近代物理镀膜机实验报告
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
物理学本科专业近代物理实验报告
实验题目: 1 真空获得与真空测量
2 热蒸发法制备金属薄膜材料
3 磁控溅射法制备金属薄膜材料
班级:***
学号:***
学生姓名:***
实验教师:***
2014-2015学年第1学期
实验1真空获得与真空测量
地点:福煤实验楼D 栋405
【摘要】本文介绍了真空技术的有关知识,阐述了低真空和高真空的获得与测量方法。 【关键词】机械泵;扩散泵;真空技术;低真空;高真空;获得与测量
1.实验目的
(1)了解真空技术的基本知识。 (2)掌握真空获得和测量的方法。 (3)熟悉有关设备和仪器的使用方法。
2. 实验原理
2.1真空知识
2.1.1真空的概念及真空的区域划分
“真空”这一术语译自拉丁文Vacuo ,其意义是虚无。所谓真空,指的是压强比一个标准大气压更低的稀薄气体状态的空间。气体稀薄的程度称为真空度,通常用气体压强的大小来表示。气体越稀薄,气体压强越小,真空度越高;反之,则真空度越低。
1958年,第一界国际技术会议曾建议采用“托”(Torr )作为测量真空度的单位。国际单位制(SI)中规定压力的单位为帕(Pa )。我国采用SI 规定。
● 1标准大气压(1atm)≈1.013×105Pa(帕) ●
1Torr≈1/760atm≈1mmHg
● 1Torr≈133Pa
我国真空区域划分为:粗真空、低真空、高真空、超高真空和极高真空。
● 粗真空 Pa 3
5103331~100131⨯⋅⨯⋅ ● 低真空 Pa 1
3
103331~103331-⨯⋅⨯⋅ ● 高真空 Pa 61103331~103331--⨯⋅⨯⋅
● 超高真空 Pa 106
103331~10
3331--⨯⋅⨯⋅
●
极高真空 Pa 10
103331-⨯⋅<
2.1.2真空技术的发展及应用
十九世纪初,利用低真空产生压力差的原理发明了真空提升、真空输送、吸尘、过滤、成形等技术。1879年爱迪生发明白炽灯,抽出灯泡中化学成份活泼的气体(氧、水蒸汽等),防止灯丝在高温下氧化.同年,克鲁克斯发明阴极射线管,第一次利用真空下气体分子平均自由程增大的物理特性.后来,在电子管、电视管、加速器、电子显微镜、镀膜、蒸馏等方面也都应用了这一特性.1893年发明杜瓦瓶,这是真空绝热的首次应用.
真空技术在二十世纪得到迅速发展,并有广泛的应用。二十世纪初,在真空获得和测量的设备方面取得进展,如旋转式机械泵,皮氏真空计,扩散泵,热阴极电离真空计的发明,为工业上应用高真空技术创造了条件.接着,油扩散泵,冷阴极电离真空计的出现使高真空
的获得及测量取得一大进展.五十年代,真空技术进入超高真空时代,发明了B-A规,离子泵,涡轮分子泵.近二十年来,高能加速器,受控热核反应装置、空间技术,表面物理,超导技术,对真空技术提出了更新,更高的要求,使真空技术在超高真空甚至极高真空方面迅速发展.
2.2真空的获得
2.2.1低真空的获得
获得低真空常采用机械泵,结构如图2-2-1机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀,从而获得真空的装置。它可以直接在大气压下开始工作,极限真空度一般为1.33~1.33×10-2Pa,抽气速率与转速及空腔体积V的大小有关,一般在每秒几升到每秒几十升之间。
图2-2-1机械泵结构图
旋片式机械泵通常由转子、定子、旋片等结构构成。偏心转子置于定子的圆柱形空腔内切位置上,空腔上连接进气管和出气阀门。转子中镶有两块旋片,旋片间用弹簧连接,使旋片紧压在定子空腔的内壁上。转子的转动是由马达带动的,定子置于油箱中,油起到密切、润滑与冷却的作用。
机械泵工作过程如图2-2-2。当转子顺时针转动时,空气由被抽容器通过进气管被吸入,旋片随着转子的转动使与进气管相连的区域不断扩大,而气体就不断地被吸入。当转子达到一定位置时,另一旋片把被吸入气体的区域与被抽容器隔开,并将气体压缩,直到压强增大到可以顶开出气口的活塞阀门而被排出泵外,转子的不断转动使气体不断地从被抽容器中抽出。
图2-2-2机械泵工作原理图
2.2.2高真空的获得
目前,广泛使用的获得高真空的泵就是扩散泵。扩散泵是利用气体扩散现象来抽气的,它不能直接在大气压下工作,而需要一定的预备真空度(1.33~0.133Pa)。油扩散泵的极限真
空度主要取决于油蒸汽压和气体分子的反扩散,一般能达到1.33×10-5~1.33×10-7Pa。抽气速率与结构有关,每秒几升~几百升不等,油扩散泵的结构如示意图2-2-3。
图2-2-3扩散泵结构图
泵的底部—是装有真空泵油的蒸发器,真空泵油经电炉加热沸腾后,产生一定的油蒸汽,蒸汽沿着蒸汽导流管传输到上部,经由三级伞形喷口向下喷出。喷口外面的压强较油蒸汽压低,于是便形成一股向出口方向运动的高速蒸汽流,使之具有很好的运载气体分子的能力。油分子与气体分子碰撞,由于油分子的分子量大,碰撞的结果是油分子把动量交给气体分子自己慢下来,而气体分子获得向下运动的动量后便迅速往下飞去.并且,在射流的界面内,气体分子不可能长期滞留,因而界面内气体分子浓度较小.由于这个浓度差,使被抽气体分得以源源不断地扩散进入蒸汽流而被逐级带至出口,并被前级泵抽走.慢下来的蒸汽流在向下运动的过程中碰到水冷的泵壁,油分子就被冷凝下来,沿着泵壁流回蒸发器继续循环使用.冷阱的作用是减少油蒸汽分子进入被抽容器。
2.3真空度的测量
真空度的测量可通过复合真空计来进行。复合真空计可分为热电偶真空计和电离真空计两种,结构如图2-3-1和2-3-2。