第3章电感式传感器

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第03章电感式传感器

第03章电感式传感器

双T电桥电路
脉冲调制电路
组成=转子+定子(如图)
长感应同步器示意图 a)定尺 b)转尺
圆感应同步器示意图 a)定子 b)转子
感应同步器的优点
①具有较高的精度与分辨力。 ②抗干扰能力强。 ③使用寿命长,维护简单。 ④可以作长距离位移测量。 ⑤工艺性好,成本较低,便于复制和成批生产。
由于感应同步器具有上述优点,长感应同步器目前被广泛地应用于 大位移静态与动态测量中 ;圆感应同步器则被广泛地用于机床和仪器的 转台以及各种回转伺服控制系统中。
• 图为典型的角位移型电容式传感器 当动板有一转角时,与定板之间相互覆盖的面积
就发生变化,因而导致电容量变化。
4.2.2 变面积型电容式传感器
+ + +
4.2.2 变面积型电容式传感器
• 线位移型电容式传 感器
• 平面线位移型和圆 柱线位移型两种。
4.2.3 变介电常数型电容传感器
• 变介电常数型电容传感器的结构原理如图 所示
0
(4-3)
4.2.1 极距式电容传感器
由式(4-3)可知, 传感器的输出特性C = f (δ)
不是线性关系,而是双曲线关系
此时C1与Δδ近似呈线性关系, 所以变极距型电
容式感器只有在Δδ / δ0很小时, 才有近似的线 性输出
4.2.1 极距式电容传感器
另外, 由式(4 - 3)可以看出, 在δ0较小时, 对 于同样的Δδ变化所引起的ΔC可以增大, 从而使传
4.2.1 极距式电容传感器
一般变极板间距离电容式传感器
• 起始电容在 20~100pF之间, • 极板间距离在25~200μm的范围内, • 最大位移应小于间距的1/10,

第三章 电感式传感器 1教材

第三章 电感式传感器 1教材

非线性误差? 灵敏度?
动铁芯处于初始位置时
L0
W
20S0
2l0
动铁芯的移动使气隙改变 l 后
L W 20S0
2(l0 l)
L
L
L0
W 20S0
2(l0 l)
W
20S0
2l0
W
20S0
2l0
l0
l0 l
1
L0 1
1
l
/
l0
1
1.2 特性分析
L
L0
1
1
l
/
l0
1
l
/l
1时,泰勒级数展开 1
l l0
1
l l0
l l0
2
l l0
3
......
气隙型传感器的灵敏度为 提高灵敏度方法:
S
L l
L0 l0
1
l l0
l l0
2
l l0
3
......
➢初始空气隙距离尽量小 被测量的范围也变小(适合于测量微小位移),同 时,灵敏度的非线性也将增加。
➢增加初始电感值
Rm
n i1
li
i Si
2l0
0S0
2l0
0S0
li Si i:分别为铁芯中磁通路上第i段的长度、横截面积及磁导率
l0
S0
:分别为空气隙的长度、横截面积及磁导率。
0
L W 2 W 20S0
Rm
2l0
非饱和状态下,铁芯 的磁导率远大于空气
的磁导率
1.1 自感式传感器的工作原理
L W 20S0
1 l
1
l l0
l l0

第三章电感式传感器

第三章电感式传感器
10
1-差动线圈 2-铁心 3-衔铁 4-测杆 5-工件
2014-3-10
四、差动电感传感器的特性
2、特性 在变隙式差动电感传感器中,当衔铁随被测 量移动而偏离中间位置时,两个线圈的电感量 一个增加,一个减小,形成差动形式。抵消温 度、噪声干扰,从而减小测量误差。 从灵敏度公式看出灵敏度为非差动2倍。
a)变隙式
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b)变截面式
c)单线圈螺线管式
3
一、变隙式传感器 先看一个实验:
将一只380V交流接触器线圈与交流毫安 表串联后,接到机床用控制变压器的36V交 流电压源上,如图所示。这时毫安表的示值 约为几十毫安。用手慢慢将接触器的活动铁 心(称为衔铁)往下按,我们会发现毫安表 的读数逐渐减小。当衔铁与固定铁心之间的 气隙等于零时,毫安表的读数只剩下十几毫 安。
仿形铣床外形
仿形头
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主轴
38
四、电感式不圆度计
测量过程:
该圆度计采用旁向式电感测微头,采用钨钢或红宝石, 固定测头,工件围绕测头旋转并与测头接触,通过杠杆将 位移传递给电感测头的衔铁,从而使差动电感有相应的输 出。
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电感式不圆度测试系统
旁向式钨钢或红宝石电感测微头 杠杆
测微仪器的最小量程 为 3μ m。
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航空插头 红宝石测头
29
其它感辨头
模拟式及数字式 电感测微仪
该仪表各档量程 为±3、 ±10、 ±30、 ±100um
相应指示表的分 度值为0.1、0.5、1.5 um
分辨力达0.1um, 精度为0.1%左右。
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二、电感式滚柱直径分选装置

第3章电感式传感器原理及其应用详解

第3章电感式传感器原理及其应用详解

变面积式自感传感器:
铁芯 衔铁
线圈
δ
L N 2S0 2
变面积式自感传感器结构
灵敏度为: k dL N20 dS 2
由于漏感等原因,其线性区范围较小,灵敏度也较低,因 此,在工业中应用得不多。
螺管式自感传感器:
传感器工作时,衔铁在线圈中伸入长度的变化将引起螺 管线圈电感量的变化。
对于长螺管线圈l>>r,当衔铁工作在螺管的中部时, 可以认为线圈内磁场强度是均匀的,线圈电感量L与衔铁的 插入深度l大致上成正比。
δ
由于 Nm LI,
Fm
NI,m
Fm Rm
可得: L N 2
Rm
磁路的总磁阻可表示为:
Rm
li 2 iSi 0S
近似计算出线圈的电感量为:
L N 2S0 2
当线圈匝数N为常数时,电感L仅仅是磁路中
磁阻的函数,只要改变 或S均可导致电感变化。
因此变磁阻式传感器又可分为变气隙 厚度的
传感器和变气隙面积S的传感器。
差动式与单线圈电感式传感器相比,具有以下优点。 (1)线性度高。 (2)灵敏度高,即衔铁位移相同时,输出信号大一倍。 (3)温度变化、电源波动、外界干扰等对传感器精度
的影响,由于能互相抵消而减小。 (4)电磁吸力对测力变化的影响也由于能相互抵消而
减小。
3.2.4电感式传感器的测量电路
➢ 自感式传感器实现了把被测量的变化为电感量的变 化。为了测出电感量的变化,就要用转换电路把电感 量的变化转换成电压(或电流)的变化,最常用的 转换电路有调幅、调频和调相电路。
通过一定的转换电路转换成电压或电流输出。 ➢ 传感器在使用时,其运动部分与动铁心(衔铁)相
连,当动铁芯移动时,铁芯与衔铁间的气隙厚度

传感器原理及其应用_第3章_电感式传感器

传感器原理及其应用_第3章_电感式传感器
1
2
P
r
x
为简化分析,设螺管线圈的长径 比 l / r 1 ,则可认为螺管线 圈内磁场强度分布均匀,线圈 中心处的磁场强度为:
B
x
2 2 N NBS 0 N r L0 I I l
IN H l 则空心螺管线圈的电感为:
第3章 电感式传感器
当线圈插有铁芯时,由于铁芯是铁磁性材料,使插入部分的磁 阻下降,故磁感强度B增大,电感值增加。
如果铁芯长度 l e 小于线圈长度l,则线圈电感为
L
0N [lr ( r 1)l e re ]
2 2 2
l2
第3章 电感式传感器 当l e增加 l e 时,线圈电感增大ΔL,则
L L
电感变化量为
0N [lr ( r 1)(l e l e )re ]
0 N 2 S N2 N2 线圈自感L为: L 2 Rm 2 0 S
分类:
变气隙厚度δ的电感式传感器; 变气隙面积S的电感式传感器;
变铁芯磁导率μ的电感式传感器;
第3章 电感式传感器
自感式电感传感器常见的形式
变气隙式
变截面式
螺线管式
1—线圈coil ;2—铁芯Magnetic core ;3—衔铁Moving core
,上式展开成泰勒级数: 1
非线性误差为

0



2
0
100%
0
第3章 电感式传感器
①差动式自感传感器的灵敏度 比单线圈传感器提高一倍 ②差动式自感传感器非线性失 真小,如当Δδ/δ=10%时 , 单线圈γ<10%;而差动式的 γ <1% ③采用差动式传感器,还能抵 消温度变化、电源波动、外界 干扰、电磁吸力等因素对传感 器的影响

传感器与检测技术第三章电感式传感器

传感器与检测技术第三章电感式传感器
架。二节式差动变压器的铁芯长度为全长的60%-80%。铁 芯采用导磁率高,铁损小,涡流损耗小的材料 (4)在不使线圈过热的条件下尽量提高激励电压。
感•传式感传器感与器检测技术
第二节 互感式传感器
三、转换电路 1.反串电路
•2.桥路
感•传式感传器感与器检测技术
第二节 互感式传感器
3.差动整流电路
感•传式感传器感与器检测技术
感•传式感传器感与器检测技术
一、高频反射式涡流传感器
•线圈上通交变高频电流 •线圈产生高频交变磁场
•产生高频交变涡流 •涡流产生反磁场 •阻碍线圈电流交换作用 •等效于L或阻抗的改变
感•传式感传器感与器检测技术
二、低频透射式涡流传感器
• U L1 • 同频交变电流 • 产生一交变磁场 • 磁力线切割M • 产生涡流I • 到达L2的磁力线
传感器与检测技术第三章电 感式传感器
感•传式感传器感与器检测技术
原理
电感式传感器最基本原理是电磁感应原理。
•位 移 •被测物理量 •振 动 •压 力 •流 量 •比
•传感 •的变 器 化
•自感系数 L
•电路 •电
•互感系数
•的变 化

M
•电

感•传式感传器感与器检测技术
电感传感器优点
▪ 灵敏度高,分辨力高,位移:0.1m ; ▪ 精度高,线性特性好,非线性误差:0.05%0.1 % ; ▪ 性能稳定,重复性好 ; ▪ 结构简单可靠、输出功率大、输出阻抗小、抗干扰能力
感•传式感传器感与器检测技术
第一节 自感式传感器
四、影响传感器精度的因素分析 1.电源电压和频率的波动影响 ▪ 电源电压的波动一般允许为5%~10%。 ▪ 严格对称的交流电桥是能够补偿频率波动影响的 2. 温度变化的影响 ▪ 为了补偿温度变化的影响,在结构设计时要合理选择零件

第3章 电感式传感器及其信号调理

第3章 电感式传感器及其信号调理



当铁芯位于中间位置时,M M M ,E =0 铁芯向上位移时,M M M M M M ,
1 2

s
1
2
Es


2 jM E p Rp jLp
1

铁芯向下位移时,M
Es

M M

M 2 M M,
2 jM E p Rp jLp
3.1 自感式传感器 3.1.1 单线圈自感传感器
自感式传感器亦称变隙式自感传感器或变磁 阻式自感传感器,根据铁芯线圈磁路气隙的改变, 引起磁路磁阻的改变,从而改变线圈自感的大小。 气隙参数的改变可通过改变气隙长度和改变 气隙截面积两种方式实现。传感器线圈分单线圈 和双线圈两种。
图3-1单线圈变气隙式长度自感传感器
s
Us

j (M 2 M1 ) E p j (M 2 M1 ) E p RL RL RL ( Rs1 Rs 2 ) j ( L1 L2 ) Rp jLp RL Rs jLs Rp jLp



根据(3-19)画出差动变压器频率特性如图313。

3) 采用补偿电路,为常采用的零点残余电压补偿 电路原理图。消除零点残余电压的补偿电路有四 种: ①附加串联电阻以消除基波同相成分; ②附加并联电阻以消除基波正交成分; ③附加并联电容。改变相移,补偿高次谐波分量; ④附加反馈绕组和反馈电容,以补偿基波及高次谐 波分量。串联电阻的阻值很小,为0.5-5Ω ,并 联电阻的阻值为数十到数百千欧;并联电容的数 值在数百PF范围。实际数值通常由实验来确定。
U i L U0 4 L0
采用差动结构能带来的好处: 理论上消除了零位输出,衔铁所受电磁力平衡; 灵敏度提高一倍; 线性度得到改善(高次项能部分相互抵消); 差动形式可减弱或消除温度、电源变化及外界干 扰等共模干扰的影响。因为这些干扰是以相同的 方向、相同的幅度作用在两个线圈上的,所引起 的自感变化的大小和符号相同,而信号调理电路 实质上是将两个线圈自感的差值转换为电信号。

第三章 电感式传感器

第三章 电感式传感器

所以
a L L' L0 L0 a
L L0 1 K0 a a
其灵敏度系数K0为
但是,由于漏感等原因,变面积式自感传感器在A=0时,仍 有一定的电感,所以其线性区较小,为了提高灵敏度,常将 δ做得很小。这种类型的传感器由于结构的限制,它的量程 也不大,在工业中用得不多。
3 螺管型自感传感器
有单线圈和差动式两种结构形式。 单线圈螺管型传感器的主要元件为一只螺管线圈和一根圆柱形铁 芯。传感器工作时,因铁芯在线圈中伸入长度的变化,引起螺管 线圈自感值的变化。当用恒流源激励时,则线圈的输出电压与铁 芯的位移量有关。
螺旋管
l r 铁心 x
单线圈螺管型传感器结构图
铁芯在开始插入(x=0)或几乎离开线圈时的灵敏度, 比铁芯插入线圈的1/2长度时的灵敏度小得多。这说明 只有在线圈中段才有可能获得较高的灵敏度,并且有 较好的线性特性。
U SC
Z1 Z2 Z1 Z 2 E E L1 L2 (Z1 Z2) 2 (Z1 Z2) 2
δ δ δ 2 δ 3 L1 L0 [1 ( )( ) ( ) ] δ0 δ0 δ0 δ0
L2 L0 δ δ δ 2 δ 3 [1 ( )( ) ( ) ] δ0 δ0 δ0 δ0
R
L L1 L2 2 L0 [1 0 0
L 2 L0 0
2
]
4
L L0 2 K0 0
①差动式自感传感器的灵敏度比单线圈传感器提 高一倍。 ②差动式自感传感器非线性失真小。
第三章 电感式传感器
电感式传感器是利用电磁感应原理将被测非 电量如位移、压力、振动、流量等转换成线圈自 感系数L或互感系数M的变化,再由测量电路转换 为电压或电流的变化量输出的传感器。
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b.变压器式交流电桥
U
C + U 2 - + U -2 D
变压器式交流电桥
Z1 + U - A
Z2
o
B
电桥两臂Z1、Z2为传感器线圈阻抗,另外两桥臂为交 流变压器次级线圈的1/2阻抗。 当负载阻抗为无穷大时, 桥路输出电压
Z2 Z 2 Z1 U 1 Uo U U Z1 Z 2 2 Z1 Z 2 2
Z2 Z 2 Z1 Z1 Z 2 R U0 U - U U Z Z R R 2 Z1 Z 2 2 Z1 Z 2 1 2 当衔铁上移时: U 0 U 0 当衔铁下移时: U0 U 0
N2 L 3 l1 l2 2 ) Rmi ( 1S1 2 S2 0 S0 i 1
铁心的结构和材料确定后,自感是气隙厚度和 气隙截面积的函数。
N2
第三章 电感式传感器
L f , S
L f1 变气隙型传感器
L f 2 S 变截面型传感器
2、开磁路电感传感器特点
(螺线管中间插入可动铁心)
(1)灵敏度比闭磁路电感传感器低,易受干扰。
(2)全量程范围较大,达200~300mm。 (3)线性差,低于1%,必须做成差动形式。
第三章 电感式传感器
四、自感式传感器的转换电路
被测量
x
L(M) 传感器
转换电路及 电量 信号调节
转换电路类型:
l2
第三章 电感式传感器
当铁芯右移后,使右边电感值增加,左边电感值减小
L2
L1
r 2 0 N 2
l
l
2 r c lc x 1 r 1 r l
r 2 0 N 2
2 r c lc x 1 r 1 r l
L 1 L0 K0 0
灵敏度为
L 1 L0 K0 0
可见: 变间隙式电感传感器的测量范围与灵敏度及线性度相 矛盾,因此变隙式电感式传感器适用于测量微小位移的场合。
与 K0
• 衔铁上移
– 切线斜率变大
L
L L0 1 KL 1 L0+ 0 0 0
第三章 电感式传感器
衔铁上移
0 0 0 2 3 L2 L0 L2 L0 [1 ( ) ( ) ( ) ...] 0 0 0
差动输出
3 4 L L1 L2 2 L0 L 1 0
被测物理量 (非电量:位移、 电磁感应 振动、压力、 流量、比重)
线圈自感系数L/ 互感系数M
测量电路
电压或电流 (电信号)
第三章 电感式传感器
电感式传感器的核心部分是可变自感或可变互感,在 被测量转换成线圈自感或互感的变化时。一般要利用磁场 作为媒介或利用铁磁体的某些现象。这类传感器的主要特 征是具有线圈绕组。
• 衔铁下移
– 切线斜率变小
L0 L0-L
0
2

L o L 1 K 0 0- 0
2 1 + - - 0 0
Rc Re —— 铜损电阻; Rc —— 铁心涡流损耗;
C
Rh Re L
Rh —— 铁心的磁滞损耗;
C —— 分布等效电容(线圈 绕组间)。
自感线圈等效电路
线圈的铜耗,又有铁芯的涡流及磁滞 损耗——折合的有功电阻抗Rq表示
电感线圈等效电路
W2 W2 L Rm zm z0
式中
Rm---磁路总磁阻; Za---铁芯部分的磁阻抗; Z0--空气隙的磁阻抗。
L1 L0 L1 L0 [1 (

)(

) (
2

) ...]
3
第三章 电感式传感器
灵敏度K0为
L 2 L0 K0 0
比较单线圈式和差动式: ① 差动式变间隙电感传感器的灵敏度是单线圈式的两倍。
② 差动式的非线性项(忽略高次项): L / L0 2
每只线圈的灵敏度为
dL1 dL2 k1 k2 dx dx l2 两只线圈的灵敏度大小相等,符号相反,具有差动特征。
0 N 2 r 1 rc2
N , r , rc k
第三章 电感式传感器
二、自感线圈的等效电路
自感线圈不是一个纯电感,除了电感量L之外,还存在线 圈的铜耗、铁心的涡流及磁滞损耗。 Io
现代检测技术
主讲教师:王国荣
第3章 电感式传感器
• 3.1 自感式传感器 • 3.2 变压器式传感器 • 3.3 涡流式传感器
第三章 电感式传感器
第3章 电感式传感器
电感式传感器是基于电磁感应原理,它是把被测量 转化为电感量(自感或互感)的一种装置。 可用来测位移、振动、压力、流量、重量、力矩、 应变等多种物理量,既可用于静态测量,又可用于动态 测量。
第三章 电感式传感器
3. 螺线管式自感传感器
1-螺线管线圈Ⅰ; 2-螺线管线圈Ⅱ; 3-骨架; 4-活动铁芯
图 差动螺线管式电感传感器结构原理图
L0 L10 L20
r 0 N
2 2
l
rc lc 1 r 1 r l
2
L10,L20——分别为线圈Ⅰ、Ⅱ的初始电感值
螺管式电感传感器建立在磁路磁阻随着衔铁插入深度 不同而变化的基础上。
x
i 1
Rmi
n
L
第三章 电感式传感器
1. 变气隙式自感传感器
磁路总的磁阻为
l1 l2 2 Rm 1 s1 2 s 2 0 s 0
气隙的磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻
Rm 2 0 s0
分类:
电感式传感器 自感型 可变磁阻型 (自感式) 涡流式
互感型
第三章 电感式传感器 电感式传感器的优点: ①结构简单、可靠,测量力小 衔铁为0.5~200×10-5N时,磁吸力为(1~10)×10-5N。 ②分辨力高 机械位移:0.1μm,甚至更小;角位移:0.1角秒。 输出信号强,电压灵敏度可达数百mV/mm 。 ③重复性好,线性度优良 在几十μm到数百mm的位移范围内,输出特性的线性度 较好,且比较稳定。 不足:动态响应慢;存在交流零位信号,不宜于高频动 态测量。
0 当Δδ/δ<< 1时, 可将上式用泰勒级数展开
L L0 L L0 [1 (
L L0

0
[1 (

0
)(


0
) (
2
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ

0
)3 ...]
0
)(
0
)2 ...]
第三章 电感式传感器
L 2 [1 ( ) ( ) ...] L0 0 0 0
结构形式 变间隙式、变面积式和螺管式。
第三章 电感式传感器
一、自感式传感器的工作原理
线圈通以有效值为I的交流电,产生磁通为, 线圈匝数为N。 N U 则 L (类似R ) I I 由磁路欧姆定律 NI Rm L N2 NI
R
i 1
n
mi
R
i 1
n
mi
第三章 电感式传感器
第三章 电感式传感器
2 r 0 N rc lc L0 L10 L20 1 r 1 l r l 2 2
r 1
L0 L10 L20
0 N 2 r rc 2lc
l2
k1 k2
0 N 2 r rc 2
单线圈的非线性项(忽略高次项):L / L 0 0 由于Δδ/δ0<<1,因此,差动式的线性度得到明显改善。
2
3
0
③采用差动式结构,除了可以改善非线性、 提高灵敏度外,对电源电压与频率的波动及温度 变化等外界影响也有补偿作用,从而提高了传感 器的稳定性。
2 3
• 无论上移或下移,非线性都将增大。
为了减小非线性误差,实际测量中广泛采用差动变隙式
电感传感器。
1 2
L1
Ro

3 L2 2
U s
Ro
U o
1—铁芯; 2—线圈; 3—衔铁
1
差动变隙式电感传感器
第三章 电感式传感器

差动变隙式电感传感器
1-铁芯; 2-线圈; 3-衔铁
当衔铁向上移动时,两个线圈的电感变化量Δ L1、Δ L2
(2)当衔铁下移Δδ时, 传感器气隙增大Δδ, 即δ=δ0+Δδ,
则此时输出电感为L = L0-ΔL。
L L0

0 0 0 L 2 [1 ( )( ) ...] L0 0 0 0
L L0 0
[1 (

)(

)2 ...]
*调幅式:x——A 调频式: x——f() 调相式: x——
1、调幅电路
(1) 交流电桥电路
a. 电阻平衡臂电桥
Z1 Z2
Z1 Z Z1 Z2 Z Z2 Z R jwL0
Z1 jwL1
Z2 jwL2
U
o
Z3 = R
Z4 = R
U
Z jwL0
线圈的电感为 N 2 N 2 0 s0 L Rm 2 L与δ之间是非线性关系
第三章 电感式传感器
变间隙式电感传感器L-δ特性
第三章 电感式传感器
第三章 电感式传感器
(1)当衔铁上移Δδ时, 传感器气隙减小Δδ,
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