玻璃基板介绍
玻璃基板简介
四.制程DEFECT
造成不良現的原因大多來自於上游玻璃制程.一般來說基板周邊因制程中央取搬送 之需求,刮傷不良通常不計,但如遇有進行性的玻璃裂痕為避免下游制程產生破 片之情況通常將此判為不良,而CF制程中由CF取放,抽取之動作及切裂工程通 常會造成里面刮傷,擦傷,里面異物及基板端破損或貝殼狀欠陷等不良,如圖:
玻璃基板簡介
玻璃基板的結構 玻璃基板的制造流程簡介 玻璃基板的具體流程簡介 制程DEFECT 發展趨勢
一.玻璃基板的結構
玻璃基板由CF和TFT兩部分組成,如圖:
光擴散板
導光板
棱鏡板
反射板
背光燈管
下偏光板 異方性導電 膜
補價電容
ITO顯示電 極
液晶 ITO共用極 保護膜 顏色區 TAB 驅動IC 上玻璃
3)面板切割 以TFT與CF的封准組合再以超硬質鋼刀滾輪切割再壓裂的方式得到每一片面板. 以后隋著外型,大小及模組外型的狹框化,薄型化的發展,以超硬質鋼刀無法潢足 要求,以后以雷射切割的方式. 4)液晶注入 I將玻璃在機台上用外框固定好,用直下式的方法注入液晶注入液晶時,應注意避 免造成spacer broken及spacer聚集.) II先讓CELL內部真空化后,將CELL的液晶注放口浸入液晶槽中,再以氮氣 作破真 空的動作,內外壓力差與毛細現會使液晶注入CELL內部 當液晶注入時的形狀及排列方式
四種常見的TFT結構示意圖
正常型 堆疊型
gate drain
反轉型
source
gate
drain
gate
source
共平面
drain
source
drain
source
gate
基板玻璃的种类-概述说明以及解释
基板玻璃的种类-概述说明以及解释1.引言1.1 概述概述基板玻璃是一种应用广泛的材料，被广泛运用于电子、光学、建筑等领域。
它是一种具有特殊物理性质和化学性质的玻璃材料，具备良好的导电、信号传输、隔热、光学透明等特性。
通过不同的制造工艺和配方，可以获得多种不同类型的基板玻璃。
基板玻璃在现代科技中扮演着至关重要的角色。
无论是在智能手机、电视、计算机显示器，还是在太阳能电池板、LED照明和光纤通信等领域，我们都可以发现基板玻璃的身影。
它不仅为这些设备提供了坚固的结构支撑，还具备了优异的光学性能，为显示和光学传输提供了稳定可靠的平台。
本文将介绍几种常见的基板玻璃种类，包括玻璃基板、硅基板、陶瓷基板等。
通过对这些基板玻璃的分析与比较，我们可以更好地了解它们的特性和适用领域。
此外，文章还将探讨基板玻璃在电子、光学和建筑等领域的应用。
它们在电子设备中作为电路板的支撑物，有着重要的作用。
在光学领域，人们利用基板玻璃的良好透明性和光学性能，制造各种高品质的光学器件。
同时，基板玻璃还广泛应用于建筑玻璃领域，为现代建筑提供了优雅、安全和环保的解决方案。
通过全面了解基板玻璃的种类和应用领域，我们可以更好地掌握它在现代科技中的重要性。
对于科研工作者、技术人员和相关行业从业者而言，对不同类型的基板玻璃有一个清晰的认识，可以帮助他们在工作中做出明智的选择，并为相关领域的发展做出更大的贡献。
接下来，我们将详细介绍不同种类的基板玻璃及其特性。
文章结构非常重要，它有助于读者更好地理解和组织文章的内容。
以下是本文的结构：1. 引言1.1 概述引言部分将介绍基板玻璃作为一种关键材料的背景和意义。
说明基板玻璃在现代技术和工业中的重要地位，并引出本文的主题。
1.2 文章结构文章结构部分将详细说明本文的组织和内容安排。
它包括各个部分的标题和主题，并简要介绍每个部分的内容。
1.3 目的在本节中，将明确本文的目的和写作意图。
对读者解释为什么撰写这篇文章以及它的价值所在。
TFT_LCD玻璃基板简介
（ ４） 薄 膜 晶 体 管 型 （ ＴＦＴ－ Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）。
ＴＦＴ－ＬＣＤ是 有 源 矩 阵 类 型 液 晶 显 示 器 ＡＭ－ ＬＣＤ中的一种，ＴＦＴ在液晶的背部设置特殊光管，可 以“主动的”对屏幕上的各个独立的像素进行控制， 这也就是所谓的主动矩阵ＴＦＴ（ａｃｔｉｖｅｍａｔｒｉｘＴＦＴ）的 来历，这样可以大大地提高反应时间，一般ＴＦＴ的反 应时间比较快，约８０ｍｓ，而ＳＴＮ则为２００ ｍｓ，如果要 提高就会有闪烁现象发生。而且由于ＴＦＴ是主动式矩 阵ＬＣＤ可让液晶的排列方式具有记忆性，不会在电流
［ ２］ Ｅｎｅｒｇｙ Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ Ａｄｍｉｎｉｓｔｒａｔｉｏｎ， Ｍｏｎｔｈｌｙ Ｅｎｅｒｇｙ Ｒｅｖｉｅｗ Ｆｅｂ ２００７， ｐａｇｅ ２５ ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｅｉａ．ｄｏｅ．ｇｏｖ／ｅｍｅｕ／ ｍｅｒ／ｃｏｎｔｅｎｔｓ．Ｈｔｍｌ Ｖｉｅｗｅｄ Ｊａｎｕａｒｙ １８， ２００９ ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．Ｅｉａ． Ｄｏｅ．ｇｏｖ／ｅｍｅｕ／ｍｅｒ／ｃｏｎｔｅｎｔｓ． Ｈｔｍｌ Ｖｉｅｗｅｄ Ｊａｎｕａｒｙ １８， ２００９ ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｅｉａ．ｄｏｅ．ｇｏｖ／ｅｍｅｕ／ｍｅｒ／ｃｏｎｔｅｎｔｓ．Ｈｔｍｌ Ｖｉｅｗｅｄ Ｊａｎｕａｒｙ １８， ２００９
［７］ＥＦＥＮ Ｓｏｆｔｗａｒｅ ｂｙ Ｃａｒｌｉ Ｉｎｃ ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｄｅｓｉｇｎｂｕｉｌｄｅｒｓｏｆｔｗａｒｅ． ｃｏｍ／ｅｆｅｎ．ｐｈｐ ｖｉｅｗｅｄ Ｊａｎｕａｒｙ １８， ２００９
［８］ＵＳ Ｍｉｌｉｔａｒｙ ｓｔａｎｄａｒｄ ８１０Ｄ Ｊｕｌｙ ３１， １９８６ Ｐａｇｅ ５０５．２－４
从产能和综合实力对比看，全球液晶领域由中 国台湾地区、韩国和日本掌控。作为中间环节的液 晶面板全球的占有率，中国台湾地区居首位（约占 ４３％），其次为韩国（约占３３％），日本第三。
浮法液晶玻璃基板产线结构概述
综 述
升，耐高温性能提升，传动辊道最好使用陶瓷辊，加 热器布局要可以覆盖更大的板面范围，适当增加加 热分区和温度测量点。
1.5 切裁和清洗
配 料 塔 楼 碎玻璃加工车间
原材料堆放区
图 1 原料车间结构示意图
王保平，等：浮法液晶玻璃基板产线结构概述
力将原料一步步送到称量、混合和运输设备，原料通 过螺旋给料机或震动给料机送料到混合机，经过气 体输送或料罐输送到炉头料仓或投料层平台。碎玻 璃加工线，则由若干皮带机和破碎机、筛分机组成。 通常将配料塔楼置于原料车间中间位置，可以兼顾 各种原材料运输的方便高效。
（3）成型段 ：浮法工艺与溢流法存在设置上的 不同，溢流法是垂直拉伸，浮法是水平拉伸。
（4）冷加工段 ：主要体现在精切研磨和对洁净 度的要求，设置庞大的压差系统和空调系统。
综上所述，不论是液晶玻璃基板还是普通浮法 玻璃生产线，其产线结构需要根据玻璃料方特性、 玻璃熔化能力、玻璃生产方式等因素综合选择。
恒温恒湿间
铂金通道主体
地坑
图 5 通道区域垂直结构布局图
加热变压器和冷却水系统设备 操作通道 铂金通道主体
工艺操作区域
图 6 通道恒温间设备平面布局图
1.4 锡槽和退火窑
锡槽通过流道连接于铂金通道出口，设计有流 量调节闸板，流道有四周辅助加热器，保证玻璃液 在通过流槽期间温度均匀受控［7-9］。由于液晶基板 玻璃液本身特殊的料性和质量要求，锡槽内需设置 较普通浮法玻璃更多对拉边机和更密集的加热分 区，有更大的整体加热功率相匹配。需要设置更多 组排废装置，并根据锡槽整体尺寸合理布置，以减 少锡斑和锡蒸汽在玻璃板面的冷凝。设置较厚的顶 盖保温层，增加顶罩分区。增加钢结构稳定性。增 加拉边机杆保温性能，提高边封保温性能。
TFTLCD玻璃生产简介
学习总结目前在商业上应用的玻璃基板，其主要厚度为0.5 mm到0.7 mm，且即将迈入更薄（如0.4 mm）厚度之制程。
一片TFT- LCD面板需使用两片玻璃基板，分别供作底层玻璃基板（TFT）及彩色滤光片(Col or Filter )底板。
所谓TFT-LCD几代生产线,实际是指液晶面板的经济切割尺寸,即TFT-LCD生产线的代数越高,基板经济切割尺寸越大。
业界公认的液晶面板经济切割数值为6片。
5代线和5代线以下主要是以生产笔记本和台式电脑用的显示器为主,液晶材料某些参数要求相对要低些;而6代线、7代线或更高代次则以生产液晶电视为主,液晶材料参数要求相对要高点。
玻璃基板的生产工艺比较复杂，目前该技术主要集中在美国康宁( Corning )公司、日本的旭硝子（AGC）、电气硝子（NEG）、板硝子（NHT）、德国肖特公司等手中，肖特的产销量非常小，并于2008年退出了玻璃基板行业。
超薄平板玻璃基材之特性主要取决于玻璃的组成，而玻璃的组成则影响玻璃的热膨胀、黏度(应变、退火、转化、软化和工作点)、耐化学性、光学穿透吸收及在各种频率与温度下的电气特性，产品质量除深受材料组成影响外，也取决于生产制程整个玻璃基板的制程中，主要技术包括进料、薄板成型及后段加工三部分，其中进料技术主要控制于配方的好坏，首先是在高温的熔炉中将玻璃原料熔融成低黏度且均匀的玻璃熔体，不但要考虑玻璃各项物理与化学特性，并需在不改变化学组成的条件下，选取原料最佳配方，以便有效降低玻璃熔融温度，使玻璃澄清，同时达到玻璃特定性能，符合实际应用之需求。
而薄板成型技术则攸关尺寸精度、表面性质和是否需进一步加工研磨，以达成特殊的物理、化学特性要求，后段加工则包含玻璃之切割、研磨、清洗等制程。
到目前为止，生产平面显示器用玻璃基板有三种主要之制程技术，分别为浮式法(Float Process)、槽口下拉法(SDDP)及溢流法(Fusion overflow)。
基板玻璃的种类
基板玻璃的种类
基板玻璃是电子元件制造中常用的一种材料，主要用于半导体、平板显示器、光电子器件等领域。
不同的应用需要不同种类的基板玻璃，以下是几种常见的基板玻璃种类：
1.硅基板玻璃（Silicon Substrate Glass）：硅基板玻璃是一种用于制造集成电路（IC）和光电子器件的基板材料。
其具有优良的化学稳定性、热稳定性和机械强度，适用于高密度集成电路的制造。
2.玻璃基板（Glass Substrate）：玻璃基板通常用于液晶显示器（LCD）、有机发光二极管（OLED）等平板显示器件的制造。
根据具体应用的要求，玻璃基板可以采用不同的材料和加工工艺，如钠钙玻璃、硼硅玻璃等。
3.石英基板（Quartz Substrate）：石英基板具有优异的光学性能和化学稳定性，常用于制造光电子器件、激光器件等高精密度器件。
石英基板可以承受高温高压的加工条件，适用于微纳米加工工艺。
4.氧化铝基板（Alumina Substrate）：氧化铝基板具有优良的绝缘性能和热导率，适用于制造高功率、高频率的电子器件，如功率放大器、射频（RF）元件等。
5.氮化硅基板（Silicon Nitride Substrate）：氮化硅基板具有优异的热稳定性和机械强度，常用于制造高温高压传感器、微机电系统（MEMS）等微纳米器件。
以上所列举的基板玻璃种类仅为常见的几种，随着科技的进步和应用领域的不断拓展，还会有更多新型基板玻璃材料的出现。
选择合适的基板玻璃种类需要根据具体的应用要求、工艺需求和性能指标进行综合考虑。
玻璃基板概述
根据是否含有碱金属分为碱玻璃和无碱玻 璃。碱 玻璃 包 括钠 钙 硅 玻璃 及 中性 硼 硅 酸玻 璃 ２ 种 ，多应 用 于
Ｔ Ｎ — Ｌ Ｃ Ｄ 及Ｓ Ｔ Ｎ — Ｌ Ｃ Ｄ 上 ；无碱玻璃碱金属 总含量在 １ ％ 以下Ⅲ ，属于硼硅酸盐玻璃 ，主要 用于Ｔ Ｆ Ｔ —Ｌ Ｃ Ｄ 上，
全球主要 玻璃基板供 应商见 表 １ 。此外 ，玻璃基板 中 还掺 有 Ｍ ｇ Ｏ、Ｃ ａ Ｏ、Ｂ ａ Ｏ、Ｚ ｎ Ｏ 等 用来 调 节玻 璃 的性
供应商
康宁
Ｎ Ｈ Ｔ Ｅ Ｃ Ｈ ０ Ｇ Ｉ Ｊ Ａ Ｓ Ｓ 日本电气硝子
市场 占有率
４ ０ ％
２ １ ％ ２ Ｏ ％
供应商
日本板硝子
日本旭硝子 日本中央硝 子
市场占有率
３ ９ ％
３ ９ ％ ｌ ９ ％
日 本旭硝子
其它
１ ８ ％
ｌ ％
其它
并 介绍 了玻璃 基板 的发 展 现状 与趋 势 。
关 键 词 玻 璃 基板
成分
特性
生 产工 艺
发 展 现状
中图分 类 号 ：Ｔ Ｑ１ ７ １ 文献 标 识码 ：Ａ 文 章编 号 ：１ ０ ０ ３—１ ９ ８ ７（ ２ ０ １ ３） ０ ９— ０ ０ ３ ０—０ ４
Ｏｖ ｅ ｒ ｖ ｉ ｅ ｗ ｏ ｆ Ｇｌ ａ ｓ ｓ Ｓｕｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｔ ｅ
全国性建材科技期刊—— 《 玻璃 》 ２ ０ １ ３ 年
第９ 期
总第２ ６ ４ 期
玻 璃 基 板 概 述
陈向 阳 韩 荣荟
北京市 １ ０ ０ ０ ２ ４） （ 中国建 材检验认 证集 团股份有 限公 司
5代线玻璃基板标准
密度
<2.55
g/cm(20℃)
杨氏模量
>7000
Kgf/mm2
剪切模数
>2600
Kgf/mm2
光学特性
透射率
>90%
波长400~800nm
折射率指数变化率
<0.003
Nd line at 587.6nm
电学特性
介电常数
>5
1MHZ,RT
传导损耗因数
<0.2
%,1MHZ,RT
3、成品的外观指标
项目
规格
备注
厚度
0.7（0.63）±0.05mm
厚度偏差
≤30μm
尺寸偏差
±0.5mm
直角度
±L/1000
翘曲度
≤500μm
全幅
≤300μm
300mm×400mm
波纹度
≤0.06μm
0.8~8mm波长
波纹度
≤0.33μm
8~25mm波长
内部缺陷
≥100μm不可见
5klux光照强度卤素灯
表现缺陷
A面，不可见
W（mm）×L（mm）×T（mm）
1100×1300×0.7
长度-拉引方向
mm
1300~1360
板宽
mm
1100
厚度
mm
0.7
面积
m2
1.43
重量
kg
~2.513
2、玻璃物理特性
项目
规格
单位
热稳定性
热膨胀系数
32~38.5
10-7/℃（33~380℃）
软化点
>920
℃
退火点