集成压力传感器
电路中的传感器有哪些常见类型
电路中的传感器有哪些常见类型电路中的传感器是现代科技的重要组成部分，可以将各种物理量转换为电信号，从而实现对环境或物体参数的检测和测量。
传感器的种类繁多，根据不同的检测原理和应用领域，可以分为以下几种常见类型。
一、光电传感器光电传感器是一类常见的传感器类型，利用光敏元件和光电转换原理实现对光信号的检测和测量。
在自动化系统中广泛应用，常见的光电传感器包括光电开关、光电反射传感器、光电传感器等。
光电开关是一种通过检测物体遮挡光束的存在与否来实现开关控制的传感器。
它通常由光源、光敏元件和信号处理电路组成，通过发射一束光束并检测光束是否被物体遮挡来实现触发信号的产生。
光电反射传感器则是利用光敏元件接收由光源照射后反射回来的光信号来实现检测。
其原理是在没有物体遮挡时，反射光束能够被光敏元件接收到，产生信号；当有物体遮挡时，反射光束无法被光敏元件接收到，不产生信号。
二、温度传感器温度传感器是一种用于测量温度的传感器，通过将温度变化转换为电信号来实现测量。
常见的温度传感器有热电偶、热敏电阻、温度传感芯片等。
热电偶是一种利用两种不同材料的导线在不同温度下产生电势差进行温度测量的传感器。
它基于热电效应，通过两个接触点之间的热电势差来测量温度。
热敏电阻则是根据温度变化引起电阻变化的原理来实现温度测量的传感器。
随着温度的升高，电阻值发生变化，通过测量电阻变化来推算温度值。
温度传感芯片是一种综合了传感器和信号处理电路的集成芯片，具有体积小、精度高、响应快等特点。
它可以直接将温度转换为数字信号输出，方便与其他电路进行连接和通信。
三、压力传感器压力传感器是一种用于测量压力变化的传感器，常用于工业自动化、汽车等领域。
根据不同的测量原理，压力传感器可分为压阻式传感器、压摩擦式传感器、电容式传感器等。
压阻式传感器是利用材料的电阻值随压力变化而发生变化来实现压力测量。
通过测量电阻值的变化来推算压力值。
压摩擦式传感器是通过测量摩擦面上悬挂物体的位置变化，从而反映外部压力大小的传感器。
压力传感器种类及制造工艺
集成压力传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。
通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。
薄膜压力传感器则是通过沉积在介质衬底（基板）上的，相应敏感材料的薄膜形成的。
使用混合工艺时，同样可将部分电路制造在此基板上。
厚膜压力传感器是利用相应材料的浆料，涂覆在陶瓷基片上制成的，基片通常是al2o3制成的，然后进行热处理，使厚膜成形。
陶瓷压力传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺（溶胶-凝胶等）生产。
完成适当的预备性操作之后，已成形的元件在高温中进行烧结。
厚膜和陶瓷压力传感器这二种工艺之间有许多共同特性，在某些方面，可以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。
每种压力传感器制造工艺技术都有自己的优点和不足。
由于研究、开发和生产所需的资本投入较低，以及压力传感器参数的高稳定性等原因，采用陶瓷和厚膜传感器比较合理。
艾驰商城是国内最专业的MRO工业品网购平台，正品现货、优势价格、迅捷配送，是一站式采购的工业品商城！具有10年工业用品电子商务领域研究，以强大的信息通道建设的优势，以及依托线下贸易交易市场在工业用品行业上游供应链的整合能力，为广大的用户提供了传感器、图尔克传感器、变频器、断路器、继电器、PLC、工控机、仪器仪表、气缸、五金工具、伺服电机、劳保用品等一系列自动化的工控产品。
如需进一步了解图尔克、奥托尼克斯、科瑞、山武、倍加福、邦纳、亚德客、施克等各类传感器的选型，报价，采购，参数，图片，批发信息，请关注艾驰商城/。
mems压力传感器 应用场景
题目：MEMS压力传感器的应用场景一、MEMS压力传感器的原理和特点MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）压力传感器是一种微型压力传感器，由微机械制造技术和集成电路技术相结合而成。
它的原理是利用微型机械结构感应外部压力变化，通过微小的电阻、电容变化来转换成电信号输出。
MEMS压力传感器具有体积小、重量轻、功耗低、频率响应快、精度高、价格低等特点。
二、MEMS压力传感器在汽车领域的应用1. 轮胎压力检测系统现代汽车配备了TPMS（Tire Pressure Monitoring System）系统，通过安装在车轮上的MEMS压力传感器，实时监测轮胎的气压，一旦轮胎气压异常，系统会发出警报提醒驾驶员。
这不仅提高了行车安全，还减少了燃油消耗和轮胎磨损。
2. 发动机控制系统发动机的进气歧管、油路系统、涡轮增压器等部件的压力都需要精确控制，MEMS压力传感器可以实时监测这些压力数据，为发动机控制系统提供精准的参数，提高了发动机的燃烧效率和动力输出。
三、MEMS压力传感器在医疗设备中的应用1. 人体生理参数监测MEMS压力传感器可以应用于血压仪、呼吸机、体重秤等医疗设备中，通过实时监测人体的生理参数，帮助医生对患者进行及时的诊断和治疗。
2. 医用气体输送控制医院的氧气、氮气输送系统中需要对气体压力进行严格控制，MEMS压力传感器可以实现对医用气体压力的实时监测和控制，提高了输气系统的安全性和稳定性。
四、MEMS压力传感器在工业自动化领域的应用1. 液体、气体压力监测在工业生产中，液体、气体的压力监测是非常重要的，可以通过安装在管道、容器中的MEMS压力传感器实时监测液体、气体的压力情况，实现对生产过程的自动化控制。
2. 液位检测MEMS压力传感器还可以应用于液位检测，通过测量液体的压力来判断液位的高低，广泛应用于石油化工、水处理、食品加工等工业领域。
五、MEMS压力传感器在航天航空领域的应用1. 飞机气压控制在飞机上，需要对飞机的气压进行实时监测和控制，以保障飞机飞行安全。
美国MOTOROLA 压力传感器说明书
美国MOTOROLA压力传感器美国MOTOROLA公司的MPX系列硅压力传感器，主要以气压测量为主，适合用于医疗器械，气体压力控制等领域，输出数字信号。
其测量方式可分为：表压（GP）、绝压（A、AP）、差压（D、DP）型。
在宽温度范围工作时需外加补偿网络和信号调整电路。
具体型号分类而定名称：MPX2010DP 名称：MPX5700DP MPX5700GP 名称：MPX2100AP名称：MPX5500DP 名称：MPX5100AP 名称：MPX5050DP名称：MPX5010DP 名称：MPX4115AP 名称：MPX2200A 名称：MPX2200AP 名称：MPXH6115A6U 名称：MPX4250DP名称：MPX4115A 名称：MPX2202DP 名称：MPX2102AP名称：MPX2053GP 名称：MPXY8300A6U 压力传感器 名称：触力型压力传感器 FSG15N1A 名称：硅压力传感器 MPXH6115A 名称：MPX5700DP 硅压力传感器 名称：MPX53GP 硅压力传感器 名称：压力传感器FPM07 名称：轮胎压力传感器TP015 名称：轮胎压力传感器NPP301名称：Freescale 压力传感器 MPX2010DP商斯达实业传感器与智能控制分公司专门从事各种进口传感器的营销工作，代理多家欧美知名公司的产品。
涉及压力、温度、湿度、电流、液位、磁阻、霍尔、流量、称重、光纤、倾角、扭矩、气体、光电、位移、触力、红外、速度、加速度等多种产品。
广泛应用于航空航天、医疗器械（如血压计）、工业控制、冶金化工、汽车制造、教育科研等领域。
商斯达实业代理的品牌产品主要有：压 力：Kulite、ACSI、Honeywell、Entran、Gems、Dwyer、SSI、Smi、Senstronics、Intersema、Motorola、 NAIS、E+H、Fujikura、Dytran、APM称重测力：Transcell、HBM、Interface、Thamesside、Philips、Entran 温 湿 度：Honeywell、Dwyer流 量：Gems、Dwyer、Honeywell、Folwline、WorldMagnetics 液 位：Honeywell、Siccom、Gems、Dwyer、Kulite、SSI 加 速 度：Entran、Silicondesigns、Dytran 压力开关：ACSI、Gems、Dwyer、台湾矽微航空器材：TexTech 隔音材料、Honeywell 薄膜加热片、DigirayX 射线探伤仪 仪 表：Honeywell、Transcell、东辉、上润、AD、东崎商斯达实业 除代理上述产品外，还有几条传感器生产线，一条压力传感器组装线，可为用户提供各种用途的、特殊要求的配套产品。
常用传感器及其应用
2
3
1
3
AD 590
＋ 5V
＋1
AD 590
－2
R 1k
Uo(1 mV / K)
Sensor 其他常用的集成温度传感器 AD2210/22105、 AN6071、 DS1620/1621/1820/1821 LM34/35/50/56/60/65/66/75/78 LM135/235/335 TC622/623/624 TMP03/04/12/35/36/37
Sensor
AD590 基本应用电路
在25℃时调整电位器使Vo为298.2mV;
或0 ℃时调整电位器使Vo为273.2mV；
利用这样一个简单的电路,很容易把传感 器的电流输出变换为方便的电压输出。
由于AD590内阻极高,所以适合远距离测 量, 可采用一般双绞线。
Sensor AD590远距离温度检测电路
传感器
非电量 敏感元件
电量 变换元件
Sensor
敏感元件指能直接感受或响应被测量的部分;
转换元件指将敏感元件感受或响应的被测量转换 成适于传输或测量的电信号部分。
传感器的输出信号一般都很微弱, 需要有信号调 整与转换电路对其进行放大、运算等。有的调整与 转换电路与敏感元件集成在同一芯片上。 此外，传 感器工作必须有辅助的电源。
四、按制造工艺分类：
集成、薄膜、厚膜等传感器。
Sensor
传感器的选用
传感器的种类繁多, 相同的物理量可用不同工作原理 的传感器，使用时一般考虑如下： 一、被测量类型
测量目的、测量范围、测量精度、测量时间等 二、工作环境
环境温度、环境噪声、传递距离等 三、传感器性能
成本、线性度、稳定性、响应时间、输出方式等
压力传感器如何安装 传感器维护和修理保养
压力传感器如何安装传感器维护和修理保养ROXSPUR压力传感器是动态压力检测中常用的传感器，但由于压电元件存在电荷泄漏，故不适合测量缓慢变化的压力和静态压力。
ROXSPUR压力传感器更换压电元件可以更改压力的测量范围；在配用电荷放大器时，可以用将多个压电元件并联的方式提高传感器的灵敏度；在配用电压放大器时，可以用将多个压电元件串联的方式提高传感器的灵敏度。
压电式压力传感器体积小，结构简单，工作牢靠；测量范围宽，可测100MPa以下的压力；测量精度较高；频率响应高，可达30kHz，振筒用低温度系数的恒弹性材料制成，一端封闭为自由端，开口端固定在基座上，压力由内侧引入。
绝缘支架上固定着激振线圈和检测线圈，二者空间位置相互垂直，以减小电磁耦合。
激振线圈使振筒按固有的频率振动，受压前后的频率变化可由检测线圈检出。
此种仪表体积小，ROXSPUR压力传感器输出频率信号，重复性好，耐振；度高，其度为0.1％和0.01％；适用于气体测量。
ROXSPUR压力传感器信号是掌控器的前端，它在测试或掌控系统中处于首位，对微压力传感器取得的信号能否进行精准地提取、处理是衡量一个系统牢靠性的关键因素。
后续接口电路紧要指信号调整和转换电路，即能把传感元件输出的电信号转换为便于显示、记录、处理和掌控的有用电信号的电路。
由于用集成电路工艺制造出的ROXSPUR压力传感器往往存在：零点输出和零点温漂，灵敏度温漂，输出信号非线性，输出信号幅值低或不标准化等问题。
ROXSPUR压力传感器当弹性敏感元件受到压力作用时，将产生应变，粘贴在表面的电阻应变片也会产生应变，表现为电阻值的变化。
这样弹性体的变形转化为电阻应变片阻值的变化。
把 4 个电阻应变片依照桥路方式连接，两输入端施加确定的电压值，两输出端输出的共模电压随着桥路上电阻阻值的变化加添或者减小。
ROXSPUR压力传感器一般这种变化的对应关系具有貌似线性的关系。
找到压力变化和输出共模电压变化的对应关系，就可以通过测量共模电压得到压力值。
压力传感器的原理及应用论文
压力传感器的原理及应用论文摘要本论文主要介绍了压力传感器的原理、种类和主要应用。
首先，我们将介绍压力传感器的工作原理，包括压力对传感器的影响以及常见的压力传感器技术。
接下来，我们将讨论压力传感器的主要应用领域，包括工业自动化、医疗设备、汽车工业和航空航天等。
最后，我们将总结压力传感器技术的发展趋势和未来的研究方向。
引言压力传感器是一种用于测量和监测压力变化的装置。
它们在现代工业和科学领域中有着广泛的应用，从汽车工业到航空航天，从医疗设备到环境监测等。
本论文旨在介绍压力传感器的原理和应用，以便读者对该领域有更深入的了解。
压力传感器的工作原理压力传感器是利用一系列物理或机械效应来测量压力的设备。
以下是一些常见的压力传感器原理：1.电阻式压力传感器：电阻式压力传感器利用压力对电阻值的影响来测量压力。
当压力施加在敏感元件上时，电阻值会发生变化，通过测量电阻值的变化，可以确定压力的大小。
2.压力传感器基于微机电系统（MEMS）的原理：这种压力传感器使用微小的机械结构和敏感元件来测量压力变化。
当压力施加在微机械结构上时，结构的变形将导致电信号的变化，通过测量电信号的变化，可以确定压力的大小。
3.压电式压力传感器：压电式压力传感器利用压电效应来测量压力变化。
当压力施加在压电元件上时，它们会产生电荷积累，通过测量电荷的变化，可以确定压力的大小。
压力传感器的种类根据测量范围和应用需求的不同，压力传感器可以分为多个种类。
以下是几种常见的压力传感器类型：1.绝对压力传感器：绝对压力传感器可以测量相对于真空的绝对压力。
它们通常用于气象监测和高空应用等。
2.相对压力传感器：相对压力传感器可以测量相对于环境压力的相对压力。
它们通常用于工业自动化、流体控制和汽车工业等。
3.差动压力传感器：差动压力传感器可以测量两个压力之间的差异。
它们通常用于流体流量测量和液位测量等。
4.密封式压力传感器：密封式压力传感器具有高防尘和防水性能，适用于恶劣环境下的应用。
压力传感器的分类及应用原理
压力传感器的分类及应用原理1.压阻型压力传感器：压阻型压力传感器是最常见的一种类型。
它基于电阻的变化来测量压力。
传感器内部有一层薄膜或弹簧，在受到压力后，薄膜或弹簧的形变会引起电阻值的变化。
测量电路可以通过测量电阻值的变化来推断压力的大小。
压阻型压力传感器具有简单、可靠的特点，广泛应用于工业控制、汽车行业等领域。
2.容积型压力传感器：容积型压力传感器利用物体受力后体积的变化来测量压力。
传感器内部有一个容积随压力变化的腔室，当腔室受到压力时，体积发生变化，通过测量体积的变化来推断压力的大小。
容积型压力传感器具有高精度、广泛测量范围和可靠性高的优点，应用于航空航天、石油化工等领域。
3.集成气压传感器：集成气压传感器是一种基于硅微加工技术制造的压力传感器。
它采用微电子制造工艺，在硅片上制作出细微的结构，通过这些结构的形变量测压力。
集成气压传感器的特点是小巧、高精度，适用于便携式设备和智能穿戴设备等领域。
4.电容型压力传感器：电容型压力传感器是利用电容的变化来测量压力。
传感器内部有两个带电板，当受到压力时，板间距发生变化，进而导致电容值的变化。
通过测量电容值的变化可以推断压力的大小。
电容型压力传感器具有高灵敏度和高精度的优点，广泛应用于医疗设备、环境监测等领域。
压力传感器具有广泛的应用领域，包括但不限于工业自动化、汽车行业、医疗设备、航空航天等。
在工业自动化中，压力传感器用于测量液体或气体的压力，监控设备的工作状态。
在汽车行业中，压力传感器被广泛应用于发动机控制、轮胎压力监测等方面。
在医疗设备中，压力传感器可用于血压测量、人工呼吸机等。
在航空航天领域，压力传感器用于飞机的气压监测、气动控制等。
总之，压力传感器根据其测量原理和应用场景的不同，可以分为压阻型、容积型、集成气压型和电容型等多种类型。
这些传感器的工作原理各有不同，但都可用于测量物体的压力。
压力传感器在工业和生活中有着广泛的应用，为各个领域的控制和监测提供了重要的技术支持。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
湘潭大学论文题目：集成压力传感器
学院：材料与光电物理学院专业：微电子
学号：2010700527 姓名：向俊霖
完成日期：2014年2月24日
目录
摘要 (1)
关键词 (1)
引言 (1)
一、压力传感器的原理 (1)
二、压力传感器的特性以及参数 (2)
三、放大器的原理 (2)
四、集成压力传感器的发展趋势 (3)
五、集成压力传感器的应用 (4)
六、结语 (4)
参考文献 (5)
集成压力传感器
摘要：传感器一般是指具有电输出的装置，由于集成电路技术的发展人们已经研究开发了性能更好的传感器。
从市场上来看，压力传感器将保持较大的需求量，本文将对集成压力传感器进行介绍并加以总结。
关键词：集成压力传感器
引言
压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器，集成压力传感器就是通过集成电路（IC）技术将压力传感器与后续的放大器等电路制作在半导体表面，使其变得测量精度高、使用方便。
一、压力传感器的原理
以压阻式压力传感器为例，如下图
压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极引线。
压阻式压力传感器又称为固态压力传感器，它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力，而是直接通过硅膜片感受被测压力的。
硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔，另一面是与大气连通的低压腔。
硅膜片一般设计成周边固支的圆形，直径与厚度比约为20～60。
在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥，其中两条位于压应力区，另两条处于拉应力区，相对于膜片中心对称。
硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条，两条受拉应力的电阻条与另两条受
压应力的电阻条构成全桥。
二、压力传感器的特性以及参数
1.额定压力范围
额定压力范围是满足标准规定值的压力范围。
也就是在最高和最低温度之间，传感器输出符合规定工作特性的压力范围。
在实际应用时传感器所测压力在该范围之内。
2.最大压力范围
最大压力范围是指传感器能长时间承受的最大压力，且不引起输出特性永久性改变。
特别是半导体压力传感器，为提高线性和温度特性，一般都大幅度减小额定压力范围。
因此，即使在额定压力以上连续使用也不会被损坏。
一般最大压力是额定压力最高值的2-3倍。
3.损坏压力
损坏压力是指能够加工在传感器上且不使传感器元件或传感器外壳损坏的最大压力。
4.线性度
线性度是指在工作压力范围内，传感器输出与压力之间直线关系的最大偏离。
5.压力迟滞
在室温下及工作压力范围内，从最小工作压力和最大工作压力趋近某一压力时，传感器输出之差。
6.温度范围
压力传感器的温度范围分为补偿温度范围和工作温度范围。
补偿温度范围是由于施加了温度补偿，精度进入额定范围内的温度范围。
工作温度范围是保证压力传感器能正常工作的温度范围。
三、放大器的原理
由于传感器输出信号可能比较微弱，还需通过放大器将信号进一步放大。
以应变式传感器为例，应变桥路可以采用直流电源或交流电源供电，对应信号放大方式可以采用之路放大或交流放大，如下图以直流电桥为例来分析应变桥路的工作原理
图差动仪表放大器
对于应用较多的直流电桥，多采用低漂移的集成运放（如OP07等）构成零点和增益可调的直流放大器，并通常采用差动输入方式进行直流电压放大。
四、集成压力传感器的发展趋势
传感器技术研究领域虽然十分广泛,但其发展方向可归纳为以下主要趋势: 1．小型化
小型化会带来更多的好处,重量轻、体积小、分辨率高,便于安装在很小的地方。
对周围环境器件影响小,也利于微型仪器、仪表的配套使用。
2.集成化
可以利用现有的生产工艺和成熟的集成技术,把电路与传感器制作在一体。
减少工艺流程以降低生产成本,而且不易损坏。
3.智能化
由于集成化的出现 ,在集成电路部分制作一些微处理机 ,使得其具有记忆、思维、处理、判断的能力。
目前 ,智能化传感器产品发展最快,它将成为传感器市场的主流。
4.多功能化
对多种器件进行集成，使传感器的产品拥有多样的功能，能够适应更多的环境，满足更多的要求。
五、集成压力传感器的应用
集成压力传感器广泛地应用于航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。
例如,用于测量直升飞机机翼的气流压力分布，测试发动机进气口的动态畸变、叶栅的脉动压力和机翼的抖动等。
在飞机喷气发动机中心压力的测量中，使用专门设计的硅压力传感器,其工作温度达500℃以上。
在波音客机的大气数据测量系统中采用了精度高达0.05％的配套硅压力传感器。
在尺寸缩小的风洞模型试验中，集成压力传感器能密集安装在风洞进口处和发动机进气管道模型中。
单个传感器直径仅2.36毫米，固有频率高达300千赫,非线性和滞后均为全量程的±0.22％。
在生物医学方面,集成压力传感器也是理想的检测工具。
已制成扩散硅膜薄到10微米,外径仅0.5毫米的注射针型压阻式压力传感器和能测量心血管、颅内、尿道、子宫和眼球内压力的传感器。
集成压力传感器还有效地应用于爆炸压力和冲击波的测量、真空测量、监测和控制汽车发动机的性能以及诸如测量枪炮膛内压力、发射冲击波等兵器方面的测量。
此外，在油井压力测量、随钻测向和测位地下密封电缆故障点的检测以及流量和液位测量等方面都广泛应用集成压力传感器。
随着微电子技术和计算机的进一步发展，集成压力传感器的应用还将迅速发展。
六、结语
传感器技术是现代测量和自动化系统的重要组成部分，随着电子设别水平不断提高以及功能不断加强，传感器也越来越显得重要，传感器技术已经成为高新技术竞争的核心技术之一。
集成压力传感器是传感器中应用极为广泛的一种，随着微电子技术、微机械加工技术、纳米技术的迅速发展，集成压力传感器也将在现有基础
上予以延伸和提高。
3
参考文献：
[1] 栾桂冬.传感器及其应用.西安电子科技大学出版社,2002.。