电子厂房洁净室系统.
电子工业洁净室FFU结构简介
电子工业洁净室FFU结构简介【文章编号：SMS-2306】信息录入：值欧来自： 人气：6 加入时间：2012-2-10 一、FFU的外观目前，全世界所有厂家生产的FFU，从外观上可这样划分:1、从形状上分两种，一种是长方体(如图1所示)，一种上部为坡形(如图2所示)。
图2所示的FFU的上部做成坡形，起到了一种导流的作用，有利于气流的流动和均匀分布。
图1所示的FFU则一般依靠另外的途径来均衡气流(后面详细阐述)。
2、从结构上分两种，一种为整体(如图3所示)，一种为分体(如图4所示)。
分体形状的FFU有如下优势：①使过滤器的更换变得方②减小了安装过程中的劳动强度。
整体形状的FFU有如下优势：①增加了FFU的密封性，有效防止了泄漏。
②有利于降低噪音③有利于减小振动二、FFU的组成部件目前，各种FFU最多由以下几部分组成(按从上到下、从内到外的顺序)，视不同厂家组成部分可能有所减少(如图5所示)。
1、预过滤器6、气流均衡装置2、外壳体7、过滤器3、风管连接部件8、金属防护网4、电机9、刀缘5、叶轮10、控制元件下面，我们对各个部件进行分析介绍：一、预过滤器一般为可清洗聚胺脂泡沫，主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。
二、外壳体组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种，不同厂家和不同的使用环境有不同的选择，厚度大约为1.2~2.0，视厚度情况有些可以载人。
三、风管连接部件在洁净级别较低(≤1000级联邦标准209E)的场合，此时吊顶上部没有静压箱，带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。
四、电机目前，交流电机和直流电机在FFU中都有使用，直流电机的体积大，造价高，控制容易实现，能耗较高。
交流电机的体积小，造价低，控制需要相应的技术，能耗较低。
现在FFU所使用的电机的寿命大约为4~10万小时不等。
一些优秀的电机会有相应的技术，如无油润滑，密封轴承，带过热保护，换向器寿命得到显著提高等。
MAuFFUDCC常用系统及控制简介
1MAU+FFU+DC详细介绍目前电子行业洁净室常用的M AU+FFU+DC系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU通过空气循环过滤保证洁净度，而DC是来除去室内的显热从而保证室内的温度。
(1)MAU(Make—uDAirUn it)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。
(2)FFU(FanFihe rUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经HEPA或U LPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。
FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。
FFU的风机均采用外转子电机以减小高度，一般配有电子式过载保护开关、故障指示灯，故障输出节点，有传统的低、中、高三档交流控制，目前直流变频控制亦越来越应用在洁净等级比较高的系统。
早在上个世纪6O年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。
但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FF U的事例(大约有5000台)。
是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位：噪声较大问题；压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。
这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。
电子车间净化工程方案范本
电子车间净化工程方案范本一、项目概述随着电子工业的迅速发展，电子车间的净化工程已成为维护生产环境和产品质量的重要一环。
净化工程的目标是通过控制空气中的颗粒物和微生物的浓度，保持车间空气质量符合生产需求，确保产品的质量和可靠性。
本净化工程方案旨在对电子车间进行净化工程设计和实施，以提高生产环境的洁净度，满足车间生产的需求。
二、项目背景电子车间是指生产和组装电子元件、电子产品的生产车间。
在这些车间中，对空气洁净度的要求非常高，因为微小的颗粒物和微生物对电子产品的生产和质量具有非常大的影响。
因此，净化工程在电子车间中具有重要的作用。
三、净化工程方案设计内容1. 空气处理系统设计在电子车间中，空气处理系统是净化工程中的核心部分。
空气处理系统的主要功能是过滤空气中的颗粒物和微生物，调节空气温湿度，保持空气洁净度符合要求。
空气处理系统的设计需要考虑车间的布局和使用需求，以确保系统的稳定性和有效性。
空气处理系统的设计包括风道系统、过滤器、换气系统等部分。
风道系统需要合理布局，以确保空气能够均匀流通到整个车间。
过滤器的选择需要根据车间的洁净度要求和空气中的颗粒物浓度来确定。
换气系统的设计需要考虑车间的使用情况和空气质量要求，以确保能够及时将车间中的污染物排出。
2. 超净室设计在电子车间中，超净室是保证电子产品生产的洁净环境的关键部分。
超净室的设计需要考虑空气洁净度、温湿度、气流速度等因素，以确保能够满足生产的要求。
超净室的设计也需要考虑人员进出和物料输送等因素，以确保超净室的洁净度不受到影响。
3. 净化设备选择净化工程中的设备选择对净化效果和能耗有着重要影响。
在空气处理系统中，需要选择合适的风机、过滤器、加热器等设备，以确保系统能够稳定、有效地工作。
在超净室中，需要选择合适的空气净化设备、洁净工作台等设备，以确保超净室能够满足生产的要求。
4. 净化工程施工净化工程的施工需要按照设计方案进行，以确保系统能够正常运行。
MAU FFU DCC系统在电子洁净厂房中的应用
MAU FFU DCC系统在电子洁净厂房中的应用1. 引言在电子洁净厂房中，保持洁净环境是至关重要的。
为了达到这一目标，许多厂商采用了MAU FFU DCC系统。
此系统结合了空气净化、风机过滤单元(FFU)和空气动力学控制(DCC)技术，能够有效地控制空气质量，降低污染物的浓度，提供一个适合电子生产的洁净工作环境。
2. MAU FFU DCC系统的基本原理MAU FFU DCC系统基本原理是通过空气净化和空气动力学控制来实现洁净环境的目标。
2.1 空气净化空气净化是MAU FFU DCC系统中的关键步骤。
该系统通常使用高效过滤器来去除空气中的颗粒物和有害物质。
这些过滤器可以过滤掉尺寸在0.3微米以上的微小颗粒，包括灰尘、花粉、细菌、病毒等。
通过净化空气，系统可以降低空气中的颗粒物浓度，提供一个洁净的工作环境。
2.2 风机过滤单元(FFU)FFU是MAU FFU DCC系统中的另一个核心组件。
它由风机和过滤器组成，能够提供稳定的气流，并将处理后的空气均匀分布到整个厂房中。
FFU的风机通常采用无刷直流电机，具有低噪音、低振动和高效能的特点。
通过FFU，系统可以确保洁净环境的气流质量和稳定性。
2.3 空气动力学控制(DCC)DCC是MAU FFU DCC系统中的关键技术之一。
它通过监测空气的温度、湿度和压力等参数，实现对空气流速、流向和流量的动态控制。
DCC系统能够根据实时的环境条件，调整风机的转速和气流的分布，从而确保洁净环境的稳定性。
通过DCC，系统可以有效地控制空气流动，降低污染物的扩散和积累，提高工作环境的洁净度。
3. MAU FFU DCC系统的应用示例MAU FFU DCC系统在电子洁净厂房中的应用广泛，以下是一些应用示例：3.1 芯片制造在芯片制造过程中，严格的洁净环境是确保产品质量的重要因素。
MAU FFU DCC系统可以提供高效的空气净化和稳定的气流控制，降低空气中的微粒浓度，并阻止颗粒物进入芯片制造设备。
洁净室净化厂房的八种排风系统介绍
洁净室/净化厂房的八种排风系统介绍在微电子用洁净室、药品生产用洁净室中，常常在产品生产过程中使用或产生，各种酸性和碱性物质、有机溶剂和一般气体、特种气体；在致敏性药物、某些甾体药物、高活性、有毒性药物生产过程还会有相应的有害物质排出或泄漏入洁净室内，为此对于上述产品生产用洁净室内可能排出各种有害物质、气体或粉尘的生产工艺设备或工序设置局部排风装置或全室排风装置，按生产工艺过程排出的废气的类型可将排风装置（系统）大体划分为下列几种类型。
（1）一般排风系统这是指在生产辅助用室、生活用室，如值班室、卫生间等排出的一般废气，大多数情况下不需要进行特殊处理即可直接排入大气。
（2）有机气体排风系统在产品生产中使用各类有机物质、溶剂作为原辅材料或清洗剂时，都将会在相关的场所或设备处散发有机物质、溶剂的气体，对这类场所或设备均应设置排风装置。
在一般情况下，有机排风系统中的有机气体浓度是很低的，若能达到国家标准规定的大气排放标准时可直接排入大气，不需设置废气处理装置；当排风系统中有机气体浓度超过规定时，应设有机气体处理装置，经过处理达标后才能排入大气。
有机排气的净化处理有活性炭吸附法、液体吸收法和催化燃烧法等，活性炭吸附注主要用于中小流量的不含粉尘、胶粘物质的苯类、汽油类有机排气的处理；液体吸收法，设备简单、耗能低，但吸收效率不高；催化燃烧法主要用于较高浓度的苯类、醇类、脂类、汽油等有机排气的处理。
有机气体处理装置应根据排风系统所含有机物质的品种、浓度情况选用相应的处理设备。
（3）酸性气体排风系统在产品生产中的湿法化学腐蚀、酸液清洗、实验室内均有酸性气体排出，在这类酸性气体的排风系统通常设置温式洗气吸收塔，处理后排入大气，图5-56是几种吸收式洗气塔的形式。
实际设计时应根据酸性气体的类型、浓度选用合适的吸收液和吸收塔的形式[20]。
（4）碱性气体排风系统在排风系统气体中含有碱性物质或在排气中混入碱性化学试剂，与酸性气体排风系统类似，通常采用湿式洗气吸收塔处理后排入大气。
电子厂房净化空调方式选择
电子厂房净化空调方式选择引言当前的电子厂房洁净室洁净等级大部分在1000级（ISO6级）—10000级（ISO7级）之间，其相当的换气次数平均在25—60次/H,要求的洁净室环境参数比较严格，大部份要求为室内温度22±2℃，相对湿度55±5%，洁净室内工艺设备发热量大，部份工艺设备排除热量所需的排风量也很大。
由于要求高，发热量大，导致电子厂房洁净室空调系统的能耗是很惊人的，所以在设计之初对于洁净室空调系统的方式选择就需要认真考虑。
目前大多数已建成的电子厂房中，洁净室的空调系统一般都会使用常规净化空调方式---新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA），而另一种净化空调方式---新风机组+干盘管+FFU（FFU为英文缩写，全称为Fan Filter Unit, 中文意思为风机过滤器单元）比较少见，原因有：（1）常规净化方式一直沿用，不愿更新改变；（2）部分企业认为新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统是用于高洁净度(≥100级)要求的项目中，担心用于1000级—10000级项目时造价会偏高。
为此，本文着重从两种空调方式的特点及能耗方面进行分析探讨，说明新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统在电子厂房是确实可行的，并总结此净化空调方式在设计过程中需要注意的一些问题。
一、两种净化空调方式的分析比较1.1 新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA）空调方式介绍该空调方式指的是室外新风经过新风机组处理后送入混风机组，混风机组把回风与新风混合并处理至所要求的空气参数后直接用风管送风到各终端高效过滤器（HEPA）,通常新风机组将新风处理到室内焓值，不承担室内负荷，只承担新风负荷，由混风机组承担室内的湿负荷和显热负荷，空调方式示意图见图1。
1.2 新风机组+干盘管+FFU空调方式介绍所谓干盘管，是因为在这种系统中冷冻盘管仅承担显热负荷，其冷冻水进水温度一般在13℃以上，也就是说在室内空气的露点温度以上，盘管一般不可能产生冷凝水,属于干工况运行,所以其叫干盘管，而13℃的冷冻水常用的制取方法为利用水--水板式换热器把冷水机组的7℃/12℃冷冻水转换过来。
电子厂房洁净工程方案
电子厂房洁净工程方案引言随着科技的不断发展，电子产品在我们生活中所占的比重越来越大。
而电子产品的生产离不开一个洁净的生产环境。
因此，洁净工程对于电子厂房来说是非常重要的一部分。
本文将围绕电子厂房洁净工程展开详细的方案设计和实施计划。
一、洁净工程概述洁净工程是指通过不同的技术手段，将环境中的污染物尽量降低到较低水平的工程。
在电子厂房中，洁净工程的主要目的是防止外部污染物的进入，保证生产环境的洁净度，提高生产效率和产品质量。
在实际应用中，洁净工程主要包括空调系统、洁净室、过滤器、洁净设备等。
二、洁净工程设计原则1.符合相关标准规定：洁净工程的设计应符合国家相关标准和规定，保证生产环境的洁净度和安全性。
2.合理布局：根据生产流程和工艺要求，合理布局洁净室和洁净设备，保证生产流畅不受影响。
3.选材节能：选择符合洁净环境要求的建筑材料和设备，提高能源利用效率。
4.可维护性：洁净设备应容易维护和清洁，保证设备正常运转。
5.系统集成：各洁净设备之间应根据工艺要求进行集成，保证整个洁净工程系统的协调运行。
三、洁净工程方案设计1.洁净室设计（1）洁净室分类：根据生产需求和洁净度要求，电子厂房的洁净室可以分为一级、二级、三级和其他级别。
（2）洁净室布局：根据生产流程和工艺要求，合理设置洁净室的位置和大小，保证生产流畅。
（3）洁净室装修：使用符合洁净环境标准的建筑材料，进行合理的装修设计，保证洁净室的洁净度和安全性。
2.空调系统设计（1）空调系统选型：根据洁净室的面积和洁净度要求，选择适合的空调设备，保证室内空气的洁净度和温湿度稳定。
（2）空调系统布局：合理设置空调设备的位置和数量，进行合理布局，保证整个厂房内的空气流通和循环。
（3）空调系统调节：对空调系统进行定期调节和维护，保持系统的高效运行，保证洁净室内空气的洁净度和稳定性。
3.过滤器设计（1）过滤器选择：根据生产环境和洁净度要求，选择适合的过滤器类型和规格，保证室内空气中的微粒物质得到有效过滤。
电子企业洁净室工程施工
电子企业洁净室工程施工一、洁净室工程的定义洁净室是一种具有一定洁净度和温湿度条件的空间环境，用于保护特定产品或工艺免受微粒、细菌、霉菌和病毒等有害物质的影响。
在电子企业中，洁净室被广泛应用于半导体生产、医疗器械制造、光学仪器生产等领域。
洁净室工程施工是指在空旷的建筑内部构筑微环境控制系统，同时保证其外观、气密性、洁净度等建筑物的问题。
二、洁净室工程的施工流程1.前期准备阶段在开始洁净室工程施工前，首先需要完成施工图纸设计、招投标和合同签订等工作。
然后进行洁净室布局方案的确定、原材料的采购以及施工人员的招募和培训等准备工作。
2.施工准备阶段施工准备阶段是洁净室工程施工的重要阶段，包括场地测量、基础准备、设备进场和安装等工作。
需要按照施工图纸进行施工，并确保施工现场的安全和整洁。
3.主体施工阶段主体施工阶段是洁净室工程施工的重点阶段，主要包括墙体、天花板、地面、空调系统等各项工程的施工。
施工过程中需要严格按照施工图纸和相关规范进行施工，确保施工质量和工期。
4.设备调试阶段设备调试阶段是洁净室工程施工的最后阶段，主要是对洁净室内的设备进行调试和验收。
调试完成后，需要进行洁净室的空气洁净度测试，并对洁净室进行清洁和消毒。
5.竣工验收阶段在洁净室工程施工完成后，需要进行竣工验收。
竣工验收是对整个工程的施工质量、工程造价、工程环境、安全卫生等方面进行检查，确保洁净室工程符合相关标准和规范。
三、洁净室工程的施工技术1.洁净室墙体施工技术洁净室墙体是保持洁净室内部洁净度的重要构件，其施工技术包括选材、砌筑、抹灰、涂料等。
需要选择符合洁净室要求的墙体材料，确保墙体的平整度和密封性。
2.洁净室天花板施工技术洁净室天花板是保持洁净室内部洁净度的重要构件，其施工技术包括选材、安装、拆卸等。
需要选择符合洁净室要求的天花板材料，确保天花板的平整度和耐久性。
3.洁净室地面施工技术洁净室地面是保持洁净室内部洁净度的重要构件，其施工技术包括选材、施工、养护等。
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C/R ELEC GAS CHEMICAL HVAC DI ARCH P-P
CDA PCW
ARCH
EPOXY COATING RAISED FLOOR CEILING GRID SYS. PARTITION AIR SHWOR/AIR LOCK TOOL FOUNDATION VIRBRATION DEFENCE
PV BA
PCW CDA
回主画面
MAU + 空气循环系统
外气空调箱功能
压力之控制 湿度之控制
空气循环系统功能
洁净度之控制 溫度之控制
外气微尘粒之预处理
气态分子之控制
MAU
湿度之维持
气态分子之控制
洁净室热源分布
洁净室系统流程
回主画面
外气处理空调箱
Cooling Coil (Step1) Air Washer Eliminator Cooling Coil (Step2) Eliminator Re-heating Coil Chemical Filter Medium-filter (EU8) HEPA (EU12) Steam Humidifier Back-draft Damper
Layout 说明
MAU与空气循环系统
洁 净 室 的 定 义
洁净室为将一定空间范围内之空气中的微
尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除 ，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力 、气流速度与气流分布、噪音震动及照明 、静电控制在某一需求范围内，而给于特 别设计之房间以符合制程工艺之需求
回主画面
电 子 厂洁 净 室 系 统简 介
大 纲
为何需要Clean Room
洁净室的定义 洁净等级定义 制程线宽与洁净度之关系
洁净室系统型式
风管系统 FFU系統 轴流风机系统
Clean Room之环境因子
影响C/R洁净度的环境因子
HJT C/R 介紹
架构表及主要系统介绍
RA SA SA SA
RA
FFU系統
(独立设置外气空调箱)
MAU MA
湿度控制
FROM OA
温度控制
洁净度控制
温度控制
RA SHAFT
SA
SA
RA
RA
RA SHAFT
轴流风机系统
(独立设置外气空调箱)
温度控制
SA SHAFT
洁净度控制
温度控制
SA SHAFT
MA
VD
VD
湿度控制
架构表及主要系统设备介绍
1 M1 ISO3
0.1
0.01
ISO2
ISO1
回主画面
每立方公尺塵粒數
每立宽与洁净度之关系
製程線寬 (um)
0.65 100 90 80 70 0.50 0.35 0.25 0.18 0.15 0.12
預估製程良率 (%)
60 50 40 30 20 10 0
潔淨度 Class 1
洁
100,000 10,000 1,000 100 10 1
净 等
级
1,000,000 100,000
0.5 um
0.2 u 0.3 m um 0.1 u m
10,000 1,000 100 10
0.1 1 0.01
英制 100k 10k 1k 100 10 SI制 M6 M5 M4 M3 M2
ISO/TC209 ISO8 ISO7 ISO6 ISO5 ISO4
Class 0.1
Class 0.01
公元 1989
1992
1995
1998
2001
2004
2007
2010 年
回主画面
污 染 物 大 小
0.3um粒径
人类头发直径-100um
肉眼可视粒径
回主画面
影响C/R洁净度之环境因子
温度 湿度 压力 微尘粒子 照度 微振动 噪声 静电 化学物质
HVAC
MAU SYS. FFU SYS 2’nd CHW DRY COIL AIR WASHER SYS.
FIRE PROTECTION
FIRE SPRINKLER DESMOKE SYS. ADRANCE DETECTOR SYS. AIR SAMPLING SYS.
ELEC/CONTROL
LIGHTING SPEAKER FFU HARMONIC MAU&DC BANK&HARMONIC FILTER HVAC MONITOR FFU MONITOR ION. SYS. FMS
FAB 2
WH
CUB
SB
FAB 1
OB
回主画面
SUB – FAB（MASK SHOP)
回主画面
RAP
回主画面
FAB、SB3F、G/R
回主画面
TRUSS、SB4F-TEST AREA
回主画面
电子厂剖面概念图
DESMOKE FAN DESMOKE FAN
COIL
RAISED FLOOR
COIL
DE-SMOKE MA Outside MA P = -5Pa TRUSS t = 22 C
RA SHAFT
RA
RA
RA
RA
RA P = 25Pa RA RAP t = 25 C
RA
RA
回主画面
RA SHAFT
P = 30Pa
FAB
t = 23 C
回主画面
洁净室空调系统型式
风管系统
以风管输送洁净空气 循环空调箱兼处理外气
FFU系統
天花空间为微负压气室 独立设置外气空调箱
轴流风机系统
天花空间为正压气室 独立设置外气空调箱
回主画面
风管系统
(循环空调箱兼处理外气)
OA
洁净度、温度及湿度控制
AHU RA DUCT SA DUCT
Pre-filter (EU3) Medium-filter (EU6) Fan
OA
MA
回主画面
洁净室热源分布
MA q4 Ta4' SAP q5 q6 Ta1 q3 q1 Ta2 FAB Ta5
RA SHAFT
EQUIPMENT
q2 RA Ta4 qc RA Ta3 RAP
回主画面
洁净室系统流程
PV HV BA
IW
回主画面
HJT C/R 主要洁净需求
Cleanliness
0.1 100 1000 23± 2℃ 10000
Temperature 23± 0.5℃
Humidity
45± 5% RH
23± 0.5℃
45± 5% RH
23± 2℃
45± 5% RH 45± 10% RH
回主画面
电子厂平面配置概念图