备占全部生产设备之比重。 其计算公式为：设备完好率＝（完好生产设备台数/全部生产设备台数）×100％ 由此可见：要准确核算设备完好率，设备管理员就必须首先制定自己企业各种生产设备的完好标准，这样才能有依

据其进行认真检查和考核。这就是说，设备完好标准是衡量设备质量的唯一依据，也是企业设备管理的基本依据。没有标准你无法检查和考核设备的完好，就象你不知道北京在东还是在西，你就无法达到。 设备完好率统计标准 一、设备完好率的定义：完好的生产设备在全部生产设备中的比重，它是反映企业设备技术状况和评价设备管理工作水平的一个重要指标。计算公式为： 设备完好率=完好设备总台数/生产设备总台数×100％ =[(一级完好设备数十二级完好设备数)/生产设备总台数]×100％公式中的设备总台数包括在用、停用、封存的设备。 设备完好标准是设备管理的基本依据 设备完好标准是设备处于完好技术状态的检查根据，也是计算设备完好率的基础与前提。

设备完好标准

企业设备完好率考核办法 1设备完好概念 1.1首先是设备性能的良好，机械设备能稳定地满足生产工艺要求。动力设备的功能达到原设计规定标准，运转无超温、超压、超速现象。 1.2设备运转正常，零部件齐全、安全防护装置良好，磨损腐蚀程度不超规定标准，制动系统、计量仪器仪表和润滑系统工作正常。 1.3原材料燃料润滑有功能等消耗正常基本无跑冒滴漏现象。 1.4设备技术资料齐全、准确。 1.5设备外观整洁、卫生。 2 以下内容是对以上1.1～1.3条的细化，包括通用附属设备及系统和单机通用设备及单机装用设备完好标准。 一、通用附属设备及附属系统 1.减速机 （1）运转平稳、无冲击、无异常振动和噪声。 （2）地脚螺栓紧固无松动现象。 （3）减速器油池温升不超过65℃。 （4）轴、齿轮、轴承配合牢固不松动，轴承内外圈及锁紧件配合良好，无旋转磨损和冲击松动现象。 （5）润滑油脂牌号符合要求，油量适宜，油质清洁。 （6）定期更换或过滤，有检验报告单。 （7）上下箱体结合严格，各密封处无漏油。 ）轴承端盖密封无漏油，油标清晰、通气罩齐全。8（ 2.电动机 （1）主体完整清洁，零部件清洁，外壳油漆完好，铭牌完整，字迹清楚；轴承不漏油，风翅无裂纹。 （2）螺栓、接线盒、吊环、风翅、通风网、护罩及散热片等零部件齐全、完整、紧固。 （3）滑环电动机短路装置操作灵活，接触严密。 （4）三相绕组直流电阻应平衡，一般偏差不得大于三相平均值的2%。 （5）电动机运行电流在允许范围以内，功率转速达到要求。 （6）运行中无异音，传动平衡，无明显振动，振动最大允许值见表： 额定转速（r/min） 3000 1500 1000 750及以下 0.16 0.1 振动值（双振幅mm） 0.13 0.06 （7）电动机最大温升按厂家规定执行。如无铭牌规定，可按表6的规定（周围环境温度为40度）执行。 A级绝缘 E级绝缘 B级绝缘 F级绝缘 E级绝缘 温温电电电温电温电温电动机部位度计法阻法度计法阻法度计阻法度计阻法度计阻法法法法

真空镀膜技术

真空镀膜技术 磁控溅射膜即物理气相沉积(PVD) 金属镀膜不一定用磁控溅射，可以根据成本&工艺需求选择合理的沉积方法，具体有： 物理气相沉积(PVD)技术 第一节概述 物理气相沉积技术早在20世纪初已有些应用，但在最近30年迅速发展，成为一门极具广阔应用前景的新技术。，并向着环保型、清洁型趋势发展。20世纪90年代初至今，在钟表行业，尤其是高档手表金属外观件的表面处理方面达到越来越为广泛的应用。 物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积的主要方法有，真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜，及分子束外延等。发展到目前，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。 真空蒸镀基本原理是在真空条件下，使金属、金属合金或化合物蒸发，然后沉积在基体表面上，蒸发的方法常用电阻加热，高频感应加热，电子柬、激光束、离子束高能轰击镀料，使蒸发成气相，然后沉积在基体表面，历史上，真空蒸镀是PVD法中使用最早的技术。 溅射镀膜基本原理是充氩(Ar)气的真空条件下，使氩气进行辉光放电，这时氩(Ar)原子电离成氩离子(Ar+)，氩离子在电场力的作用下，加速轰击以镀料制作的阴极靶材，靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。如果采用直流辉光放电，称直流(Qc)溅射，射频(RF)辉光放电引起的称射频溅射。磁控(M)辉光放电引起的称磁控溅射。电弧等离子体镀膜基本原理是在真空条件下，用引弧针引弧，使真空金壁(阳极)和镀材(阴极)之间进行弧光放电，阴极表面快速移动着多个阴极弧斑，不断迅速蒸发甚至“异华”镀料，使之电离成以镀料为主要成分的电弧等离子体，并能迅速将镀料沉积于基体。因为有多弧斑，所以也称多弧蒸发离化过程。 离子镀基本原理是在真空条件下，采用某种等离子体电离技术，使镀料原子部分电离成离子，同时产生许多高能量的中性原子，在被镀基体上加负偏压。这样在深度负偏压的作用下，离子沉积于基体表面形成薄膜。 物理气相沉积技术基本原理可分三个工艺步骤： (1)镀料的气化：即使镀料蒸发，异华或被溅射，也就是通过镀料的气化源。 (2)镀料原子、分子或离子的迁移：由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞后，产生多种反应。 (3)镀料原子、分子或离子在基体上沉积。 物理气相沉积技术工艺过程简单，对环境改善，无污染，耗材少，成膜均匀致密，与基体的结合力强。该技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域，可制备具有耐磨、耐腐饰、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。

设备技术状态鉴定

设备技术状态的评价是指把设备使用过程中的技术性能、生产能力、生产效率及有关技术质量标准与设备原给定值作比较，并用定量表示的方法反映其磨损程度的大小，以此为依据分析存在的差异，以提高设备技术状态的管理水平。这里主要讨论设备整机技术状态的评价方法，常用的有： ①设备完好状态的评定； ②设备综合精度的评定； ③设备工程能力指数的评定。 上述的三种评定方法从不同角度反映设备技术状态，分别具有不同的内涵，可以根据管理的目的个别采用，也可以同时采用几种方法进行复合评价。 1．设备完好状态的评定 设备技术状态标准，可分为设备工作能力标准（绝对标准）和设备技术状态完好标准（相对标准）。设备的工作能力包括功能和参数，如精度、性能、粗糙度、功率、效率、速度、出力等的允许范围以及精度指数和工程能力指数等，这些反映在规定的设备技术条件中。设备的技术条件是考核设备设计、制造质量的绝对标准，并在设备完工检验合格后，载人设备出厂精度检验单和说明书中。设备技术状态完好标准则是为了统计考核设备在使用中的情况，如设备的精度、性能与完好状态、设备加工产品的质量以及设备管理维修的效果而制定的。设备完好状态的评定就是基于设备技术状态完好标准的评价。 目前，各行业已对各类设备制订出具体的完好标准。 (1)设备技术状态的完好标准的基本要求 ①设备性能良好：机械设备精度、性能能满足相应水平产品的生产工艺要求；动力设备功能达到原设计或法定运行标准；运转无超温、超压和其他超额定负荷现象。 ②设备运转正常：零部件齐全，磨损、蚀耗程度不超过规定技术标准；操纵和控制系统，计量仪器、仪表、液压、气压、润滑和冷却系统，工作正常可靠。 ③消耗原材料、燃料、油料、动能等正常，基本无漏油、漏水、漏气（汽）、漏电现象，外表清洁整齐。 ④设备的安全防护、制动、联锁装置齐全，性能可靠。 对完好设备作出定量分析和评价的具体标准，由行业主管部门根据上述要求结合设备特点制定，作为各行业检查设备完好的统一尺度。 （2）设备完好率 这是企业设备管理、使用、维修、保养工作及设备技术状态的综合反映。设备完好状态的具体考核指标是企业拥有主要生产设备的完好率Φ, 设备完好率必须是每月检查台数和合格台数的实际反映，不能以局部抽查数反映全部设备的完好率。 当企业或车间的设备完好率已达到规定的目标，比如说Φ≥85％，必须经常检查该单位是否能保持这个设备完好率的水平。抽查完好设备的方法是在已报的完好设备中随机抽查一部分，完好设备的抽查合格率β表示为： 抽查合格率达到规定指标时（一般为β≥90％），才能认可所报的完好率。 设备技术状态完好标准是中国在20世纪70年代末设备管理整顿期间提出的一项主要评价和考核指标。设备完好标准的根本缺点是非定量性质，由若干完好设备统计的完好率也就失去了可比价值。从设备工程的角度看，设备技术状态的变化过程是随时间而变化的随机过程。就一个企业来说，设备的完好状态也是不断变化的，目前，该指标仍可使用，但在具体操作中，应对完好标准的定性条款加以改进，减少主观因素的影响；或对指标的计算公式加

设备完好标准

设备完好标准

Q/SHCL 设备完好标准

目次

前言 本标准由中国石化股份公司长岭分公司标准化委员会提出并批准。 本标准由中国石化股份公司长岭分公司机动工程处负责起草并归口。 本标准主要起草人：罗文山、田兰明、李晖、李迎德。 本标准于2002年月日首次发布。

设备完好标准 1 范围 本标准规定了公司主要生产设备的完好标准。 本标准适用于公司炼油、化工设备的完好状况管理。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 SHS01001 石油化工设备完好标准 SHS01004 压力容器维护检修规程 SHS01006 管式加热炉维护检修规程 SHS01007 塔类设备维护检修规程 SHS01009 管壳式换热器维护检修规程 SHS01013 离心泵维护检修规程 SHS01014 蒸汽往复泵维护检修规程 SHS01018 离心式空气压缩机维护检修规程 SHS01020 活塞式压缩机维护检修规程 SHS01022 离心式风机维护检修规程 SHS01025 工业汽轮机维护检修规程 SHS01027 板框过滤机维护检修规程

SHS01032 金属切削机床维护检修规程 SHS01033 设备及管道保温、保冷维护检修规程 SHS01034 设备及管道油漆检修规程 SHS08003 净水设备维护检修规程 SHS08004 锅炉设备维护检修规程 3 职责 3.1 机动工程处职责 3.1.1 贯彻执行国家及上级主管部门关于设备完好的规程、规范和技术管理制度。 3.1.2 负责制定公司设备完好标准。 3.1.3 负责制定公司设备完好目标及设备完好率考核。 3.2 使用单位职责 3.2.1 认真贯彻执行上级主管部门关于设备完好的规程、规范和技术管理制度。 3.2.2 负责制定本单位设备完好标准。 3.2.3 负责本单位设备完好率考核，每月25日前以月报的形式上报机动工程处。 4 管理内容与要求 4.1 转动设备 4.1.1 往复泵 4.1.1.1 运行正常，效果良好： a）压力、流量平稳，出力能满足正常生产需要，或达到铭牌能力的90％以上；

真空蒸发镀膜原理

Ａ、真空电镀原理: 一般而言,镀膜在真空镀膜机内以真空度1~5 x 10 —4Toｒｒ程度进行(1Toｒr=１公厘水银柱高得压力,大气压为760Torr)。其镀膜膜厚约为0.1 ~０、２微米、颜如果镀膜在特定厚度以下时(即太薄),面油对底油将会产生侵蚀、引起化学变化(如表面雾化等)。如镀膜过厚时,会产生白化得状态。颜填料,助剂,树脂,乳液,分散Dr＜!——[if ！supportＦoot<！--［en ｄｉｆ]——>l〈！--[if ！suｐｐortFｏoｔnｏtes]－－＞［1]<！--[endif]—－〉v#W？n8D＜!-—[if !sｕpportＦoｏtnｏtes]——〉[1］