ARL9800 X荧光光谱仪真空系统中文说明书
X荧光光谱仪的使用
X荧光光谱仪的使用在分析试验室中使仪器处于良好的状态是很紧要的。
有规律的日常维护能够确保仪器处于zui佳的运行状态。
原子汲取光谱仪的保养：1、原子汲取分光光度计的使用环境保持试验室的卫生及试验室的环境，做到定期清扫试验室，躲避各个镜子被灰尘覆盖影响光的透过降低能量。
试验后要将试验用品整理干净，把酸性物品阔别仪器并保持仪器室内湿度。
以免酸气将光学器件腐蚀，发霉。
2、元素灯的保养原子汲取主机在长时间不使用的情况下，请保持每一至两周为间隔将仪器打开并联机预热1～2小时。
以延长使用寿命。
元素灯长时间不使用，将会由于漏气、零部件放气等原因不能使用，甚至不能点燃。
所以应将不长使用的元素灯每隔3～4个月点燃2～3个小时，以延长使用寿命，保障元素灯的性能。
3、定期检查检查废液管并适时倾倒废液，废液管积液到达雾化桶下面后会使测量时极其不稳定，所以要随时检查废液管是否畅通，定时倾倒废液。
乙炔气路的定期检查，以免管路老化产生漏气现象，发生不安全。
定期检查气路，每次换乙炔气瓶后肯定要全面试漏。
用肥皂水等可检验漏气情况的液体在全部接口处试漏，察看是否有气泡产生，判定其是否漏气。
注意定期检查空气管路是否存在漏气现象，检查方法参见乙炔检查方法。
4、空压机及空气气路的保养和维护仪器室内湿度高时，空压机极易积水，严重影响测量的稳定性，应常常放水，躲避水进入气路管道。
我们所标配的空压机上都有放水按钮，放水时请在有压力的情况下按此按钮即可将积水排出。
5、火焰原子化器的保养和维护每次样品测定工作结束后，在火焰点燃状态下，用去离子水喷雾5～10分钟，清洗残留在雾化室中的样品溶液。
然后停止清洗喷雾，等水分烘干后关闭乙炔气。
玻璃雾化器在测试使用氢氟酸的样品后，要注意适时清洗，清洗方法即在火焰点燃的状态下，吸喷去离子水5～10分钟，以保证其使用寿命。
燃烧器和雾化室应常常检查保持清洁。
对沾在燃烧器缝口上的积炭，可用刀片刮除。
雾化室清洗时，可取下燃烧器，用去离子水直接倒入清洗即可。
荧光光谱仪使用说明书
荧光光谱仪使用说明书一、引言荧光光谱仪是一种用来测量样品发射光谱的仪器。
本使用说明书旨在帮助用户正确操作荧光光谱仪，以确保准确的测量结果和良好的实验效果。
二、仪器概述荧光光谱仪由光源、样品仓、光谱探测器、数据处理系统等组成。
光源提供激发光源，样品仓用于容纳待测样品，光谱探测器测量样品发射的荧光光谱，数据处理系统用于收集、显示和分析光谱数据。
三、操作流程1. 准备工作a. 将荧光光谱仪放置在平稳的台面上，确保光谱探测器不受外界干扰。
b. 接通电源并待仪器自检完成。
c. 检查样品仓的清洁状态，确保样品仓无灰尘和污渍。
2. 样品装载a. 打开样品仓盖，将待测样品放置在样品仓台面上。
b. 关闭样品仓盖，确保与样品的接触良好。
3. 参数设置a. 打开数据处理系统，在仪器界面上选择合适的测量模式，如荧光发射光谱或荧光强度分析等。
b. 根据实验需求，设置激发光源的波长、光强等参数。
4. 测量操作a. 点击“开始测量”按钮，仪器将开始激发样品并记录其发射光谱。
b. 在测量过程中，保持环境安静，避免其他光源的干扰。
5. 数据处理a. 测量完成后，数据处理系统将自动显示光谱图和相关数据。
b. 可以选择导出数据、打印光谱图等操作，以便进行后续数据分析。
四、注意事项1. 使用荧光光谱仪时，请务必遵循以下安全操作规范：a. 避免直接观察激发光源，以防眼睛受伤。
b. 在操作过程中，避免触摸仪器的感光部件，以免影响测量结果。
c. 在使用完毕后，准确关机并断开电源。
2. 使用前请阅读本使用说明书，确保了解仪器的组成和操作流程，并遵循说明书中的操作步骤。
3. 对于特殊样品的测量，建议在测试前了解样品特性，并进行合适的预处理，以确保测量结果的准确性。
4. 定期对荧光光谱仪进行维护保养，保证仪器的正常运行。
五、故障排除若遇到以下情况，请参照以下排除方法：1. 测量结果异常或无法测量：a. 检查光源是否正常工作，如需更换，请联系售后服务。
赛默飞X射线荧光分析仪安装手册
赛默飞X射线荧光分析仪安装手册仪器的验收仪器的包装检查如果看到仪器包装箱上有明显的损伤，或者发货单上所列的箱子有丢失，收货方应在有效的交货文件上记下申诉意见。
如果在验收以后发现损伤或箱子丢失，那么收货方必须立即通知最后一位搬运货物的运输公司。
通知应以挂号信发出。
请务必在交货时记下任何损坏或丢失的物品，否则，保险索赔请求可能会被拒绝。
即使货物收货方通常不是投保人，他（她）也有义务记下任何损伤的疑点。
材料清单检查用户负责检查收到的材料是否与材料清单上所列相符。
卸货建议必须认真搬运仪器，否则可能会倾翻仪器，因此只有用叉车来升降仪器，即卸货和短距离运输都要将仪器置于叉车的托盘上。
叉车应避免突然起动。
尽量使仪器不要离开地面。
失去平衡造成的损坏完全不能赔偿。
仪器从一米高处掉下来将完全损坏。
不要让ARL9800射线荧光仪承受机械压力。
如果需要提升仪器，可使用仪器框架上的环。
在仪器运抵最终位置之前，别把仪器从木质托盘上取下来。
实验室准备仪器房间准备实验室布局下图示为实验室布局。
在仪器背面与墙之间至少留出30cm的距离，这是非常重要的。
因为冷却空气的出口位于仪器后面。
下图为带有12位样品库的ARL9900仪器布局。
注意：ARL9900Oai额外需要一台热交换器，以便通过空气来冷却射线管水。
热交换器与仪器之间的地面距离可以小于10米。
2500mm如图所示，用户可以从左右侧抵达仪器各个部位，以便进行维护。
如果维护作业需要移动仪器，则使用托盘运输装置会很容易。
环境条件安装的仪器应防止强烈震动，避免阳光直晒，防尘和防止腐蚀性蒸汽或气体。
总之，对仪器房间的要求与一般工业控制房间的要求相同。
位置安装ARL9900最合适的位置是楼房底层靠阴面。
这些房间即使在夏季通常温度也比较低，因此能够容易地保持在一个合适的温度范围内。
位于靠阴面，说明不应使阳光透过窗户直晒在仪器上。
环境温度实验室理想的温度是22°C。
对于ARL9900P型，室温与冷却水温相对应。
X荧光仪英译汉说明书
MXF-2400型多通道X-射线荧光分析仪使用说明书岛津公司分析测量分部本说明书中讲述了仪器的详细构造和工作原理，并且介绍了大量我们在仪器设计方面的技术秘密，以便用户更加充分的了解和使用仪器。
我们敬请广大用户不要把本说明书送给或借给他人；也不要向他人描述本说明书中的内容。
安全使用仪器内部会产生对人体有害的X-射线和高压。
为了安全使用仪器要注意下面的内容。
关于X-射线疾病预防1、本仪器属于“X-射线设备”。
它符合“电磁辐射疾病1、原理和构造测量原理当X-射线管产生的X-射线(以下叫做初始X-射线)照射到被测样品时，组成样品的每一种元素都会反射出具有特殊波长的X射线(以下叫做特征X-射线或荧光X-射线)。
由于样品是由多种成分组成的，所以该荧光X-射线是由各种特征X-射线混合而成的。
每一个量角仪都是根据每种特征X-射线的波长设置的。
因此，如果该混合荧光被反射到某一个量角仪上，那么只有相应组分发出的特征X-射线才会被量角仪中的晶体有选择性地反射到探测器上。
探测器也安装于量角仪上。
被检测到的X-射线的强度同相应组分的含量成比例。
因此，通过测量一定时间内检测到的X-射线的总量就可以得到相应组分的含量。
本仪器可以同时检测、测量并记录下各种元素所发出的X-射线。
X-射线管X-射线管直立于主机的中心部位。
它是由美国VARIAN公司制造的.激发灯丝所产生热电子通过高压被加速。
当这些被加速的热电子撞击到靶金属(以下叫做靶)时，靶会产生连续波长的X射线(以下叫做连续X-射线)和靶金属的特征X-射线。
这两种射线混合后组成的光束即初始X-射线。
初始X射线通过一个位于X-射线管底部的厚的铍窗照射到被测样品上。
X-射线管的靶金属是铑，所以初始X射线就是由X-射线和和靶金属的特征X射线混合而成的。
(RHK，RHL)。
RH-K线和RH-L线有助于X-射线分别激发样品中的重元素和轻元素。
当热电子光束撞击靶时，超过99%的动能转化成热能，在转化中靶会被加热。
X射线荧光光谱仪操作指导书
插入图片处
三、注意事项
1、测试过程中不能打开防护罩。 2、每次测试开机，软件将按程序运行约15分钟时间完成升压管流。 3、如果关机没有超过1小时，在选择参数时不需要勾选“慢管升压、管流” 。 4、未经许可，不要擅自修改工作区“管压”和“管流”参数 5、在预热阶段，如不需要关机的情况下，尽量不要关测试软件和电源。 6、测试样品应尽量水平放置，样品之中心位置应与画面中之十字交叉处对准。 7、如不需要长时间测试时，可将仪器关闭休息一下，避免发光管受热时间太长影响使用寿命。
二、操作步骤
1、测试之前一定要把仪器预热30分钟，再放入“银校正片”后进行初始化。根据仪器当时的状态，初 始化过程要持续几百秒的时间。初始化成功后，状态栏的结果将显示为PASS，者可以开始测试，如不是 则必须重新初始化。。 2、开启软件将按设定程序运行，约花15分钟左右的时间完成升到指定的升压管流，看到3个全部为OK， 者升压管流完成 3、根据样品选择工作曲线进行测试，样品一定要放在薄膜的中心，可以从摄像头中看到是否对准。 4、在测试时应该根据被测物品的材质和表处，选择相应的工作曲线对样品进行测试。测试时间为（200 —600s）。 5、测试人必须知道型号、材质、供应商并如实记录于测试信息栏，测试人才能测试该样品。 6、准备就序，然后点击“开始测量”，待样品测试完毕后，程序将自动报告测试结果。 7、测试完成并输出报告并存档。 8、测试完成后拿出样品，盖上防护罩。 9、关机时，先要关闭测试软件，再关闭仪器电源。
设备操作指导书
机种 规格 站别 作业名称 文件编号 MWI-00-000 版本 B/0 制作日期 2012-0-00
线荧光光谱仪
一、使用前检查
XXXXXX
IQC
X射线荧光光谱仪操作指引
X射线荧光光谱仪操作指引1.准备工作在操作X射线荧光光谱仪前，首先需要进行一些准备工作。
1.1样品准备根据需要分析的样品类型和要求，选择合适的样品制备方法。
常见的样品制备方法包括固体样品打磨成片、液体样品吸附在滤纸上等。
1.2仪器设置根据样品的特点和仪器的要求，设置合适的仪器参数。
包括选择合适的激发能量、选择合适的荧光光谱检测仪器、选择合适的仪器工作模式等。
2.仪器操作完成准备工作后，可以开始操作X射线荧光光谱仪。
2.1仪器开机将X射线荧光光谱仪和计算机等设备连通，并开启仪器电源。
2.2样品装载将制备好的样品装载到样品台上，并固定好。
2.3调整仪器参数根据实际需要和仪器的特点，进行合适的参数调整。
包括选择合适的激发能量和激发电流、调整荧光光谱检测仪器的增益和曝光时间等。
2.4开始测量通过计算机控制软件，选择合适的测量模式和扫描范围，并点击开始测量按钮。
2.5数据保存测量完成后，将测量得到的荧光光谱数据保存到计算机中，并进行必要的命名和分类。
3.数据处理与分析获得荧光光谱数据后，需要进行数据处理和分析，以得出样品中元素的信息。
3.1数据校正将测量得到的光谱数据进行背景校正，去除背景信号的影响。
通常采用线性背景校正或多项式背景校正方法。
3.2荧光峰识别通过荧光光谱中的峰形状和位置信息，识别出存在的荧光峰。
可利用已知标准样品的荧光光谱数据进行对比鉴定。
3.3元素定量分析根据已知标准样品的荧光峰强度和浓度关系，通过比对样品荧光峰强度，可以计算出样品中不同元素的含量。
4.结果表达与报告撰写完成数据处理与分析后，需要将结果进行表达和报告撰写。
4.1结果表述根据具体需求和目的，将样品中元素的含量等信息进行准确、简明的表述。
可用表格、图表等形式来展示。
4.2报告撰写将分析结果和方法过程等详细信息，整理成完整的实验报告或分析报告。
报告应包含目的、方法、结果、讨论和结论等内容。
5.仪器维护在完成实验后，需要对X射线荧光光谱仪进行必要的维护工作。
瑞士ARLX射线荧光光谱分析仪用户手册（9800系列）
AA38414
ARL 9800 用户手册
1-1
综述和警告
资料来源：
第1章
装有一个测角仪的 ARL 9800 XP 还能再安装 24 个固定道，而 ARL9800 Oasis 形式装有一个测角仪后还 可安装 14 个固定道。
1.2.3 X 射线衍射道
ARL9800 还可安装一个 X 射线衍射道（XRD），用于测定各种应用中试样里的物相和矿物成分，例如水 泥熟料中的游离石灰、水泥中的石灰石和铁矿石中各种铁的氧化物。
ARL9800 有二种不同的形式： ARL 9800 XP 形式可使用高功率 X 射线发生器对各类固体材料进行高性能测量。 ARL 9800 Oasis 形式是一种低功率仪器，它不需要外接冷却水系统。
ARL9800 的核心部分是由以下几个部件组成： 用于快速和特定元素常规分析的固定道； 用于各种元素分析的莫尔条纹测角仪； 用于特定物相和矿物分析的 XRD 衍射道。 这些部件的整机一体化结合使用确保了分析的速度、适应性和可靠性。
XRF 资料
资料来源：
编号：AA83414-02
ARL 9800 X 射 线 光 谱 仪 用户手册
ARL 公司中国 2004 年 1 月
综述和警告
1 综述和警告
1.1 引言
资料来源：
第1章
祝贺您选购了您的 ARL 9800 系列仪器。由 ARL 公司生产的这种精确的光谱仪，定能满足您的分析需 要。 本手册的目的就是给您在使用 ARL 9800 时提供必要的帮助。
AA38414
ARL 9800 用户手册
1-4
综述和警告
资料来源：
第1章
1.3 X 射线荧光光谱仪的基本原理
被测试样进入光谱仪后，受到来自 X 光管发出的 X 射线光束激发，产生 X 光荧光。X 光管发射的光谱是
操作规程X射线荧光光谱仪
操作规程X射线荧光光谱仪一、实验目的1.了解X射线荧光光谱仪的原理和结构；2.掌握X射线荧光光谱仪的操作方法；3.学会使用X射线荧光光谱仪进行样品分析。
二、实验仪器和试剂1.X射线荧光光谱仪；2.待测样品；3.氦气。
三、安全注意事项1.在操作X射线荧光光谱仪时，应佩戴防护眼镜和操作手套，以减少对眼睛和皮肤的辐射伤害；2.操作前确保仪器电源已切断，并检查所有接线是否安全可靠；3.避免将待测样品直接接触皮肤，以免污染。
四、操作步骤1.打开X射线荧光光谱仪电源，并预热仪器30分钟；2.打开荧光探测器排气阀，接通氦气，并将氦气流量调节到适当值；3.启动荧光探测器，让其运行5分钟以上，以确保仪器达到稳定状态；4.将待测样品放置在样品台上，并调整样品台位置，使样品与荧光探测器射束相碰；5.调节仪器的工作电压和电流，一般取30kV和20mA；6.点击“检测”按钮，开始进行样品分析；7.分析完成后，关闭荧光探测器并断开氦气供应；8.将待测样品取下，清洁样品台。
五、实验注意事项1.操作时要注意仪器的稳定性和反应时间；2.样品的放置位置要确保与荧光探测器射束的相碰；3.电压和电流的选择应根据待测样品的特性来确定；4.实验结束后及时关闭仪器电源。
六、实验结果分析1.根据荧光光谱图，分析样品中各元素的含量和种类；2.对比样品的荧光图谱与标准样品的图谱，判断样品的成分和纯度。
七、仪器维护1.每次操作结束后，要对仪器进行清洁和维护；2.定期检查仪器的接线和电源情况；3.定期更换荧光探测器和氦气。
八、实验总结通过本次实验，我对X射线荧光光谱仪的原理和操作方法有了更深入的了解。
在实验过程中，要注意安全操作，正确设置工作参数，并对实验结果进行分析和判断。
仪器的定期维护和保养对于保证实验结果的准确性和仪器的正常工作非常重要。
通过本次实验的学习，我对X射线荧光光谱仪的使用有了更好的掌握。
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ARL9800 X荧光光谱仪真空系统中文说明书----------------------------------------------------------------------------------------------------- 9800的真空系统和以前的84/86及9400都不同，这是因为除了进样方式和试样室结构不同外还使用了分子泵。
9800真空系统使用了二个泵：低真空油泵和高真空分子泵。
低真空油泵（Pump2,，P2）主要用于试样进出时的试样室抽空以及光谱室的前期抽空，它有二种工作方式，即全工作方式（Full Mode，220V供电）和半工作方式（Half Mode，110V供电），按真空度情况由XQM控制自动切换。
高真空分子泵（Pump1，P1）用于光谱室抽空，它的转速可按光谱室真空状态由XQM控制变化，通常处在12000--27000rpm（转/分）。
由于分子泵没有油气污染而且可以改变转速从而维恃真空稳定，所以保证了光谱室有一个清洁稳定的分析环境。
一. 抽空顺序：仪器一通电，XQM首先获取光谱室（SP）真空状态参数。
1. 如SP<25KPa，XQM认为光谱室处于真空，给二个泵供电起动，使P2处在全工作方式而P1转速升至15000rpm，同时打开光谱室抽气阀门V1抽空。
当SP<1000Pa，XQM 会命令P1提速至27000rpm继续抽空。
在到达SP<13Pa，XQM将使P2改为半工作方式，P1继续维恃高速。
在整个过程中，试样室始终处于大气状态，这时仪器处在待分析状态。
2. 如SP>25KPa，ICS认为光谱室处在大气或接近大气状态，二个泵都不供电起动，等待环境设臵的命令。
环境设臵可用软件设臵或终端命令SE 1 。
3. 环境设臵命令输入后，首先试样室的Loading Lift下，Shutter关，使试样室与外界隔离。
1) 这时XQM对P2供电并使之处于全工作方式，打开试样室抽气阀门V2，对试样室抽空。
2) 当PC<= SP时，XQM 命令打开输送杯外框(shell)使试样室和光谱室联通，同时P1通电，转速逐渐升至12000rpm。
3）当SP<25KPa，打开光谱室抽气阀V1，P1转速升至15000rpm，二个泵同时抽。
4）当SP<1000Pa，P1转速升至27000rpm，继续二个泵同时抽。
5）当SP<13Pa，P2改为半工作方式，P1继续维恃高速抽光谱室。
6）紧接着XQM 命令关闭Shell使试样室和光谱室隔离，试样室抽气阀门V2关闭，试样室进气阀V3打开使试样室进气成大气然后V3再关闭，试样室的Shutter打开，Loading Lift上，使试样室与外界连通。
这时光谱室真空，试样室大气，仪器处在待分析状态。
二. 抽空中止（Pumping suspended）：抽空中止是在抽空过程中的一个特殊状态，这时V1和V2被关闭，P1和P2的供电被切断。
上述的任一抽空过程出现问题，都会引发抽空中止。
例：1. 当上述3-2过程抽了30 分钟后，还到不了SP<25KPa；2. 当上述3-3过程抽了60 分钟后，还到不了SP<1000Pa或又大于25KPa了；3. 当上述3-4过程抽了60 分钟后，还到不了SP<13Pa或又大于25KPa了；4. 开机时SP真空，按上述1过程抽了5 分钟后，还到不了SP<13Pa或又大于25KPa 了；5. 光谱室处在真空下，但突然SP>100Pa。
处在抽空中止状态下要恢复抽空，必须重新设臵环境。
三. 油泵（P2）的电路控制：油泵控制涉及的电路有：Power Distrubution(板号S702593图号S111852)；XQM(板号S702416图号S111556，S111853)；XSP(板号S702594，图号S111851)油泵电路控制较为简洁。
油泵电机接的相中地三线由PD板的TS911输出，其中仅相线(TS911-1)受控制。
电源220V相线经继电器IC2输出至TS911-1；由生成24V的变压器初级线圈中心抽头引出的电源110V相线经继电器IC3输出至TS911-1。
油泵的控制采用微处理器输出命令，由XSP板上的功率驱动片IC4(L293D)的输出去驱动PD板上的IC2或IC3继电器，从而供给油泵电机不同的电源。
有关的输入信号路径如下：EnVacPmp2 由XQM PPI2/PA2→J151/15C→XSP J152/15C→IC4/1In1VacPmp2 由XQM PPI2/PB3(In1MoPbLi)→J151/16B→XSP J152/16B→IC4/2In2VacPmp2 由XQM PPI2/PB4(In2MoPbLi)→J151/16C→XSP J152/16C→IC4/7有关的输出信号路径如下：Pmp2Full 由XSP IC4/2→J152/15A→Power Distribution J921/3→IC2→TS911/1 220V Pmp2Half 由XSP IC4/6→J152/15B→Power Distribution J921/4→IC3→TS911/1 110V XQM跟据真空度值按需要首先发出EnVacPmp2命令使泵能起动：再发出In1VacPmp2命令，IC2动作，220V加在泵的电机上，油泵处在全工作方式状态；或发出In2VacPmp2命令，IC3动作，110V加在泵的电机上，油泵处在半工作方式状态。
通过终端命令可查讯油泵目前处在什么工作状态：RI 1,1,52H↵回答显示01001100Y是油泵处在全工作方式状态，01010100Y油泵处在半工作方式状态。
四. 分子泵（P1）的电路控制：分子泵控制涉及的电路有：XQM(板号S702416图号S111556，S111853)；XSP(板号S702594图号S111851)。
分子泵的接头共有六个：1,a; 2,b; 3,c; 4,d; 5,e; 6,f。
1,a →XSP J152/22A,22B→IC19/10 VacPmp1- 负电源2,b →XSP J152/21C,21B→IC19/2 VacPmp1+ 正电源3,c →XSP J152/23C→IC17F/13 HallSensor 转动方向信号4,d →XSP J152/18B→ IC7/47 PtcPmp 温度信号5,e →XSP J152/17A→ DGND6,f →XSP J152/22C→ +12v分子泵的电源在XSP板上，由二个脉冲宽度调节器IC10;IC14(PWM,SC3525AN)和功放IC19(LMD18200)组成，分电压控制；电流控制和功率输出三部份。
该电路的输入信号有：电压设臵VpSetPoint→XQM IC20/7→J151/28C→XSP J152/28C→IC10/2,16电流设臵CuSetPoint→XQM IC20/6→ J151/28B→XSP J152/28B→IC14/2,16芯片选择EnVacPump1→XQM IC5/1→J151/19C→XSP J152/19C→IC10/10马达方向HallSensor→XSP IC17F/13→J152/23C→Molecular Pump Motor 3,c该电路的输出信号有：电流信号StsPmpiCur→XSP IC7/46电压信号StatueVp→XSP IC7/45过热信号DryThFlag→XSP J152/24C→XQM J151/24C→PPI1/PC1VacPump1+→XSP J152/21C,21B→Molecular Pump Motor 1,aVacPump1-→XSP J152/22A,22B→Molecular Pump Motor 2,b分子泵运转需55V电源，由电压控制源逐步增加直至到达合适电压，称+VP。
在加压过程中，晶体管Q1(IRF9224)导通使二极管D8短路，这时具有双极转子的无刷马达将用反相极化(Opposite phase polarisation)。
当马达转速达到最高27000rpm时，Q1开路，二极管使双相失去一相，马达变成发生器(Generator)。
LMD18200构成的开关DC马达电源(Switching DC motors Power Supplies)，使用H挢式结构的脉冲宽度调节器(PWM)并使用Sign/Magnitude控制模式。
当结点温度超过125︒C 时，电路将发出过热信号DrvThFlag。
该电路还提供电流传感用以电流控制，它连接至IC14的内差分放大器(Internal error amplifier),并同时以StsPmpiCur信号送入μ控制器IC7/P0.6口。
五. 真空测量及真空探头的校准（Vacuum Guage Calibration）：1. 真空测量：光谱室(SP)和试样室(PC)的真空测量方式相同并和9400也相同，都采用NTC探头将真空度变化导致热传导变化作为测量依据的。
其中NTC1为电桥温度感应，NTC2为电桥平衡后用于反映真空度信息的。
每个探头有4个接头，1号为NTC1；2号3号接地；4号为NTC2。
涉及的电路为XQM板(板号S702416图号S111556，S111853)。
二个探头信号连接如下：2号3号接地接J151/30APC1号发出PCNtc2→J151/29C→IC5/40(平接IC20/9)PC2号送入5V 信号PCNtc1←J151/29B ←IC5/41SP1号发出SPNtc2→J151/30C→IC5/42(平接IC20/8)SP2号送入5V 信号SPNtc1←J151/30B←IC/43IC20为A/D转换器(AD7225)，将信号转换后再计数供控制及显示。
Ntc1为控制器(80C196KR)发出的高电位信号使5V送入探头供电。
2. 真空探头的校准(Vacuum gauge calibration)：真空探头的校准是使用终端命令“CG”来完成的。
1) 定义温度偏臵(delta temperature offset)：定义delta temperature offset必须将试样室和光谱室处在大气环境下，然后输入以下命令：CG 1,0↵自动定义试样室真空探头温度偏臵。
CG 2,0↵自动定义光谱室真空探头温度偏臵。
2) 定义倍增系数(multiplicative coefficient)：将要定义的探头从试样室或光谱室取下，将它装在油泵抽气管上抽空1分钟，因抽空的体积很小，故可认为这时真空度很高了。
如定义的是试样室探头：输入DY 1,1,2,0↵显示其真空，其值应为1.5--2Pa，如不是可输入命令CG 1,1,1.18↵ (1.18为例，可由1--3间选择，直至显示的真空度符合1.5--2Pa)。