微纳结构光学及应用
微纳电子器件的制备和应用
微纳电子器件的制备和应用随着科技的发展，微观世界日渐引人注目。
微电子技术的发展，使得人们对于电子器件的制造精度和功能性有了更高的要求。
微纳电子技术作为电子技术的新方向，将成为未来电子工业的重要组成部分。
本文将介绍微纳电子器件的制备过程和常见的应用。
一、微纳电子器件的制备过程微纳电子器件是通过利用微纳加工技术将电路设计转化为三维结构，纳米尺度的各种功能元件，如电阻、电容、管子、二极管、三极管等制备而成。
1.微纳加工技术微纳加工技术是微纳电子器件的核心技术之一，包括各种加工方法，如电子束曝光、光刻、湿法蚀刻、干法蚀刻、电化学加工、气溶胶沉积等。
其中，电子束曝光技术是微纳加工技术中最早、最成熟的技术之一，能够在微纳米尺度下实现高精度、高分辨率的器件制备。
2.相关技术微纳电子器件的制备还需要相关技术的支持，如精密仪器的设计和制造，材料科学的发展，电子学、物理学和计算机技术等综合运用。
这些技术的进步，不仅提高了微电子器件的制造精度，而且能够满足制造高质量器件的要求。
3.应用现在，已经有许多微纳电子器件被制造出来并应用到了各个领域。
比如，红外探测器、生物芯片、微型加速器、纳米滤网、烟雾探测器等，这些器件的应用程度已经高达了80%以上。
二、常见的微纳电子器件应用1.生物芯片生物芯片作为生物技术的重要应用，是一种集微电子技术和生物科学于一体的新型技术。
通过生物芯片，可以对微生物、DNA、蛋白质等生物体系进行检测和分析。
2.红外探测器红外探测器是一种分子结构、量子离子和原子谱学原理为基础的新型光学节目。
与其他光学检测方式相比，红外探测器具有相对非常特别的特性，如对物体的热辐射敏感，可测量物体的温度等。
红外探测器不仅可以应用到军事领域，如导弹、火控系统等，而且也可以用于民用领域，如夜视设备、红外报警器等。
3.微型加速器微型加速器是一种可以将带电粒子高速加速的装置，它可以应用于核物理分析、放射性检测、核废料处理、环境监测等多个领域。
微纳光学资料
• 提高生物组织的成像质量和分辨率
• 实现生物组织和化学物质的检测和分析
微纳光学在量子信息领域的应用
量子计算
• 微纳量子光子器件：量子比特、量子逻辑门等
• 实现量子信息的处理和计算
量子通信
• 微纳量子光子器件：量子纠缠、量子密钥分发等
• 实现量子信息的传输和保密
05
微纳光学的未来发展趋势与挑战
微纳光学的发展趋势及其影响
• 投影式电子束曝光技术
电子束曝光技术在微纳光学元件制备中的应用
• 制作高分辨率的微纳光学元件图形结构
• 控制微纳光学元件的尺寸和形状
纳米压印技术在微纳光学元件制备中的应用
纳米压印技术在微纳光学元件制备中的应用
• 制作微纳光学元件的图形结构
• 控制微纳光学元件的尺寸和形状
纳米压印技术简介
• 利用模具在聚合物材料上进行压印的过程
• 摩擦磨损法
04
微纳光学的应用实例
微纳光学在通信领域的应用
光纤通信
• 微纳光纤元件：光纤透镜、光纤滤波器等
• 提高光纤通信的传输速率和容量
量子通信
• 微纳量子光子器件：量子点、量子阱等
• 实现量子信息的传输和处理
微纳光学在生物医学领域的应用
光学成像
光学传感
• 微纳光学透镜、光纤探针等
• 微纳光学传感器：生物传感器、化学传感器等
• 微纳光学元件的制备技术：提高精度、降低成本等
• 微纳光学元件的性能表征：发展新的测量方法、提高测量精度等
• 微纳光学的应用领域：拓展新的应用领域、提高应用水平等
技术挑战的解决方案
• 发展新的制备技术：电子束曝光技术、纳米压印技术等
• 发展新的性能表征方法：光谱仪法、原子力显微镜法等
微纳光学的应用
微纳光学的应用
微纳光学是一种新兴的技术，它利用微米和纳米级别的结构来控制光的传播和交互。
这种技术在许多领域都有广泛的应用，包括光通信、生物医学、纳米电子学和太阳能电池等。
本文将介绍微纳光学的应用。
微纳光学在光通信领域有着广泛的应用。
光通信是一种高速、高带宽的通信方式，它利用光信号传输数据。
微纳光学技术可以用来制造高效的光纤耦合器、光栅和微型光学器件，这些器件可以提高光通信系统的传输效率和可靠性。
微纳光学在生物医学领域也有着重要的应用。
生物医学研究需要对细胞和分子进行高分辨率的成像和检测。
微纳光学技术可以制造出高分辨率的显微镜和光学探针，这些器件可以用来观察细胞和分子的结构和功能，从而帮助科学家研究生物学和医学问题。
微纳光学还可以应用于纳米电子学领域。
纳米电子学是一种新兴的电子学领域，它利用纳米级别的结构来制造电子器件。
微纳光学技术可以用来制造出高效的纳米光电器件，这些器件可以用来控制和检测电子的行为，从而提高电子器件的性能和可靠性。
微纳光学还可以应用于太阳能电池领域。
太阳能电池是一种利用太阳能转换成电能的器件。
微纳光学技术可以用来制造出高效的太阳能电池，这些电池可以利用微米和纳米级别的结构来控制光的传播
和吸收，从而提高太阳能电池的转换效率。
微纳光学技术在许多领域都有着广泛的应用。
随着技术的不断发展，微纳光学将会在更多的领域发挥重要作用，为人类带来更多的福利。
微纳光学结构及应用
1引言微纳光学主要指微纳米尺度的光学效应，以及利用微纳米尺度的光学效应开发出的光学器件、系统及装置。
微纳光学不仅是光电子产业的重要发展方向之一，也是目前光学领域的前沿研究方向。
微纳光学的发展是由大规模集成电路工艺水平的进步所推动的。
早在20世纪50年代，德国著名教授A.W.Lohmann [1]就考虑到利用光栅的整体相移技术对光场相位编码，以实现对光波的人工控制。
1964年夏季，A.W.Lohmann 教授指导大学生Byron ，利用IBM 当时先进的制版设备演示了世界上第一张计算机全息图。
随后的衍射光学进展都可以看作是人为地控制或改变光的波前，从这个意义上说，这个工作具有革命性的意义。
随着半导体工艺技术的进步，微米尺度的任意线宽都可以加工出来。
由此，达曼提出一种新型的微光学分束器件，后人叫做达曼光栅[2]。
达曼光栅通过任意线宽的二值相位调制，将一束激光分成多束等强度的激光。
其制作充分利用了微电子工艺技术，是一个典型的微光学器件[3]。
达曼光栅一般能产生一维或者二维矩阵的光强分布。
周常河等[4]提出了圆环达曼光栅，也就是不同半径的圆孔相位调制，实现多级等光强的圆环分布。
我们知道，圆孔的傅里叶变换是贝塞尔函数，而矩形的傅里叶变换是SINC 函数，因此，虽然达曼光栅和圆环达曼光栅的物理本质一样，但是其数学处理却不相同[5]。
随着制造技术水平的进步，出现了一些纳米光学领域的新概念：光子晶体（Photonic Crystal ）[6]、表面微纳光学结构及应用Micro-&Nano-Optical Structures and Applications摘要简短回顾微纳光学的几个重要研究方向，包括光子晶体、表面等离子体光学、奇异材料、负折射、隐身以及亚波长光栅等。
微纳光学不仅成为当前科学的热点研究领域，更重要的是，微纳光学是新型光电子产业的发展方向，在光通信、光存储、激光核聚变工程、激光武器、太阳能利用、半导体激光、光学防伪技术等诸多领域，起到了不可替代的作用。
微纳光学：什么是微纳光学？
微纳光学：什么是微纳光学？一、简介微纳光学是光学科学的一个重要领域，它主要研究微小尺寸下光的传输、操控和应用。
微纳光学所研究的对象可以是纳米级别的光学元件，例如纳米结构、量子点等等，也可以是微型光学器件，例如光纤、波导等等。
在微纳光学领域，人们利用微纳结构的光学性能制造出高分辨率的显微镜、高效率的光学存储器、高灵敏度的光电传感器等等，这些器件在生物医学、信息技术、光纤通信等领域都有广泛应用。
二、微纳光学的原理微纳光学的研究主要基于光的波粒二象性、光的相干性和传输特性，可以利用微纳结构改变光的传播方向、波长和极化状态，从而实现光的操控和运输。
微纳光学的基本原理包括以下几个方面：1. 纳米结构对光的精细调控纳米结构的制备与设计是实现微纳光学的重要手段，纳米结构可以精细控制光的位置、波长、方向和偏振方向等。
特别地，一些新型纳米结构，例如表面等离子体共振结构、光子晶体和金属纳米结构等，具有极强的电磁场增强效应，可以将光场增强至数千倍，实现微纳光学的超强场强效应。
2. 光的波动性微纳光学中的光学元件尺寸和光波长相当，因此光的波动性将会表现出一些奇特的现象。
例如，在金属纳米结构中，光的电磁场在纳米结构表面受到局部增强，这种电磁场效应称为表面等离子体共振（SPR）。
当入射光的波长和特定的纳米结构大小匹配时，SPR现象会被激发出来，产生局部的强电磁场，增强光与物质的相互作用，这为生物医学、光化学等领域应用提供了新思路。
3. 光的相干性和相位光的相干性和相位是微纳光学中实现光的干涉、衍射和成像的关键因素。
例如，在建立光学存储器时，需要光的干涉效应和波导中的衍射现象来控制光的传输和处理。
微纳光学器件的制造和优化需要对这些基本光学现象的深入理解。
三、微纳光学的应用微纳光学在生物医学、信息技术、光通信等领域有广泛应用，一些微纳光学应用的例子如下：1. 显微镜利用微纳结构可以制造出高分辨率的显微镜。
例如在“全息显微镜”中，利用光的干涉和衍射性质，将样品与参考光想叠加，得到类似于8字形的干涉纹，从而实现屏幕上样品的三维显微成像，可以将细小物体的结构和组织细节展现清晰。
微纳加工技术在光学器件制造中的应用研究
微纳加工技术在光学器件制造中的应用研究导语：光学器件是现代科技中不可或缺的一部分，广泛应用于通信、医疗、能源等众多领域。
随着科技的发展，微纳加工技术在光学器件制造中扮演着越来越重要的角色。
本文将探讨微纳加工技术在光学器件制造中的应用，并对其发展趋势进行展望。
一、微纳加工技术概述微纳加工技术是指利用先进的加工设备和技术手段对微米级和纳米级尺寸的物体进行加工和制造的一种技术。
它包括光刻、电子束曝光、离子束刻蚀、激光加工等多种加工方法。
微纳加工技术的出现，将光学器件的制造从传统的机械加工转变为一种精细和高效的纳米级加工过程，为光学器件的制造和研究提供了重要的手段和方法。
二、微纳加工技术在光学器件制造中的应用1. 光纤传感器光纤传感器是一种能够通过光线来检测和测量物理量的器件。
微纳加工技术可以用于制造光纤传感器中的微扁平化结构和微力传感器。
通过对光纤表面的微纳结构进行加工，可以提高光的耦合效率，增强传感器对环境变化的响应能力，大幅提高光纤传感器的灵敏度和精确度。
2. 纳米光栅纳米光栅是一种具有周期性结构的光学元件，具有优良的光学性能。
微纳加工技术可以用于制造纳米光栅中的微米级凹槽和纳米级结构。
通过精确控制加工参数，可以实现光栅的高精度制造，提高光栅的光学性能，为光学应用提供更加稳定和高效的解决方案。
3. 光学存储器件光学存储器件是一种能够将信息以光信号的形式存储和读取的器件。
微纳加工技术可以用于制造光学存储器件中的微米级光栅和纳米级介质颗粒。
通过精细的加工工艺和控制技术，可以在光存储介质上制造高密度和高精度的信息存储结构，大大提高存储器件的容量和速度。
4. 激光加工工具激光加工是一种高能量激光束对工件进行加工和切割的技术。
微纳加工技术可以用于制造激光加工工具中的微槽和微透镜。
通过对工具表面进行微纳加工，可以增加激光束的聚焦能力和加工精度，提高激光加工的效率和质量。
三、微纳加工技术在光学器件制造中的发展趋势1. 高精度加工随着科技的进步，对光学器件加工精度的要求越来越高。
微纳结构光学及应用
微纳结构光学及应用微纳结构光学是研究和应用微米和纳米尺度下的光学现象和效应的一门学科。
在微纳尺度下的物质结构可以调控光的传播和相互作用方式，从而实现对光的操控和控制，具有广泛的应用前景。
本文将介绍微纳结构光学的基本原理和常见应用。
微纳结构光学的基本原理是通过在纳米尺度上精确设计和制备结构，控制光的传播、吸收、散射和透射等现象。
这种控制是通过定向控制结构尺寸、周期和形状来实现的。
根据不同的设计和制备方法，结构可以是周期性的光栅、等离子体共振器、纳米颗粒等。
1.光学通信：微纳结构光学可以用于光纤通信中的功率和波长调制，以及光波导中的光模式调控，提高光信号的传输速率和可靠性。
2.光信息处理：微纳结构光学可以用于设计和制造高效的光学器件，如光学逻辑门、光限幅器和光时钟等，用于光量子计算和光信息处理。
3.太阳能转换：微纳结构光学可以增强太阳电池中的光吸收率，降低材料的反射损耗，提高太阳能的转换效率。
4.生物传感：微纳结构光学可以用于生物传感器中的光信号放大和检测，实现对生物分子的高灵敏度和高选择性检测。
5.显示技术：微纳结构光学可以用于制造高分辨率和高亮度的显微镜、投影仪和液晶显示器等。
值得一提的是，微纳结构光学还有一些特殊的应用，如模拟光学和超材料。
模拟光学是通过微纳结构光学器件模拟出光的量子行为，实现对量子力学中一些经典问题的探索。
超材料是一种人工制造的具有特殊光学性质的材料，可以实现对光的反向折射、聚焦和透明等效应，有很高的研究和应用价值。
总之，微纳结构光学是一门基于微纳尺度结构的光学学科，通过精确设计和制备结构，实现对光的传播和相互作用的控制。
其应用包括光学通信、光信息处理、太阳能转换、生物传感和显示技术等。
未来，随着微纳技术的不断发展和改进，微纳结构光学将在更多领域展示其巨大潜力。
微纳光学在光电子学中的应用
微纳光学在光电子学中的应用光学一直被视为一门很难掌握的学科，然而，在过去的几十年中，光学领域不断向前发展，出现了许多新的光学应用，其中微纳光学是一个非常有前途的领域。
它通过利用微米和纳米尺度的光学学理来解决传统光学难以解决的问题。
本文将介绍微纳光学在光电子学中的应用。
一、微纳光学概述微纳光学是一种研究微米或纳米尺度下光学现象的新兴学科，它不仅把光学和微纳技术有机结合起来，而且涉及了物理学、材料科学、电子工程、生物医药等多个学科。
目前，随着微纳技术的发展，微纳光学已经成为研究纳米结构与器件光学性质、制备纳米光子晶体的重要手段。
微纳光学涉及到多种特殊现象，比如表面等离子共振现象、光子晶体模式等，这些现象能够使得光在微纳尺度下有很好的聚合和控制，从而能够在微纳尺度下完成很多特殊的光学操作。
利用微纳尺度下的光学现象，光在物质内部产生的散射和吸收现象都能够相当明显地表现出来，这为人们研究材料光学性质、制备各种光学器件以及设计光电子元器件提供了广阔的空间。
二、1. 激光精细加工技术激光精细加工技术是光电子学中的一项重要应用领域，可以应用于微纳制造、集成光子芯片等领域。
在微纳加工中，激光分光、激光光刻、激光切割等加工技术都是非常常见的。
激光进行微米、纳米级别的雕刻加工时，微纳光学的优点就得到了很好的体现。
比如，可以通过微纳加工制作出精细的光传导通道、光滤波器、光场调制器等光学元件。
2. 可穿戴设备近年来，可穿戴设备成为了光电子学的一个巨大市场。
一些智能眼镜、手表、耳机等产品早已广泛进入日常生活中。
与传统的电子设备不同，可穿戴设备的发展离不开微纳技术和微纳光学技术。
利用微纳光学技术，可以制备出非常小巧、轻便的光学元件，例如超小型LED、弱光检测器、微型激光器等，这些元件都非常适合用于可穿戴设备中。
3. 光电调制器光电调制器是一种向波导传输信号并对该信号进行调制的设备，不仅可以用于数据通信、信号分析等领域，在雷达、激光等领域中也有着广泛的应用。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
王楠 1032011322017 光学工程微纳光学结构及应用摘要：微纳光学结构技术是指通过在材料中引入微纳光学结构，实现新型光学功能器件。
其中表面等离子体光学、人工负折射率材料、隐身结构，都是通过引入微纳结构控制光的衍射和传播，从而实现新的光学性能。
从这个角度来讲，微纳光学结构的设计和制造是微纳光学发展的共性关键技术问题，微纳光学是新型光电子产业的重要发展方向。
关键字：微纳光学；纳米制造；微纳光学产业；Abstract：Micro-nano optical structure technology refers to through the introduction of micro-nano optical structure in the material, implement new optical functional devices. The surface plasmon optics, artificial negative refractive index materials, stealth structure, through the introduction of micro-nano structure control of light diffraction and transmission, so as to realize the new optical performance. From this perspective, micro-nano optical structure design and manufacture is the universal key technical problems in the development of micro-nano optics, micro-nano optics is a new important development direction of optoelectronic industry.Key words : micro-nano optics; nanofabrication; micro-nano optical industry1微纳光学技术的多种应用1）加工新型光栅借助于大规模集成电路工艺技术，可以加工出新型的光栅。
光栅是个实用性很强的基本光学器件，在23ARTICLE | 论文激光与光电子学进展2009.10光谱仪、光通信波分复用器件、激光聚变工程、光谱分析等领域中大量使用。
传统的表面光栅不论是机械刻画光栅，还是全息光栅，其表面的光栅结构是很薄的。
明胶或光折变体全息光栅的光栅厚度较厚，由于制造工艺的一致性、温度稳定性和长期稳定性问题，在实际应用时仍然有限制。
2）制作深刻蚀亚波长光栅采用激光全息、光刻工艺和半导体干法刻蚀工艺可以加工出深刻蚀亚波长光栅。
其简化的基本工艺流程如图 1 所示。
首先，采用激光全息产生高密度光栅的光场；其次，通过光刻工艺，在光刻胶上做出光栅掩模；最后，通过反应离子或高密度等离子体等半导体干法刻蚀技术，加工出深刻蚀的表面光栅。
图 1 利用微电子光刻与刻蚀工艺、激光全息技术等，加工深蚀光栅的工艺流程通过在普通石英玻璃中引入深刻蚀光栅结构，如图 2 所示，就可以实现一系列实用的光学器件。
图 2(a)所示的高效率光栅，衍射效率理论值为 98%，可以实现偏振无关结构，也就是对于 TE，TM 偏振入射光均可以实现很高的衍射效率。
图 2(b)所示为偏振分束器件，也就是将 TE，TM 偏振方向的光完全分开，表现出类似于晶体的偏振分光性能。
图2(c) 所示为在二次布拉格角度下工作的分束光栅。
图 2(d) 所示为高效率 1×3 分束器，衍射效率可以高达 98％，和商品化的 1×3 分束器（衍射效率 75％）相比，衍射效率要高出23%, 具有重要的应用前景。
图 2 深刻蚀石英光栅可以实现一系列功能：(a)高衍射效率98%；（b）偏振分束；（c）二次布拉格角分束；（c）高效率1×3分束器等3）可实现多种新型光学元件利用微纳光学技术，结合数字编码技术，还可以实现更多新型的光学元件，例如偏振透镜1。
所谓偏振透镜就是可以仅对一个偏振光成像，而对另外一个偏振光则完全滤除。
众所周知，光学透镜是一个基本的光学元件。
一般来说，普通的光学透镜没有偏振特性，对于不同偏振光的成像功能完全一样。
如果要想实现偏振控制功能，则必须附加上起偏器等元件，这将使得结构复杂、成本昂贵、体积庞大。
最近发明的一种微纳结构数字编码的“偏振透镜”能够实现对任意偏振光成像的功能，如图 3 所示。
它利用光学表面的微结构实现偏振选择功能和数字编码实现透镜成像功能，使普通光学材料通过引入微纳光学结构，就可以实现偏振成像的功能。
其优点是体积小、重量轻，通过大批量复制技术，可以实现低生产成本，具有良好的产业化前景。
图 3 数字化编码的光学表面微结构可以实现偏振透镜的功能。
4）提高能源的利用效率利用微纳光学器件，可以为目前大力提倡的“节能减排”做贡献。
例如，光学表面一般是有反射，如图4(a)所示，在利用太阳能或提高半导体激光器的出光效率时，会带来光能的损耗。
人们很早就知道，光学表面的微纳结构会起到增加透射、减少反射的作用。
由于随机表面结构加工的便利性，这方面的实验论文大量报道。
采用随机微纳结构确实能起到一定减反的效果，但对其物理本质深究的并不多。
我们的观点认为这是由于渐进的光学表面等效折射率而导致的，而且这个渐进的光学表面等效折射率应该是线性增加的，这样才能够保证光波波前不会受到附加的扰动或干扰，从这个角度来讲，三角形的表面微结构是最完美的，如图4(b)所示。
而随机的光学表面微结构会引入附加干扰。
而采用光栅模式方法就可以很好理解内在的物理过程2。
这个观点对于提高太阳能接受器件的用效率以及半导体激光器件的出光效率，有重要应用价值。
在光显示中，利用纳米光学结构的宽带偏振效应，可以提高光能利用率。
在手机显示等应用中，利用微纳米结构的波导效应，可以有效控制光的能量分布，提高光能利用率，如图 5 所示3。
图 4 （a）光学表面的反射；(b)光学表面的微结构可以有效降低反射，提高光能利用率5）可应用于高端光学的场合利用纳米光学结构色彩控制能力和数字化编码能力，将来有可能在人民币等高端光学防伪中使用。
微纳光学结构的色彩控制能力4和大批量复制技术，将来也有可能替代传统油墨印刷，从而发展出新型印刷产业。
事实上，半色调编码技术，也就是将灰度图像编码成不同密度的微观二值的模拟技术，很早就用于印刷行业，使得报纸的印刷更加便宜和方便。
从面向光学显示的娱乐产业以及飞机驾驶员培训三维场景光学模拟5等高端应用来看，微纳光学都将发挥关键作用。
图 5 光学波导的微结构还可以实现光能量的空间分布，在手机，头盔显示等领域有重要的应用前景2.结论微纳光学具有广泛的应用前景。
例如，下一代光盘产业的研究已经进入到纳米阶段，光学超分辨技术、纳米结构的光学制造、快速相变材料以及利用表面等离子体等纳米光学技术6等都在其中得到了广泛的重视与研究。
在光通信、激光武器、大气污染检测等多种应用场合，微纳米光学技术都将发挥重要作用。
微纳光学不仅是新型光电子产业的发展方向，也已经成为光学领域的前沿学科方向，在Nature，Science 等国际顶级期刊上经常有微纳光学领域的论文发表7’8’9’10’11。
微纳光学结构的制造是一个基本技术问题，表面等离子体光学器件、负折射率材料等纳米光学器件均需要先进纳米尺度的制造技术，它包括聚焦电子束设备、光刻工艺设备、反应离子刻蚀设备或高密度等离子体刻蚀设备以及激光全息设备等。
借助这些纳米制造技术，可以制造出一系列新型的光学元件，例如：偏振分光器件等。
因此，微纳光学器件在光存储、光显示、光通信等多个领域，具有重要的应用前景。
3.参考文献1周常河，偏振透镜及其制备方法[P]. 中国专利：200710038257.62J. Zheng, C. Zhou, J. Feng et al. Polarizing beam splitter of deep-etched triangular-groove fused silica gratings[J].Opt. Lett., 2008, 33(14): 1554~15563A. Cameron. The application of holographic optical waveguide technology to the Q-Sight family of helmet-mounted displays[C]. SPIE, 2009, 7326: 73260H.4H. Lochhihler. Colored images generated by metallic sub-wavelength gratings [J]. Opt. Exp., 2009, 17(14): 12189~121965A. Cameron. The application of holographic optical waveguide technology to the Q-Sight family of helmet-mounted displays [C]. SPIE, 2009, 7326: 73260H.6M. Mansuriput, A. R. Zakharian, A. Lesuffleus et al. Plasmonic nano -structures for optical data storage [J]. Opt.Exp., 2009, 17(16): 14001~140147M. Schnell, A. Garcia -Etxarri, A. J. Huber et al. Controlling the near -field oscillations of loaded plasmonic nanoantennas [J]. Nature Photon., 2009, 3（5）: 287~2918Y. Kang, H. Liu, M. Morse et al. Monolithic germanium/silicon avalanche photodiodes with 340 GHz gain-bandwidth product [J]. Nature Photon., 2008, 3（1）: 59~639L. H. Gabrielli, J. Cardenas, C. B. Poitras et al.. Silicon nanostructure cloak operating at optical frequencies [J].Nature Photon., 2009, 3(8): 461~46310T. W. Ebbesen, H. J. Lezec, H. F. Ghaemi et al.. Extraordinary optical transmission through sub -wavelength holearrays [J]. Nature, 1998, 391（6668）8: 667~66911E. Laus, C. Genet, T. Skaulf et al.. Plasmonic photon sorters for spectral and polarimetric imaging [J]. NaturePhoton., 2008, 2（3）: 161~164。