纳米三坐标测量仪(轮廓仪、形貌仪)
sensofar量测结果
sensofar量测结果
sensofar光学轮廓仪作为一台具有高性能的3D 测量设备，超越了现有的一切光学轮廓仪。
sensofar 光学轮廓仪结合了三大技术——共聚焦（适用于高斜率表面）、干涉（有高的垂直分辨率）和多焦面叠加（在短短几秒内测量形貌特征），将三大技术集于一体，且不用任何运动部件。
共聚焦
共聚焦轮廓仪能测量从较光滑到非常粗糙的表面，空间采样精细至0.10 μm，是关键尺寸测量的理想选择。
高数值孔径（0.95）和高放大倍率（150X）的物镜可用于测量局部斜率超过70°的光滑表面以及斜率高达86°的粗糙表面。
sensofar的共聚焦算法能实现纳米级的垂直方向重复性。
干涉
白光干涉（VSI）能测量从光滑到适度粗糙的表面，可在所有数值孔径下实现纳米级的垂直分辨率。
因此，S neox 能使用所有可用的放大倍率在不影响高度分辨率的情况下显示三维形貌特征。
相位差干涉（PSI）能测量非常光滑和连续的表面，可在所有数值孔径下实现纳米级的垂直分辨率。
用极小的放大倍率
（2.5X）能在不影响高度分辨度的情况下采集较大的视场范围。
多焦面叠加
多焦面叠加是设计用于测量大面积粗糙表面的光学技术。
sensofar 采用该方法专门用于补足放大倍率较低的共聚焦测量。
该技术的亮点包括高斜率表面（高达86°）、快的测量速度（mm/s）和较大的垂直扫描范围。
这些特性的结合十分适用于工具加工的应用。
光学轮廓分析实验报告
实验名称：光学轮廓分析实验日期：2023年X月X日实验地点：光学实验室实验目的：1. 了解光学轮廓分析的基本原理和实验方法。
2. 掌握使用光学轮廓仪进行表面形貌测量的操作步骤。
3. 分析测量结果，评估样品表面的几何特征。
实验仪器：1. SuperView W1光学3D表面轮廓仪2. 样品（半导体芯片、光学元件等）3. 计算机4. 数据处理软件实验原理：光学轮廓分析是利用光学干涉原理对样品表面进行非接触测量，从而获得样品表面的三维形貌信息。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪采用白光干涉技术，以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
实验步骤：1. 将样品放置在载物台镜头下方，确保样品表面与镜头平行。
2. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态。
3. 使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹。
4. 微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹。
5. 完成扫描设置和命名等操作。
6. 点击开始测量，进入3D视图窗口旋转调整观察。
7. 台阶样品分析：校平样品表面，选择基准区域，进行排除和包括操作。
8. 台阶高度测量：进入分析工具界面，点击台阶高度图标，获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据。
9. 手动检测：根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度。
实验结果：1. 通过实验，成功获取了样品表面的三维形貌信息。
2. 利用数据处理软件对测量结果进行分析，得到了样品表面的粗糙度、轮廓等几何特征。
3. 对比样品表面的实际几何特征，实验结果与预期相符。
实验讨论：1. 光学轮廓分析具有非接触、高精度、高分辨率等优点，在精密加工、材料分析等领域具有广泛的应用。
2. 实验过程中，样品表面干涉条纹的观察和调整是关键步骤，需要操作者具备一定的经验。
3. 在台阶样品分析中，基准区域的选取对测量结果有较大影响，需要根据实际情况进行选择。
美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪
美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪一、 产品简介美国NANOVEA公司是一家全球公认的在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的领导者，生产的三维非接触式表面形貌仪是目前国际上用在科学研究和工业领域最先进表面轮廓测量设备，采用目前国际最前端的白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。
二、产品分类该公司的三维非接触式表面形貌仪主要有4款：JR25、PS50、ST400与HS1000（区别见技术参数）：JR25便携式三维表面轮廓仪：野外操作或不可拆卸部件的理想选择·便携式表面形貌仪·结构紧凑，性价比高·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广·测量范围：25mm×25mmPS50表面轮廓仪：科研单位与资金不足企业的最佳选择·性价比高·结构紧凑·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广·测量范围：50mm×50mmST400表面轮廓仪：·应用范围广·适合大样品的测试·测量范围：150mm×150mm·360O旋转工作台·带彩色摄像机（测量前可自动识别特征区域）HS1000表面轮廓仪：·适用于高速超快自动测量场合·超高的扫描速度（可达1m/s，数据采集频率可达31KHz，最高可达324KHz）·能保证超高平整度和稳定性（花岗石平台）三、测量原理简介：Nanovea 公司的三维非接触式表面形貌测量仪采用的是国际最前端的白光轴向色差技术技术实现先进的高分辨率的三维图像扫描与表面形貌测量。
•利用白光点光源，光线经过透镜后产生色差，不同波长的光分开后入射到被测样品上。
• 位于白光光源的对称位置上的超灵敏探测器系统用来接收经被测样品漫反射后的光。
表面形貌测量利器——SuperView W1光学3D表面轮廓仪
表面形貌测量利器——SuperView W1光学3D表面轮廓仪Super View W1光学3d表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。
它是以白光干涉技术为原理、结合精密z向扫描模块、3d建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3d图像，通过系统软件对器件表面3d图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2d、3d参数，从而实现器件表面形貌3d测量的光学检测仪器。
Super View W1光学3d表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3c电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、mems器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。
可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据iso/asme/eur/gbt四大国内外标准共计300余种2d、3d参数作为评价标准。
Super View W1光学3d表面轮廓仪显著特性：1.高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密z向扫描模块和优异的3d重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）独特的隔振系统，能够有效隔离频率2hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得极高的测量重复性。
2.一体化操作的测量分析软件1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6）可测依据iso/asme/eur/gbt等标准的多达300余种2d、3d参数。
美国zeta泽塔公司三维立体显微镜轮廓仪资料
数码相机 耦合镜
20x 0.50 0.45 0.75 480x360 1257x943 50x 0.10 0.80 0.42 192x144 503x377 100x 0.07 0.90 0.40 96x72 251x189
Z 轴驱动 核心光学组件
优于1.5% (1σ/平均值 )
XY 载物台
产品尺寸 (mm)
1 2 3
1/3英寸 CCD 相机，0.5x耦合镜 2/3英寸 CCD 相机，0.35x耦合镜 静态重复性和精确度是基于对 VLSI 8 微米标准台阶高度的测量 （使用100X/0.9NA 物镜）
系统选项和升级 薄膜厚度测量
可见光反射频谱仪
‧ ‧ ‧ ‧ ‧ ‧ ‧ 可测 30nm 到 10μm 之间的薄膜厚度 频谱范围：430nm – 750nm 频谱分辨率：1nm 提供超过200多种材料的n&k值 在薄膜厚度已知的条件下，计算薄膜材料 n&k 值 可测量太阳能硅片绒面上氮化硅膜厚度 本色图像可提供样品待测区域的重要信息
系统控制
典型系统配置
显微镜系统
光源： 物镜： 耦合镜： 手动载物台： Z轴： 数码相机： 高亮度白光 LED 5x，10x，20x，50x，100x
Zeta 三维测量软件
实时视频成像 快速数据采集 （大约1分钟） 三维表面浏览 倾斜，旋转，缩放，过滤 体积测量 二维表面分析 特征尺寸，直径，面积 图案间距，标准偏差 表面粗糙度 二维台阶高度 轮廓测量 台阶高度测量 粗糙度参数 多横截面分析 平均值测量标尺 点对点测量标记
0.5x 100mm x 100mm XY 驱动范围 30mm 纵向驱动范围 1024x768像素， 1/3英寸 CCD
计算机控制系统
光学轮廓仪工作原理【下载】
光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。
它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。
为什么需要测量表面形貌？在生产中，微观上的表面形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更全面、更真实地反映零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。
通过对三维形貌的测量可以比较全面地评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过指导加工、优化加工工艺以加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。
光学表面轮廓仪的测量原理：光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。
功能光学轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
一句话概括就是测量超光滑表面（纳米级别）微观形貌。
典型应用中图仪器SuperView W1系列光学轮廓仪应用非常广泛。
在3C领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；在LED行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；在光纤通信行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；在集成电路行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；在EMES行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度；在军事领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。
2024年轮廓仪市场需求分析
2024年轮廓仪市场需求分析引言轮廓仪是一种用来测量物体三维形状的设备，具有广泛的应用领域，包括工业制造、3D打印、医疗、艺术等。
随着科技的进步和人们对精度要求的提高，轮廓仪市场需求正呈现出稳定增长的趋势。
本文旨在分析轮廓仪市场的需求特点和趋势，为相关厂商提供市场参考。
市场需求特点在2024年轮廓仪市场需求分析中，我们可以发现以下几个特点：1. 市场规模不断扩大随着科技的发展和相关行业需求的增长，轮廓仪市场规模逐年扩大。
例如，3D打印技术的快速发展带动了对高精度轮廓仪的需求增长。
2. 高精度需求增加随着生产过程的自动化和工业制造的精细化要求，对于高精度轮廓仪的需求越来越大。
高精度轮廓仪的出现可以满足客户对于产品质量和精细度的要求。
3. 自动化需求增强随着工业制造的发展，客户对于自动化设备的需求越来越高。
在轮廓测量领域，自动化轮廓仪的需求日益增加，以提高生产效率和降低人工成本。
4. 跨行业应用扩展轮廓仪的应用不仅局限于工业制造领域，还涉及到医疗、艺术等领域。
随着科技的突破和应用范围的扩展，轮廓仪在不同行业中的需求也在不断增加。
市场需求趋势分析根据市场需求特点，可以分析出以下几个市场需求趋势：1. 产品多元化为了满足不同客户的需求，厂商需要研发多种型号和规格的轮廓仪。
例如，针对不同行业需求设计开发出医疗领域的轮廓仪、工业制造领域的轮廓仪等。
2. 高精度和高效率随着客户对于产品精度要求的提高，厂商需要不断提升轮廓仪的精度和测量效率，以满足客户的需求。
3. 自动化和智能化随着工业制造的自动化水平不断提升，客户对于自动化和智能化轮廓仪的需求也在增加。
厂商应积极研发具备自动化功能和智能化算法的轮廓仪产品。
4. 跨行业应用拓展随着轮廓仪在医疗、艺术等领域的应用不断扩展，厂商可以通过不同行业间的合作，进一步拓展市场份额。
结论轮廓仪市场需求正在不断增长，市场规模扩大，高精度和高效率需求增加，自动化和智能化需求增强，跨行业应用进一步拓展。
接触式轮廓测量仪与非接触式轮廓测量仪对比分析
接触式轮廓测量仪与非接触式轮廓测量仪对比分析前言：目前市场上的轮廓测量仪主要有接触式轮廓测量仪和非接触式轮廓测量仪，本文将从功能、原理、应用三个方面对这两种轮廓测量仪进行对比分析。
功能1.接触式轮廓测量仪（以中图仪器SJ5700为例）可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Y坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。
2.非接触式轮廓测量仪（以中图仪器SuperView W1光学3D轮廓仪为例）适用于各类光滑、连续光滑和适度粗糙物体表面从毫米到亚微米、纳米尺度的3D形貌轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理等测量。
●工作原理1.接触式轮廓测量仪测量原理为直角坐标测量法，即通过X轴、Z轴传感器，测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点，通过电器组件，将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC 机，软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理，标注所需的工程测量项目。
2.非接触式轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。
●典型应用1.接触式轮廓测量仪广泛应用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。
适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室。
在汽车、摩托车、制冷行业,可测汽车、摩托车、压缩机的活塞、活塞销、齿轮和气门顶杆的母线参数等.并可测量各种斜形零件的参数。
在轴承行业,可测内外套圈的密封槽形状(角度、倒角R、槽深、槽宽等);各种滚子轴承的滚子和套圈母线的凸度、角度、对数曲线; 电机轴、圆柱销、活塞销、滚针轴承、圆柱滚子轴承、直线轴承的滚动体和套圈的直线度；球轴承沟道的沟曲率半径及沟边距;双沟轴承的沟心距；四点接触轴承(桃形沟)的沟心距和沟曲率半径等。
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系统组成与测量原理：
整个 3D Nanofinger 系统由台 架、控制系统、探头、针尖组成。
系统控制单元控制探头沿样 品表面移动，以测量形貌、粗糙度、 尺寸。操作者可根据需要设定参 数，如探头移动的步长，选择、制 定自己的测试模式，以使测量长 度、速度、路径、分辨率达到最优 化。
如果和微加工设备组合，可以实现在线测量。
应用实例：
说明：以下的实例中使用的样品都是用户的标准样，根据国家标准。 实例中的测量值为实验值，不作为验收标准。
1． 量快的外形尺寸测量 样品是一个金属块，之前用某种计量仪器检测过，已知精确尺寸。
X 方向结果 Y 方向结果 Z 方向结果
原参考值 40,000.080μm 40,000.080μm 18,000.000μm
纳米三坐标测量仪（轮廓仪、形貌仪）
德国 Klocke 公司的 Nanofinger 是一种兼具原子量级分辨率和厘米级线性行程的纳米定位与测 量系统，系统测量范围大，且具有极高的空间三维精度。可在 50mm x 50mm x20mm 的空间范围内 实现分辨率 1nm 的三維坐标测量，跨越 8 个数量级。
用户自己可以对参数调整，如设定测量路径。
可以测量多种参量如尺寸、粗糙度等。
有可选接口，可与微加工设备集成。
垂直方向：10 或 20mm
技术特点：
与下为 3D Nanofinger 与常见微纳米测量设备和三坐标的比较：
台阶仪
光学轮廓仪
坐标测量仪
测量精度
பைடு நூலகம்
纳米级
Z 向纳米级
微米级
XY 向微米
量程
毫米级
通常微米级
结果
3D Nanofinger
共焦显微镜
光学色散测量设备
沟槽的宽度
250µm
250µm
沟槽的角度
71°
71°
仪器缺点不足 针尖形状度测量结果有影响。需 无法测量沟槽结构 测量错误
要很好的标定和校准。
共焦显微镜结果，它无法测量沟槽深度方向信息。
- 3D Nanofinger 8 -
光学色散方法的探头扫描图像，测量结果是错误的。
3． 测量孔的直径
普通轮廓仪是沿着坐标方向进行扫描。3D Nanofinger 则与此不同，它可以沿一个路径测量。例 如根据样品的情况，沿着其内部或外部轮廓进行测量，这样可以测一些比较复杂的样品及其细部。 样品是一个标准金属块，上面的孔径已用某种计量仪器进行了标定。
- 3D Nanofinger 6 -
用途 表面扫描 表面扫描 表面扫描 表面扫描 表面扫描 表面扫描 表面扫描 表面扫描 表面扫描 只用来进行深度测量 表面的直角扫描 表面直角扫描 轮廓测量（内、外） 轮廓测量（内、外） 轮廓测量（内、外） 轮廓测量（外） 轮廓测量（外）
典型型号：
系统布局灵活以满足用户需要。不同的平台安装方法配合各类台架及辅助设备构成检测设备。 最简单的系统为通用型测试平台，如图 1 所示。其他的纳米模块可以方便的安装到平台上，以 进一步扩展功能。也可以如图 2 那样安装在大理石桥架上，并配备 100X100mm2 的高精平台，用来 测量更大的样品或一批样品。该系统分辨率 50nm。
- 3D Nanofinger 1 -
Nanofinger 探头是完成测量工作 的主要部件，其核心为一个 MEMS 器 件。通过它准确测量针尖和样品间的 距离，分辨精度 0.5nm。当二者间距小 于 10nm 时，MEMS 器件监测到针尖 上信号的变化，从而感知样品的接近。 系统随时记录这种信号的变化，并根 据此前预设的信号/高度参数标定高度 值。
6．极高精度的 3D 形貌图
如前面介绍，3Dnanofinger 三方向运动和测量精度保持一致。可以沿着一条设定的路径测量。 可以测量孔径或样品内部尺寸，外部尺寸（例如轴承上的沟槽） 下图为 CNC 钻床和磨床上使用的刀具刃部的三维图像。
这张图片再次证明了该设备的强大功能。没有一种坐标测量设备或轮廓仪可以提供如此标准的 3D 图像：纳米精度测量从微米到毫米、甚至厘米级尺寸的物体。
- 3D Nanofinger 9 -
左图清晰、直观地显示了整个测 量过程。
z 探针以出发点为测量原点，接近 样品
z 当到达预设定的高度停止。记录 坐标位置
z 系统自动退针到预定高度停止。 z 根据设定的测量规则横向移动到
下一测量点，开始测量。
整个过程由计算机控制完成。
图中 Contact 的意思是到达预先设 定的高度，而非接触到样品表面。整 个过程中样品、针尖保持在几个纳米 的间距（一般为 5nm），为非接触测量。
3D Nanofinger 中国代理： 北京汇德信科技有限公司 地址：北京市海淀区五道口华清嘉园 7 号商务会馆 706 室(100083） 电话：010-82867920/21/22 传真：010-82867919 电子邮件：contact@ 网址：
3D NanoFinger 测量值 40,000.129μm 40,000.059μm 18,000.133μm
差值 0.049μm -0.021μm 0.133
结论：3D NanoFinger 测量值更精确。3 个方向的精度都是纳米级，精度统一。
2． 角度测量 该样品为德国国家标准学院 PTB 的基准样品。
Ra
6,010 nm
5,882 nm
-128 nm
Rz
23,700 nm
23,218 nm
-482 nm
5．在狭窄的结构中进行扫描测量
以下测量的是玻璃光导上的 V 型沟槽。下图为整个 V 型沟槽阵列的总览。
- 3D Nanofinger 7 -
单个 V 型沟槽的扫描图像
该沟槽 3D 形貌图
目前还没有其他一种测量方法可以测量这种深沟槽结构。以下为其他两种光学方法的测量结果。
综上所示，不难看出 3D Nanofinger 具有很多优点： z 纳米精度测量，而且是三维方向都可保持统一的精度。 z 测量量程跨越纳米到厘米级。 z 用户可以设定测量路径，这样就能沿着样品形状进行测量。适合复杂轮廓测试。 z 配合多种不同功能的探针，可以完成一般轮廓仪无法进行的结构测量。特别是结构内部。
下图所示为两种典型针尖的电镜图像：
细线状针尖，尖端半径 25nm。
尖端弯曲的针尖，可以测量侧壁。
- 3D Nanofinger 2 -
部分典型的针尖如下表所示：
编号 1 2 3 4 5 7 8 14 15 17 12 16 9 11 13 6 10
针尖形状 尖锐(<～500nm) 尖锐(<～500nm) 尖锐(<～500nm) 尖锐(<～500nm) 尖锐(<～500nm) 尖锐(<～500nm) 尖锐(<～500nm) 尖锐(<～500nm) 尖锐(<～500nm) 平头针 尖锐(<～500nm) 尖锐(<～500nm) 球径 d=0.12mm 球径 d=0.3mm 球径 d=0.3mm
3D Nanofinger 测孔的图片
原参考值 5,001.200µm
3D NanoFinger 测量值 5,001.564µm
测量结果
差值 0.364µm
4．表面粗糙度的测量 Ra 和 Rz：
样品是 Talor Hobson 带的基准样品。根据国家标准。
原参考值
3D NanoFinger 测量值 差值
d=0.3mm
d=0.3mm
描述 直针 直针 直针 直针 直针 直针 直针 直针 直针 直针 弯针 弯针 测杆上装球头 测杆上装球头 测杆上装球头 柱状头 柱状头
其他参数 细线直径 d=0.125mm 细线直径 d=0.125mm 细线直径 d=0.125mm 细线直径 d=0.125mm 细线直径 d=0.125mm 细线直径 d=0.125mm 细线直径 d=0.125mm 细线直径 d=0.38mm 细线直径 d=0.125mm 细线直径 d=0.08mm d=0.125mm,钩子<1mm,长~9mm d=0.125mm,钩子<1mm,长~9mm 测杆 L~1.5mm d=0.07mm 测杆 L~4mm d=0.2mm 测杆 L~2mm d=0.2mm 不锈钢管 不锈钢管
厘米级
小于 1mm
可到米
粗糙度测量 可以
可以
不行
尺寸测量
仅一个方向
XYZ 可测
3D 形貌测量 通常不行
可以
通常不行
探头尺寸
0.2~1 微米
0.2~1 微米
测量自由度
只能沿扫描线测 无法进行复杂尺寸测 5 个自由度
量，无法测复杂样 量
可以测量复杂样品尺
品
寸
3D Nanofinger 三方向都是纳米级 精度一致 可以到厘米级 甚至分米 可以 XYZ 可测 可以 0.05 微米 5 个自由度 可以测量复杂样品 尺寸
针尖：
3D NanoFinger 的针尖架可装不同微探针。针尖的种类多样，从尖锐的线针尖（针尖尖端半径可 达 50nm 的）到球型头各异，用户可根据检测目的和应用范围不同进行选择。
通常细线状针尖可以深入到大深宽比微结构的内部，以纳米精度测量表面的粗糙度、轮廓、尺 寸甚至整个区域的 3D 图像。而具有确定直径的球头主要用来测量样品的尺寸。
- 3D Nanofinger 5 -
下图显示的是用 3D Nanofinger 测量一条已标定为 90°的 V 型槽。
经测量两条线形成的夹角为： f1(x)= -1.00499*X + 3595842.866803 f2(x)= 0.994323*X + 4632506.155209 测量角度为：90.022°