三氯氢硅生产的火灾危险及对策实用版
三氯氢硅安全技术说明书
三氯氢硅安全技术说明书 -标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII三氯氢硅安全技术说明书第1部分化学品及企业标识化学品中文名：三氯氢硅；三氯硅烷；硅仿；硅氯仿化学品英文名：trichlorosilane；silicochloroform产品推荐及限制用途：用于生产有机硅的中间体。
第2部分危险性概述紧急情况概述：遇明火强烈燃烧。
受高热分解产生有毒的氯化物气体。
与氧化剂发生反应，有燃烧危险。
吞咽有害，吸入有害，造成严重的皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤。
GHS危险性类别：根据化学品分类、警示标签和警示性说明规范系列标准，该产品属于易燃液体，类别1；发火液体/自燃液体，类别1；遇水放出易燃气体的物质和混合物，类别1；急性毒性-经口，类别4；急性毒性-吸入，类别4；皮肤腐蚀/刺激，类别1A；严重眼损伤/眼刺激，类别1。
标签要素：象形图：警示词：危险危险性说明：极易燃液体和蒸气，暴露在空气中会自燃，遇水放出可自燃的易燃气体，吞咽有害，吸入有害，造成严重的皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤。
防范说明：预防措施：远离热源/火花/明火/热表面。
禁止吸烟。
不得与空气接触。
因会发生剧烈反应和可能发生闪燃，需避免任何与水接触的可能。
惰性气体中操作。
防潮。
保持容器密闭。
只能使用不产生火花的工具。
采取防静电措施。
处理后要彻底清洗所有外部暴露的身体部位。
避免吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
只能在室外和通风良好处使用。
戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
事故响应：发生火灾时，用干粉、干砂灭火。
食入：饮水，禁止催吐。
如有不适感，就医。
皮肤（或头发）接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20～30分钟。
如有不适感，就医。
如吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。
就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10～15分钟。
三氯氢硅化学品安全技术说明-2
三氯氢硅的安全注意事项一危险性概述危险性类别：第4.3类遇湿易燃物品侵入途径：吸入、食入、经皮肤吸收健康危害：遇水生成盐酸烟雾，刺激眼及上呼吸道。
高浓度时，可引起角膜损伤，呼吸道炎症，甚至肺水肿。
常伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状，溅在脸上，可引起坏死，溃疡长期不愈。
动物慢性中毒见慢性卡他性气管炎、支气管炎及早期肺硬化。
环境危害：对环境有危害。
燃爆危险：极度易燃，其蒸气可与空气形成爆炸性混合物，遇明火或高热有燃烧爆炸危险。
二急救措施皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。
如果有灼伤，就医治疗。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。
就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸。
呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。
就医。
食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清，禁止催吐，就医。
三部消防措施危险特性：其蒸气可与空气形成爆炸性混合物，遇明火或高热有燃烧爆炸危险。
它与氧化剂发生强烈反应。
气体比空气重，在室内使用和储存时，漏气上升滞留屋顶不易排出，遇火源会引起爆炸。
若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
流速过快，容易产生和积聚静电。
有害燃烧产物：SiO2、HCl和Cl2灭火方法及灭火剂：消防人员须戴好自给正压式呼吸器，穿好消防防护服，在有防爆掩蔽处操作。
在上风头进行灭后，遇大火切勿轻易接近。
可用干粉灭火器、大量的干砂土压盖方法进行灭火。
禁止用水灭火。
四泄漏应急处理应急处理：根据风向，向上风头撤离，迅速撤离泄漏污染区，人员至安全区，切断火源。
应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒保护服。
尽可能切断泄漏源。
防止流入下水道、排洪沟等限制性空间。
大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。
用泡沫覆盖，降低蒸气灾害。
用泵移至槽车或专用手机器内，回收或运至废物处理场所处置。
五接触控制/个体防护呼吸系统防护：空气中浓度超标时，必须佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）。
三氯氢硅生产的火灾危险及对策
三氯氢硅生产的火灾危险及对策三氯氢硅是一种具有挥发性的无机化合物，其具有很高的火灾危险性。
在生产和储存过程中，如果不采取适当的措施，很容易引发火灾事故。
本文将介绍三氯氢硅火灾危险及对策。
1.三氯氢硅火灾危险性：三氯氢硅是一种易燃的化合物，接触空气时会迅速分解生成氢氯化物气体和硅酸盐。
这种气体在空气中易燃，形成火焰，引发火灾。
另外，三氯氢硅还具有强烈的腐蚀性，可能引起爆炸。
2.对策：2.1储存和运输安全：在储存和运输三氯氢硅时，需要采取以下措施来降低火灾风险：-使用密封容器储存，并确保容器无损坏或泄漏。
-定期进行容器的安全检查和维护，及时更换老化或损坏的容器。
-尽量避免接触空气，以减少分解产物的形成。
-采用适当的储存温度，通常为恒温储存。
-在运输过程中，使用符合安全标准的专用运输车辆，并遵守相关运输规定。
2.2操作安全：在生产和使用三氯氢硅过程中，需要采取以下操作安全措施：-建立完善的安全操作规程，明确操作流程和注意事项。
-保证操作人员接受充分的培训和安全意识教育，了解三氯氢硅的特性和风险。
-严格执行个人防护措施，包括佩戴防护眼镜、防护手套、防护服等。
-建立紧急应急预案，包括应对火灾事故的紧急措施和逃生计划。
-定期进行设备和仪器的维护和检测，确保正常运行。
2.3灭火设备和防火设施：在工厂或储存场所中，应设置合适的灭火设备和防火设施-安装火灾报警系统，能够对火灾进行及时发现和报警。
-配备适量的灭火器材，包括干粉灭火器、二氧化碳灭火器等。
-设置消防水源和消防栓，并确保正常供水。
-定期检查和保养灭火设备，确保其可靠性和有效性。
-定期进行消防演练，提高员工应对火灾的应急能力。
总之，三氯氢硅是一种具有很高火灾危险性的化合物，需要在生产、储存和使用过程中采取一系列的安全措施来降低火灾风险。
这些措施包括储存和运输安全、操作安全以及灭火设备和防火设施的设置。
通过科学的管理和全面的预防措施，可以降低三氯氢硅火灾事故的发生概率，保障人员和财产的安全。
三氯氢硅火灾危险及灭火对策
三氯氢硅火灾危险及灭火对策三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，英文名称：trichlorosilane或silicochloroform，分子式为SiHCl3，用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体多晶硅的原料，随着半导体多晶硅和有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。
一、三氯氢硅的理化特性及生产原理三氯氢硅是采用硅粉与氯化氢气体在流化床反应器中生成。
它是无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。
属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。
其物理特性如下：比重：1．35；相对气体密度：4．7；沸点：31．8℃；饱和蒸气压（14．5℃）53．33Kpa；闪点：－13．9℃（开杯）；自燃温度：175℃；爆炸下限：6．9％；爆炸上限：70％；溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂；具有急性毒性。
二、三氯氢硅生产的火灾危险性分析三氯氢硅生产的原料都是不燃物质，但是其生产过程中的产物大都是易燃易爆物质，如氢气、三氯氢硅、氯气等。
1、电解食盐水的火灾危险性（1）电解时有强大的电流通过，如果电气的绝缘不良极易产生电火花，电解车间经常有氢气泄漏，遇到电火花或其它明火会发生燃烧或爆炸。
（2）如氢气与氯气相混，达到爆炸极限范围，遇光也会发生爆炸。
2、三氯氢硅合成的火灾危险性SiHCl3的合成是在280℃～300℃的温度下进行的，已经超过了SiHCl3的自燃温度175℃，在合成过程中如果SiHCl3发生泄漏，或者空气进入反应器，极易引起燃烧、爆炸或中毒事故。
并且SiHCl3有毒、遇水燃烧，给火灾扑救带来一定的困难。
3、三氯氢硅贮罐的火灾危险性SiHCl3的贮罐如果发生泄漏，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因为其贮量大，一旦发生泄漏，如果不及时堵漏，影响会不断扩大。
氯乙酸、三氯氢硅装置区重大危险源应急救援预案
重庆天原化工有限公司氯乙酸、三氯氢硅装置区重大危险源专项应急预案一事故类型和危害程度分析1.1事故类型分析1.1.1三氯氢硅二应急处置基本原则（一）危险化学品事故应急救援方针：“以人为本，安全第一，预防为主”。
（二）危险化学品事故应急救援原则：“快速反应、统一指挥、分级负责、单位自救与社会救援相结合”。
三组织机构及职责3.1应急组织体系分厂（车间）成立安全应急救援领导小组，领导小组下设现场抢险组。
在公司“应急指挥部”的领导下开展工作。
（见下图）3.2指挥机构及职责应急救援领导小组组长由分厂长担任，副组长由主管生产（技术）、主管设备的副厂长担任，成员由分厂安全员、设备员、分厂值班长、相关工段的工段长（副工段长）。
应急救援小组现场指挥部设在分厂值班长室。
事故发生时，危险目标所在工段和分厂全体员工都有化学事故应急救援任务和责任。
1）应急小组组成：组长：XXX（厂长）（XX ）副组长：XX（副厂长）（XX ）成员：XX2）应急指挥部组成应急总指挥：XX（厂长）（XX ）副总指挥：XX（副厂长）（XX ）技术组：XXX（技术负责人）抢修组：XXX（分厂安全员）物资组：XX（分工会主席）救护组：XX（分厂设备员）通讯组：值班长3.2.1职责1）应急小组职责组长职责：负责分厂“安全应急救援预案”的编制修订；负责组建分厂应急救援专业队伍；组织分厂应急救援预案演练；负责组织指挥全分厂的应急救援活动，及时向公司通报有关情况。
副组长职责：协助组长负责事故现场相关的应急救援具体指挥工作；负责抢救受伤、中毒人员和抢险救援人员的生活必需品供应以及后勤保障工作。
成员职责：助组长做好事故报警、情况通报及事故处置工作；负责灭火、警戒、治安、疏散、道路管制工作；负责事故现场及有害物质扩散区域内的清洗、监测工作。
执行具体应急救援现场工作2）应急指挥部职责总指挥职责：分析评估紧急状态和确定相应报警级别，决定启动应急救援预案；指挥、协调应急救援行动；直接监察应急救援人员的行动，协调后勤支援应急救援行动；公司事故应急救援行动终止。
三氯氢硅安全知识
三氯氢硅安全知识理化特性及生产原理三氯氢硅又名三氯硅烷、硅氯仿，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料。
随着有机硅烷偶联剂工业的发展，三氯氢硅的需求量越来越大。
三氯氢硅由硅粉与氯化氢气体在流化床反应器中生成。
它是无色液体，易挥发，易潮解，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。
三氯氢硅属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；能与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时会发生燃烧或爆炸。
火灾危险性分析生产三氯氢硅的原料都是不燃物质，但是其生产过程中的产物大都是易燃易爆物质，如氢气、氯气等。
生产三氯氢硅需要电解食盐水。
这个工序中的火灾危险性包括，电解时有强大的电流通过，如果电气绝缘不良极易产生电火花；电解车间经常有氢气泄漏，遇到电火花或其他明火会发生燃烧或爆炸；如氢气与氯气混合达到爆炸极限，遇光也会发生爆炸。
三氯氢硅的合成是在280摄氏度到300摄氏度的温度下进行的，已经超过了其自燃温度(175摄氏度)。
在合成过程中，如果三氯氢硅发生泄漏，或者空气进入反应器，极易引起燃烧、爆炸或中毒事故。
三氯氢硅贮罐如果泄漏，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因为其贮量大，如果堵漏不及时，影响会不断扩大。
同时，泄漏的三氯氢硅遇水会发生反应，产生有毒的氯化氢气体向四周扩散，给抢险工作环保安全带来困难。
防火防爆对策在三氯氢硅生产的各个工序中，为防止火灾、中毒事故发生，要严格执行消防安全制度，严格控制工艺指标。
火源管理。
进行检修时使用的工具应该是不产生火花的工具，严禁用铁器敲打设备或管道，工作人员应穿棉质工作服。
生产和贮罐区禁止明火，生产中动火要严格执行有关安全管理制度。
防止跑、冒、滴、漏。
日常工作中要搞好安全检查，不留死角。
设备要定期检修，发现问题及时采取补救措施。
配备应急工具和消防设施。
生产三氯氢硅的企业应配备一定数量的防毒面具、自给式空气呼吸器、手套、堵漏工具、灭火器等应急工具和消防设施。
三氯氢硅生产性质
一．氯气1氯气的理化性质(1)物理性质：氯气在常温常压下为黄绿色有刺激性气味的有毒气体。
密度为3.21，是空气的2.45倍。
易溶于碱溶液、二硫化碳和四氯化碳，难溶于饱和食盐水。
在常温下，氯气被加压到0.6~0.8MPa或在常压下冷却到-35~40℃时就能液化为黄绿色透明液体。
液氯的密度为1.47，熔点-102℃，沸点-34.6℃。
(2)化学性质：氯气的化学性质很活泼，是一种活泼的非金属。
1、氢是无色、无嗅的可燃气体。
它是已知最轻的气体。
其沸点为一252.76℃。
2、化学性质???在环境温度下，虽然氢相对而言不是十分活泼，但在高温下，它可以和几乎所有别的元素发生反应。
通常.氢和氧在高温下的反应异常激烈升高温度，氢可以还原金属氧化物。
三．氯化氢1氯化氢的理化性质(1)物理性质：氯化氢在常温常压下为具有刺激性臭味的无色有毒气体。
盐酸为氯化氢的水溶液，是无色或微黄色的液体。
空气中不燃烧，热稳定，到约1500℃才分解。
与氟激烈反应，与许多金属反应生成氯化物和氢，与氨激烈反应生成氯化铵白烟，与乙烯混合形成爆炸性气体。
氯化氢与水不反应但易溶于水，空气中常以盐酸烟雾的形式存在。
浓盐酸因氯化氢蒸气而在空气中发烟。
易溶于乙醇和醚，也能溶于其它多种有机物。
(2)化学性质：氯气的化学性质很活泼，是一种活泼的非金属。
2氯化氢的用途电池、药品、染料、化肥、玻璃加工、金属清洗、有机合成、腐蚀照像、陶器制造、食品处理、无机氯化物制造、橡胶、催化剂、电子气、标准气、外延、扩散、氧化、蚀刻、化学气相淀积、发光二极管。
3氯化氢的制法伤。
????????并速求医诊治。
相对分子量：28.0855密度：2.33熔点（℃）1410沸点（℃）2355性状：有无定形和晶体两种同素异形体，灰色或黑色。
溶解情况：不溶于水、硝酸和盐酸，溶于氢氟酸和碱液。
2用途用于制合金、有机硅化合物和四氯化硅等，是一种极重要的半导体材料。
3其他原子序数14，原子量28.0855。
三氯氢硅生产知识
三氯氢硅生产方法1、硅氢氯化法该方法是用冶金级硅粉，作原料，与氯化氢气体反应。
可使用铜或铁基催化剂。
反应在200---800和0.05---3mpa下进行2Si+HCL======HsiCL3+SiCL4+3H2该反应所用反应器经历了从固定床、搅拌床到流化床的发展过程。
工艺也从间歇发展到连续。
反应器由碳钢制成，预先将归粒子加入到反应器，加热到所需地温度后，从底部连续通入氯化氢气体，产物及未反应物料被连续输出，经除尘精制后，用于生产高纯多晶硅和高纯硅烷。
上述反应是放热反应，反应热为-141。
8千焦/摩尔升高温度有利于提高反应速率，但同时导致三氯氢硅选择性下降，通过优化反映温度，可明显提高三氯氢硅的选择率。
例如在300---425度和2到5千帕条件下使硅和氯化氢反应，产物以600---1000千克/小时输出，三氯氢硅的选择率竟高达80—88%，副产物包括质量分数1%--2%二氯硅烷和1—4%的缩聚物，其余为四氯化硅。
氯化氢气体中的水分三氯氢硅的收率优很大影响。
，因此必须严格干燥。
硅与氯化氢生成三氯氢硅的反应应该是零级反应，使用纯度大于99。
99%的硅原料时氢硅的收率较低。
在一个微型反应器中作了研究，结果表明冶金级原料中所含杂质铝对反应有催化作用，可使反应温度降低，三氯氢硅收率提高。
2、四氯化硅氢化法3SiCL4+2H2+Si===============4HsiCL3反应温度400-----800压力2---4兆帕该反应为平衡反应，为提高三氯氢硅的收率，优选在氯化氢存在下进行，原料采用冶金级产产品通过预活化除去表面的氧化物后，可进一步提高三氯氢硅的收率三氯氢硅与四氯化硅沸点差距25度，且不产生共沸物，所以比较容易分离。
三氯氢硅生产工艺流程1、三氯氢硅合成将硅粉卸至转动圆盘，通过管道用气体输送至硅粉仓，再加入硅粉干燥器，经过圆盘给料机并计量后加入三氯氢硅合成炉。
在三氯氢硅合成炉内，温度控制在80—310℃，硅粉和氯化氢发生反应，生成三氯氢硅和四氯化硅。
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三氯氢硅生产的火灾危险
及对策实用版
Management Of Personal, Equipment And Product Safety In Daily Work, So The Labor Process Can Be Carried Out Under Material Conditions And Work Order That Meet Safety Requirements.
（示范文稿）
二零XX年XX月XX日
三氯氢硅生产的火灾危险及对策
实用版
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三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，英文名
称：trichlorosilane或silicochloroform，
分子式为SiHCl3，用于有机硅烷和烷基、芳基
以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶
联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单
晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展
而出现供不应求，生产量越来越大。
一、三氯氢硅的理化特性及生产原理
三氯氢硅是采用硅粉与氯化氢气体在流化床反应器中生成。
它是无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。
属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。
其物理特性如下：比重：1．35；相对气体密度：4．7；沸点：31．8℃；饱和蒸气压（14．5℃）53．33Kpa；闪点：－13．9℃（开杯）；自燃温度：175℃；爆炸下限：6．9％；爆炸上限：70％；溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂；具有急性毒性。
二、三氯氢硅生产的火灾危险性分析
三氯氢硅生产的原料都是不燃物质，但是其生产过程中的产物大都是易燃易爆物质，如氢气、三氯氢硅、氯气等。
1、电解食盐水的火灾危险性
（1）电解时有强大的电流通过，如果电气的绝缘不良极易产生电火花，电解车间经常有氢气泄漏，遇到电火花或其它明火会发生燃烧或爆炸。
（2）如氢气与氯气相混，达到爆炸极限范围，遇光也会发生爆炸。
2、三氯氢硅合成的火灾危险性
SiHCl3的合成是在280℃～300℃的温度下进行的，已经超过了SiHCl3的自燃温度175℃，在合成过程中如果SiHCl3发生泄漏，或者空气进入反应器，极易引起燃烧、爆炸或中毒事故。
并且SiHCl3有毒、遇水燃烧，给火灾扑救带来一定的困难。
3、三氯氢硅贮罐的火灾危险性
SiHCl3的贮罐如果发生泄漏，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因为其贮量大，一旦发生泄漏，如果不及时堵漏，影响会不断扩大。
贮罐区因为冷却用水的需要，经常有水存在，泄漏的SiHCl3遇水发生反应，产生有毒的HCl，向四周扩散，给抢险救援工作带来
困难。
三、防火防爆对策
在三氯氢硅生产的各个工序中，为防止火灾、中毒，要严格执行各项消防安全制度，严格控制工艺指标，严格操作规程。
加强对设备管道的维护保养，严防跑、冒、滴、漏。
具体预防措施如下：
1、火源管理。
在生产中进行检修时使用的工具应该是不产生火花的工具，严禁用铁器敲打设备或管道，工作人员应穿棉制品工作服。
生产和贮罐区禁止明火，生产中动火要严格执行有关安全管理制度。
2、防止跑、冒、滴、漏。
生产过程中产生的大都是易燃易爆有毒物质，生产设备、工艺管道和贮罐如果发生泄漏极易酿成火灾、爆炸和中毒事故。
因此，日常工作中要做好安全检查，不留死角，设备要定期检修，发现问题及时采取补救措施，修复存在跑、冒、滴、漏的部位。
3、配置应急工具和消防设施。
应该配备一定数量的防毒面具、自给式空气呼吸器、手套、堵漏工具。
应急队的人员要经常进行演练，熟练掌握各种情况下的堵漏方法和处置措施。
贮罐区常备干砂的量最好不少于一个贮罐的容积，厂内仓库存放一定的水泥作应急之用。
配备一定数量的手提式二氧化碳和干粉灭
火器。
4、生产工艺中的防火防泄漏措施。
（1）三氯氢硅的合成、除尘和精馏工段。
HCl气体缓冲罐与合成炉之间应设止回阀，防止合成炉的SiHCl3回到缓冲罐。
应控制HCl气体的流量，控制合成炉内的温度。
对设备管道要经常进行维护保养，防止三氯氢硅泄漏。
在生产中要保持整个系统的密闭，用99．99％的氮气进行保护。
（2）三氯氢硅的储存。
三氯氢硅的沸点较低，需在低温下储存，三氯氢硅的贮罐设置低温保护装置和降温措施。
由于三氯氢硅有潜在的燃烧爆炸危险，所以它的贮罐应与生产装置
要有一定的防火间距，并且要设防火堤，降温水的排放管道经过防火堤处要设闸阀。
贮罐应设静电接地装置和避雷装置。
贮罐内的气相要与氮气系统相连进行保护，贮罐的气相与外部连通的平衡管（放空管）应与尾气回收系统相连，不能直接排空，并应设止回阀和阻火器。
贮罐区应设一个备用罐，紧急情况下应将泄漏的贮罐内的物料转移至备用罐，防止大量泄漏。
四、泄漏处理和火灾扑救
生产和储存中如果发生三氯氢硅泄漏，应根据泄漏量的大小划出一定的警戒范围，禁止无关人员和车辆进入警戒区，切断警戒区内的所有火源，迅速撤离泄漏污染区内的人员至安
全地带。
如果是贮罐发生泄漏，又不能及时排除泄漏，就应该将发生泄漏的贮罐内的三氯氢硅用氮气压入备用罐内。
如果是生产中的设备和管道发生泄漏，应立即停止生产，并迅速关闭有关阀门切断物料输送。
泄漏地带有水源时，应用干砂土围成隔离带，将泄漏的三氯氢硅与水隔离开来。
抢险人员进入危险区域时应佩戴自给式呼吸器或防毒面具。
应先查明泄漏部位的泄漏状况。
由于贮存三氯氢硅的容器为常压容器，应针对不同的泄漏部位采取不同的堵漏措施，切断泄漏源，用砂土、水泥吸收残留液。
三氯氢硅泄漏后发生燃烧时，应采用干
安全示范文本文件编号：YF-ED-J7614砂、二氧化碳、干粉、水泥灭火，禁止直接用水和泡沫扑救。
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