高次泛音比法测定厚度振动机电耦合系数

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材料压电系数的测定

在测量时需要把材料作成若干个所谓标准样品。“标准” 的含义是样品的取向、形状、尺寸和电极的配置符合理论的要求。因为测量和计算中用到的关系式是求解压电振动方程的结果，只有在一定的边界条件下才能成立。激励电场的方向垂直于样品的主平面时，称为垂直场激发，平行时称为平行场激发。不同的点群材料，它们的压电参量的独立分量不同，测量方法随之不同。下面针对两个代表性的压电点群，具体介绍测量方法。
E E E E E ∆ 44 = c{c33[(c11 ) 2 − (c12 ) 2 ] + 2c12 (c13 ) 2 }
E E E E ∆ = c(c11∆11 − c12 ∆12 + c13 ∆13 − c14 ∆14 )
E E E c = c44 c66 − (c14 ) 2
6mm（C6v）点群材料的测量点群材料的测量
y2 an
n=1,3,5……。
测出二组反谐振频率即可求得两个有效弹性常量 c y1和 c y 2。它们也是过渡量，用来计算材料参量。对于第六种样品，利用平行场激发厚度切变模，其谐振频率为
E n c66 12 f rn = ( ) 2t ρ
n=1,3,5……。
测出谐振频率，即可求出有效弹性模量 c 35 。利用螺旋片的弹性常量变换关系可得
压电材料应用实例
用于导航的压电陀螺
雷达的压电陶瓷变压器
压电超声马达
压电滤波器
压电效应的机理
• 压电效应产生的根源是晶体中离子电荷的位移。当不存在应变时电荷在晶格位置上的分布是对称的，所以其内部电场为零。但是当给晶体施加应力则电荷发生位移，如果电荷分布不再保持对称就会出现净极化，并将伴随产生一电场，这个电场就表现为压电效应。例如石英产生压电效应就是如此，如图所示。

关于PZT

压电陶瓷的制造特点是在直流电场下对铁电陶瓷进行极化处理，使之具有压电效应。一般极化电场为 3～5kV/mm，温度 100～150°C,时间 5～20min。这三者是影响极化效果的主要因素。性能较好的压电陶瓷，如锆钛酸铅系陶瓷，其机电偶合系数可高达 0.313～0.694。
压电陶瓷主要用于制造超声换能器、水声换能器、电声换能器、陶瓷滤波器、陶瓷变压器、陶瓷鉴频器、高压发生器、红外探测器、声表面波器件、电光器件、引燃引爆装置和压电陀螺等。
1.保定市宏声声学电子器材有限公司提供的参数
2，联能科技的 PZT 参数 3，哈尔滨芯明天科技有限公司（1）输出力与位移的关系曲线
（2）输出位移于电压的关系曲线
二．PZT 的重要参数 1.压电应变常数 D(Piezoelectric Strain Constant)是压电体把机械能转变
为电能或把电能转变为机械能的转换系数。它反映压电材料弹性（机械）性能与介电性能之间的耦合关系。 d33,d15,d31 ?
2.谐振频率 fr，并联谐振频率 fp，串联谐振频率 fs、最小导纳频率 fn （minimum admittance frequency）、基频（fundamental frequency）、泛音频率（fundamental frequency）
压电陶瓷只在某一温度范围C 时，压电陶瓷发生结构相转变，这个临界温度 TC 称为居里温度。 6 温度稳定性(TEMPERATURE STABILITY) 指压电陶瓷的性能随着温度变化的特性，一般描述温度稳定性有温度系
数或最大相对漂移二种方法。 7.电学品质因素 Qe（ electrical quality factor ）与机械品质因数 Qm
3.机电耦合系数平面机电耦合系数 KP，横向机电耦合系数 K31、纵向机电耦合系数 K33、厚度伸缩机电耦合系数 KT、厚度切变机电耦合系数 K15

焊缝双壁或多层透照时灵敏度的评价

裹２相同透照布置不同标准所得的ＩＱＩ灵敏度比较
４其它评价差异
除带垫板的单面环焊缝外，还有可能有附加厚度的环焊缝双壁单影透照，如图２ａ内燃式锅壳锅炉炉胆接人后，锅壳部分终接环焊缝的透照和图２ｂ夹套式容器壳体终接环焊缝透照等。由于介入了胆体附加厚度，ＩＱＩ灵敏度评价及验收究竟是按被检焊缝评价厚度还是按射线穿透总厚度很值得商榷。
３．１标准举例
按图１ａ和ｂ两种布置方式透照同一容器或管子，根据以上标准确定的ＩＱｌ灵敏度见表２。由表２
（ａ）内燃油炉锅壳
（Ｉ，）夹套式容器
终接环缝
壳体终接环缝
图２有附加厚度的多层透照法示例
５像质评价差异存在的原因分析
通常。各种标准和规范的焊缝射线检测质量验收标准都规定不允许出现任何裂纹、未熔合和未焊透类面状缺陷；体积状缺陷夹渣和气孔不论其为条形显示（规定了在一定板厚中允许的缺陷长度，即单长、间距和总长等）还是圆形显示（规定了在一定板厚中一定评定区内允许的缺陷点数，或在一定板厚中允许的单个缺陷最大长径尺寸），其允许的数量和尺寸按单壁标称母材厚度而定．是根据垂直于应力的断面上焊接缺陷存在比率，或焊接缺陷面积或长度相关于疲劳强度的试验结果归纳出来的“Ｊ。
Ｌ１８≥１５ｄｆ·Ｌ２２“＝２７０ｍｍ
１
Ｕｇ一舞Ｌ２“３—０．２ｒａｍ ■ｏ
此时底片像质更佳。按图１ａ布置，透照厚度丁ｉ＝２０＋４＝２４ｍｍ，按
ＪＢ４７３０射线篇表５－３规定，底片上应显示的ＩＱＩ金属丝最小线径“。与像质指数Ｚ，当像质等级为ＡＢ级时，丸．。一ｏ．４ｒａｍ，Ｚ一１０；当像质等级为Ｂ级时，虬。一０．２５ｍｍ，Ｚ＝１２。２．２双壁单影法
ＬＩＹａｌｌ
（ｗｕｘｉＨｕａｇｕａｎｇＢｏｉｌｅｒＣｏ．Ｌｔｄ．，ｗｕ】ｄ２１４０２８．Ｃｈｉｎａ）

高次泛音比法测定厚度振动机电耦合系数

ＡｂｔａｔＴｈａｉｒｃｕｌｇｏｈｈｃｎｓｕｄｍｅｔｌｒｓｎｎｅｗｉｈｔｅｈｇｅｖｒｏｅｏｏｒｓｎｎｓｒｃ：ｅｅｓｅｏｐｉｆｔｅｔｉｋｅｓｆｎａｎａｅｏａｃｔｈｉｈｒｏｅｔｎｆｌｗ－ｅｏａｔｎｍｏｅｅｄｏａｂｄｍｅｓｒｍｅｔｃｕａｙｏｈｈｃｎｓｅｉｓｒｓｎｎｅｆｅｕｎｉｓｏａｌｒｆｔｅｒｓｎｎｅｄｓｌａｓｔａａｕｅｎｃｒｃｆｅｔｉｋｅｓｓｒｅｅｏａｃｒｑｅｃｅｒｆｉｅｏｈｅｏａｃａｔａｕｆｅｕｎｙｍｅｓｒｍｅｔｅｕｔｇｉｅｅｉｒｔｇｔｃｕａｙａｄｔｅｉｅｔｙｏｈｌｃｒｍｅｈｎｃｌｃｕｌｇｒｑｅｃａｕｅｎ，ｒｓｌｉｎｄｔｒａｉｈｅａｃｒｃｎｈｄｎｉｆｔｅｅｅｔｏｃａｉａｏｐｉｎｏｎｔｎｆｃｏｅｅｍｉｅｙｔｅｔａｉｉｎｌｖｒｏｅｒｔｔｏ．Ｔｏｏｅｃｍｅｔｅｓｏｔｏｎｆｔｅｔａｉｉｎｌｖｒｏｅａｔｒｄｔｒｎｄｂｈｒｄｔａｅｔｎａｉｍｅｈｄｏｏｏｖｒｏｈｈｒｃｍｉｇｏｈｒｄｔａｅｔｎｏｏｒｔｔｏ，ａｈｇｅｖｒｏｅｒｔｔｏｏｄｔｒｎｈｈｃｎｓｉｒｔｎｅｅｔｏｅｈｎｃｌｃｕｌｇｆｃｏｓａｉｍｅｈｄｉｈｒｏｅｔｎａｉｍｅｈｄｔｅｅｍｉｅｔｅｔｉｋｅｓｖｂａｉｌｃｒｍｃａｉｏｐｉａｔｒｏｏｏａｎｗａｒｓｎｅ．Ｔｈｉｈｒｏｅｔｎａｉｔｏｅｅｍｉｅｔｅｔｉｋｅｓｖｂａｉｎｅｅｔｏｃａｉａｏｐｉｇｆｃｓｐｅｅｔｄｅｈｇｅｖｒｏｅｒｔｍｅｈｄｄｔｒｎｈｈｃｎｓｉｒｔｌｃｒｍｅｈｎｃｌｕｌａ — ｏｏｃｎｔｒｙｍｅｓｒｇｔｉｄｔｎｎｉｈｒｔｎｅｉｓｒｓｎｎｅｆｅｕｎｉｓｏｓｂａｕｉｈｒ —ｏｅａｄｈｇｅ－ｏｅｓｒｅｅｏａｃｒｑｅｃｅ．Ｅｘｅｉｎｓｓｏｄｔａｈｉｈｒｖｒｎｐｒｍｅｔｈｗｅｈｔｅｈｇｅｅ — ｔｏｔｎａｉｔｏａｉｔｎｔａｖｎａｅｏｅｈａｕｅｎｃｕａｙａｄｔｅｉｅｔｙｏｈｌｃｒｍｅｈｎｃｌｏｅｒｔｏｍｅｈｄｈｓａｄｓｉｃｄａｔｇｖｒｔｅｍｅｓｒｍｅｔａｃｒｃｎｈｄｎｉｆｔｅｅｅｔｏｃａｉａｔｃｕｌｇｆｃｏｏｐｒｓｎｗｉｈｒｄｔｎｌｖｒｏｅｒｔｔｏ．ＴｏｆｃｌａｅｔｅａｐｉａｉｎｏｈｉｈｒＯｏｐｉａｔｒｉｃｍａｉｏｔｔｅｔａｉｏａｅｔｎａｉｍｅｈｄｎｎｈｉｏｏａｉｔｔｈｐｌｔｆｔｅｈｇｅ — ｉｃｏｖｒｏｅｒｔｏｍｅｈｄ，ａｃｎｒｓａｌｅｗｅｎｔｅｈｇｅｖｒｏｅｒｔｎｈｌｃｒｍｅｈｎｃｌｃｕｌｇｆｃｏｓｅｔｎａｉｔｏｏｔａｔｔｂｅｂｔｅｈｉｈｒｏｅｔｎａｉａｄｔｅｅｅｔｏｃａｉａｏｐｉａｔｒｏｎｗａｒｖｄｄｓｐｏｉｅ．Ｋｅｒｓｅｅｔｏｃａｉａｏｐｉｇｆｃｏ；ｆｎａｎａｅｉｓｒｓｎｎｅｆｅｕｎｙｖｒｏｅｒｔｔｏ；ｙｗｏｄ：ｌｃｒｍｅｈｎｃｌｕｌａｔｒｕｄｍｅｔｌｓｒｅｏａｃｒｑｅｃ；ｏｅｔｎａｉｍｅｈｄｃｎｅｏｈｇｅｖｒｏｅｒｔｔｏｉｈｒｏｅｔｎａｉｍｅｈｄｏ ’

第二讲：压电陶瓷参数及多层压电陶瓷性能及注意事项

Qe
1 tan
测量试样自由电容 CT
测试的精度需要考虑到 • 设备自身的测试精度，温度的精度±2度，电容的测试精度在±10%等等 • 样品的规格要求12mm×6mm×1mm；或者直径l5～20 mm，厚度0.7～1 mm • 工装要求：总分布电容要小于试样室温自由电容的5%，线尽可能短 • 测试过程要求：温度点不少于10个，升（降）温速度不大于3℃/min．在每个选定的温度点保持一定时间，一般为1h．
2 =0.27 时， K p 2.51
f fr
f fr f
2 =0.30时， K p 2.53
kp
2 1
d 31 s
E T 11 33

2 k31 1
k p k 31
2 =0.36时， K p 2.55 f r
平面机电耦合系数Kp
f s0
f s1 分别为压电振动体基音频率和一次泛音频率，
且一次泛音约是基音频率的2.5～2.6倍。
公式只适合于泊松比从0.27到0.42的情况，0～0.5的情况可以获得 f s1 f s 0 再查表。
机电耦合系数
Electromechanical coupling factor
表示压电体中机械能与电能之间相互耦合程度的重要参数，是衡量压电性强弱的重要物理量。无论执行器还是传感器，都应尽量高；
压电铁电各种物理参数及其关系
压电陶瓷各种参数
压电陶瓷材料最常用参数
介电性
压电性
弹性
机械自由介电常数T11 、T33 ；机械夹持介电常数 S11 、 S33 d31； d33；d15 s11； s12 ； s13 ； s33 ；s44
介电损耗角正切 tan

一种基于双层电极高机电耦合系数的声表面波器件及其制备方法[发明专利]

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201911081522.8(22)申请日 2019.11.07(71)申请人清华大学地址 100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室(72)发明人潘峰　苏荣宣　曾飞　沈君尧　傅肃磊　(74)专利代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司 11245代理人王春霞(51)Int.Cl.C23C 14/30(2006.01)C23C 14/18(2006.01)C23C 14/35(2006.01)C23C 14/10(2006.01)C23C 14/08(2006.01)H03H 3/02(2006.01)H03H 9/02(2006.01)(54)发明名称一种基于双层电极高机电耦合系数的声表面波器件及其制备方法(57)摘要本发明公开了一种基于双层电极高机电耦合系数的声表面波器件及其制备方法。

所述声表面波器件的结构如下：基片上依次为铜电极、压电薄膜和铝电极；铜电极的信号端与铝电极的接地端对应；压电薄膜为氧化锌薄膜。

由于所采用的西沙瓦波模式是薄膜厚度振动和横向振动耦合而成，本发明的特点在于通过双层电极激励纵向电场(薄膜厚度方向)和横向电场(声表面波传播方向)，通过改变电场和压电薄膜的耦合方式从而提高声表面波器件的机电耦合系数。

权利要求书1页说明书3页附图2页CN 110670027 A 2020.01.10C N 110670027A1.一种声表面波器件，其特征在于：基片上依次为铜电极、压电薄膜和铝电极；所述铜电极的信号端与所述铝电极的接地端对应。

2.根据权利要求1所述的声表面波器件，其特征在于：所述铜电极的厚度为50～100nm；所述铝电极的厚度为50～100nm。

3.根据权利要求1或2所述的声表面波器件，其特征在于：所述压电薄膜为氧化锌薄膜。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的声表面波器件，其特征在于：所述压电薄膜的厚度为100～1500nm。

材料压电系数的测定

压电性的测量方法可分为电测法、声测法、力测法和光测法，其中以电测法最为普遍。在电测法中，又可分为动态法、静态法和准静态法。动态法是用交流信号激励样品，使之处于特定的运动状态——通常是谐振及谐振附近的状态，通过测量其特征频率并进行适当的计算便可以获得压电参量的数值。这个方法的优点是精确度高，而且比较简单。这里仅对动态法作一介绍。
mn1z片垂直场2z片平行场3x片垂直场4x片平行场5y片垂直场6y片平行场7yxl35片垂直场8zx片垂直场第一种样品式中t是厚度awl是电极面积对于第一种样品利用垂直场激发厚度伸缩模测一系列基音和泛音谐振频率得出频率比查表得出厚度伸缩振动机电耦合因数该样品的反谐振频率n135?式中为密度
材料压电系数的测定
E E E s66 2(s11 s12 )
其中
E E E E 2 E E 2 E 11 c[c11 c33c44 (c13 ) c14 (c14 ) c33 ]
E E E E 2 E E 2 E 12 c[c12 c33c44 (c13 ) c14 (c14 ) c33 ]
D E x c14 c14 e15e22 / 11
D E 2 x c33 c33 e33 / 33
D E 2 x c44 c44 e15 / 11
D D D c66 (c11 c12 )/2
(c )
E 1 2 13
E E E E E E E c33 {a[2s11 (c11 c12 ) 1] c44 [(c11 (b c) c11 ]} E E E E E c44 [1 2s11 (c11 c12 )] 4as11
测出谐振频率即可求得 s11。再测量基音反谐振频率 f a ，即可计算 k31 与k31 k31 的数值关系已制成表格，查表即可得。 f / f r

有关弊端的近义词反义词

有关弊端的近义词反义词【弊端解释】：弊病：消除社会上流行的种种弊端。

下面店铺就给大家整理弊端的近义词，反义词和造句，供大家学习参考。

弊端的近义词弊病( 注释:①弊端：管理混乱，恐有～。

②事情上的毛病：制度不健全的～越来越突出了。

弊端[bìduān]由于工作上有漏洞而发生的损害公益的事情：消除～。

)毛病( 注释:1.牲畜的毛色有缺陷。

2.指疾病。

3.谓器物损坏或发生故障。

4.指事物中存在的问题或弊害。

5.缺点;错误。

)弊端的反义词好处优点益处弊端造句1.由于历史文化、诉讼传统等方面的原因，我国现行审级制度存在诸多弊端，其应有的制度功能无法正常发挥。

2.实践证明这种政企不分的经营模式和福利水价存在很多弊端，必须进行改革。

3.这次事件震惊全国，也导致政府提出进行扫除弊端的改革。

4.同时，采用拓展亲本来源、复合杂交等手段，克服了低酚棉遗传变异率低，以及遗传单一的弊端。

5.只要了解八字脚的生理机制和形成八字脚的原因及其弊端，八字脚是可以预防和矫正的。

6.低值易耗品本质上属于劳动资料的这一特性，决定了对其核算和管理与其他一般存货存在较大的不同我国低值易耗品核算和管理的现行规范做法存在弊端，需要改进。

7.为了实现理想，他揭露君主专政的弊端，提出以“法治”限制“君权”的一系列主张。

8.“飞特族”的问题是集中反映这种封闭性的弊端的一个缩影。

9.城市土地国有要求得到经济上的实现，但现行中央政府对土地收益分享制度安排引发种种弊端，进而威胁到土地市场化的终极改革目标。

10.孙中山社会主义理论即民生主义的主要内容是“平均地权”和“节制资本”，旨归是消除资本主义弊端。

12.针对上述缺陷，对聚合装置原有干燥系统进行了一系列改造，包括脱水机的转型、干燥塔分段设计、降低第一风机功率、相互交换氮气热能等，克服了原工艺存在的弊端。

13.针对常规抽油泵使用中易发生磨损、砂卡和脱扣的弊端,研制了高效防砂抽油泵.14.传统教学已呈现明显弊端，新的教学理念对中学化学教学提出了新的要求。

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! ! 收稿日期： "##$%#&%’& ! ! 基金项目：国家自然科学基金资助项目（ $##("#&’ ）；山东省自然科学基金资助项目（ )"##’*#+ ）万方数据 ! ! 作者简介：盖志刚（ &,(-%），男，山东滕州人，博士生，主要从事压电功能材料与物理研究。
" 第1 期
［ ,］
图 $" 导纳随频率变化曲线图
综合上述两压电振子的导纳#频率情况，作者把
图 !" 导纳随频率变化曲线图
以 * 次泛音为基的高次泛音比与 " 对应关系和以 + 次泛音为基的高次泛音比与 " 对应关系如表 ! 所示。用该表求 " 的方法称为高次泛音比法。使用者可选择不同基底的泛音比来确定压电材料的 "。
第 "Q 卷第 + 期 "##- 年 Q 月
压! 电! 与! 声! 光 7TO)UOBOD.OD.VTD1 W 0DUF1.UU7.TD1
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高次泛音比法测定厚度振动机电耦合系数
料生产厂家和用户对此参数非常重视，因为仅测量这一参数就足以衡量或比较不同材料的压电性能。所以，机电耦合系数的精确测量是压电材料和器件性能评估的重要环节。在用传统泛音比法测定厚度振动机电耦合系数时，由于轮廓振动或圆形样品的径向伸缩振动或弯曲振动的高导致厚次泛音，易与厚度振动的基频 ! 9& 相耦合，度振动（厚度伸缩或厚度切变）振子基频发生辟裂，使得到的机电耦合系数会与实际的有较大偏差。为了克服传统泛音比法测定厚度振动机电耦合系数的弊端，本文提出了测定厚度振动机电
盖志刚等：高次泛音比法测定厚度振动机电耦合系数
12,"
耦合系数的高次泛音比法。实践表明，本方法在精确测定厚度振动机电耦合系数上，比传统泛音比方法具有显著的优势。
Байду номын сангаас
压电振子厚度伸缩振动基频附近导纳随频率变化曲。线，所用仪器为高精度阻抗分析仪（ 67.8/’% 1$916）由图可见，在基频附近导纳曲线辟裂严重，最大导纳对应的频率已不可能是串联谐振的 & )! 。也就是说， & )! 已无法由最大导纳对应的频率测定，传统的利用 & )’ ( & )! 的值来确定厚度振动机电耦合系数的泛音比法显然已不适用。图 ! （ :）、（ ;）和（ <）分别是所测压电振子的第 * 次、第 + 次和第 , 次泛音附近的导纳随频率变化曲线图。可以看出，串联谐振频率附近导纳曲线已不再发生辟裂。即人们可通过测定最大导纳对应的频率较精确测定高次串联谐振频率 & )* 、 & )+ 、 & ), 。由式（!）可知，压电材料一定，厚度振动机电耦合系数 " % 就一定，那么对应的各泛音的串联谐振频率也就一定，泛音的比 & )+ = & )* 、 & ), = & )* …也就唯一确定。即如果得到高次泛音比 & )+ = & )* 、 & ), = & )* ， …，厚度振动机电耦合系数 " % 也就唯一确定。图$ （ &）是四硼酸锂（ )*#） 1+> 切（ ) 为厚度方向， * 为长度方向，以 * 为转轴，逆时针旋转 1+> ）晶体压电振子厚度切变振动第 * 次泛音模式导纳随频率变化曲线图。由图 $ （ &）可见， * 次泛音串联谐振频率与其他模式发生了耦合，串联谐振频率 & )* 也难以测量准确。而图 $ （ :）、（ ;）和（ <）所示的第 + 次泛音、第 , 次泛音和第 9 次泛音的情况好得多。因此，我们利用 & ), = & )+ 和 & )9 = & )+ 泛音比来确定该压电振子的机电耦合系数就精确得多。
! ! 机电耦合系数，定义为压电材料中弹性 %压电相互作用能密度的平方与所贮存的弹性能密度和介电能密度的乘积之比的平方根，是度量压电体机械能与电能转换效率的参数，也是衡量压电材料压电性能强弱的重要物理量。很多压电器件的性能指标，如压电滤波器的带宽、压电变压器的升压比、声表面波滤波器和延迟线的最佳带宽、叉指换能器的辐射阻抗等，都直接与机电耦合系数有关。机电耦合系数不是压电材料的独立物理量，而是压电、弹性和介电参数的函数，所以它更能全面的表征压电材料的性质。压电材
盖志刚，王矜奉，杜! 鹃，任晓峰，臧国忠，明保全
（山东大学物理与微电子学院，晶体材料国家重点实验室，山东济南 "$#&## ）
! ! 摘! 要：压电振子低频振动模式的高次泛音易与厚度振动模式的基频相耦合，导致厚度振动的基音串联谐振频率不能精确测量（或无法测量），造成传统泛音比法测定压电振子的机电耦合系数的精度和一致性变差或无法进行测定。为了克服传统泛音比法的这一弊端，提出了测定压电振子厚度振动机电耦合系数的高次泛音比法。此法通过测定 ’ 次和 ’ 次以上的高次串联谐振频率，用高次泛音比来测定压电振子厚度振动机电耦合系数。实验表明，与传统泛音比法相比，高次泛音比法具有精确度高和一致性好的明显优势。为了便于高次泛音比法的应用，提供了高次泛音比和机电耦合系数的对应表。关键词：机电耦合系数；基音串联谐振频率；泛音比法；高次泛音比法中图分类号： ./""&! ! ! 文献标识码： 0
$" 高次泛音比法
［ 4#!5 ］图! （ &）是钛酸铋钠基无铅压电陶瓷圆形
万方数据
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压" 电" 与" 声" 光
+((* 年"
表 ! " 高次泛音比和机电耦合系数
! " #$ " #% " #& " #% +) %%, + +) %%, , +) %%, * +) %%, +) %%$ ( +) %%$ % +) %%$ * +) %%$ +) %%* ! +) %%* $ +) %%* +) %%& ! +) %%& $ +) %%& ’ +) %%- , +) %%- & +) %%’ + +) %%’ * +) %,( ! +) %,( * +) %,! + +) %,! & +) %,+ % +) %,+ +) %,% , +) %,, ( +) %,, * +) %,$ % +) %,$ ’ +) %,* * +) %,& % +) %,- ( +) %,- & +) %,’ $ +) %$( % +) %$! ! +) %$! ’ +) %$+ & +) %$% $ +) %$, , +) %$$ % +) %$* + +) %$& + +) %$- ! +) %$’ ( +) %*( ( +) %*! ( +) %*+ ! +) %*% ! +) %*, + +) %*$ % +) %** , +) %*& $ +) %*- & " #& " #$ !) ,(( (’ !) ,(( !, !) ,(( !* !) ,(( !!) ,(( ++ !) ,(( +$ !) ,(( +!) ,(( %+ !) ,(( %* !) ,(( ,( !) ,(( ,, !) ,(( $( !) ,(( $, !) ,(( $’ !) ,(( *, !) ,(( &( !) ,(( &$ !) ,(( -! !) ,(( -& !) ,(( ’, !) ,(! (! !) ,(! (& !) ,(! !$ !) ,(! ++ !) ,(! %( !) ,(! %& !) ,(! ,$ !) ,(! $% !) ,(! *! !) ,(! &( !) ,(! &’ !) ,(! -’ !) ,(! ’& !) ,(+ (& !) ,(+ !* !) ,(+ +& !) ,(+ %& !) ,(+ ,!) ,(+ $’ !) ,(+ &( !) ,(+ -! !) ,(+ ’+ !) ,(% (% !) ,(% !* !) ,(% +!) ,(% ,( !) ,(% $% !) ,(% ** !) ,(% &’ !) ,(% ’+ !) ,(, ($ !) ,(, !’ !) ,(, %% !) ,(, ," #’ " #$ !) -(( +! !) -(( +, !) -(( +!) -(( %, !) -(( ,( !) -(( ,* !) -(( $+ !) -(( $!) -(( ** !) -(( &% !) -(( -( !) -(( -’ !) -(( ’& !) -(! (& !) -(! !& !) -(! +* !) -(! %& !) -(! ,& !) -(! $!) -(! &( !) -(! -+ !) -(! ’$ !) -(+ (& !) -(+ +! !) -(+ %, !) -(+ ,!) -(+ *% !) -(+ &!) -(+ ’, !) -(% (’ !) -(% +, !) -(% ,+ !) -(% $!) -(% &* !) -(% ’, !) -(, !! !) -(, %( !) -(, ,’ !) -(, &( !) -(, ’( !) -($ (’ !) -($ +’ !) -($ $! !) -($ &% !) -($ ’, !) -(* !* !) -(* ,( !) -(* *, !) -(* -* !) -(& !! !) -(& %* !) -(& *! !) -(& -* !) -(- !!