双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究

合集下载

浅谈激光烧蚀技术的应用及研究进展

浅谈激光烧蚀技术的应用及研究进展摘要：随着激光技术的发展,当今社会激光烧蚀技术越来越受到了人们的关注。

本文主要介绍了几种激光烧蚀技术的不同应用,以及对激光烧蚀技术的进展做了简单的研究。

关键词：烧蚀等离子体聚合物激光烧蚀技术是通过飞秒-纳秒量级的脉冲激光来将材料表面烧蚀，已经被广泛应用于微加工、外科手术、X射线激光、生物分子质谱以及一些艺术品修复/清洁等领域；对激光烧蚀产生的等离子体的光学/光谱诊断是研究等离子体动力学的主要方法之一。

1 激光烧蚀技术的应用1.1 激光烧蚀光谱(LAS、LIBS)技术的应用近年来光谱领域发展迅速，其中激光烧蚀光谱技术是其中一种比较崭新的分析手段。

该技术主要是通过聚焦强激光束激发样品靶面，产生高温等离子体，通过测定等离子体冷却过程中发射光谱的波长与强度来进行定量分析、元素定性。

激光烧蚀光谱技术虽然对于痕量元素的分析能力不足，但是该技术并不需要对样品进行繁琐的化学处理，具有破坏性小，具有快速、实时、可远程监测等特点，被广泛应用于地质、冶金、核工业、材料、燃料能源、生物医药等领域；电感耦合等离子体质谱(ICP2MS)分析技术是一种公认的高灵敏度、强有力的、多元素及同位素分析技术。

1.2 激光烧蚀技术在微纳米材料制备中的应用激光与靶材相互作用后，周围的物理空间便可粗略的分为高温高压等离子体聚集区、液相区和固相区三个区域，如图1所示。

等离子体聚集区是由离子、电子以及未电离的中性粒子集合组成，整体呈现电中性，该区域对激光能量的传输障碍比较小。

液相区是靠近等离子聚集区的熔融层，材料处于液态或固-液共存态。

靠近液相区的是固相区，该区域虽然也吸收了激光能量，能使温度升高，但是能量强度不足以使该层进行熔化。

基于激光烧蚀技术制备的各类材料的生长过程，如一维纳米线和零维纳米颗粒、二维薄膜等，几乎都是通过应用高温高压等离子体的成核、生长所完成。

因此，激光烧蚀产生的高温高压等离子体在激光烧蚀技术制备微纳米材料中起着重要的作用。

激光等离子体相互作用产生X射线

激光等离子体相互作用产生X射线X射线是核外电子产生的短波电磁辐射，波长范围一般在0.001nm 到1nm或者更长一点。

比0.1nm短的叫硬X射线，长的叫软X射线。

X射线源在许多研究方面是非常重要的，在包括X射线显微镜和光谱学、全息技术和纳米技术、生物成像和探测超快过程等工业和医疗方面的应用尤其如此。

现在同步辐射光源是最强烈的X射线源。

在同步辐射光源中，辐射的产生是由于一个由弯曲磁铁，磁性波或磁性震荡产生了相对论电子散射[1]。

在同步辐射光源中，辐射的产生是由于一个由弯曲磁铁，磁性波或磁性震荡产生了相对论电子散射。

这些源是宽带相干和长脉冲。

我们也可以利用高能激光脉冲去Thomson散射这些被传统方式加速的电子[2-5]。

另一方面，需要有超高亮度，连贯和短脉冲（飞秒或更短）的X 射线源来研究瞬态过程。

在加速器的家族中，几个大的自由电子激光器在未来10年内取得里程碑式的进展，并提供最亮的X射线源。

相对论性激光等离子体提供了一个飞秒级X射线产生的潜在补充渠道。

甚至在紧凑的项目中，x射线波长桌面自由电子（TT-XFEL）也存在[6]。

然而，人们必须显著提高被激光加速电子束的品质以使TT-XFEL成为现实。

本世纪起，相对论超强超短激光入射等离子体可产生X射线已经被广泛证实。

当一束短的相对论下的强激光脉冲在稀薄等离子体中传播。

其有质动力可以排开电子，形成电子空泡（Bubble）。

通过波破或其他注入方式，一些等离子体电子可以被限制并且被腔中的纵向场加速，这就是所谓的空泡电子加速模式。

由于它的固定的三维空间结构，该气泡具有横向场。

加速的相对论下的电子这些场中做横向的振动并且发射出短波射线（可到X 射线量级）。

另外一种方法是激光作用于固体靶产生的相对论高次谐波。

激光可以瞬间将固体物质转换成等离子体，激光与固体的相互作用是高度非线性的，导致谐波产生。

在高密度等离子体的表面，人们可以区别产生谐波的两个主要的不同机理。

当激光强度呈弱相对论性2182210/I W m cm λμ<时，谐波是由于所谓的相干弱辐射（CWE ）产生的。

激光等离子体加速机制研究综述

激光等离子体加速机制研究综述1 研究现状随着激光技术的发展，激光强度不断增强，脉宽不断缩短，对激光等离子体相互作用的研究开辟出了许多新的领域。

激光与等离子体相互作用与激光的强度、波长、脉宽，等离子体状态参数（最主要是密度）密切相关。

随着激光强度变大，开始是线性响应，然后随着激光不断增强，非线性效应和相对论效应开始占主导。

当强度超过1018W/cm2电子的相对论效应必须考虑，加剧了理论研究难度但也催生了更多的物理现象产生。

比如非线性波跛、超高能粒子产生、相对论孤子和涡旋。

而根据等离子体的密度不同，激光与等离子体作用可以分为稀薄等离子体（同气体靶作用）和稠密等离子体（同液、固体作用）。

对于1微米的激光，能在等离子体中传播的临界密度是1.1×1021cm-3，介于气体密度与固液密度之间。

激光脉宽的减小使得激光等离子体相互作用出现新的物理现象。

fs级别的脉宽，对稀薄等离子体可以通过直接的LWFA来加速电子。

超短超强激光驱动电子等离子体加速电子，可获得能量高达1GeV、电荷接近1 n c、方向性优良、能散度小的高性能电子束，从而在高能加速器、聚变物理、短脉冲高亮度X光源产生、实现小型化自由电子激光等领域都有重大的应用价值。

研究激光同等离子体如何作用及粒子加速的机制具有非常重要的意义与价值。

图1、激光强度在CPA技术突破后大幅增强首先，激光同等离子体作用的第一步是材料对激光的吸收，除了普通的逆轫致吸收和共振吸收，在高强度相对论激光还有很多吸收机制，比如真空加热，J×B加热，有质动力直接加速离子，鞘场加速等等，下面根据加速粒子不同逐一介绍各种加速机制1979年,Tajima和Dawson提出用强激光脉冲激发等离子体波来加速电子的机制，这就是直接激光尾场加速（LWFA）[1]，原理是超强超短激光脉冲在稀薄等离子体中传播时，纵向的非线性力——有质动力(F p=-q2▽a02/4mw2）将电子推开，共振激发出等离子体波（尾波场）。

面向EUV光源的实验流体力学研究进展

面向EUV光源的实验流体力学研究进展
邓巍巍;翟天琪;高立豪;许晟昊;赵新彦;刘艳初
【期刊名称】《力学进展》
【年(卷),期】2024(54)1
【摘要】EUV(极紫外)光源是EUV光刻机的核心部件,其原理是基于纳秒脉冲激光轰击锡液滴靶产生的等离子体辐射发光.EUV光源本质是一种流体光源,涉及丰富而复杂的流体力学基本问题,跨越从皮秒到毫秒的四个特征时间尺度.本文综述了面向EUV光源的实验流体力学研究进展.首先根据靶的类型,分别介绍了射流、液滴和液膜靶的生成与调控基本原理和技术路线.之后对三种靶与激光相互作用过程的特征
时刻与典型现象进行了梳理,重点放在各个特征时间尺度内激光轰击液滴靶的研究
进展,总结了不同参数激光脉冲轰击后靶的推进、变形和破碎规律.最后对EUV光源中值得重点关注的实验流体力学关键问题进行了总结和展望,提出改善激光等离子
体EUV光源稳定性、亮度和寿命需要从以下三方面持续开展研究:高频率、小直径、长间距液滴靶串的精准生成和调控,激光辐照产生等离子体的膨胀和辐射规律,以及
液滴靶变形破碎机理和碎屑抑制、收集及清洁技术.
【总页数】35页(P138-172)
【作者】邓巍巍;翟天琪;高立豪;许晟昊;赵新彦;刘艳初
【作者单位】南方科技大学力学与航空航天工程系
【正文语种】中文
【中图分类】O35
【相关文献】
1.Cymer推进EUV光刻光源
2.下一代光刻技术的EUV光源收集系统的发展
3.IMEC利用配备LA—DPP光源的EUV曝光装置成功曝光晶圆
4.“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统
5.晶方科技:公司未涉及EUV光源业务
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。

基于激光烧蚀的等离子体羽辉膨胀动力学机制研究

ＲｅｅｒｈｏａｍａＰｌｍｅＥｘｎｉｎＤｙｍｉｓＭｅｈｎｉｍｓａｃｎＰｌｓｕｐａｓｏｎａｃｃａｓＧｅｅａｅｌｅｓｒＡｂａｉｎｎｒｔｄｂｙＰｕｓｄＬａｅｌｔｏ
维普资讯
第２９卷第５期
２００７年ｌ月Ｏ
三峡大学学报（自然科学版ｎｅ）ｆＣｈｎｒｅＧｏｇｓＵｎｖ（ｔｒｌｅｃｓＳｃ
Ｖｏ．Ｏ１２９Ｎ．５０ｅ．２７ｔ００
ＡｂｔａｔＴｈｎａｃｘｐｎｓｏｅｈｎｉｍｓｆｒｐｌｓｕｍｅｇｎｅａｅｕｌｅａｅａｉｔｏｎａｅｓｕｄｓｒｃｅｄｙｍｉｓｅａｉｎｍｃａｓｏａｍａｐｌｅｒｔｄｂｙｐｓｄｌｓｒｒｄａｉｒｔ — ｉｄｉｔｉｃｓｄｅｉｇｗｈｅａｍａｉｉａｉｎｅｆｃ．Ｂａｅｈｅｃｓｄｒｔｏｆｌｃｌｃｎｓｒａｉｎｓｏｅｎｄｅａｌｏｎｉｒｎｎｐｌｓｏｎｚｔｏｆｅｔｓｄｏｎｔｏｎｉｅａｉｎｏｏａｏｅｖｔｏｆｍａｓａｄｍｏｍｅｔｓｎｎｕｍ，ｃｌｃｅｓｔｅａｓｍｐｉｎｔｔｐａｍａｃｎｂｉｗｅｓｃｍｐｅｓｂｌｄａｌｉｎｄｏｌｅｔｄａｈｓｕｔｏｈａｌｓａｅｖｅｄａｏｒｓｉｅｉｅｌｆｕｄａｈｇｅｉｈｔｍｐｅａｕｒ — ｇｈｐｒｓｕｅｉｅａｒｔｅｈｉｅｓｒｄａｌｇｓ，ｔｐａｅｎｕｂｒｄｎｉｙｎｄｐｅｓｅｅｏｖｅｅｔｏａｍａｉｙ— ｈｅｓｃｍｅｅｓｔａｒｓｕｒｖｌｍｎｆｐｌｓｎｃｌｒｃｌｃｒｉｔｒｂａｎｅｉｓｌｉｉａｏｏｄｎａｅａｅｏｔｉｄｆｒｔｙ．Ｕｎｄｒｔｏｒｉｔａｎｕｎｄｒｏｉｉｎｓ，ｔｗｙｎｍｉｓｎｄｅｈｅｐｒｐｅｎｉｉｌａｄｂｏａｙｃｎｄｔｏｈｅｎｅｄａｃｅｏｖｅｅｑａｉｎｓａｅｔｎｄｅｉｅ．Ｔｈｅｒｓｔｒｍｈｅｐｒｓｎｔｍｏｌｉｉａｅｔａｈｅｐａｍａｄｙａｃｖｌｍｎｔｅｕｔｏｒｈｅｒｖｄｅｕｌｓｆｏｔｅｅｄｅｎｄｃｔｈｔｔｌｓｎｍｉｅｐａｓｏｎｂｈａｏｒｃｎｂｖｄｎｌｎｌｎｃｄｂｙｔｏｎｚｔｏｅｒｅ叩，ｗｈｉｈｉｒａｅｈｅｅｐａｓｏｎａｃｌｘｎｉｅｖｉａｅｅｉｅｔｙｉｆｕｅｅｈｅｉｉａｉｎｄｇｅｃｎｃｅｓｓｔｘｎｉｃｅ — ｅａｉｎａｌｄｉｅｔｏｎ．ＴｈｅｐｌｓｌｃｔｅｎｔｅａｉｌａｒｎｓｒｅｄｒｃｉｓｔｈｅｔｒｅｌｈａｅｆｒｔｏｎｉｌｒｃｉｓａｍａｖｅｏｉｉｓｉｈｘａｎｄｔａｖｅｓｉｅｔｏｎＯｔａｇｔａｌｖｅｓｌ－ｓｍｉｒｔｖｏｖｍｅｔｃｒｃｅｉｔｃ．ｉｌｉｙｅｌｅｎｈａａｔｒｓｉｓａＫｅｗｏｄｐｕｌｅａｅ；ｙｒｓｓｄｌｓｒｐｌｓｌａｍａｐｕｍｅ；ｄｙｍａｃｖｖｍｅｔｍｉｓｅｏｌｅｎ

山东省人民政府关于2007年度山东省科学技术奖励的决定

山东省人民政府关于2007年度山东省科学技术奖励的决定文章属性•【制定机关】山东省人民政府•【公布日期】2008.04.19•【字号】鲁政发[2008]54号•【施行日期】2008.04.19•【效力等级】地方规范性文件•【时效性】现行有效•【主题分类】科技奖励正文山东省人民政府关于2007年度山东省科学技术奖励的决定（鲁政发〔2008〕54号）各市人民政府，各县（市、区）人民政府，省政府各部门、各直属机构，各大企业，各高等院校：为认真贯彻党的十七大精神，全面落实科学发展观，深入实施“科教兴鲁”和“人才强省”战略，鼓励科学技术创新，奖励在发展我省科学技术事业中作出突出贡献的单位和个人，根据《山东省科学技术奖励办法》，经山东省科学技术奖励委员会严格评审和省科技厅审核，省政府决定，授予山东省眼科研究所谢立信院士和山东省生物药物研究院凌沛学研究员2人2007年度山东省科学技术最高奖；授予山东师范大学满宝元等完成的“光电功能材料的制备、表征及其激光与之相互作用研究”等2项成果2007年度山东省自然科学奖一等奖，青岛科技大学张书圣等完成的“糖苷功能配合物的合成、表征及其与DNA作用机理的电化学研究”等6项成果2007年度山东省自然科学奖二等奖，青岛理工大学贺可强等完成的“滑塌型地质灾害非线性动力学参数与预测理论研究”等12项成果2007年度山东省自然科学奖三等奖；授予山东省医药生物技术研究中心韩金祥等完成的“脑脊液病原体抗体诊断芯片的研制”1项成果2007年度山东省技术发明奖一等奖，中国海洋大学战文斌等完成的“对虾白斑症病毒（WSSV）病的单克隆抗体检测诊断技术及其应用”等6项成果2007年度山东省技术发明奖二等奖，山东农业大学柴同杰等完成的“魏氏梭菌类毒素疫苗与抗毒素血清制备研究”等4项成果2007年度山东省技术发明奖三等奖；授予山东省农业科学院等单位完成的“优质高产广适强筋小麦新品种济麦20号的选育与应用”等30项成果2007年度山东省科技进步奖一等奖（含2项其他项目），山东棉花研究中心等单位完成的“抗虫棉新品种鲁棉研16号、17号、22号、23号选育与配套生产技术”等117项成果2007年度山东省科技进步奖二等奖（含2项其他项目），潍坊市农业科学院完成的“高产优质抗病花生新品种潍花6号的选育与推广”等320项成果2007年度山东省科技进步奖三等奖（含3项其他项目）；授予日本东京工业大学水流徹教授和日本农林水产交流协会福岛分会末永武雄会长2人2007年度山东省国际科学技术合作奖。

脉冲激光烧蚀金属的动力学研究进展

脉冲激光烧蚀金属的动力学研究进展【摘要】简要评述了激光烧蚀金属过程中的等离子体羽、烧蚀材料蒸汽、温度场方面的实验和理论模型研究进展。

报道了激光能量密度（或者功率密度）、脉宽等参数对等离子体、烧蚀蒸汽动力学过程影响的实验和理论结果。

【关键词】脉冲激光；金属烧蚀；等离子体；温度；物理模型Research Progress Dynamics of Metal Ablation under Pulse LaserCHENG He-ping1,2XU Yuan1WEI Rong-hui3ZHENG Li1XIE Guo-qiu1（1.School of Information and Engineering, Huangshan University,Huangshan Anhui，245041,China;2.Henan Key Laboratory of Advanced Non-ferrous Metals,Henan University of Science and Technology,Luoyang Henan,471003,China;3.School of Physics and Engineering, Henan University of Science and Technology,Luoyang Henan,471003,China）【Abstract】The progress of experiments and models about plasma plume, vapor and temperature field of metal ablation under pulse laser were reviewed. The theoretical and experimental results of dynamics of plasma and metallic vapor induced by pulse laser with different parameters such as fluence (or power density), pulse width etc. were reported.【Key words】Pulse ｌaser;Metal ａblation;Plasma;Temperature;Models０引言激光自发明以来的半个世纪左右时间里，在功率、能量、脉宽等参数品质上都有快速提高，现在已经开发出品种繁复的各类型激光器广泛用于科学研究、工业加工、医学治疗等领域。

激光等离子体相互作用产生的非线性力——有质动力

1.2 相对论下的有质动力式当激光强度超过 1018W/cm2 时，需要考虑相对论效应，进行相对论修正。将场强 E 和磁场强度 B 用电矢量 A 来表示，采用 ∂ A ∂A y 洛伦兹规范，有 E = - ∂A 和 B = -∇ ˑ A =(0, - Z , ) 。此时，电 ∂t ∂x ∂x 子在光场中的受力方程可以简写为： ∂ p p e ∂A e p +( ㊃∇) p = ㊃ ˑ∇ˑ A c ∂t c γ ∂x γ 对于非线性有质动力项（二阶及以上项），可得到： ep p Fp = ˑ(∇ ˑ A) ˑ ∇p cγm γm 结合一阶项结果 p = A , γ = 1 + p2 和数学关系式 1 ∇p2 = p㊃∇p + p ˑ(∇ ˑ p) ,化简可得： 2 F p = - mc2 ∇γ
ω2 E2 pe ㊃∇ L [1 - cos(2ω L t)] 2 ω L 16π ω2 E2 pe 该式求平均后为： < F p > t = 2 ㊃∇ L 。 ω L 16π Fp = -
1 ，可以采用单粒子理论、流体理论和动力学理论等，我们在下文中通过流体力学理论推导有质动力的表达式。 1.1 非相对论下的有质动力式在激光等离子体中，光波电场压力的变化能产生有质动力，有质动力引起电子密度变化，会带来密度的涨落，进而自洽的产生离子密度的涨落。对于一个空间分布不均匀的高频光场，假定其电场表达式为： E = E L ( x)㊃ cos ω L t 。将等离子中的电子和离子当作两种流体处理，由于离子质
2 结语
——有质动力
张子昊(驻马店市高级中学,河南驻马店 463000)

1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。

屑的产生，但是又在一定程度上限制了转换效率的提高［３］。外加磁场的方法，可以使等离子体中的带电粒子发生偏转，
可以用来控制部分碎屑，但是并不能阻挡其中的中性粒
限。增大数值孔径虽然可以提高分辨率，但是提高数值孔径
第３５卷，第ｌ期
２０１５年１月
光
谱
学
与
光
谱
分
析
Ｖｏ１．３５。Ｎｏ．１，ｐｐ４４ — ４７
ＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙａｎｄＳｐｅｃｔｒａｌＡｎａｌｙｓｉｓ
Ｊａｎｕａｒｙ，２０１５
双脉冲激光锡等离子体光源的碎屑动力学研究
刘超智，窦银萍，张龙，孙长凯，郝作强，林景全
长春理工大学理学院，吉林长春１３００２２
摘
要
极紫外光刻是下一代大容量集成电路制造中最有发展前景的技术之一，而碎屑的减缓及阻挡一直
１３．５ｎＩｎＥＵＶ光源的首选靶材。
引言
在集成电路制作技术中，光刻技术是电路生产制造中最为关键的技术，光学投影光刻技术系统中，光刻分辨率可以表示为Ｒ—ｋ／ＮＡ，其中忌为工艺因子，为曝光波长，ＮＡ为数值孔径。从这个式子可以看出，可以通过减小工艺因子，减小曝光波长和增大数值孔径三个主要途径来提高光刻分辨率。但是，当工艺因子降低到０．２５时已经到达物理极
延迟，主脉冲激光入射到这个预等离子体上，大部分主脉冲
能量会沉积其中，加热预等离子并与预等离子体相互作用，当预等离子体被加热到合适的等离子电子温度时，就会产生
是极紫外光刻光源研究中亟需解决的关键问题。研究了双纳秒激光脉冲辐照锡靶产生的等离子体碎屑的动力学演化。结果表明，等离子体碎屑强烈依赖于预脉冲的能量及其与主脉冲的时间延迟，当预脉冲能量为
３０ｎＵ，双脉冲时间间隔１５０Ｉ１８情况下，大部分锡离子的能量从２．４７ｋｅＶ降低到０．４０ｋｅＶ，降低了６．１倍，
然而，激光烧蚀产生的等离子体碎屑会对ＥＵＶ收集镜
产生刻蚀和沉积，使其反射率迅速下降。因此，如何减缓碎屑是激光等离子体光源中必须要解决的关键问题。目前，主要采用质量限制靶材、外加磁场、外加缓冲气体等方法来减
缓碎屑。这些方法各有特点，质量限制靶材可以有效减少碎
会急剧降低聚焦深度，对实际生产造成不便。因此，降低曝光波长成为当前主流的研究方向，极紫外光刻也就顺理成章成为下一代大容量集成电路制造中最有体阻挡光源碎屑Ｉ是普遍采用的方法之
一
。
国际上很多研究机构都正在开展更短波长的光刻研究，
主要包括１５７ｉｌｍ波长，极紫外光（ＥＵＶ），Ｘ射线以及更短的电子和离子束ｌ１］。目前，以世界上最大的光刻机生产商～
荷兰ＡＳＭＩ公司为代表的公司和研究机构大力研究发展以
碎屑得到了有效抑制。通过对碎屑动能角分布的测量，发现此方法可以有效减缓全角度范围的激光锡等离子体碎屑，并且越接近靶材法线方向，碎屑的动能减少得越多。
关键词等离子体碎屑；激光等离子体；双脉冲
中图分类号：０５３９文献标识码：ＡＤＯＩ：１０．３９６４／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００ — ０５９３（２０１５）０１ — ００４４ — ０４
，
加入缓冲气体的多少需要掌握一个平衡，过多的话会对
ＥｕＶ辐射存在较强的吸收，过少的话就不能达到碎屑抑制的效果，并且缓冲气体不能阻止大尺寸的碎屑，这是因为气体阻挡碎屑的实质是气体分子与碎屑粒子的碰撞，大尺寸碎屑的动能较大，气体分子对其作用十分有限。因此，我们需要采用一种既能保证一定的转换效率，同时又能减缓碎屑的方法。使用双脉冲激光辐照靶材产生等离子体ＥＵＶ辐射就
１３．５ｒｉｍ波长的极紫外辐射光（ＥＵＶ）为光源的光刻。极紫外
光刻光源中，由激光与一些靶材相互作用产生的等离子体ＥｕＶ辐射因具有转化效率高、碎屑可控制、光源尺寸小、稳定、清洁等特点而被广泛认可。目前，锡、氙气和锂等靶材可提供１３．５ｎｍ极紫外辐射光，其中，锡离子的ｓｓｎ “ 跃迁可产生转换效率达３的ＥＵＶ辐射ｌ２，因此，锡成为
收稿日期：２０１３－０８ — ２７，修订日期：２０１３ — １１－２２
是其中一个有效的方法。在主激光脉冲达到靶材之前，使用
一
个预脉冲激光辐照靶材表面，从而在靶材表面形成一个低
密度并且密度分布较平滑的预等离子体，然后经过一定时间