精选-高纯气体的配管及材质
11种材质的化工用管材知识应知应会
11种材质的化工用管材知识应知应会化工用管的种类按材质分：金属用管和非金属用管金属用管铸铁管、有缝钢管、无缝钢管、铜管、铝管、铅管。
①铸铁管：铸铁管是化工管路中常用的管道之一。
由于性脆及连接紧密性较差，只适用于输送低压介质，不宜输送高温高压蒸汽及有毒、易爆性物质。
常用于地下给水管、煤气总管和下水管道。
铸铁管的规格以Ф内径×壁厚（mm）表示。
②有缝钢管：有缝钢管按使用压力分普通水煤气管（耐压0.1～1.0MPa）和加厚管（耐压1.0～0.5MPa）。
一般用于输送水、煤气、取暖蒸汽、压缩空气、油等压力流体。
镀锌的叫白铁管或镀锌管。
不镀锌的叫黑铁管。
其规格以公称直径表示。
最小公称直径6mm，最大公称直径150mm。
③无缝钢管：无缝钢管的优点是质量均匀强度较高。
其材质有碳钢、优质钢、低合金钢、不锈钢、耐热钢。
因制造方法不同，分为热轧无缝钢管和冷拔无缝钢管两种。
管道工程中管径超过57mm时，常用热轧管，57mm以下时常用冷拔管。
无缝钢管常用于输送各种受压气体、蒸气和液体，能耐较高温度（约435℃）。
合金钢管用于输送腐蚀性介质，其中耐热合金管耐温可达900-950℃。
无缝钢管的规格以Ф内径×壁厚（mm）表示。
冷拔管最大外径为200mm，热轧管最大外径630mm。
无缝钢管按用途分为一般无缝管和专用无缝管，如石油裂化无缝管、锅炉无缝管、化肥无缝管等。
④铜管：铜管传热效果好。
主要应用于换热设备和深冷装置的管路，仪表测压管或传送有压力的流体，但温度高于250℃时，不宜在压力下使用。
因价格较贵，一般使用在重要场所。
⑤铝管：铝具有很好的耐蚀性。
铝管常用于输送浓硫酸、醋酸、硫化氢及二氧化碳等介质，也常用于换热器。
铝管不耐碱，不能用于输送碱性溶液及含氯离子的溶液。
由于铝管的机械强度随着温度的升高而显著降低，故铝管的使用温度不能超过200℃，对于受压管路，使用温度将更低。
铝在低温下具有较好的机械性能，故在空气分离装置中大都采用铝及铝合金管。
氧气、高纯气体及稀有气体管道
氧气、高纯气体及稀有气体管道施工说明设计审核批准二○○一年六月氧气、高纯气体和稀有气体管道施工说明本说明适用于输送99.5%以上的施工质量要求高的高纯度气体和稀有气体的管道，不适用于设备本体所属的管道及其他气体介质的管道。
本说明在下述“规范”的基础上进行编制：1、《工业管道工程施工及验收规范，(金属管道篇)》GBJ235—82(简称“金属管道篇”)；2、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GBJ236—82(简称“焊接规范”)；3、《冶金部“氧气安全规程”（一九八八年）》(简称“规程”)。
结合工程具体情况，本说明作如下补充：1.管子、管道附件及阀门的要求：1.1管道所用材质要求根据施工图纸计算决定选取，要变更材质必须征得设计部门同意。
下列仅例举材质之范围和相关的标准。
1.1.1无缝钢管(GB8163—87)材质有：10、20或16Mn钢质等。
10号钢管δb不小于335N/mm2，δs不小于205N/ mm220号钢管δb不小于410N/mm2，δs不小于245N/ mm2以上两号钢管含硫、磷各分别不大于0.035%，并符合GB699—88要求。
16Mn钢管δb不小于510N/mm2，δs不小于343N/ mm2，含硫不大于0.05%，含磷不大于0.045%，并符合GB1591—79要求。
1.1.2不锈钢管（GB2270—80、GB1220—84）材质常用1Cr18Ni9Ti，1Cr18Ni11Ti等。
1Cr18Ni11Ti 1Cr18Ni9Ti不锈钢管δ b 不小于539N/mm2(55kgf/ mm2)，δ0.2不小于206N/mm2(21kgf/ mm2)，0Cr18Ni11Ti不锈钢管δb 不小于520N/mm2 (53kgf/ mm2)，δ0.2不小于206N/mm2 (21kgf/ mm2)。
1.1.3紫铜管材质可用T2、T3、T4、TUP等拉制铜管（GB1527—79）材料状态M（软）的δb 不小于206N/mm2 (21kgf/ mm2)，伸长率δ10不小于35%，δ5不小于42%。
超纯气体管道施工
超纯气体管道施工工艺一、微电子产业现状（一）半导体设计业现状自从1986年我国第一家IC设计公司—中国华大集成电路设计中心（当时名为北京IC设计中心）建立以来到时隔12年之后的1998年，又先后建立了60多家设计公司，从业人数约2000人。
然而，从1998年到现在，仅仅两年的时间，由于受国际，尤其中国信息化建设需求的驱动，中国的微电子产业有着宏伟的发展前景，市场需求巨大，每年需要进口上百亿块的集成电路，于是国内外业界人士看好这一大好发展形势，纷纷以外资、合资、中资等方式加大投入。
大大小小的设计公司（中心、所），象雨后春笋般的建立起来了。
据不完全统计，到目前为止，国内已有各种类型的IC设计公司、中心、所约120余个。
这些设计公司大约分为五个类型：专业设计公司，如中国华大、天潼、长江等；企业、研究所的设计部门如华晶、首钢NEC、13所等都有专门的设计所；整机公司的设计部门，如华为、海信、熊猫等都有自己的设计所；高等院校的设计部门，如清华、北大、复旦；外资在大陆建立的设计公司，如MOTOROLA、INTEL、EPSON等在苏州、上海、北京都有自己专门的设计公司。
虽然近两年来，我国的设计业发展迅猛，然而与世界先进国家相比差距仍然很大，据有关人士测算，美国现有设计人才40万左右，相比之下，中国的设计人员，还不及它的1%，尤其高水平的设计公司和设计人才较少，而且设计手段（软件、硬件）落后，人才流失在设计业上也尤为严重。
目前的IC设计，已进入到SOC，即芯片集成系统，把系统功能集成在一个芯片上，设计业是龙头，这首先要设计业先设计好，然后才能由制芯业、封装业来完成。
业界专家们认为，21世纪将是SOC的时代，我国必须抓住芯片集成这一发展机遇来发展自己的设计业。
（二）半导体制造业现状中国现有半导体制造业的技术水平，目前具有代表性的有七大企业，它们是华晶、华越、南科、贝岭、先进、首钢NEC和华虹NEC。
最高水平的是华虹NEC 8英寸0.35—0.5μm ,月投片量20000片，接近当代国际水平。
UHP气体管道材料介绍
UHP气体管道材料介绍UHP气体管线材料介绍----------------------------------------------------------------------A,超纯,洁净管道系什么?20 多年前,半导体,集成电路,生物制药行业输送纯净介质(气体)的管路采用的管道还是普通的不锈钢管道,虽然管道的材料和安装成本较低,但良率(合格率)却很低.更严重的问题是:随着芯片集成度的提高,线宽的越来越小,对传输气体和介质的管路提出更高的要求,管路的质量成了制约芯片产量和集成度提高的瓶颈.就在那时,日本东北大学的一位教授就这些问题前往美国的一家芯片厂调研,针对这些问题,他联合日本的神户特殊刚厂共同研发适合传输高纯超高纯气体的不锈钢管道,经过多次研制,最后成功研制出精炼母材经过特殊冷轧的BA 管(光亮退火不锈钢管),后在此基础上,又发明了EP 管。
通过对管道系统的改进，芯片集成度，产量有了极大的提高，高科技产业在最近几年有了飞速发展。
B, 超纯,洁净管道系统的真正含义半导体,集成电路,生物制约行业输送纯净介质(气体)的高纯管路是一种综合考虑组织安定性,耐蚀性,加工性的最优化不锈钢管.要确保系统中立,我们要强调表面粗糙度Ra 值和自身的洁净,使颗粒发生和堆积滞留得到有效抑止.为了确保可焊接性及焊接质量,要求保证尺寸公差,母材的化学成分.这样才能确保在焊接时降低烟气的发生,颗粒的产生及提高焊接部位的耐蚀性和平滑性。
.总而言之, 高纯管路既要有漂亮的外表(外在的纯净), 又要有货真价实的材质(内在的纯净).1,外在的纯净,有别于传统不锈钢管道内外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感觉,现在的超纯,洁净管道不仅有锃亮的外表,同时也有较好的内表面粗糙度, 以确保管道系统对传输的介质保持中立以及保证最佳的彻底吹扫及清洗性能, 现在工程师及技术人员常常提及的表面粗糙度Ra 值就是对管道系统内表面粗糙度的基本要求.为了确保自动轨道焊接的质量和效率,尺寸公差当然也是最基本的要求。
气体管路方案书
超纯气体管路及工程施工方案一、供气参数1、气瓶间设在3层共有8路气体，其中包含氮气、氩气、氦气、氢气、液氮、液氩、空气和乙炔。
使用点共有27个，分别分布在2、3、4层。
2、气体管路系统包括：不锈钢自动切换系统，不锈钢管，不锈钢终端减压阀，不锈钢球阀等配件。
上述系统分别分布在气瓶间和使用点。
设计方案：①氮气、氩气、氦气、空气、液氮、液氩以上气体采用不锈钢自动切换系统（1*1)，此系统可实现自动切换，保证气体不间断供应，可同时供应气质、液质、前处理、ICP-MS、原子吸收、原子荧光和4层气相色谱的气体。
管路采用1/4’’ BA级316L不锈钢管，末端配置不锈钢球阀和不锈钢二级减压阀。
不锈钢二级减压阀可端独控制进入仪器的气体压力，使用方便，美观大方；②乙炔乙炔采用不锈钢自动切换系统（1*1)，此系统可实现自动切换，保证气体不间断供应，供应原子吸收室内的仪器。
由于乙炔压力较低，所以主管路采用1/2’’ BA级316L不锈钢管，支管路采用1/4’’ BA级316L不锈钢管，末端配置不锈钢球阀和不锈钢二级减压阀。
不锈钢二级减压阀可单独控制进入仪器的气体压力，使用方便，美观大方。
其中主管路上配置不锈钢回火防止器，用来防止乙炔在使用过程中出现回火，发生危险；③氢气氢气采用不锈钢自动切换系统（1*1)，此系统可实现自动切换，保证气体不间断供应，同时供应气质和4层气相室。
管路采用1/4’’ BA级316L不锈钢管，末端配置不锈钢球阀和不锈钢二级减压阀。
不锈钢二级减压阀可端独控制进入仪器的气体压力，使用方便，美观大方。
其中主管路上配置不锈钢回火防止器，用来防止氢气在使用过程中出现回火，发生危险；④气瓶室和使用点配置可燃气体报警器，气瓶室安装防暴排风扇，乙炔和氢气主管路安装防暴电磁阀。
当可燃气体出现泄漏时，可燃气体报警器进行声光报警，同时联动防暴排风扇和防暴电磁阀，防暴排风扇自动开启，防暴电磁阀关闭。
⑤气瓶室氮气、氩气、氦气、空气、乙炔、氢气六种气体分别安装低压报警装置。
常用气体管道材质
中国当代女性文学的病症与产生的原因作者：朱笑雪来源：《文学教育》 2014年第8期朱笑雪内容摘要：女性文学是诞生于一定的社会历史条件下，具有现代人文精神内涵，以女性为经验主体、思维主体、审美主体和言说主体的文学。
中国的女性文学到90年代由于空前的作品数量和广泛深刻的影响才正式被文学史所接受。
与此同时女性文学也由于“身体写作”和片面否定男性而被限制了发展，但是随之而来的许多批评理论却并未对女性文学进行客观的批判，而是带着某些偏见，这就使得本来就举步艰难的女性文学陷入更加困难的境地。
从某种程度上说，这是女性被定义为“他者”和僵化的“二元对立”观念的影响。
关键词：中国当代女性文学病症偏见女性文学是诞生于一定的社会历史条件下，以五四新文化运动为开端，具有现代人文精神内涵，以女性为经验主体、思维主体、审美主体和言说主体的文学。
女性写作是西风东渐的产物，同时也是中国社会发展变化在文学上的必然反应。
20世纪六七十年代西方文化发生巨大变革，女权主义政治运动声势浩大，冲击了西方社会的传统伦理、文学、语言，甚至人们的穿着打扮。
在文学界，女性主义文学批评以女权主义立场和态度重新解读和审视以往几千年的传统男权文化，对以往的文学史进行新的价值重估，着重批判文学创作中男性权威所规定的性别等级观念，试图建立一种完全以女性为本质和目的的文学。
在创作领域，女性主义文学批评号召女性“以写作进入历史”，主要考察出自女性之笔的文学作品的历史、主题、类型和结构。
中国冠以“女性文学”之名的文学创作是在80年代中期之后随着中国改革开放、西方文艺思潮大量涌入才出现的，到90年代由于空前的作品数量和广泛深刻的影响才正式被文学史所接受。
在概念上普遍认可的女性文学必备“三女”的标准：女作家创作的、以描写女性生活为内容的、表现了女性意识的文学作品才称得上是女性文学。
一.“用身体写作”之病症与女性文学界定之偏见“女性写作”本是具有西方背景的一个概念，最早使用者是法国的女性主义作家与学者埃莱娜·西苏，她首先提出了“妇女必须写妇女。
氧气、高纯及稀有气体管道施工
氧气、高纯及稀有气体管道施工本施工方法适用于输送纯度为~99.6%工业氧气及纯度等于大于99.99%的高纯气体和稀有气体的管道（氮、氩、氖、氦、氙），不适用于设备本体所属的管道及其他气体介质的管道。
遵循GB50235“工业金属管道工程施工及验收规范”；GB16912“现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范”；GB16912“氧气及相关气体安全技术规程”，并对工程具体情况作如下补充：1、管道及阀门要求1.1、管道管道所用材质的要求间有关标准技术要求：1.1.1、无缝管GB8163“输送流体用无缝钢管”；GB6479“化肥设备用高压无缝钢管”；GB/T14976“输送流体用无缝钢管”;GB1527铜及合金拉制铜管”;GB1528铜及合金挤制铜管”;1.1.2、焊接钢管GB12771“流体输送用不锈钢焊接管”；适用于工作压力≤0.1MPa的氧气管道，GB3092《低压流体输送用焊接钢管》、SY/T5037《低压流体输送管道用螺旋缝埋弧焊钢管》1.1.3、钢板卷焊管钢板卷焊管的钢板牌号应与设计图相符。
所用的碳素钢、低合金钢可选如下标准：《GB3274》、《GB710》、《GB6654》，所选不锈钢可用《GB4237》1.1.4、选用的钢材及板材必须进行外观检查，内部表面不得有严重锈蚀，锈蚀等级在D 级《涂装前钢材表面锈蚀等级和除锈等级GB8923》钢管机钢板不得使用，并应无裂缝、折叠、轧折、离层、发纹、结疤、鳞皮、夹渣缺陷存在。
有少量缺陷的管材其清除后的壁厚，应不小于扣除负偏差厚的壁厚。
1.2阀门1.2.1 氧气阀门经用户检测认可的制造厂生产的氧气专用阀门，并有材质、压力试验、气密试验、脱脂等检验内容的质量合格证明文件，并在安装前，其密封密封包装无破损，无油脂污染者，可直接安装于氧气管道。
否则应按《GB50235》的要求进行阀门检验。
并进行脱脂处理检验，阀门填料检查。
阀门填料应为无机、不燃的材料：如浸渍聚四氟乙烯的石棉绳、经300℃煅烧的石墨石棉绳、膨胀石墨石等。
洁净车间高纯气体管道的安装、施工
洁净车间高纯气体管道的安装、施工洁净厂房广泛用于电子、生物医药、精细化工、精密机械、食品、化妆品等产品的生产中，不同产品的生产过程中，对所用高纯度气体的品种、纯度，以及气体中允许的杂质浓度或气体的品质要求差异很大。
例如半导体工业，所用气体品种多，要求特别严格。
洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8MPa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道，其具体的安装要求可参考《洁净室施工及验收规范》(JGJ 71-1990)的有关规定。
高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的气体。
高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道，稍有疏忽便可能破坏气体的质量。
因此，要理解安装气体质量的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求，工作严肃认真、一丝不苟，高度重视各个细小环节，建成符合要求的管路系统。
要求做到以下几个方面:1.外观的检查工作(1)管道系统的管材、阀门及所有附件，严格设计要求选用，不得随意更改或代换。
(2)所有管材应放在室内精心保管，不得露天堆放、日晒和雨淋。
(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封，不得脱落、破裂。
(4)管子、管件、阀门等使用前，详细进行外观检查。
2.配管的准备工作(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙炔焰切割。
无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。
(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。
(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在三氯乙烯或四氯化碳溶剂中浸泡1~1.5h。
安全阀清洗后应当重新试压。
(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。
(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。
管道内壁的酸洗工作，必须保证清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。
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高纯气体的配管及材质
1．高纯气体管路的设计要点：
（1）对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/ 毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/ 腐蚀性气体区。
（2）管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/S ，可燃性气体小于10ml/S,毒性/ 腐蚀性气体小于8ml/S ，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4 ”〜3/8 ”。
（3）根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
（4）管路中应减少不流动气体的“死空间” ，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。
（5）对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
（6）为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。
（7）在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器
2．高纯气体配管及附件材质的选择
（1 ）选择标准•选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料：
目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BASS316BA、不锈钢电抛光管（SS316L-EP 等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量w 1.01.0 X 10- 6及以下的管材应用SS316L-EP管，高纯气体使用管材的特点及要求如下表所示：
注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高级别的SS316L-EP1 ;使
用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆炸，有剧毒的特种气体，如SiH4、PH、AsH等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP此
设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，
目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或
者压力警报器检知泄漏状态。
•内表面处理：通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
•阀门的选用：高纯气体对系统所用阀门的严密性有十分严格的要求，目前国内洁净厂房的高纯气体管道的阀门基本都采用SS304或SS316L不锈钢材质，阀门型式有隔膜阀、波纹管阀和球阀。
波纹管阀的严密性比球阀好，在气体流过阀门时没有与外环境接触的填料，所以没有渗漏现象：隔膜阀除了严密性与波纹管阀相当以外，还具有阀体死体积小，易吹除且污染少，所以适用于对气体纯度和生产工艺要求极严格或者危险性大的气体。
•管道连接：①高纯气体一般采用手工氩弧焊接和自动氩弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和对焊，承插焊的好处在于施焊时管道的
对中，方便焊接，但缺点是由于管道与承插口之间有间隙，会存在“死空间’不易将杂质吹除，影响高纯气体质量。
因此对于要求极为严格的高纯气体来说，应采用对接焊连接并要求内表面无焊缝，即在施工时不得使用不锈钢焊丝，利用母材的本身融化填满焊缝。
②为确保输送至用气设备的气体质量，高纯气体管道与用气设备之间应用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。
③高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专用接头予以连接，常用的接头方式有两种：分别为VCR
(Vacuum Coupling Retainer )和SW Q Swaglok)，VCR采用优良的金属垫，禾U用纵向压力压紧，因此泄漏率极低，
约为10〜9A cc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量 1.0 X1O_9级的高纯气输送系统，而SWGU不如VCR耐压较
低，基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式
“VCR连接件构造示意图如下：1—压盖螺帽；2—密封压盖；3 —垫片；4 —接头;
1 2
用在腐蚀性气体上，v+v的EP管,腐蚀性气体可否列一下：
自燃，毒性气体，sih4 10%ph3/He 0.7%AsH3 1%PH3/H2 , Si2H6 SiH2CL2 NH3 WF6 HCL BCL3 HBr F2/Kr/Ne（腐蚀性）华虹用过TEOS, CLF3 近些年，KEE在磷烷和氯气上使用V+V的管材，其他的气体上未曾使用。
（注：专业文档是经验性极强的领域，无法思考和涵盖全面，素材和资料部分来自网络，供参考。
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