东北大学第七期真空技术培训班
东北大学特色专业
东北大学特色专业材料与冶金学院：是国家重点建设学院，设有轧钢技术与连轧自动化国家重点实验室、材料电磁过程研究教育部重点实验室、国家环境保护生态工业重点实验室、材料先进制备技术教育部工程中心。
冶金工程、材料科学与工程是首批国家一级重点学科，所覆盖的二级学科均为国家重点学科。
热能工程、环境科学、化学工艺 3 个省级重点学科。
软件学院：设有软件工程、信息安全两个专业。
一些信誉好的IT认证课程已纳入课程体系，学生通过认证考试即可获得奖励学分，又可获得奖励补贴，真是两全其美呀!学院对学生的外语教育(英语、日语、俄语等)也是十分重视的，目前专业课程双语教学比例就已达到 60% 以上。
装备制造业：源自真空技术专业，涉及多种领域，在国内具有非凡影响，是优秀学生的首选。
通过4年学习，学生在不断努力中，提高了自身的社会适应能力，可以从事多领域的研究和建设，包括：航空、航天、原子能、材料冶金、化工、制药、石油、轻工、环保、食品等领域中真空技术和过程装备的设计与控制、研究与开发、制造及经营管理等工作。
对于立志从事该行业的学生，可谓是前方去路无忧了。
日语：在国内的教学水平也算得上是响当当的。
从对日语语言的听、说、读、写、译的全面掌握，到熟悉文化、社会，当然对于中国汉语文化，及英语也是有所要求的。
学生学起来也非得下一定工夫不成!毕业后，除了攻读研究生外，学生还可以到令人羡慕的外经贸部门与企业就职，多好!矿工程专业：作为国家重点学科，学生学习运用现代技术，掌握矿产资源开发技术、岩土工程、信息与决策、数值分析、计算机仿真、生态经济等方面的基本理论与方法，成为基础扎实、专业知识宽广，能分析和解决问题的高素质复合型人才。
其中，采矿工程实验室是重点实验室。
作为该专业的毕业生，同样可在深造(从事高等学校的教学与科研工作)和就业(冶金、土木等行业和领域的设计研究单位、厂矿企业及政府机关从事矿产资源开发与岩土工程的设计、施工、决策、管理及研究工作)两个方向上，根据自身条件加以选择。
真空技术及应用系列讲座_杨乃恒先生主持
真空技术及应用系列讲座东北大学真空工程博士点,博士导师杨乃恒先生主持第一讲:真空科学的发展及其应用李云奇 95(2)………………………………………第二讲:真空物理基础张世伟 95(3)……………………………………………………第三讲:机械真空泵(一)(二)(三)(四)(五)张以忱 95(4)、(5)、(6)、96(1)、(2)……第三讲:机械真空泵(六)张以忱(东北大学)七、无油干式机械真空泵(一)概述无油干式机械真空泵(以下简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式机械真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。
随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。
其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。
对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。
而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。
干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。
在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式机械真空泵。
真空材料与工艺
真空材料与工艺主讲人：张以忱东北大学真空与流体工程研究中心1 真空工程材料1. 1 真空材料的种类真空系统中所用的材料大致可分为两类：1) 结构材料：是构成真空系统主体的材料，它将真空系统与大气隔开，承受着大气压力。
这类材料主要是各种金属和非金属材料，包括可拆卸连接处的密封垫圈材料。
2) 辅助材料：系统中某些零件连接处或系统漏气处的辅助密封用的真空封脂、真空封蜡、装配时用的粘接剂、焊剂、真空泵及系统中用的真空油、吸气剂、工作气体及系统中所用的加热元件材料等。
1．2 真空材料的性能与选材基本原则1.2.1 材料的真空性能1.2.1.1 材料的渗透性由于在真空容器器壁两侧的气体总是存在压力差，气体从密度大的一侧向密度小的一侧渗入、扩散、通过和逸出固体阻挡层的过程称为渗透。
该情况下的稳态流率称为渗透率。
从微观的角度来看，渗透过程是按以下步骤进行的（见图1）图1 气体渗透过程示意图气体渗透过程：1). 首先，气体原子或分子碰撞到真空器壁的外表面并吸附在器壁的外表面；2). 吸附时有的气体分子能离解成原子态；3). 气体（分子或原子）在入射一侧的壁面表层达到与环境气压相对应的平衡溶解度；4). 由于表层浓度比较高，在浓度梯度的作用下气体向壁面的另一侧扩散，直到浓度均匀为止。
扩散的气体分子（原子），有的能与固体分子发生化学反应，形成化合物；有的只形成不稳定的“假化合物”；有的则构成溶质；5). 溶质气体扩散到器壁的另一面重新结合成分子态(如果存在步骤2时)后释放；或气体扩散到器壁的另一面后解吸和释出。
在渗透过程中，扩散这一环节是最慢最关键的一步，它与渗透气体及壁面材料的种类和性质有密切关系。
一般说来，非金属材料没有步骤（2），在非金属材料（塑料、橡胶、玻璃、陶瓷等）表面上，气体分子不离解；而金属材料能溶解的气体多数是双原子气体（如H 2、O 2、N 2等），具有步骤（2）。
但是在正常热条件下，几乎所有的惰性气体都不能溶解在金属材料的晶格中（离子注入条件下除外），因而也就不能渗透通过金属材料。
VEBW技术生产特厚板的事故风险及其控制措施
VEBW技术生产特厚板的事故风险及其控制措施张新法;龚伟;曹泷福【摘要】特厚板广泛应用于工程领域,真空电子束焊接技术生产特厚板优势明显.真空电子束焊接生产特厚板的实验和生产实践,安全问题不容忽视.对特厚板的真空电子束焊生产系统的事故风险辨识与分析结果表明,机械伤害、电离辐射、起重伤害、触电、火灾及噪声是主要事故风险类型,对主要的事故风险类型进行预先危险性分析.将安全技术标准提出的原则具体化、不断提高设备本质生产水平等是特厚板真空电子束事故风险控制和事故预防的有效措施.【期刊名称】《电焊机》【年(卷),期】2017(047)002【总页数】6页(P113-118)【关键词】特厚板坯;真空电子束焊接;事故风险;安全措施【作者】张新法;龚伟;曹泷福【作者单位】辽宁省安全科学研究院,辽宁沈阳110004;东北大学冶金学院,辽宁沈阳110004;东北大学冶金学院,辽宁沈阳110004;鞍钢股份鲅鱼圈钢铁分公司安全环保部,辽宁营口115000【正文语种】中文【中图分类】TG456.3高压锅炉、高强船板、核电、海洋石油平台、大型桥梁建设等工程领域对特厚板坯（厚度大于100mm）有着大量需求。
作为目前最高性能的焊接水平的代表，真空电子束焊接（VEBW）在大厚件焊接复合方面一直具有优势[1]，日本JFE钢铁公司利用真空电子束焊接技术开发了一种生产特厚板坯的新工艺[2]。
电子束焊接的最大特点是能量密度高度集中和局部高温，与传统模铸工艺和新兴电渣重熔技术相比[3]，特厚板真空电子束焊接技术具有生产效率高、成材率高的优势。
但是，真空电子束焊接技术作为新兴的焊接技术手段，仍处于工业化应用阶段，相关文献报道也主要集中在工艺技术研究本身，安全生产技术方面的研究报道较少。
因此，研究特厚板真空电子束焊接生产过程中的事故风险及其安全对策措施，清晰认识和预防、控制主要事故风险，既是不可回避的重要问题，也有利于推动特厚板VEBW 技术的更好应用。
中国真空学会工作总结
中国真空学会工作总结认真学习贯彻党的××大精神，全面落实中央书记处对科协工作的指示精神，按照科协"三服务、一加强"工作定位。
我学会在20××年内结合本学科的特点，开展了学会多项工作，现总结如下：一、积极开展各分支学科的学术交流：（一）全国真空冶金与表面工程学术会议。
2007年6月16日～19日在沈阳东北大学召开。
本次学术会议由中国真空学会真空冶金专业委员会主办、东北大学承办。
来自国内外近80个单位的120多位代表出席了会议。
收到90多篇来投稿论文和摘要，电子工业出版社为此正式出版了会议论文集，并申请ISTP检索，较之于往年，又是一次突破。
邀请国内外专家作了九场精彩的特邀报告，受到了与会代表的热烈欢迎。
又分真空冶金与真空技术、表面工程等两个分会场报告，许多新技术和新亮点引起了与会代表的激烈讨论和争鸣，会议内容更加丰富多彩。
这反映了我国真空冶金与表面工程学术研究日趋活跃。
（二）国际纳米材料与器件研究合作团队学术交流会。
于2007年7月16-18日在中国科学院物理研究所召开，由中国真空学会表面与纳米科学专业委员会主办。
会议邀请了来自美国、德国等国外的科学家和国内优秀的专家学者做学术报告。
会上，美国的Prof. S.T. Pantelides (Vanderbilt University)、德国的Prof. K. Kern (Max Planck Institut für Festk?rperforschung) 等15名国内外专家就纳米材料、纳米结构及其器件等相关问题和与会者进行了深入探讨。
这些研究涵盖了当前纳米材料与器件研究领域的前沿科学问题，会议还吸引了大量物理所、周边科研机构及大学的学生参加，总计有600多人次。
会议为众多青年学子提供了参与高水平学术交流的机会与平台，在国际纳米领域专家学者的启发带领下，大家深入探讨了纳米科技前沿问题。
真空热还原生产金属钙的现状与问题
真空热还原生产金属钙的现状与问题秦剑;王耀武【摘要】热力学计算结果表明，硅热还原炼钙的温度比铝热还原炼钙的温度高15O。
C以上，在目前真空热还原技术条件下，硅热真空还原炼钙很难进行，而铝热还原生产金属钙时，最容易发生的反应方程式为6CaO（s）＋2Al（l）=3Ca （v）＋3CaO·Al2O3（s）和33CaO（s）＋14Al（l）=21Ca（v）＋12CAO·7Al2O3（s）。
目前，工业铝热还原生产金属钙过程中，存在的主要问题是还原温度高，还原罐使用时间短，铝粉利用率低，还原渣的利用方式不合理，这导致生产金属钙的成本较高。
【期刊名称】《世界有色金属》【年(卷),期】2012(000)012【总页数】3页(P38-40)【关键词】真空热还原;金属钙;生产;铝热还原;还原温度;硅热还原;反应方程式;计算结果【作者】秦剑;王耀武【作者单位】中国铝业公司沈阳有色加工厂;东北大学材料与冶金学院【正文语种】中文【中图分类】TF826.3热力学计算结果表明，硅热还原炼钙的温度比铝热还原炼钙的温度高150℃以上，在目前真空热还原技术条件下，硅热真空还原炼钙很难进行，而铝热还原生产金属钙时，最容易发生的反应方程式为6CaO(s)+2Al(l)=3Ca(v)+3 CaO·Al2O3(s)和33CaO(s)+14Al(l)=21Ca(v)+12CaO·7Al2O3(s)。
目前，工业铝热还原生产金属钙过程中，存在的主要问题是还原温度高，还原罐使用时间短，铝粉利用率低，还原渣的利用方式不合理，这导致生产金属钙的成本较高。
世界上金属钙的冶炼主要有两种方法，氯化钙熔盐电解法和金属热还原法。
氯化钙熔盐电解法由于设备投资大，电耗高，污染难以控制，成本高等缺点，逐渐被淘汰[1]。
目前，金属钙主要是采用热还原法生产的。
我国是金属钙生产和出口的大国，世界上80%以上的金属钙是由我国生产的。
培训系教材列之五：真空系统设计
2005.7.10～2005.7.13
真空系统 设计
主讲人：东北大学 王继常 副教授
经作者授权，版权所有归东北大学真空与流体工程研究中心与原作者共有。未经本中心及原著者同意， 任何人或任何单位不得私自拷贝、刻录、传播、转载本讲义，或用于商业用途。
之一：真空技术的历史、现在与将来 之二：真空工程理论基础 之三：科技论文的检索、撰写与发表 之四：清洁真空获得技术 之五：真空系统设计 之六：真空系统设计辅助软件的使用 之七：真空测量 之八：真空装置与系统的检漏 之九：大型真空装置的监测与故障诊断 之十：专家座谈 之十一：真空获得技术 之十二：现代表面与薄膜技术 之十三：真空材料与真空卫生 之十四：真空技术应用及计算实例
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1.2 真空系统的组成元件
一个较完善的真空系统由下列元件组成： 1．抽气设备：例如各种真空泵； 2．真空阀门； 3．连接管道； 4 ．真空测量装置：例如真空压力表、 各种规管； 5．其它元件：例如捕集器、除尘器、 真空继电器规头、储气罐等。
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1.4 高真空系统
图1系统只能获得较低的真空度,当要获得高真 空度时,需要添加高真空泵。如扩散泵、分子泵。
当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵 的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵内部能 单独保持真空。
若串联的高真空泵是一台油扩散泵,为了防止 大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵 的入口加一个捕集器水冷障板(如图2所示)。根据要 求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、 真空软连接管道、真空泵入口放气阀等等,这样就 构成了一个较完善的高真空系统。
新理事名单xls
电子材 料工艺
真空与设备 微电子、凝聚态物理 等离子物理 纳电子材料与器件 材料科学 电真空器件 电真空 物理化学 光学工程 电子材料与器件 真空设备 半导体光电子学 真空科学技术
真空镀膜、光电子材料
表面 工程
所长 副主任 所长 主任
国际金融 纳米科技 真空电子 物理电子学 微电子学 真空科学与技术 真空技术 真空设备与技术 金属材料 表面科学与工程 材料 材料学 真空冶金 真空工程 真空冶金 表面工程 真空及钢液炉外精炼
职务 副所长 院长 主任 理事长 总裁 副校长 副总裁 室主任 军工总监 副所长 室主任 院长 总经理 主任 主任 副总 副总经理 所长助理 董事长 院长 所长 总经理 总经理 室主任 所长
职称 研究员 教授 教授 教授 教授级高工 教授 教授 研究员 教授 教授级高工 研究员 教授 教授 教授 高级工程师 教授 教授级高工 高级工程师 高级经济师 研究员 教授级高工 教授 教授 教授 工程师 高级工程师 高级工程师 教授级高工 教授级高工 研究员 院士 教授 教授 研究员 教授级高工
专业 真空电子学 半导体材料与器件 光电子
微电子学与固体电子学
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应广大学员强烈要求，东北大学将于2010年5月14日～23日举办第七期《真空技术》培训班。
现面向全国招生。
自1958年创办全国第一个真空技术及设备本科专业以来，东大真空现已成为全国唯一的具备本、硕、博学位授予权和博士后流动站的真空特色专业。
作为中国真空人才的摇篮地，东大真空一直密切关注真空行业整体发展的原动力，致力于推动我国真空专业人才的培养和提高。
东北大学在沈阳已成功举办了六期《真空技术》培训班，由杨乃恒、刘玉岱、巴德纯、徐成海等知名教授分多个单元领衔讲授了真空技术的全部课程。
短短几天的集中授课，受到了来自全国各地的学员的热烈欢迎。
学员普遍反映培训班时间集中、收效大、信息量多、实用性强，教师们知无不言、言无不尽地进行讲课和答疑，加上东北大学美丽的校园环境、凉爽的宜人夏日和浓郁的学术氛围，给学员们留下难忘的印象。
许多学员要求将培训班时间延长，甚至还有学员连续多次参加培训班。
在历次成功举办的基础上，通过对毕业学员的问卷调查和电话回访，现从第七期起，对《真空技术》培训班进行进一步的改进，将培训时间延长至十天。
在前期培训班探索的基础上，对真空实验环节的教学进行了强化，进行实验室小班授课，同时提升真空技术培养的广度和深度，在课程设置和内容安排上采取更为实用和贴切的措施，以取得更好的培训效果。
学员学习结束经考试合格后，颁发由中华人民共和国人事部监制的《继续教育证书》。
一．师资力量：全部课程由东北大学具有多年授课经验的教师担当。
由杨乃恒、刘玉岱、巴德纯、徐成海等知名教授领衔主讲，并由张以忱、张世伟、王晓冬、王庆、李建昌、喻漫陆副教授和孙丽娜、刘坤、岳向吉、蔺增、杜广煜等青年教师组成强大的讲师团。
二．课程设置：全部授课分为两大部分，二十一个单元。
主要包括：
真空技术基础：
(一)真空技术概况（杨乃恒）
(二)真空工程理论基础（张世伟）
(三)真空系统组成与设计基础（刘坤）
(四)干式真空泵原理与技术基础（巴德纯）
(五)真空获得设备原理与技术基础（张以忱）
(六)真空测量技术基础（刘玉岱）
(七)真空检漏与质谱仪原理及应用（刘玉岱）
(八)真空镀膜技术基础（张以忱）
(九)真空冶金技术基础（王晓冬）
(十)真空设备选型的方法与实践（徐成海）
真空设备与工艺应用专题
(一)膜厚测量及膜厚均匀性的控制（张以忱）
(二)磁控靶原理及设计实践（张以忱）
(三)螺杆式干泵结构与设计（张世伟）
(四)真空泵全自动抽速测试（张世伟）
(五)RH-VOD钢液真空处理设备及工艺（王晓冬）
(六)反应磁控溅射及中频溅射设备及工艺（张以忱）
(七)非平衡磁控溅射设备及工艺（张以忱）
(八)多弧离子镀设备及工艺（张以忱）
(九)类金刚石薄膜设备及工艺（蔺增）
(十)复杂真空系统设计实例（岳向吉）
真空实验
(一)真空系统与氦质谱检漏实验；
(二)真空泵标准测试系统实验；
(三)磁控溅射镀膜实验；
(四)多弧离子镀膜实验；
(五)干泵与低温泵在镀膜机上的操作
三．学员教材：（1）《真空技术》；（2）《真空镀膜技术》或《真空电炉》；（3）《真空低温技术及设备》；（4）《真空系统设计》；（5）《真空工程理论基础》；（6）《真空测量与检漏》；（7）《真空获得设备》。
四．授课地点：东北大学校内机电学馆。
五．报到注册：5月14日为学员注册日，15日（周六）开始正式上课。
由于14日将安排学员见面会、熟悉校园环境、实验课程分组等系列活动，建议学员最好于14日当天报到。
2010年5月14日（周五）当天，将在东北大学校内设立学员接待处。
六．注册费用：3200元/人（含学费、餐费、证书费、教材费、书本费、茶水、通讯录、合影等）；往届学员和团体会员优惠价格3000元/人。
接受现金注册，也可以通过银行转账。
银行账户：[收款单位]东北大学； [开户银行]建行沈阳东北大学支行；
[帐号]2100 1464 6010 5912 3456。
请注明“真空培训”字样。
七．联系方式：联系人：刘坤、杜广煜； Tel：(024)83676945,83680473,83687618；
Fax：(024)83680450；E-mail：NVacuum@；网站： 欢迎登陆网站或致电秘书处，获取详细资料。
东北大学真空与流体工程研究中心
2010年1月1日。