ESD管理规范及测量标准

ESD管理规范及测量标准

————————————————————————————————作者：————————————————————————————————日期：

深圳市微浦技术有限公司

工作指引

文件名称：ESD管理规范及测量标准部门：工程部

文件编号: VP-QA-004 版本：A/0

编写：谭桂审核：

批准：生效日期：

修订日期修订内容修订者原版本

会签部门□工程部______ _ □ PMC__ _ _ _ □仓管部

□生产部□产品部____ __ _ □采购部

□品质部_____ __ □销售部_____ _ _ □行政部____ _____

分发份数共份

1.0目的

本公司规定了产品和电子组件在制造过程中的静电防护，防止因静电的力学和放电效应而产生或可能产生的危害，或将这些危害限制在最小程度。以确保产品的设计性能及使用性能不致因静电作用受到损害，保证产品质量、提高产品寿命。

2.0适用范围

适用于本公司所有产品物料的采购、验收、储存、搬运、加工、包装及生产装配、产品测试等全过程。

3.0定义

3.1ESD(Electro-Static discharge)：主要是指两个带有不同静电电位之物体，当它们接近并能够发生电

荷传送，由于电荷的传送产生了电流，使器件损坏或造成寿命上的伤害，一般称为静电泄放或简称ESD。

3.2SSD(Static Sensitive Device): 凡对静电敏感的电子元器件一般称为静电敏感元器件或简称SSD。

4.0职责

4.1工程部依据本程序要求实施静电用具的进料检测和电线、接地线、静电垫等防静电设施测试和记录以及

日常维护。

4.2品质部负责制定防静电措施要求和标准及监督执行状态。

4.3各部门经理负责本部门工作区域、生产制造过程中的静电防护措施的执行。

5.0工作程序

本文主要从静电控制的五个方面(即人员、设备、物料、方法和环境)来论述ESD规范，贯穿了公司产品设计、制造、贮存、包装等各个环节防静电控制。

5.1静电敏感区域的界定：

5.1.1ESD敏感器件的生产区域------生产线等。

5.1.2ESD敏感器件的前加工区域----前加工房。

5.1.3ESD敏感器件的贮存区域------仓库

5.1.4ESD敏感器件的返修区域------返修区及返修工位。

5.1.5ESD敏感器件的老化区域------老化房。

5.2静电敏感区域的标识：

5.2.1静电敏感区的区域界限应该用黄黑相间的斜条纹来标识，线条宽度为5~10CM这两种斜条纹是

专门用来标识静电敏感区的区域界限的，不可作为其它标识用。

5.2.2从静电敏感区域的入口处开始, 在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志。如图A:

5.2.3防静电容器(防静电周转箱，防静电元件盒等)，元件架和运输车等器材上应有防静电标志，标

志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图B:

5.2.4经过防静电液处理的物品和场所也应有防静电标志。如图C:

5.2.5含有SSD的图纸资料,应有SSD标志。

5.2.6设备的外部端口、整机包装、交付文件标志应符合GJB1649中条要求。

5.3静电敏感区域的工程环境防静电规范

5.3.1防静电工程环境在设计时，为达到静电防护的要求应遵循以下原则:

1）抑制静电荷的积累和静电压的产生

2）安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷

3）防静电工作区应按电子元器件静电敏感度确定防护所应达到的级别和程度。一般的要求静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。

4）防静电区域应标明区域界限并在明显处悬挂警示标志。

5）在防静电工作区内禁止使用易产生静电荷的电荷源。表一为常见的电荷源:

5.3.2防静电工程环境的温度和湿度要求：

温度应在15℃至30℃之间,湿度应在45%至75%之间,环境内应配备温度计和湿度计,并按要求做好点检记录。如果环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足

湿度要求，但应以不对产品造成有害影响为前提。如果湿度高了应该开空调或抽湿机来

使其满足要求。

5.3.3温度计和湿度计使用要求:

1）对温度、湿度做监测的温湿度仪,必须放置在水平稳定的平面上。

2）有温湿度测量仪的场所应由专人定期检查温湿度自动仪测试状况,并记录该时间段的最高和最低值。

3）遇有休息、节假日等特殊情况,在上班后的第一时间内要检查温湿度自动记录仪的记录情况。

4）发现温度湿度有超标应立即采取有效措施予以改善,并确认超标情况是否有对产品或材料造成损坏,采取的改善措施应予以记录。

5）每月的温湿度仪记录的测试结果由负责记录的部门归类保存。

5.4静电敏感区域的人员防静电规范：

5.4.1各类人员的防静电知识培训要求及职责：

有可能进入静电敏感区域的人员或有可能接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训,这既是对每位员工的基本要求，也是减少静电危害的根本方法和

途径之一。

5.4.1.1所有新员工（职员）在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。

5.4.1.2在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触(包括静电

感应)的作业人员，必须接受ESD知识的培训，作为上岗考核的必考内容之一。

5.4.1.3工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，掌握电子工业产品的防静电工艺

技术，在生产过程中指导生产作业人员落实防静电措施，并对他们进行静电防护日

常教育。

5.4.1.4品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训，熟悉各类SSD的静电敏

感性能及其防护知识,监督防静电工艺规程的贯彻执行，评估防静电工程实施效果。

5.4.1.5检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必须接受较为ESD专业

知识培训,熟练掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法,严格按设计技术文件

要求和工艺规程进行检验和试验。

5.4.1.6设备部负责防静电接地和布生产线的人员,应接受较为专业的ESD知识培训,熟悉防

静电接地系统要求,掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。

5.4.1.7生产管理人员应了解ESD基本知识,严格按静电敏感器件的设计文件要求和工艺规程

组织生产,并开展对生产员工的静电防护日常教育。

5.4.1.8计量部门也应了解ESD基本知识,尤其是关于防静电仪器的校验知识,要定期调校防

静电检测器材,保证其安全、有效。

5.4.2采购ESD 控制：

采购部人员必须接受ESD基本知识培训,熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电防护常识,严格遵守物料或产品在采购和运输过程中静电防护的规范。

5.4.2.1依据ME之规定，物料采购按零件承认书对SSD组件采购时，须在采购单注明ESD防

护要求；其它ESD防护器材采购时，须按ME测试工程师制定的标准进行采购。

5.4.2.2须向经认可的ESD产品供货商采购，并保持最新的ESD认可供应商清单。

5.4.2.3要求供货商提供合乎规格之包装、标示及正确的发票。

5.4.3仓库防ESD控制：

仓储,转运人员必须接受ESD基本知识培训,懂得在储存和转运过程中防护

ESSD静电器件及相关的存放操作要求。

5.4.3.1对ESD零件进行清点验收时，检查是否有外包装或(及)发票确认为ESD组件。ESD组

件与非SSD应分区存放（ESD存放架要有接地处理），并做显著标示。

5.4.3.2开启ESD组件包装的区域应配置适当的ESD防护设备，如防静电桌垫，ESD手环等。

直接接触组件须在有良好的静电防护下方可接触组件。

5.4.3.3在存放区搬运SSD须使用专用工具(防静电车)，并使包装完整。

5.4.3.4物料周转区须严格按材料存放区ESD控制规范进行作业。

5.4.4进料检验(IQC)的ESD控制：

5.4.4.1检验时确认静电防护及标示是否正确，要求在静电防护良好的区域(工作场所)进行，

须有ESD手环，ESD工作衣、手套、防静电桌垫，工作桌须接静电地。

5.4.4.2检验员需对不当标示或不当包装的组件，依不合格品处理程序执行。

5.4.4.3检验员对防静电气泡袋、静电桌面、静电手套、周转车、料箱、料盒等防静电材料

需按要求对其进行静电检测。

5.4.5制造过程中的ESD控制:

5.4.5.1SSD加工区域，作业员须穿好防静电衣、防静电鞋，戴好静电帽，戴好防静电手环，

并确保防静电手环可靠接地，需走动的工位作业员须戴好防静电脚环；未做好静电

防护者不能接触SSD；工作台铺防静电桌垫，静电接地良好，作业中正确使用防静电

各种工具。(如ESD电烙铁，静电排除装置等)。

5.4.5.2对SSD加工中若须离开原包装，操作人员须做静电防护，戴好接地良好静电手环并

于加工后放回原包装或其它防静电容器内。

5.4.5.3SSD在组装中，依据ME工艺工程师作业指导书进行特殊防护及使用其规定工具，并

定期点检其有效性。

5.4.5.4制程工作人员所使用的静电环和防静电鞋均需每天二次用“人体静电综合测试仪”

加以测试，确认功能正常，并作好记录。

5.4.5.5定期对操作员工进行使用ESD工具、设施及取用SSD程序的完整训练，并作记录。

5.4.5.6每个工作台须有ESD防护料件(如袋、乳棉海绵、箱等)。

5.4.5.7所有进入车间人员，必须经过ESD静电鞋测试仪测试人体综合阻值，通过方可进入，

否则一律不准进入车间，生产作业人员每天上班测一次防静电鞋，以确定防静电鞋

的有效性，并做好记录。

5.4.5.8做好每日的日常点检工作,并将点检情况记录在《静电插座/卡扣线及静电线末端点

检表》中。

5.4.6IPQC稽核：

5.4.

6.1IPQC须协助生产单位检查作业员静电防护措施是否正确及抽测各防静电设施是否正

常；

5.4.

6.2IPQC每日上班前监督员工进行静电鞋和静电手腕带的测试。

5.4.

6.3生产测试及测试工程须使用ESD工作台。

5.4.

6.4清除测试区内静电源。

5.4.

6.5定期检查ESD设施，保证有效性。

5.4.

6.6SSD组件传送至下一个工作区时，设有防护袋装。

5.4.

6.7当施加工作电压时，设备接地应良好。

5.4.7品管部ESD控制：

5.4.7.1定期审核各部门是否依照ESD控制程序进行作业，定期进行ESD点检并做好记录。

5.4.7.2定期审核供货商是否符合ESD规定。

5.4.7.3ESD工作须经QA检验确认。

5.4.7.4定期审核ESD训练计划，工程图是否有正确的ESD警告条文或警告。

5.4.8ME ESD控制:

5.4.8.1定期检查及测试ESD设备设施是否完好、性能及可靠性。

5.4.8.2对ESD设备检验测试、定期测试、校正并作好记录ESD故障有关的资料须经常维护，

问题范围与故障趋势所需调查校正措施须向相关主管报告。

5.4.8.3ME须测试SSD组件，以对它们的ESD敏感度进行分类。

5.4.8.4ME负责所有ESD测试项目之SOP及相关记录表单的编写。

5.4.9ESD点检

5.4.9.1点检条件: 全部点检均在生产场地内进行，环境温度20-25℃，相对湿度40%-60%。

5.4.9.2点检仪器：非接触式和接触式静电电压表、接地电阻测量仪、兆欧表及标准电极、静

电电量表、腕带测试仪、人体综合电阻测试仪、离子平衡分析仪、摩擦起电机、法

拉第筒、静电屏蔽测试仪、直流电压（表），直流电压源。

注：所使用的仪器精度不低于5%，均应验定、计量合格和在有效期内，量程大于实际测试范围20%。

允许使用符合测试要求的同类仪表。

5.4.9.3测试技术指标：见附录A.

5.4.9.4点检项目&周期:

5.4.9.4.1防静鞋与人体综合阻值 (2次/天)

5.4.9.4.2防静电手环连接电阻 (2次/天)

5.4.9.4.3ESD工作台(台垫)静电电阻 (1次/月)

5.4.9.4.4防静电母线接地电阻 (1次/周)

5.4.9.4.5货架静电电阻 (1次/月)

5.4.9.4.6料车台面对车轮电阻 (1次/月)

5.4.9.4.7周转箱，零件料盒表面电阻 (1次/月)

5.4.9.4.8工作服(工作帽，手套)表面电阻 (1次/月，抽查)

5.4.9.4.9流水线传送带表面电阻 (1次/月)

5.4.9.4.10防静电地板表面电阻 (1次/1年)

注：抽查项目抽查结果高于30%不合格，继续抽查10个点，不合格率高于0%提

出不良改善方案，且抽查结果高于30%不合格，继续抽查20个点，不合格

率高于0%提出不良改善方案，抽查结果须做好记录，填写相应表单。

5.4.9.5点检方法

1）表面电阻测试时，对每车间静电地板不得少于五点，接地电阻、传送带不得少于

三点，周转箱不少于三只，静电鞋不少于三双，静电衣不少于10件，工作台不

少于三张。

2）点检周期: 见5.4.9.4。

3）该点检方法根据中华人民共和国电子行业标准(SJ/T10694-2006)《电子产品制造

与应用系统防静电检测通用规范》所制定。

5.5摩擦起电电压测试：

5.5.1使用摩擦起电机摩擦起电，并利用非接触式静电电压表测试摩擦起电电压。摩擦起电机的摩擦

起电极呈圆柱状，直径50mm～60mm，重量1kg，体积电阻大于1×1013Ω，并用高绝缘尼龙布（表面电

阻不低于1×1013Ω）包裹以增加摩擦（见图1）。测试时，开动摩擦起电机使摩擦起电极与被测试物体摩擦，单向摩擦20次（时间20s）停止，10s内用非接触式静电电压表测试摩擦轨迹起电电压。

5.5.2测试工作台面、地面、工作椅面、运转车表面摩擦电压时，应将被测物接地后利用摩擦起电机

直接测试。对于板、片材（包括薄膜），应在底面放置一块边长不小于270mm、厚度不小于0.5mm的正方形不绣钢电极板并良好接触，将极板接地后测试。

5.5.3对于产品（材料），以每个样品不同点测试3次的平均值为结果。

5.6电阻测试：点对点电阻和系统电阻测试

5.6.1所用电极结构尺寸：柱电极直径63mm±3mm；电极材料为不锈钢或铜；电极接触端材料导电橡

胶，硬度60±10（邵氏A级），厚度6mm±1mm，其体积电阻小于500Ω；电极单重2.25kg～2.5kg。

5.6.2测试电压要求见表1.

5.6.3测试点对点电阻时，应将产品（材料）放置在绝缘台面上或以实际使用状态放置。台面表面电

阻、体积电阻分别大于1×1013Ω，其几何周边尺寸均大于被测材料10cm。电极之间距离300mm。地面测试时，电极之间距离900mm～1000mm。

5.6.4测试系统电阻时，将被检样品（地面）按实际使用状态测试。工程测试时，电极拒被测材料边

缘大于10cm。

5.6.5由于测出的电阻取决于施加的电压，且电阻为未知数，所以应该执行以下程序：

5.6.6初始施加的测试电压为10V：

-----如果Rx≤1×105Ω，则测量值为结果；

-----如果Rx>1×105Ω，则把电压改为100V(见注1)。

5.6.7施加电压为100V:

-----如果(1×105

-----如果Rx≤1×105Ω，则测量值可看作为结果。

5.6.8为确保测试的准确性，应采用极性电极测试。对某些材料来说，薄绝缘层的电介质有可能被击

穿。在这种情况下不能采用这种测量方法，测试报告中应予以说明。当有安全性要求时，电阻测试电压应为500V。对产品（材料）检测，以每个样品不同点测试3次的平均值为结果。

注1：上述情况表示电阻取决于施加的电压。如果电阻小于1×104Ω，应考虑电极本身电阻对测试结果的影响。

注2：地板和工作表面的电阻超出本规范的范围时，有必要采用较高的电压来测量电阻，点不适用于EPA 的测量。后动地板工程检测指标中的系统电阻为5×104Ω～1×1010Ω。

5.7防静电接地电阻

5.7.1使用接地电阻测试仪测试防静电接地电阻。

5.7.2测试步骤：

a）将被测地极用导线与仪器端子E连接；

b）在相同直线方向20m、40m潮湿土地处，分别插入电位探测针及电流探测针，

个接于仪器端子P、C;

c）设置“倍率盘”倍数；

d）自缓至块摇动仪器手柄，达到约120r/min，调整“测量标度盘”，指针指于

零位时，读数乘以倍率标度，即为接地电阻；

e）按测试步骤c）、d）反复测试3～5次，取平均值；

f）若有其它适用仪器，可按相应仪器所规定的方法进行测试。

5.8表面电阻（率）和体积电阻（率）的测量

5.8.1测试时，需将产品（材料）放在绝缘台面或测试架上，绝缘台面或测试架上，绝缘台面表面电

阻、体积电阻分别大于1×1013Ω，其几何周边尺寸均大于被测材料10cm。

5.8.2表面电阻、体积电阻测试方法和测试测试电极按照IEC 61340-5-1有关规定执行，或者按GB

1410规定执行。表面电阻率和体积电阻率按GB 1410中规定计算，测试电压按照表1要求。

5.9表面电阻、体积电阻测试电极

5.9.1电极组件由2个导电材料制作的同心环电极和1个直径70mm～85mm厚4mm圆柱状反向电极（电

极面层有3mm厚导电材料，其邵氏硬度60±10）组成（见图2），电极被施以10V电压，在不锈钢、非

腐蚀性金属板（不是铝）是测试时，接触电阻应小于103Ω。电极材料应在测量条件下腐蚀，并不与被测材料起反应。

5.9.2测试程序

5.9.2.1被测试材料应放在1个光滑、平面的架子（或平面）上。当用500V电压进行测试时，

其体积和表面电阻要大于1×1013Ω。相对与被测试样品尺寸而言，比被测试材料的

长和宽大10mm，厚度至少应1mm。

5.9.2.2被测样品应未经化学、物料处理。电极与地面之间的漏泄电流对仪表的读数不应有重

要的影响。要注意在放电极和装样品时要尽量减少电流漏泄，以免影响测量结果。

5.9.2.3样品的形状最好为片状，尺寸不小于110mm×120mm。

5.9.2.4应准备3块样品材料。样品应标明清楚，以便鉴别被测表面。电极按照图3与仪器连

接，然后把样品放在绝缘台（架）上，面朝上。把电极组件放在样品距边缘至少10mm

的距离处。

5.9.2.5给仪器施加表1规定电压，15s后记录读数。

5.9.2.6对每个样品（材料），以不同点测试3次平均值为结果。

5.10静电电压衰减时间的测试

5.10.1静电电压衰减时间是指把样品放置在静电率衰减测试仪充电板上，初始电压U1减少到约定的

百分比电压水平U2

5.10.2的时间。测试仪器使用离子平衡分析仪，充电极板与接地之间电阻大于1×1013Ω，其示意图

（见图4）。

测试方法：将待测试样品放置在充电极板上，并良好接触。在充电电极板上充电，使电

压达到±1000V后，断开仪器充电高压电源的同时，将待测样品可靠接地，记

录极板电压衰减到±100V时的时间。在测试时，接地极不得与充电极板相接。

5.11静电屏蔽性能的检测：本方法可评估柔韧性包装袋的静电屏蔽性能。

5.11.1检测仪器：静电屏蔽检测仪的设计电压为1000V，由一个放电器和一组电极构成。仪器技术

指标应符合IEC 61340-5-1中规定

5.11.2样品（袋）的尺寸要求：袋的最小尺寸不小于200mm×250mm，要有开口使电极能够完全装入。

电极放进袋中的尺寸不小于100mm，并居中。对其它尺寸的袋来说，应该使电极放置在袋的中心。

5.11.3测试要求：将至少6个要测样品放置在相对湿度12%±3%(或50%±3%)的环境中预置48h，然

后将仪器电容电极放入袋中居中位置，接通放电器电源后，读出与电流传感器连接的电压显示器上的示值。

5.12静电电量测试：利用物体摩擦起电和其对大地的分布电容，测试出物体所带静电电量。

5.12.1测试设备：法拉第筒、摩擦起电器具、静电电量表（接触式静电电压表、电容器）。要求法拉

第内筒、静电电量表输入端对接地端电阻大于1×1012Ω。

5.12.2测试：将被测物用摩擦器具摩擦后，放入与静电电量表电气连接的法拉第筒内，测出带电

量。

5.13各类防静电产品（材料）的测试

5.13.1防静电活动地板测试

5.13.2防静电活动地板测试按照SJ/T 10796

5.13.3防静电贴面板（高离子有机类）测试

5.13.4防静电贴面板（高离子有机类）测试按照SJ/ 11236

5.13.5防静电地坪涂料测试

5.13.6防静电地坪涂料测试按照SJ/T 11294

5.13.7腕带测试：

5.13.7.1所需仪器：腕带可通过1个兼容的插头终端，1个能够保证良好接触、尺寸足够大

的金属或导电的手触摸板来实现电源的连接。

5.13.7.2测试

a）腕带穿戴状态下电阻（系统电阻）：操作者以正常方式戴上腕带，把线端插入

测试器。压住手触摸板，直至仪器可以稳定的测量为止（见图6）；

b）腕带内表面对电缆扣电阻（点对点电阻）：将两测试电极分别接触腕带内表面

和电缆扣与测试仪连接测量（见图7）

c）腕带接地电缆两端电阻（点对点电阻）：用测试电极连接电缆两端测试（见图8）。

5.13.8人体综合电阻测试：

5.13.7.3穿着工作鞋、服和手套（指套）的人站在人体综合电阻测试仪的金属导电极板上，

手触摸板电极测出电阻值。（如图9）

5.13.9防静电鞋电阻的测试方法：实验室测试时采用GB 4385规定测试。

5.13.10手套、指套、帽、袜、脚束和工具（刷）的测试：

5.13.10.1用两个直径为20mm的电极良好接触在手套、指套、帽、袜、脚束内与外任意点

上，测试出内外两点间电阻（见下图）。测试袜子时，电极应放置在袜底内外两点。

5.13.10.2用两个直径为10mm的铜箔电极链接在工具（刷）两头任意两点，测试出两点间

电阻（见下图）时，被测物品应放在一块绝缘电阻大于1X1013Ω的板上。若上述电极不适合，可以使用连接夹，电极与被测物良好接触。

5.13.11防静电服装的测试方法

5.13.10.3带电量测试：在实验室测试时应符合GB 12014有关规定

5.13.10.4电阻的测试：测量点对点电阻，服装要放在绝缘台上。绝缘台的表面电阻要大

于1X1014Ω，要有足够的尺寸。点对点电阻测量至少要测量3个不同位置的值。要注意两级之间的间距不小于300mm（见图11）服装点对点电阻测试是指内表面与外表之间电阻。

5.13.10.5摩擦起电电压测试：工作服摩擦起电电压测试应符合GB/T 12703 的规定。

5.13.12集成电路防静电包装管测试方法：防静电包装管摩擦起电电压、电荷量测试应分别符合SJ/T

1047Z中的要求。

5.13.13柔韧性包装类的测试方法：静电衰减期、静电屏蔽性能、表面电阻率测试方法应分别符合

GJB 2605中的要求。

5.13.14周转容器、盒的测试方法：静电衰减期、静电屏蔽性能、表面电阻率和体积电阻率测试方法

应符合SJ/T 11277有关规定。

5.13.15窗帘的测试方法：点对点电阻、静电摩擦起电电压测试方法应符合规定。

5.13.16防静电存放架测试方法：点对点电阻、系统电阻测试方法应符合规定，所用电极直径为

10mm。

5.13.17工位与物流传送器具测试方法：表面和体积电阻、点对点电阻、静电摩擦起电电压测试方法

应符合规定。

5.13.18墙体：墙面表面电阻测试方法应符合规定。

5.13.19防静电剂（液、蜡、胶）的测试方法

5.13.19.1将防静电剂（液、蜡、胶）喷洒在一块体积电阻和表面电阻大于1×1012Ω的绝

缘板上，在相对湿度RH40%～50%D的环境中放置48h后，测试其表面电阻。

5.13.20座椅的测试方法：

5.13.19.2椅面与靠背之间点对点电阻测试方法符合“点对点电阻和系统电阻测试”规定，测试位置（见

图12）。

5.13.19.3椅面与脚轮之间系统电阻测试方法符合“点对点电阻和系统电阻测试”规定。测试时，脚轮

下放置一块200mmX200mm导电板并良好接触。一个电极与导电板接触，另一个与椅面良好接触（见图13）

5.13.21运转车的测试方法：

5.13.19.4车台面表面点对点电阻测试符合“点对点电阻和系统电阻测试”规定（见图14）。

5.13.19.5车台面与脚轮之间系统电阻的测试方法和座椅测试方法一样（见图15）。所用测量仪器、

设备同5.6规定。

5.13.22工作台的测试方法：

5.13.19.6工作台表面点对点电阻测试符合“点对点电阻和系统电阻测试”规定（见图16）

5.13.19.7测试系统电阻时，一个电极与台面良好接触，另一个电极（夹子）与工作台接地线连接（见

图17）。

5.13.23地面、地垫的测试方法：

5.13.19.8地面、地垫点对点电阻和系统电阻测试应符合“点对点电阻和系统电阻测试”的规定（见

图18、19）。

5.13.24离子静电消除器的测试方法

5.13.19.9测试用设备：测试离子静电消除器消静电能力的仪器采用离子平衡仪，充电板的尺寸应该

为150mmX150mm，最小电容为15pF，测试电路的总电容量应为（20±2）pF。附件没有接地导体，当充电时，充电板在5min内的自然放电不应超过测试电压的10%。应能精准地测量充电板的电压变化及时间变化。

5.13.19.10测试时台式离子静电消除器与测试仪充电板之间的相对位置（见图20）。

5.13.19.11测试方法：将测试仪和离子静电消除器按（图20）所示放置（压缩气体离子枪测试位置（见

图21），高驾电离子测试位置（见图22），将测试仪充电板充规定电压，打开静电消除器电源，使充电极板暴露在电离气流中，关闭充电电源同时监测极板电压降至约定电压时的静电衰减时间。然后在中心线每个测试点监测残余电压。

6.0相关表单：

6.1FORM/VP-QA-004#01 《ESD点检记录表》

6.2FORM/VP-QA-004#02 《静电插座/卡扣线及静电线末端点检表》

6.3FORM/VP-QA-004#03 《静电手环点检表》

6.4FORM/VP-QA-004#04 《静电鞋测试记录表》

7.0相关文件:

7.1ANSI_ESD_S20.20-2014 ESD静电放电（ESD）协会标准

7.2SJ/T 10694-2006 电子产品制造与应用系统防静电检测通用规范