传感器与检测技术实验指导书

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传感器与检测实验指导书2013.

传感器与检测实验指导书2013.

传感器与检测技术实验指导书电气工程学院自动化专业专业名称班级学生姓名学号实验成绩辽宁工业大学2013年9月目录实验一电阻应变式传感器特性实验 (1)实验二电容传感器特性实验 (5)实验三电涡流式传感器特性实验 (8)实验四压电式传感器特性实验 (12)实验五光电式传感器特性实验 (15)实验六热电式传感器特性实验 (20)附录一CSY2000系列传感器实验台说明书 (26)附录二CSY-V8.1软件操作说明书 (27)实验一电阻应变式传感器特性实验一、实验目的1.熟悉电阻应变式传感器的结构。

2.了解单臂、半桥和全桥测量电路工作原理和性能。

3.比较单臂与半桥、全桥的不同性能,了解各自特点及全桥测量电路的优点。

二、基本原理1.电阻丝在外力作用下发生机械变形时,其电阻值发生变化,这就是电阻应变效应,描述电阻应变效应的关系式为:ΔR/R=Kε,式中ΔR/R为电阻丝电阻相对变化,K 为应变灵敏系数,ε=Δl/l为电阻丝长度相对变化,金属箔式应变片就是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件,通过它转换被测部位受力状态变化。

电桥的作用完成电阻到电压的比例变化,电桥的输出电压反映了相应的受力状态,对单臂电桥输出电压U O1= EKε/4。

2.对半桥测量电路而言,不同受力方向的两只应变片接入电桥作为邻边,电桥输出灵敏度提高,非线性得到改善。

当应变片阻值和应变量相同时,其桥路输出电压U O2=EKε/2。

3.全桥测量电路中,将受力性质相同的两应变片接入电桥对边,当应变片初始阻值:R1=R2=R3=R4,其变化值ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4时,其桥路输出电压U O3=EKε。

其输出灵敏度比半桥又提高了一倍,非线性误差和温度误差均得到改善。

三、实验仪器及材料1.应变式传感器实验模板(应变式传感器-电子秤)、砝码盘、砝码;2.主控箱(数显表、±15V电源、±4V电源、电源地)。

四、实验步骤1.打开实验台左下面的柜门,取出装有如图应变式传感器(电子秤)模板。

《传感器与检测技术》实验指导书(四个实验)

《传感器与检测技术》实验指导书(四个实验)

《传感器与检测技术》实验指导书(四个实验)实验一金属箔式应变片单臂电桥性能实验一、实验目的:了解金属箔式应变片的应变效应,单臂电桥工作原理和性能。

二、基本原理:电阻丝在外力作用下发生机械变形时,其电阻值发生变化,这就是电阻应变效应,描述电阻应变效应的关系式为:ΔR/R=Kε式中ΔR/R为电阻丝的电阻相对变化值,K为应变灵敏系数,ε=Δl/l为电阻丝长度相对变化。

金属箔式应变片是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件,用它来转换被测部位的受力大小及状态,通过电桥原理完成电阻到电压的比例变化,输出电压U0=EKε(E为供桥电压),对单臂电桥而言,电桥输出电压,U01=EKε/4。

(E为供桥电压)。

三、器件与单元:应变式传感器实验模板、应变式传感器、砝码(每只约20g)、数显表、±15V电源、±4V电源、万数显电压表输入端Vi相连,调节实验模板上调零电位器RW4,使数显表显示为零(数显表的切换开关打到2V档),完毕关闭主控箱电源。

3、参考图(1-2)接入传感器,将应变式传感器的其中一个应变片R1(即模板左上方的R1)接入电桥作为一个桥臂,它与R5、R6、R7接成直流电桥(R5、R6、R7在模块内已连接好),接好电桥调零电位器Rw1,接上桥路电源±4V(从主控箱引入),检查接线无误后,合上主控箱电源开关,先粗调节Rw1,再细调RW4使数显表显示为零。

图1-2 应变式传感器单臂电桥实验接线图4、在传感器托盘上放置一只砝码,读取数显表数值,依次增加砝码和减少砝码并读取相应的数显表数值,记下实验结果填入表(1-1)。

表1-1:单臂测量时,输出电压与负载重量的关系:重量(g)电压(mv) 增加砝码减少砝码5、根据表(1-1)计算系统灵敏度S:S=ΔV/ΔW(ΔV为输出电压平均变化量;ΔW重量变化量),计算非线性误差:δf1=Δm/yF·S×100%,式中Δm为输出电压值(多次测量时为平均值)与拟合直线的最大电压偏差量:yF·S为满量程时电压输出平均值。

【大学课件】传感器与检测技术(参考资料)实验指导书

【大学课件】传感器与检测技术(参考资料)实验指导书

大连职业技术学院传感器与检测技术实验指导书电气与电子工程技术系20XX年10月20日实验一金属箔式应变片――单臂电桥性能实验一、实验目的:了解金属箔式应变片的应变效应,单臂电桥工作原理和性能。

二、实验原理:电阻丝在外力作用下发生机械变形时,其电阻值发生变化,这就是电阻应变效应,描述电阻应变效应的关系式为:ΔR/R=Kε式中:ΔR/R为电阻丝电阻相对变化,K为应变灵敏系数,ε=ΔL/L为电阻丝长度相对变化。

金属箔式应变片就是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件,通过它转换被测部位受力状态变化。

电桥的作用完成电阻到电压的比例变化,电桥的输出电压反映了相应的受力状态。

对单臂电桥输出电压U o1= EKε/4。

三、实验仪器和设备:主机箱(±4V、±15V、电压表)、应变式传感器实验模板、托盘、砝码、412位数显万用表(自备)。

图1 应变片单臂电桥性能实验安装、接线示意图四、实验内容和步骤:应变传感器实验模板说明:实验模板中的R1、R2、R3、R4为应变片,没有文字标记的5个电阻符号下面是空的,其中4个组成电桥模型是为实验者组成电桥方便而设,图中的粗黑曲线表示连接线。

1、根据图1〔应变式传感器(电子秤传感器)已装于应变传感器模板上。

传感器中4片应变片和加热电阻已连接在实验模板左上方的R1、R2、R3、R4和加热器上。

传感器左下角应变片为R1;右下角为R2;右上角为R3;左上角为R4。

当传感器托盘支点受压时,R1、R3阻值增加,R2、R4阻值减小,可用四位半数显万用进行测量判别。

常态时应变片阻值为350Ω,加热丝电阻值为50Ω左右。

〕安装接线。

2、放大器输出调零:将图1实验模板上放大器的两输入端口引线暂时脱开,再用导线将两输入端短接(V i=0);调节放大器的增益电位器R W3大约到中间位置(先逆时针旋到底,再顺时针旋转2圈);将主机箱电压表的量程切换开关打到2V档,合上主机箱电源开关;调节实验模板放大器的调零电位器R W4,使电压表显示为零。

传感器与检测技术综合实验指导书

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《传感器与检测技术综合实验》教学大纲编号:04262400课程名称:传感器与检测技术综合实验英文名称:Comprehensive Experiments of Sensors and Measurement Technology 实验指导书名称:传感器与检测技术综合实验指导书一、学时学分总学时:1周学分:1 实验学时:30 开课学期:6二、实验目的传感器与检测技术综合实验是自动化专业和生物医学专业的一门重要的专业性实验。

其任务是学生在学习专业理论课之后,需要对实际的传感器和检测技术有一个全面的认识,对传感器结构和组成以及工作原理有一个详细的了解,在此基础上能初步掌握各种传感器的使用,完成自动检测任务,为以后的学习和工作打好基础。

使学生熟悉和掌握电阻应变传感器、电感式传感器、电容式传感器、霍尔式传感器、电涡流式传感器、磁电式传感器、光纤、光电传感器、热电阻、热电偶传感器、压电传感器及半导体扩散硅压阻式压力传感器等传感器的使用,使学生了解双平行梁的动态特性—正弦稳态响应和力平衡式传感器的使用。

三、实验基本原理CSY-998B+传感器实验仪提供了12个综合实验项目。

该实验仪主要由四部分组成:传感器安装台、显示与激励源、传感器符号及引线单元、处理电路单元。

1.传感器安装台部分:装有双平行振动梁(应变片、热电偶、PN结、热敏电阻、加热器、压电传感器、梁自由端的磁钢)、激振线圈、双平行梁测微头、光纤传感器的光电变换座、光纤及探头、小机电、电涡流传感器及支座、电涡流传感器引线Φ3.5插孔、霍尔传感器的二个半圆磁钢、振动平台(圆盘)测微头及支架、振动圆盘(圆盘磁钢、激振线圈、霍尔片、电涡流检测片、差动变压器的可动芯子、电容传感器的动片组、磁电传感的可动芯子)、半导体扩散硅压阻式差压传感器、气敏传感器及湿敏元件安装盒,热释电传感器、光电开关、硅光电池、光敏电阻元件安装盒。

2.显示及激励源部分:电机控制单元、主电源、直流稳压电源(±2V - ±10V分5档调节)、F/V数字显示表(可作为电压表和频率表)、(5mV-500mV)、音频振荡器、低频振荡器、±15V不可调稳压电源。

传感器实验指导书

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传感器与检测技术实验指导教师:陈劲松实验一金属箔式应变片——单臂电桥性能实验错误!未指定书签。

实验二金属箔式应变片-全桥性能实验及电子秤实验错误!未指定书签。

实验三电容式传感器的位移特性实验 ..... 错误!未指定书签。

实验四Pt100热电阻测温实验.................. 错误!未指定书签。

实验一金属箔式应变片——单臂电桥性能实验一、 实验目的:了解金属箔式应变片的应变效应,单臂电桥工作原理和性能。

二、 基本原理:金属丝在外力作用下发生机械形变时,其电阻值会发生变化,这就是金属的电阻应变效应。

金属的电阻表达式为:SlR ρ=(1)当金属电阻丝受到轴向拉力F 作用时,将伸长l ∆,横截面积相应减小S ∆,电阻率因晶格变化等因素的影响而改变ρ∆,故引起电阻值变化R ∆。

对式(1)全微分,并用相对变化量来表示,则有:ρρ∆+∆-∆=∆S S l l R R (2)式中的l l ∆为电阻丝的轴向应变,用ε表示,常用单位με(1με=1×mm mm 610-)。

若径向应变为rr ∆,电阻丝的纵向伸长和横向收缩的关系用泊松比μ表示为)(l l r r ∆-=∆μ,因为S S ∆=2(rr ∆),则(2)式可以写成: llk l l l l l l R R ∆=∆∆∆++=∆++∆=∆02121)()(ρρμρρμ(3) 式(3)为“应变效应”的表达式。

0k 称金属电阻的灵敏系数,从式(3)可见,0k 受两个因素影响,一个是(1+μ2),它是材料的几何尺寸变化引起的,另一个是)(ρερ∆,是材料的电阻率ρ随应变引起的(称“压阻效应”)。

对于金属材料而言,以前者为主,则μ210+≈k ,对半导体,0k 值主要是由电阻率相对变化所决定。

实验也表明,在金属丝拉伸比例极限内,电阻相对变化与轴向应变成比例。

通常金属丝的灵敏系数0k =2左右。

用应变片测量受力时,将应变片粘贴于被测对象表面上。

传感器与检测技术综合实验指导书

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工业生产流水线自动化测控综合实验台传感器与检测技术综合实验实验指导书主编:梁森,王洋,计丽霞liangsen163@适用专业:电气技术及其自动化(请预习后再来实验)实验地点:技术中心 A 5062010-12-27,29传感器与自动检测技术(本科)综合实验指导书上海电机学院电气学院目录第一章流水线自动化测控综合实验台综述 (1)1.1 结构和功能综述 (1)1.2实验项目 (6)1.3实验台的配置 (7)1.4 技术参数 (8)第二章传感器与检测技术综合实验台的动作过程综述 (9)2.1 整机工作流程和步骤 (9)2.2 送料机构说明 (11)2.3 机械手搬运机构说明 (11)2.4 工件传送和分选知识 (12)2.5涉及到的其他气动元件知识 (13)第三章传感器与检测技术综合实验的目的、步骤及结果 (18)3.1 系统的初始化操作 (18)3.2 分选实验 (20)3.3 电容接近开关实验及性能测试 (26)3.4 电涡流位移传感器实验及线性化的研究 (28)3.5 应变传感器称重实验及非线性和温漂的研究 (32)第一章流水线自动化测控综合实验台综述1.1 结构和功能综述1.1.1YL237型工业流水线自动化测控综合实验台的特点本实验设备是中国亚龙科技有限公司生产的,名称为“工业流水线自动化测控综合实验台”,简称为“传感器与检测技术综合实验台”,配置了电脑和三菱PLC。

本实验指导书阐述了工业生产流水线自动化测控综合实验台的基本结构、工作原理、工作过程和操作步骤,给出了较详细的使用说明。

阅读和理解本实验指导书,也是机电一体化知识学习的一部分。

本实验台将多门理论课中学到的机械、电子、传感器、检测、PLC、电气控制等课程有关知识加以综合。

为了进行研究性实验,本实验系统还允许进行模块化拆分和组合,可以通过重新定义输入/输出口地址,重新对PLC进行编程,完成学生自己想要的动作和功能。

图1-1 流水线自动化测控综合实验台示意图图1-2 传感器与检测技术综合实验室1.1.2传感器与检测技术综合实验台总体实验目的①验证学过的几种常用传感器的原理;②对几种常用传感器的特性进行测试;③学习几种常用传感器的调试;④学习传感器在气动、流水线运行中的测控方法;⑤学习气动系统的组成;⑥学习如何组成综合测试系统等。

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工业生产流水线自动化测控综合实验台传感器与检测技术综合实验实验指导书主编:梁森,王洋,计丽霞liangsen163@适用专业:电气技术及其自动化(请预习后再来实验)实验地点:技术中心 A 5062010-12-27,29传感器与自动检测技术(本科)综合实验指导书上海电机学院电气学院目录第一章流水线自动化测控综合实验台综述 (1)1.1 结构和功能综述 (1)1.2实验项目 (6)1.3实验台的配置 (7)1.4 技术参数 (8)第二章传感器与检测技术综合实验台的动作过程综述 (9)2.1 整机工作流程和步骤 (9)2.2 送料机构说明 (11)2.3 机械手搬运机构说明 (11)2.4 工件传送和分选知识 (12)2.5涉及到的其他气动元件知识 (13)第三章传感器与检测技术综合实验的目的、步骤及结果 (18)3.1 系统的初始化操作 (18)3.2 分选实验 (20)3.3 电容接近开关实验及性能测试 (26)3.4 电涡流位移传感器实验及线性化的研究 (28)3.5 应变传感器称重实验及非线性和温漂的研究 (32)第一章流水线自动化测控综合实验台综述1.1 结构和功能综述1.1.1YL237型工业流水线自动化测控综合实验台的特点本实验设备是中国亚龙科技有限公司生产的,名称为“工业流水线自动化测控综合实验台”,简称为“传感器与检测技术综合实验台”,配置了电脑和三菱PLC。

本实验指导书阐述了工业生产流水线自动化测控综合实验台的基本结构、工作原理、工作过程和操作步骤,给出了较详细的使用说明。

阅读和理解本实验指导书,也是机电一体化知识学习的一部分。

本实验台将多门理论课中学到的机械、电子、传感器、检测、PLC、电气控制等课程有关知识加以综合。

为了进行研究性实验,本实验系统还允许进行模块化拆分和组合,可以通过重新定义输入/输出口地址,重新对PLC进行编程,完成学生自己想要的动作和功能。

图1-1 流水线自动化测控综合实验台示意图图1-2 传感器与检测技术综合实验室1.1.2传感器与检测技术综合实验台总体实验目的①验证学过的几种常用传感器的原理;②对几种常用传感器的特性进行测试;③学习几种常用传感器的调试;④学习传感器在气动、流水线运行中的测控方法;⑤学习气动系统的组成;⑥学习如何组成综合测试系统等。

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实验一金属箔式应变片性能研究一、实验目的1、了解金属箔式应变片,单臂电桥的工作原理和工作情况。

2、了解金属箔式应变片,半桥的工作原理和工作情况。

3、了解金属箔式应变片,全桥的工作原理和工作情况。

4、验证单臂、半桥、全桥的性能及相互之间的关系。

二、实验原理电阻应变式传感器是在弹性元件上通过特定工艺粘贴电阻应变片来组成,一种利用电阻材料的应变效应工程结构件的内部变形转化为电阻变化的传感器。

此类传感器主要是通过一定的机械装置将被测量转化成弹性元件的形变,然后由电阻应变片将弹性元件的形变转化为电阻的变化,再通过测量电路将电阻的变化转换成电压或者电流变化信号输出。

它可用于能转化成形变的的各种物理量的检测。

本实验以金属箔式应变片为研究对象。

箔式应变片的基本结构:金属箔式应变片是在用苯酚、环氧树脂等绝缘材料的基板上,粘贴直径为0.025mm左右的金属丝或者金属箔制成,如图所示:(a)丝式应变片(b) 箔式应变片图1-1金属箔式应变片结构金属箔式应变片是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件,与丝式应变片工作原理相同。

电阻丝在外力的作用下发生机械形变时,其电阻值发生变化,这就是电阻应变效应。

描述电阻应变效应的关系式为△R/R=Kε。

式中△R/R为电阻丝电阻的相对变化,K为应变灵敏系数,ε=△L/L为电阻丝长度相对变化。

为了将电阻应变式传感器的电阻变化转化成电压或者电流信号,在应用中一般采用电桥电路作为测量电路。

电桥电路具有结构简单、灵敏度高、测量范围宽、线性度好且易实现温度补偿等优点。

能较好地满足各种应变测量要求,因此在测量应变中得到了广泛的应用。

电路电桥按其工作方式分有单臂、半桥、全桥三种,单臂工作输出信号最小,线性、稳定性较差;双臂输出是单臂的两倍,性能比单臂有所改善;全桥工作时的输出是单臂的四倍,性能最好。

因此,为了得到较大的输出电压一般采用半桥或者全桥工作。

三、需用器件与单元:可调直流稳压电源、电桥、差动放大器、双平行梁、测微头、应变片、电压/频率表、主、副电源。

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传感器与检测技术实验指导书机械电子工程教研室2011-10-10HCX-2000系列传感器与检测技术实验台HCX-2000型传感器与检测技术实验台说明书一、实验台的组成HCX-2000型传感器与检测技术实验台由主机箱、传感器、实验电路(实验模板)、转动源、振动源、温度源、数据采集卡及处理软件、实验桌等组成。

1、主机箱:提供高稳定的±15V、±5V、+5V、±2V~±10V(步进可调)、+2V~+24V (连续可调)直流稳压电源;音频信号源(音频振荡器)1KHz~10KHz(连续可调);低频信号源(低频振荡器)1Hz~30Hz(连续可调);传感器信号调理电路;智能调节仪;计算机通信口;主机箱上装有电压、气压等相关数显表。

其中,直流稳压电源、音频振荡器、低频振荡器都具有过载保护功能,在排除接线错误后重新开机恢复正常工作。

主机箱右侧面装有供电电源插板及漏电保护开关。

2、振动源(动态应变振动梁与振动台):振动频率3Hz~30Hz可调(谐振频率9Hz~12 Hz左右);3、转动源:手动控制0转/分~2400转/分、自动控制300~2200转/分。

4、温度源:常温~200℃。

5、气压源:0~20Kpa(连续可调)。

6、传感器:基本型有箔式应变片(350Ω)传感器(秤重200g)、扩散硅压力传感器(20Kpa)、差动变压器(±4mm)、电容式位移传感器(±2.5mm)、霍尔式位移传感器(±1mm)、霍尔式转速传感器(2400转/分)、磁电转速传感器(250转/分~2400转/分)、压电式传感器、电涡流传感器(1mm)、光纤位移传感器(1mm)、光电转速传感器(2400转/分)、集成温度(AD590)传感器(室温~120℃)、K热电偶(室温~150℃)、E热电偶(室温~150℃)、Pt100铂电阻(室温~150℃)、Cu50铜电阻(室温~100℃)、湿敏传感器(10~95%RH)、气敏传感器(50~99VJppm)等。

增强型:基本型基础上可选配扭矩传感器(25N·m)、超声位移传感器(200~1500mm)、PSD位置传感器(±2mm)、CCD电荷耦合器件、光栅位移传感器(25mm)、红外热释电传感器、指纹传感器(演示)等。

7、调理电路(实验模板):基本型有电桥及调平衡网络、差动放大器、电压放大器、电荷放大器、电容变换器、电涡流变换器、光电变换器、温度变换器、移相器、相敏检波器、低通滤波器。

增强型增加与选配传感器配套的实验模板。

8、数据采集处理软件,另附。

9、实验台:尺寸为1600×800×750mm,实验台桌上预留了计算机及示波器安放位置。

二、电路原理实验电路原理已印刷在面板上(实验模板上) ,实验接线图参见文中的具体实验内容。

三、使用方法1、开机前将电压表显示选择旋钮打到2V档;电流表显示选择旋钮打到200mA档;步进可调直流稳压电源旋钮打到±2V档;其余旋钮都打到中间位置。

2、将AC 220V电源线插头插入市电插座中,合上电源开关,数显表显示0000,表示实验台已接通电源。

3、做每个实验前应先阅读实验指南,每个实验均应在断开电源的状态下按实验线路接好连接线(实验中用到可调直流电源时,应在该电源调到实验值后再接到实验线路中),检查无误后方可接通电源。

4、合上调节仪(器)电源开关,设置调节仪(器)参数;调节仪(器)的PV窗显示测量值;SV窗显示设定值(具体内容参见实验)。

5、数据采集卡及处理软件使用方法另附说明。

四、仪器维护及故障排除1、维护⑴防止硬物撞击、划伤实验台面;防止传感器跌落地面。

⑵实验完毕要将传感器、配件及连线全部整理放置好。

2、故障排除⑴开机后数显表都无显示,应查AC 220V电源有否接通;主机箱侧面AC 220V 插座中的保险丝是否烧断。

如都正常,则更换主机箱中主机电源。

⑵转动源不工作,则手动输入+12V电压,如不工作,更换转动源;如工作正常,应查调节仪设置是否准确;控制输出Vo有无电压,如无电压,更换主机箱中的转速控制板。

⑶振动源不工作,检查主机箱面板上的低频振荡器有无输出,如无输出,更换信号板;如有输出,更换振动源的振荡线圈。

⑷温度源不工作,检查温度源电源开关有否打开;温度源的保险丝是否烧断;调节仪设置是否准确。

如都正常,则更换温度源。

五、注意事项1、在实验前务必详细阅读实验指南。

2、严禁用酒精、有机溶剂或其它具有腐蚀性溶液擦洗主机箱及面板。

3、请勿将主机箱的电源、信号源输出端与地(⊥)短接,因短接时间长易造成电路故障。

4、请勿将主机箱的±电源引入实验电路时接错。

5、在更换接线时,应断开电源,只有在确保接线无误后方可接通电源。

6、实验完毕后,请将传感器及附件放回原处。

7、如果实验台长期未通电使用,在实验前先通电十分钟预热,再检查按一次漏电保护按钮是否有效。

8、实验接线时,要握住手柄插拔实验线,不能拉扯实验线。

六、随机附件详见装箱清单。

实验1 应变片全桥性能实验一、实验目的:了解应变片全桥工作特点及性能。

二、基本原理:应变片基本原理参阅实验(一)。

应变片全桥特性实验原理如图3—1所示。

应变片全桥测量电路中,将应力方向相同的两应变片接入电桥对边,相反的应变片接入电桥邻边。

当应变片初始阻值:R1=R2=R3=R4,其变化值ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4时,其桥路输出电压Uo≈(△R/R)E=KεE。

其输出灵敏度比半桥又提高了一倍,非线性得到改善。

图3—1应变片全桥特性实验接线示意图三、需用器件和单元:主机箱中的±2V~±10V(步进可调)直流稳压电源、±15V直流稳压电源、电压表;应变式传感器实验模板、托盘、砝码。

四、实验步骤:实验步骤与方法(除了按图3—2示意接线外)参照实验(二),将实验数据填入表3作出实验曲线并进行灵敏度和非线性误差计算。

实验完毕,关闭电源。

图3—2 应变片全桥性能实验接线示意图表3全桥性能实验数据五、思考题:测量中,当两组对边(R1、R3为对边)电阻值R相同时,即R1=R3,R2=R4,而R1≠R2时,是否可以组成全桥:(1)可以(2)不可以。

附注:实验(一)应变片单臂电桥性能实验一、实验目的:了解电阻应变片的工作原理与应用并掌握应变片测量电路。

二、基本原理:电阻应变式传感器是在弹性元件上通过特定工艺粘贴电阻应变片来组成。

一种利用电阻材料的应变效应将工程结构件的内部变形转换为电阻变化的传感器。

此类传感器主要是通过一定的机械装置将被测量转化成弹性元件的变形,然后由电阻应变片将弹性元件的变形转换成电阻的变化,再通过测量电路将电阻的变化转换成电压或电流变化信号输出。

它可用于能转化成变形的各种非电物理量的检测,如力、压力、加速度、力矩、重量等,在机械加工、计量、建筑测量等行业应用十分广泛。

1、应变片的电阻应变效应所谓电阻应变效应是指具有规则外形的金属导体或半导体材料在外力作用下产生应变而其电阻值也会产生相应地改变,这一物理现象称为“电阻应变效应”。

以圆柱形导体为例:设其长为:L、半径为r、材料的电阻率为ρ时,根据电阻的定义式得(1—1)当导体因某种原因产生应变时,其长度L、截面积A和电阻率ρ的变化为dL、dA、dρ相应的电阻变化为dR。

对式(1—1)全微分得电阻变化率 dR/R为:(1—2)式中:dL/L为导体的轴向应变量εL; dr/r为导体的横向应变量εr由材料力学得:εL= - μεr (1—3)式中:μ为材料的泊松比,大多数金属材料的泊松比为0.3~0.5左右;负号表示两者的变化方向相反。

将式(1—3)代入式(1—2)得:(1—4)式(1—4)说明电阻应变效应主要取决于它的几何应变(几何效应)和本身特有的导电性能(压阻效应)。

2、应变灵敏度它是指电阻应变片在单位应变作用下所产生的电阻的相对变化量。

(1)、金属导体的应变灵敏度K:主要取决于其几何效应;可取(1—5)其灵敏度系数为:K=金属导体在受到应变作用时将产生电阻的变化,拉伸时电阻增大,压缩时电阻减小,且与其轴向应变成正比。

金属导体的电阻应变灵敏度一般在2左右。

(2)、半导体的应变灵敏度:主要取决于其压阻效应;dR/R<≈dρ⁄ρ。

半导体材料之所以具有较大的电阻变化率,是因为它有远比金属导体显著得多的压阻效应。

在半导体受力变形时会暂时改变晶体结构的对称性,因而改变了半导体的导电机理,使得它的电阻率发生变化,这种物理现象称之为半导体的压阻效应。

不同材质的半导体材料在不同受力条件下产生的压阻效应不同,可以是正(使电阻增大)的或负(使电阻减小)的压阻效应。

也就是说,同样是拉伸变形,不同材质的半导体将得到完全相反的电阻变化效果。

半导体材料的电阻应变效应主要体现为压阻效应,其灵敏度系数较大,一般在100到200左右。

3、贴片式应变片应用在贴片式工艺的传感器上普遍应用金属箔式应变片,贴片式半导体应变片(温漂、稳定性、线性度不好而且易损坏)很少应用。

一般半导体应变采用N型单晶硅为传感器的弹性元件,在它上面直接蒸镀扩散出半导体电阻应变薄膜(扩散出敏感栅),制成扩散型压阻式(压阻效应)传感器。

*本实验以金属箔式应变片为研究对象。

4、箔式应变片的基本结构金属箔式应变片是在用苯酚、环氧树脂等绝缘材料的基板上,粘贴直径为0.025mm左右的金属丝或金属箔制成,如图1—1所示。

(a) 丝式应变片 (b) 箔式应变片图1—1应变片结构图金属箔式应变片就是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件,与丝式应变片工作原理相同。

电阻丝在外力作用下发生机械变形时,其电阻值发生变化,这就是电阻应变效应,描述电阻应变效应的关系式为:ΔR/R=Kε式中:ΔR/R为电阻丝电阻相对变化,K为应变灵敏系数,ε=ΔL/L为电阻丝长度相对变化。

5、测量电路为了将电阻应变式传感器的电阻变化转换成电压或电流信号,在应用中一般采用电桥电路作为其测量电路。

电桥电路具有结构简单、灵敏度高、测量范围宽、线性度好且易实现温度补偿等优点。

能较好地满足各种应变测量要求,因此在应变测量中得到了广泛的应用。

电桥电路按其工作方式分有单臂、双臂和全桥三种,单臂工作输出信号最小、线性、稳定性较差;双臂输出是单臂的两倍,性能比单臂有所改善;全桥工作时的输出是单臂时的四倍,性能最好。

因此,为了得到较大的输出电压信号一般都采用双臂或全桥工作。

基本电路如图1—2(a)、(b)、(c)所示。

(a)单臂(b)半桥(c)全桥图1—2 应变片测量电路(a)、单臂Uo=U①-U③=〔(R1+△R1)/(R1+△R1+R5)-R7/(R7+R6)〕E={〔(R7+R6)(R1+△R1)-R7(R5+R1+△R1)〕/〔(R5+R1+△R1)(R7+R6)〕}E设R1=R5=R6=R7,且△R1/R1=ΔR/R<<1,ΔR/R=Kε,K为灵敏度系数。

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