ITO资料
TCO薄膜简介
TCO薄膜简介透明导电氧化物(transparentconductiveoxide简称TCO)薄膜主要包括In、Sb、Zn 和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料，具有禁带宽、可见光谱区光透射率高和电阻率低等共同光电特性，广泛地应用于太阳能电池、平面显示、特殊功能窗口涂层及其他光电器件领域。
透明导电薄膜以掺锡氧化铟(tindopedindiumoxide简称ITO)为代表，研究与应用较为广泛、成熟，在美日等国已产业化生产。
近年来ZnO薄膜的研究也不断深入，掺铝的ZnO薄膜(简称AZO)被认为是最有发展潜力的材料之一。
同时，人们还开发了Zn2SnO4、In4Sn3O12、MgIn2O4、CdIn2O4等多元透明氧化物薄膜材料。
TCO薄膜的制备工艺以磁控溅射法最为成熟，为进一步改善薄膜性质，各种高新技术不断被引入，制备工艺日趋多样化。
本文综述以ITO和AZO为代表的TCO薄膜的研究进展及应用前景。
一、TCO薄膜的发展TCO薄膜最早出现于20世纪初，1907年Badeker首次制成了CdO透明导电薄膜，引起了人们的较大兴趣。
但是，直到第二次世界大战，由于军事上的需要，TCO薄膜才得到广泛的重视和应用。
1950年前后出现了SnO2基和In2O3基薄膜。
ZnO基薄膜兴起于20世纪80年代。
相当长一段时间，这几种材料在TCO薄膜中占据了统治地位。
直到上世纪90年代中期，才有新的TCO薄膜出现，开发出了多元TCO薄膜、聚合物基体TCO薄膜、高迁移率TCO薄膜以及P型TCO薄膜。
而SnO2基和In2O3基材料也通过掺加新的元素而被制成了高质量TCO薄膜。
最近，据媒体报导，美国俄勒冈大学研究人员对TCO材料的研究取得重大突破，他们研制出一种便宜、可靠且对环境无害的透明导电薄膜材料。
该材料可用于制作透明晶体管，用来制造非常便宜的一次性电子产品、大型平面显示器和可折叠又方便携带的电器。
科学家称，这项研究成果将引导新产业和消费领域的发展。
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(2) 下线玻璃
3、薄膜对薄膜对承托板结 构（F+F+承托板）
（1）上线薄膜 （2）下线薄膜 （3）键片 （4）引出线 （5）透明胶 （6）承托板
4、电容式结构
(1) (2)
a、纯玻璃电容式
(1) 玻璃 (2) 引出线
b、薄膜电容式
(4) (2) (1) (5) (3)
(5)
(4)
(5)
(1) 上线薄膜 (3) 静电保护膜 (5) 引出线
GLASS流程
GLASS---清洗---印耐酸---蚀刻---印银 胶(碳胶)---透明油(有的不印)--绝缘----绝缘点-----粘以及PET流程
FPC 单面版印刷导电胶--补强--下料 双 面版印刷贯孔银胶---印导电胶---补强--下料 PET (有的穿刺)--印刷银胶---绝缘--碳 胶—贴MYLAR---印刷贯孔银胶---印导 电胶---补强---下料
1）薄膜对薄膜结构 2）薄膜对玻璃结构：
ITO_GLASS的规格书
标准编号: WL200203
修订日期：2008/12/30
南玻集团股份有限公司
触摸屏用ITO透明导电玻璃质量标准
1.0 总则 1.1 本标准规定了南玻生产的触摸屏用 ITO 透明导电玻璃(简称TP 产品)的质
量特性。 1.2 本标准适用于南玻TP 产品生产过程中的质量控制和售后服务过程中的质量保证。
编号
玻璃类型
标准要求
1 普通玻璃
≤0.10%
2 钢化玻璃
≤0.3%
注：翘曲度＝翘曲量/Max（长、宽）。
检验工具 塞规 塞规
2.5 膜层质量性能 2.5.1 Na+阻挡层膜层质量要求
5
南玻集团股份有限公司
标准编号: WL200203
修订日期：2009/03/30
编号
项目
标准要求
检验工具
1
膜厚
≥200Å
1.0%
表观质量
1.0%
翘曲度
N=5 R=1
应力值
N=5 R=1
交换深度
N=5 R=1
落球实验
N=5 R=1
膜厚
N=5 R=1
透过率
N=5 R=1
面电阻
1.0%
膜层稳定性能
N=5 R=1
检验水平 S3 S3 R/A R/A R/A R/A R/A R/A S3 R/A
4.0 包装与标识
4.1 玻璃间夹以隔纸，以避免玻璃相对滑动而造成划伤。 4.2 通常情况下，每小包玻璃为20片玻璃，每3小包装入一纸箱，纸箱再装入大木箱；且每
≤16%（单片） ≤8%(镀膜前进方向)
TPXHI400 TPTHI400
120±30Å
ITO薄膜
实习（调研）报告一、 ITO薄膜的性能氧化铟锡（ITO）薄膜是一种重参杂、高简并n型半导体氧化物薄膜，由于其具有低电阻率、抗擦伤、良好的化学稳定等优点[9]，已经广泛应用于平板显示器、太阳能电池、汽车挡风玻璃以及电子屏蔽等诸多领域。
是按照质量比为的比例为In2O3：SnO2=9:1的比例,在氧化铟中掺杂氧化锡,并采用一定的热处理工艺得到的一种超细粉体材料。
该材料是一种型宽禁带半导体, 禁带宽度Eg=3.5eV, 禁带宽度值对应的波数为2.8×104cm-1,波长为365nm,已经在紫外线的范围内。
用其制作的薄膜仃膜对可见光的透过率超过90%,对紫外线的吸收率大于85%,对红外线反射率大于70%。
其晶体结构属于立方铁锰矿结构【1】。
二、 ITO薄膜的应用IT O 薄膜具有优良的光电性能,对可见光的透过率达95%以上,对红外光的反射率70%,对紫外线的吸收率≥85%,对微波的衰减率≥85%,导电性和加工性能极好,硬度高且耐磨耐蚀,因而在工业上应用广泛,在高技术领域中起着重要作用。
主要用途有:2. 1用于平面显示ITO薄膜的透明导电性及其良好的电极加工性能,所以它作为液晶显示器用的透明电极获得高速发展,约占功能膜的50%以上,例如液晶显示(LCD)、电致发光显示( ELD)、电致彩电显示(ECD)等。
目前,在各类显示器中,LCD的产值仅次于显像管(CRT)。
随着液晶显示器件的大面积化、高等级化和彩色化,LCD将超过CRT 成为显示器件中的主流产品。
因而ITO 薄膜主要用于高清晰度的大型彩电、计算器、计算机显示器、液晶和电子发光屏幕等。
2. 2用于交通工具风挡ITO 薄膜能除雾防霜,是一种典型的透明表面发热体,可以用作汽车、火车、电车、飞机等交通工具的风挡,用于陈列窗、溜冰眼镜、双引自行战车及医疗喉镜。
还可以用作烹调用加热板的发热体,也可以用于炉门、冷冻食品的显示器及低压钠灯等。
2. 3用于太阳能方面ITO 薄膜用于异质结SIS太阳能电池顶部氧化物层,可以得到高的能量转换效/P-Si太阳能电池可以产生13%～16%的转换效率。
ito导电玻璃简介以及基础知识.doc
TTO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化锢锡（俗称ITO）膜加工制作成的。
液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离了向盒内液晶里扩散。
高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。
液晶显不器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。
因此, 最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。
在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。
一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象; 右•些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。
ITO导电层的特性：ITO膜层的主要成份是氧化锢锡。
在厚度只有儿千埃的情况下，氧化锢透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。
由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”, 因此在存放时要防潮。
ITO层在活性正价离了溶液中易产生离了置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离了溶液中。
ITO层由很多细小的品粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高, 电阻也增大。
ITO导电玻璃的分类:ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150〜500奥姆）、普通玻璃（电阻在60〜150 奥姆）、低电阻玻璃（电阻小于60奥姆）。
高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用; 普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃•般用于STN液晶显示器和透明线路板。
ITO特性及其相关
ITO基础知识讲解液晶显示器现已成为技术密集，资金密集型高新技术产业，透明导电玻璃则是LCD的三大主要材料之一。
液晶显示器之所以能显示特定的图形，就是利用导电玻璃上的透明导电电膜，经蚀刻制成特定形状的电极，上下导电玻璃制成液晶盒后，在这些电极上加适当电压信号，使具有偶极矩的液晶分子在电场作用下特定的方面排列，仅而显示出与电极波长相对应的图形。
在氧化物导电膜中，以掺Sn的In2O3（ITO）膜的透过率最高和导电性能最好，而且容易在酸液中蚀刻出微细的图形。
其透过率已达90%以上，ITO中其透过率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之比例来控制，通常SnO：In2O3=1：9。
ITO是一种N型氧化物半导体-氧化铟锡，ITO薄膜即铟锡氧化物半导体透明导电膜，通常有两回事个主要的性能指针：电阻率和光透过率。
目前ITO膜层之电阻率一般在5*10-4左右，最好可达5*10-5，已接近金属的电阻率，在实际应用时，常以方块电阻来表征ITO的导电性能，其透过率则可达90%以上，ITO膜之透过率和阻值分别由In2O3与Sn2O之比例控制，增加氧化锢比例则可提高ITO之透过率，通常Sn2O3： In2O3=1：9，因为氧化锡之厚度超过200Å时，通常透明度已不够好---虽然导电性能很好。
如用是电流平行流经ITO脱层的情形，其中d为膜厚，I为电流，L1为在电流方向上膜厚层长度，L2为在垂直于电流方向上的膜层长主，当电流流过方形导电膜时，该层电阻R=PL1/dL2式中P为导电膜之电阻率，对于给定膜层，P和d可视为定值，P/d，当L1=L2时，怒火正方形膜层，无论方块大小如何，其电阻均为定值P/d，此即方块电阻定义：R□=P/d，式中R□单位为：奥姆/□（Ω/□），由此可所出方块电阻与IOT膜层电阻率P和ITO膜厚d有关且ITO膜阻值越低，膜厚越大。
目前在高档STN液晶显示屏中所用ITO玻璃，其R□可达10Ω/□左右，膜厚为100-200um，而一般低档TN产品的ITO玻璃R□为100-300Ω/□，膜厚为20-30um。
ito中sn的作用
ito中sn的作用
ITO中SN的作用是指示物件的名称。
SN是Serial Number的缩写，也被称为序列号，是对物件进行唯一标识的编号。
在ITO（Information Technology Outsourcing）中，SN被用于标识外包服务中的各种设备、组件、软件等。
通过给每个物件分配一个唯一的SN，可以方便地追踪和管理这些物件，进行资产管理、维修和替换等操作。
此外，SN还可以用于识别和追踪设备的质量、性能和使用情况，以便进行维护和监控。
在其他领域，如制造业、电子产品、汽车等，SN也有重要作用。
通过序列号可以追踪产品的生产批次、制造日期、供应链信息等，有助于管理和追踪产品的质量和溯源。
总而言之，ITO中SN的作用是为物件提供唯一标识，方便管理、追踪和识别物件的各种信息和属性。
中国各大快递公司资料一览表
中国各大快递公司资料一览表公司名称注册资本网点数量总部地点收发件量创立时间美国 9600万件 （月）1971年FedEx200亿美元 全球UPS366亿美元 全球200个国家美国加州 42300万件（月）1907年美国加州 16200万件 （年1969年DHL60亿美元 全球TNT全球1000家子公司荷兰 阿姆斯特丹1946年AAE（美亚）国内20家分公司美国1998年中外运—DHL国内50家分公司北京1986年中外运—OCS北京1996年1985年EMS410亿 国际200个国家 国内2000个城市北京20000万件 （年估中外运265亿 国内40家子公司 国际8个代表处北京1950年中铁 4.66亿国内200个城市北京1993年民航国内287个网点北京1996年嘉里大通国内100家分公司北京1985年1994年宅急送2亿（总资产国内300个网点北京280万件 （月百福东方国内50个分子机构北京1993年小红马国内50个加盟站点北京安信达国内20家分公司北京1999年时代凤凰北京5万件（月）2000年大田 2.13亿 国内100家分公司天津1992年申通全球400个投递点上海600万件 （月）天天国内300个网点上海1994年圆通国内500个投递点上海2000年国内300个网点上海2002年中通几千万（总资全球500个投递点上海300万件（月）2003年中诚 700万（估1988年U-LINK(飞杨103万(广州公上海35万件（月）（广州服务网点300个 代理网点100个1999年韵达国内300个网点上海100—200万件（月）经纬国内400个加盟站点上海50—100万件 （月）2003年汇通国内250个网点上海50—100万件 （月国内236个网点上海1994年东方1000万（估计华航国内10家分公司上海40万件（月）1988年2003年 ITO(一统)国内250个网点上海35万件（月）（广州全一国内170个网点上海30万件（月）2000年ETS（一通）国内100个网点上海15万件（月）1995年配思上海10万件（月）玖亿国内4家分公司上海1997年金驰国内50个网点上海4万件（月）（广州地区）快捷国内113个网点广州50万件（月）1995年能达国内60家分公司广州40万件（月）CYL（长宇）国内150家分公司广州30万件（月）新邦省外35个代理网点省内14个营业部广州30万件（月）2003年全日通广东60个网点广州30万件（月）1993年东亚天地广州18万件（月）(盈飞)柯莱国内60个网点广州12万件（月）穗之城广州10万件（月）好来运100万国内20家分公司广州5万件（月）1992年5万件（月）（广州地区）鹰先生广州 北京三通广州3万件（月）新时速广州3万件（月）兰天国内6个分拨中心广州1万件（月）红白蓝广州1996年1993年顺丰12亿 （营业收入）深圳270万件（月）（华南快马国内150个城市深圳40万件（月）1997年1995年京品深圳6个分部深圳30—50万件 （月飞马深圳DDS(勤诚)国内100个网点深圳25万件（月）EDS（宜运达）深圳12万件（月）1998年1991年原飞航1100万国内20家分公司深圳10—20万件（月估计奇速深圳10万件（月）深圳10万件（月）1990年京广省内50个网点 省外30个网点联邮500万广东4个办事处深圳3万件（月）2000年超联500万国内15家分公司深圳3万件（月）天地捷运国内236个网点深圳1万件（月）2005年深港深圳宏辉运100万深圳2004年龙邦1000万国内300个网点东莞100万件（月）2002年联通广东50个网点东莞50万件（月）环球东莞30万件（月）天地国内130个网点东莞2002年中运广东80个网点东莞阳光国内70个规范站点东莞20万件（月）2002年运通（中港）广东80个网点东莞20万件（月）1995年加运美东莞20万件（月）现代东莞20万件（月）顺通东莞18万件（月）超顺200万（估计国内300个网点东莞15万件（月）2002年华之速国内203家分公司东莞12万件（月）友邦东莞10万件（月）早晨广东30个网点中山1996年粤航运通汕头2万件（月）联捷(中环)700万（估计国内200个网点惠州140万件（月）1998年彪记国际10个国家 国内100个网点台湾1990年1983年国内60个网点台湾10—20万件（月估计飞捷3000万（估计亚风国内74家分公司台湾25万件（月）1990年捷特台湾USE（宇翔）国内30个直属网点台湾4万件（月）1986年越丰国内100个网点香港50万件（月）1998年香港全速省内2家附属公司 省外6家合作伙伴1995年ZMS(威鹏达)1000万（估计）香港5万件（月）（中山地金景广东60个网点香港12万件（月）伟丰香港2万件（月）（广州地区）远见河北石家庄7万件（月）DPEX国内16家分公司 国际25个国家公司荣誉运输工具情况世界五大671架飞机 4万1千辆车辆世界五大268架飞机 8万8千辆车辆 世界五大254架飞机 1万6千辆车辆世界五大43架飞机 2万辆货车中国快递网推荐企业DHL世界五大OCS世界五大10000辆车辆4694辆车辆 60艘船舶中国最大国际货代企业、最大快递企中国十大1000辆车辆中国十大中国十大中国快递网推荐企业1500辆车辆中国快递网推荐企业北京最大的同城快递企业中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业中国十大1500辆车辆中国发件量最大民营快递2000辆车辆中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业4000辆车辆（估计）中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业1000辆车辆110辆车辆400辆车辆中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业台湾启良合作200辆车辆80辆车辆2004年南航优秀代理人金奖50辆车辆60辆网络配送车 500辆摩托车50辆车辆2003年南航优秀代理人银奖中国营业额最大民营快递中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业478辆车辆200辆车辆80辆车辆中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业1998年成立香港太平洋快递200辆车辆150辆车辆中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业500辆车辆中国快递网推荐企业中国快递网推荐企业美国天豪加盟中国快递网推荐企业。
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透明導電薄膜主角-- ITO
ITO
TCO
Indium Tin Oxide ITO
(heat reflecting mirror) 75%
(Tin-doped Indium Oxide)
流主的程製上場市為成 鍍 濺控磁，主為料材 以用應性電導明透的要主，代年 用應被泛廣 始開料材 式各，易容趨更制控之程製積沉使， 鍍濺 控磁 用使，發開材靶瓷陶 之性電導有具，代年 膜薄 性 透高、值阻面低到達能均板基膠塑及璃玻在論不，程製膜沉 溫低使，發開﹚ ﹙鍍濺控磁 ，代年 及 積沉式方 及 以，代年 上板基璃 玻於 積沉式方 及 以，代年 在用應，膜鍍電導明透為料材 用使早最年
(mOhm cm)
SnO2
(%)
透 光 度 度濃
@550 nm (%)
電 阻 比
ITO之組成及特性 ITO之組成及特性
ITO 組成在 In2O3/SnO2 = 90/10時 最快的蝕刻速率
Etching Rate (µ/min)
Etching Rate (µ/min)
SnO2
(%)
SnO2
ITO
200ºC
1970 ITO. 1907 CdO photovoltaic cells. 1990 ITO 1980 1940 2000 ITO ITO . . .
History of TCO
Evaporation
Spray Pyrolysis
magnetron sputtering
TCO
.
Sputtering
一般而言，導電性提高，透光度便下降，反之亦然。可見 光範圍具有 80 % 以上的透光率，其比電阻低於 1×10-4 Ωּ cm，即是良好透明導電膜。
087 rC lA tP uC gA uA
086
)mn(htgnelevaW 085 084
均，膜薄的度厚
差性定穩、低度硬、大度收吸的光：點缺 極電明透之用使期早 度光透光見可的度程種某有 在， 、 、 、 、 、 、 、
2×10-4 ohm-cm 10 ohm/ 2 ×10-5 cm (2000 Å)
OTI
gA 087 086 )mn(htgnelevaW 085 084 083
09 88 68 T% 48 28 08
魚與熊掌不可兼得
γ = ρ/D
ITO薄膜的導電性要好 (面電阻低) ，膜厚要增大， 因此薄膜的穿透度會降低
ITO
：度溫板基時膜成
度濃
(%)
：度溫板基時膜成
度濃
RT
U S $ K/ g
002 004 006
M ar Ja 02' M n0 ar 3 ' ch M 03' ay Ju 03' l Se y 03 pt ' . N 03' ov 0 Ja 3' M n0 ar 4 ' ch M 04 ay ' Ju 04' l Se y 04 pt ' . N 04' ov 0 Ja 4' M n0 ar 5 ' ch M 05 ay ' Ju 05' ly Se 05 pt ' . N 05' ov Ja 05' n 06 '
n e
EELS for ITO
量質效有導傳： 數係電介的中空真： 量電的子載： 度濃子載： ，中其
εo
m*
載子濃度 n 增加， ω 變大，光吸收 範圍向可見光擴 展
摻雜物(載子)密度對透光度的影響
AZO (antimony doped tindioxide) Sb SnO2
Transmittance
Au
純金屬薄膜
Ag
18Å thickness
083 06 07 08 %T 09 001
Pt
透明導電薄膜
Cu
Al
Cr P d
Rh
< 10nm
透明導電薄膜
金屬化合物薄膜 (TCO)
泛指具有透明導電性之氧化物、氮化物、氟化物 a. 氧(氮)化物：In2O3、SnO2、ZnO、CdO TiN b. 摻雜氧化物：In2O3:Sn (ITO)、ZnO:In (IZO)、 ZnO:Ga (GZO)、ZnO:Al (AZO)、 SnO2:F TiO2:Ta c. 混合氧化物：In2O3-ZnO、CdIn2O4、Cd2SnO4、 Zn2SnO4
ITO 面阻值(γ) 之量測方式 之量測
四點探針：
ITO 面阻值(γ) 之量測 式 ITO 薄膜厚度(D) 之量測方式
α-Step 膜厚量測儀示意圖：
ITO
板基璃玻
膜薄
針探
TCO薄膜的導電
• 比較ITO及銀薄膜的面電阻及穿透度
ITO ρ γ = ρ/D D = ρ/γ
29
Ag 1.8×10-6 ohm-cm 10 ohm/ 1.8 ×10-7 cm (18 Å)
(a) Amorphous –ITO (b) Crystallized-ITO
TCO薄膜的導電原理
材料之導電率 σ σ = neµ
﹚
TCO ~1019 cm-3
的子載： 量電的子載： 洞電及子電 括包料材 就 度濃子載 中其
n= e µ ( TCO ) mobility
約度濃子載屬金﹙ 約度濃子載， 的好最性電導中
2. 3. 3.
性化耐其高提來 中料材系 於 、 加添以常通， 差 比性化耐 易容制控程製，膜成下境環 在可材靶 分部 宜便 比格價 大能產產礦
特點：1. ZnO
ITO
(> 200% cost saving) 100% Ar
AZO
ITO
、 法積沉射雷衝脈 Ω 、法 壓減 Ω 、 法積沉射雷衝脈 Ω Ω
數常電介之中空真： 量質效有的子載：
m*
間時的射散次一下到射散次此由時動移子載
τ：relaxation time (
)
TCO薄膜的導電原理 TCO薄膜的導電原理
Rs = ρ × (L/D·W) ohms Rs = γ × (L/W)
阻電之面表膜薄為義定 被 阻電面，常通 。性電導的體導體於別有性電導的膜薄的討探中器示顯面平
ITO導電玻璃及相關透 明導電膜之原理及應用
Outline
1. ITO及各種透明導電氧化物材料的介紹
透明導電氧化物 (Transparent Conductive Oxide, TCO)
2. TCO的導電原理 3. TCO的光學性質 4. TCO薄膜之品質控制 5. TCO 薄膜之市場應用及未來發展
-cm) -cm , ) -cm, MOCVD ) -cm, ) Cr Co ZnO
主要成員：ZnO
(3~5 ×10-4
添加 Cr於AZO之效應
率速刻蝕了低 降也對相但，性鹼 酸抗高提
AZO:Cr
ITO Patterning (Photo-etching)
By acid solution
By base solution
Section 1
1.
ITO及各種透明導電氧化物材料的介 紹
2. TCO 3. TCO 4. TCO
5. TCO
展發來未及用應場市之膜薄 制控質品之膜薄 質性學光的 理原電導的
什麼是透明導電薄膜? 什麼是透明導電薄膜
在可見光波長範圍內具有可接受之透光度 以flat panel display 而言 透光度愈高愈好 以solar cell 而言 太陽光全波長範圍之透光度及熱穩 定性 具有導電特性 電阻比 (resistivity) 愈小愈好，通常ρ <10-4 Ωּcm
Section 3
1. ITO
2. TCO
3. TCO的光學性質
4. TCO 5. TCO
理原電導的 紹介的料材物化氧電導明透種各及 展發來未及用應場市之膜薄 制控質品之膜薄
長波的 定決率頻漿電由
plasma frequence)
定決
定決
， ω 率頻漿電由：圍範光透的長波長在 隙能由：圍範光透的長波短在
各種TCO材料 -各種TCO材料 -ZnO系透明導電膜
• 主要應用：
太陽電池、顯示器透明電極、觸控面板、表面聲波用之 壓電基板、防電磁波干擾屏蔽、熱輻射屏蔽(Low-E)、 抗靜電膜、除霧發熱膜 ….等
IZO組成對電阻比之影響
Resistivity ρ (Ω.cm)
ZnO/(In2O3+ZnO) ratio
、
、
。上置裝電光 及學光、子電等 鏡射反熱 及佈塗光反防、極電明透之池電能陽太、膜護防 波磁電、膜電靜抗、件元熱加明透、器示顯面平：用應要主 器示顯面平在用應 ，中料材 在：率用選 本日： 國造製膜薄 大最界世 來出成合早最司公礦銦國美被年 ：代年 物化氧銦之錫雜摻：分成 ） （ ：名全文英 物化氧錫銦：稱名文中
Wavelength
射散的光成造 ，出析 Ω × 小最率阻電
中
在雜摻
Sb
3.98 10-3 Sb2O5
-cm
電阻比 = 面阻值 x 膜厚
(ρ = γ x D)
低面阻值ITO玻璃鍍膜，電阻比越低越好 考慮高穿透率，膜厚的設計必須避免建設性的干涉， 所以nd=(2m+1) λ/4，m=1,2,3,4….。
87 08 T r a 28 n s 48 p a r e 68 n t ( 88 % ) 5 09 5 0 n 29 m 49
ITO的光學性質
3 00
2 07
2 04
2 01
ssenkciht OTI
1 08
1 05
1 02
09
06
03
0
Section 4