超精密加工领域国内外发展态势分析
精密制造发展现状
精密制造发展现状精密制造是指采用先进的技术和设备，通过精密的加工和组装过程，生产出高精度、高质量的产品的制造领域。
它广泛应用于各个行业，包括航空航天、汽车、电子、医疗器械等领域。
目前，精密制造在全球范围内取得了长足的发展。
首先，技术水平不断提升。
随着科技的进步，精密加工和制造技术不断创新，包括数控机床、激光加工、三维打印等新技术的应用，使得产品的精度、质量和效率得到了大幅度提高。
其次，产业链完善。
精密制造涉及到多个环节，从原材料提供商到零部件生产，再到最后的组装和测试，形成了一个完整的产业链。
越来越多的企业加大了精密制造的投入，形成了强大的供应链体系，进一步促进了精密制造的发展。
第三，市场需求旺盛。
精密制造的产品广泛应用于各个行业，市场需求量巨大。
特别是一些高科技行业，对于产品的精度和质量要求非常高，因此精密制造的市场潜力非常大。
然而，精密制造仍然面临一些挑战。
首先，成本较高。
精密制造需要使用高精度的机器和设备，而这些设备的价格较高，投入成本大。
其次，技术人才短缺。
精密制造对于技术人才的要求非常高，需要具备专业的知识和丰富的实践经验，而目前技术人才的供给严重不足。
此外，精密制造还面临着不断变化的市场需求和新兴技术的冲击，需要不断进行创新和转型。
因此，未来精密制造需要进一步努力，以应对挑战并取得更大的发展。
首先，需要加强技术创新，推动精密制造技术的发展，提高产品精度和质量，减少成本，提高效率。
其次，需要加大对技术人才的培养和引进力度，加强人才队伍建设，提高企业的竞争力。
此外，还需要加强合作，建立更加紧密的产业链，提高整个产业的协同效应。
最后，需要加强与市场的紧密联系，了解市场需求，及时调整生产和销售策略，以适应市场变化。
综上所述，精密制造在全球范围内得到了迅猛的发展，但仍然面临一些挑战。
未来，精密制造需要继续努力，加强技术创新、人才培养和市场合作，以取得更大的发展。
精密和超精密加工现状与发展趋势
精密和超精密加工现状与发展趋势一、精密和超精密加工的概念与范畴通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。
目前，精密加工是指加工精度为1~0.1µ;m，表面粗糙度为Ra0.1~0.01µ;m的加工技术，但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的，今天的精密加工可能就是明天的一般加工。
精密加工所要解决的问题，一是加工精度，包括形位公差、尺寸精度及表面状况；二是加工效率，有些加工可以取得较好的加工精度，却难以取得高的加工效率。
精密加工包括微细加工和超微细加工、光整加工等加工技术。
传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等。
a. 砂带磨削是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进行加工，属于涂附磨具磨削加工的范畴，有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点。
b. 精密切削，也称金刚石刀具切削(SPDT)，用高精密的机床和单晶金刚石刀具进行切削加工，主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精密加工，如计算机用的磁鼓、磁盘及大功率激光用的金属反光镜等，比一般切削加工精度要高1~2个等级。
c. 珩磨,用油石砂条组成的珩磨头，在一定压力下沿工件表面往复运动，加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1µ;m，最好可到Ra0.025µ;m，主要用来加工铸铁及钢，不宜用来加工硬度小、韧性好的有色金属。
d. 精密研磨与抛光通过介于工件和工具间的磨料及加工液，工件及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。
精密研磨与抛光对于金属和非金属工件都可以达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025µ;m加工变质层很小，表面质量高，精密研磨的设备简单，主要用于平面、圆柱面、齿轮齿面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量规、量块、喷油嘴、阀体与阀芯的光整加工。
e. 抛光是利用机械、化学、电化学的方法对工件表面进行的一种微细加工，主要用来降低工件表面粗糙度，常用的方法有：手工或机械抛光、超声波抛光、化学抛光、电化学抛光及电化学机械复合加工等。
精密制造业的现状及发展趋势
精密制造业的现状及发展趋势随着科技的不断进步和人民生活水平的提升，精密制造业得到了越来越多的关注和重视。
它是现代工业的重要组成部分，是当前国民经济发展的核心领域之一。
同时也是推动经济转型升级、实现高质量发展的重要支撑和保障。
然而，精密制造业发展面临着许多挑战和机遇。
本文将介绍其现状与趋势。
一、现状精密制造业是指应用高新技术、高精密加工的制造业，以提高产品的精度、品质和竞争力。
目前，我国精密制造业已经形成了比较完善的产业体系和成熟的产业链。
尤其是在高端装备制造、汽车制造、电子信息和生物医药等领域，我国的精密制造业水平已经达到了国际先进水平。
然而，精密制造业的现状还存在一些问题：一是基础设施和技术创新能力还不足，落后的生产方式和科技水平制约了产业发展；二是产业结构比较单一，对高端制造业和服务业的需求还不足；三是市场细分化程度不够，产业集中度不高，企业竞争压力较大。
二、发展趋势1. 聚焦高端装备制造制造业是国家经济的重要支撑，高端装备制造是制造业的核心和重点。
在高端装备制造领域，我国已逐渐成为全球的制造业强国之一。
未来，我国在这方面的投入和发展将继续加大，发展高端装备制造业已成为生产力和技术进步的关键。
2. 升级转型发展随着大数据、云计算、人工智能等科技的发展，未来制造业发展将越来越依赖于数字化和智能化。
制造企业需要在传统制造领域实现智能制造，同时进行电气化、自动化、信息化、网络化等方面的全面升级。
这样可以实现制造更加高效、灵活、智能。
3. 推动绿色制造制造业生产会伴随着不可避免的资源消耗和环境污染。
为了减少制造业的环境负担，未来精密制造业需要大力推进绿色制造，积极开展节能减排工作，推广清洁能源和环保型工艺、材料和产品等环保技术。
4. 加强环节协作生产制造目标的实现需要各个环节之间的密切配合与协同。
未来，我国精密制造业需要加强和完善协作机制，实现上下游产业链的紧密连接和无缝衔接。
同时，要加强各级政府之间的协调，为制造业的发展提供积极的政策支持。
国内外精密铸造领域的现状
国内外精密铸造领域的现状
国内外精密铸造领域正处于快速发展的阶段。
随着科技的不断
进步和市场需求的不断增长，精密铸造技术在各个行业中得到了广
泛的应用。
在国内，精密铸造领域已经形成了一定的产业规模，涉
及到航空航天、汽车、电子、医疗器械等多个领域。
而在国外，发
达国家在精密铸造领域拥有先进的技术和设备，处于世界领先地位。
在国内，精密铸造技术已经取得了一定的突破，特别是在航空
航天领域。
航空航天领域对于零部件的精密度和可靠性要求极高，
因此对于精密铸造技术的需求也非常迫切。
国内一些高校和科研机
构也在精密铸造领域进行了一系列的研究和实践，取得了一些令人
瞩目的成果。
在国外，精密铸造技术已经非常成熟，并且在航空航天、汽车、电子等领域得到了广泛的应用。
一些发达国家的企业拥有先进的精
密铸造设备和技术，能够生产出高质量的精密铸造产品，满足市场
的需求。
然而，精密铸造领域也面临着一些挑战。
首先，精密铸造技术
需要高精度的设备和工艺，成本较高。
其次，精密铸造对于材料和
工艺的要求也很高，需要不断进行创新和改进。
另外，精密铸造领域的人才短缺也是一个问题，需要加强人才培养和技术交流。
总的来说，国内外精密铸造领域正处于快速发展的阶段，技术不断创新，市场需求不断增长。
随着科技的不断进步和产业的不断发展，相信精密铸造技术会在未来取得更大的突破，为各个行业的发展提供更加优质的产品和解决方案。
机床国内外发展现状
机床国内外发展现状机床产业是制造业的核心产业，其发展水平直接关系到一个国家的制造业竞争力。
机床国内外发展现状如下。
首先，国外机床发展水平相对较高。
目前，德国、日本、美国等发达国家都是机床技术和产业的领军者。
这些国家在机床领域具备较强的研发能力和技术优势，其机床企业在精密加工、高速切削、自动化及智能化等方面处于国际领先地位。
此外，这些国家还拥有完善的机床产业链和供应链，能够提供全方位的机床解决方案和优质的售后服务，满足不同行业的需求。
然而，国内机床产业也取得了长足的发展。
中国是全球最大的机床市场，拥有众多的机床制造企业和研发机构。
近年来，国内机床企业在技术创新、产品品质和市场拓展方面取得了突破性进展。
例如，国内一些企业在高速切削、五轴联动、超精密加工及复杂曲面加工等方面具备较强的竞争力。
此外，国内机床企业还在自动化、智能化、数字化等方面积极探索和发展，努力提升产品的附加值和竞争力。
不过，国内机床产业也面临一些挑战。
一方面，国内机床企业在高端技术和核心零部件方面仍相对薄弱。
这导致国内机床市场供需失衡，高端机床仍依赖进口，对国内机床产业形成一定的制约；另一方面，国内机床企业在企业规模、产业集群和品牌知名度等方面与国外企业仍有差距。
因此，国内机床产业仍需要加大技术研发投入，培育更多的高技术人才，加强产学研合作，提升整体竞争力。
综上所述，机床国内外发展现状表明，国外机床产业在技术优势和市场份额方面具备领先地位，国内机床产业在技术创新和市场需求方面取得了长足进展。
未来，国内机床产业应加大力度推动自主创新和技术升级，提高产品的研发能力和品质水平，以实现由“制造大国”向“制造强国”的转变。
同时，加强国际合作，借鉴国外先进技术和管理经验，提高整体竞争力，实现机床产业的可持续发展。
2024年精密机床市场分析现状
2024年精密机床市场分析现状简介精密机床是制造业中不可或缺的基础设备，广泛应用于航空航天、汽车、电子、医疗设备等行业。
本文将对当前精密机床市场的现状进行分析，探讨市场规模、竞争格局、发展趋势等方面的信息。
市场规模精密机床市场规模在过去几年里持续增长。
根据数据显示，2019年全球精密机床市场规模达到XX亿美元，在接下来的几年里有望继续保持增长。
亚太地区是全球精密机床市场的主要消费地区，其市场份额约为XX%。
同时，北美和欧洲的市场需求也相对稳定，对精密机床的需求量较大。
竞争格局精密机床市场竞争激烈，主要厂商包括瑞士磨床、德国龙门铣床等国际知名企业。
这些企业凭借先进的技术、高质量的产品和良好的售后服务在市场中占据较大优势。
此外，一些新兴企业也在市场中崭露头角，通过创新技术和品牌建设逐渐扩大市场份额。
发展趋势1.自动化趋势：随着人工智能和机器学习的不断发展，精密机床市场正朝着自动化方向发展。
自动化生产线的出现使得精密机床具备更高的生产效率和更稳定的品质。
2.智能化应用：智能化应用成为精密机床市场的一个重要趋势。
通过将传感器和物联网技术与精密机床结合，实现设备状态监测和远程控制，提高生产效率和智能化水平。
3.高精度需求：随着产品精度要求的提高，对精密机床的需求也在增加。
高速加工、超精密加工等技术的发展使得精密机床的精度得到了大幅提升。
4.可持续发展：环保和可持续发展成为全球关注的热点，精密机床行业也不例外。
新一代精密机床注重能源消耗和废料处理的减少，以降低对环境的影响。
结论精密机床市场作为制造业的重要组成部分，持续保持着稳定增长的态势。
市场规模庞大，竞争激烈，但同时也存在着机遇和挑战。
未来，随着自动化、智能化和高精度需求的不断增加，精密机床市场有望迎来更大的发展空间。
同时，环保和可持续发展也将成为该市场发展的必然趋势。
智能制造和绿色制造将成为推动精密机床市场持续创新和发展的重要动力。
超精密加工技术的发展现状
超精密加工技术的发展现状超精密加工技术的发展现状，哎呀，真是个让人觉得又神奇又复杂的话题啊！咱们得先了解一下超精密加工是什么。
它其实就是用极高的精度来加工材料，想想看，能把东西做到这么精准，真是令人叹为观止。
现在的制造业可离不开它，尤其是在航空、医疗、电子这些领域，越是高端的东西，越离不开超精密加工。
想象一下，微米级别的加工，那得多细腻啊！说真的，这技术的发展，真的是让人感觉到科技的力量。
在这过程中，咱们得提到几项关键技术，比如说光刻、超声波加工，还有激光加工。
光刻技术可谓是个“大明星”，在芯片制造中大显身手，像是在细致的画布上作画，光线勾勒出无数精致的图案。
超声波加工呢，哎，别小看它，利用声波的振动来加工，能把很多材料轻松处理掉，真是个“小帮手”。
激光加工嘛，嘿，那可是一把双刃剑，精准又快速，火花四溅的场景让人忍不住想为它点赞。
不过，话说回来，技术再先进，也得面对一些挑战。
比如说，成本问题。
超精密加工的设备可不是白菜价，维护保养更是个大开销。
这让很多小企业在这条路上犹豫不决，真是让人心疼。
材料的选择也非常重要，有些材料在超精密加工中表现得特别好，而有些则像个“死胖子”，怎么都弄不动。
为了追求更好的效果，研究人员们可是费尽心思，真是“煞费苦心”啊。
还有就是人才的培养。
这方面可不能马虎，超精密加工需要的人才既要有理论知识，又要有丰富的实践经验。
现在的大学里，很多学校已经开始设置相关课程，目的就是希望能培养出更多的技术人才，未来可得靠他们“撑门面”呢。
真心希望越来越多的人能加入这个行业，给我们带来更多的惊喜。
说到应用，超精密加工的舞台可大了！像航天器、手术刀、手机的内部零件等等，几乎无处不在。
你看看，航天器上那些复杂的零部件，没有超精密加工，恐怕就飞不起来了！还有手术刀，医生可不能用个普通的刀子，精细的切口直接关系到手术的成功与否，这可是关乎生命的大事啊！而手机的微小零件，哪个能离开超精密加工的加持？所以说，这技术的重要性，不用多说，大家都懂。
精密和超精密加工技术现状和发展趋势
精密和超精密加工技术现状和发展趋势1.引言国际上在超精密加工技术方面处于领先地位的国家有美国、德国和日本发达国家中，美国、日本、德国等在高技术领域（如国防工业、集成电路、信息技术产业等）之所以一直领先，与这些国家高度重视和发展精密、超精密制造技术有极其重要的关系。
由于加工技术水平的发展，精密和超精密加工划分的界限逐渐向前推移，但在具体数值上没有确切的定义。
被加工零件的尺寸精度在 1.0～0.1μm，表面粗糙度Ra在0.1～0.03μm之间的加工方法称为精密加工。
超精密加工当前是指被加工零件的尺寸精度高于0.1μm，表面粗糙度Ra小于0.025μm，以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术，亦称之为亚微米级加工技术，且正在向纳米级加工技术发展超精密加工技术主要包括:超精密加工的机理,超精密加工的设备制造技术,超精密加工工具及刃磨技术,超精密测量技术和误差补偿技术,超精密加工工作环境条件。
2.发展现状美国是开展研究最早的国家，也是迄今处于世界领先地位的国家。
早在50年代末，由于航天等尖端技术发展的需要，美国首先发展了金刚石刀具的超精密切削技术，并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件。
20世纪80年代后期,美国通过能源部“激光核聚变项目”和陆、海、空三军“先进制造技术开发计划”,对超精密金刚石切削机床的开发研究,投入了巨额资金和大量人力,实现了大型零件的微英寸超精密加工。
如美国劳伦斯利弗莫尔国家实验室已经研制出一台大型光学金刚石车床(Large Op tics Diam ond Turn ing Machine, LODTM ), 是一台最大加工直径为1.63m的立式车床,定位精度可达28nm,借助在线误差补偿能力,它已实现了距离超过1m而直线度误差只有±25nm 的加工。
在美国能源部支持下，LLI实验室和Y-12工厂合作，与1983年成功地研制出大型超精密金刚石车床(DTM—3型)。
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2、超精密制造技术的发展状况：国外
美国民兵Ⅲ型洲际导弹系统陀螺仪的精度为0.03˚～0.05˚/h，其命中精度的圆
概率误差为500m，而MX战略导弹(可装载l0个核弹头)制导系统陀螺仪精度比民
兵Ⅲ型导弹高出一个数量级，从而保证命中精度的圆概率误差只有50～l50m。 美国Union Carbide公司1980年研制出首台超精密车床。在美国能源部支持下， LLNL实验室和Y—12工厂合作，与1983年成功地研制出大型超精密金刚石车床
3、超精密加工对设备的要求
(1)高精度。包括高的静精度和动精度，主要的性能指标有几何精度、定位
精度和重复定位精度、分辨率等，如主轴回转精度、导轨运动精度、分度精度等；
(2)高刚度。包括高的静刚度和动刚度，除本身刚度外，还应注意接触刚度， 以及由工件、机床、刀具、夹具所组成的工艺系统刚度。 (3)高稳定性。设备在经运输、存储以后，在规定的工作环境下使用，应能长
1、超精密加工主要研究领域
近年来，在传统加工方法中，金刚石刀具超精密切削、金刚石微粉砂轮超精
密磨削、精密高速切削、精密砂带磨削等已占有重要地位；在非传统加工中，出
现了电子束、离子束、激光束等高能加工、微波加工、超声加工、蚀刻、电火花 和电化学加工等多种方法，特别是复合加工，如磁性研磨、磁流体抛光、电解研 磨、超声珩磨等，在加工机理上均有所创新。主要研究领域有： （1）超精密切削加工如金刚石刀具的超精密切削，可加工各种镜面。它已成功 地解决了用于激光核聚变系统和天体望远镜的大型抛物面镜的加工。 （2）超精密磨削和研磨加工如高密度硬磁盘的涂层表面加工和大规模集成电路 基片的加工。 （3）超精密特种加工如大规模集成电路芯片上的图形是用电子束、离子束刻蚀 的方法加工，线宽可达0.1μm。如用扫描隧道电子显微镜(STM)加工，线宽可达 2～5nm。
到毫米级)的需求日益迫切。超精密加工的制造产品广泛应用于国 防、医疗、航空航天、电子等军事民用领域，如国防领域:弹药引 信、微型传感器、微制导系统、光学元件等;航空航天领域:微卫星 零部件、微激光陀螺、微推进系统等;电子领域:电子封装、微马达、
微型夹持与微装配系统等。例如：对于导弹来说，具有决定意义
超精密加工领域国内外发展 态势分析
Contents
1
研究思路
2
3 4
报告框架
报告主要内容
结语
一、研究思路
•定位：对国内外精密加工领域国内外发展情况进行全面调 研，了解（1）国内外技术的整体进展情况；（2）关键技 术内容；（3）总体发展态势（学术研究走势、技术分布国 家与机构、全球市场布局）；（4）技术发展脉络（热点、 前沿等）。 •方法：文献调研和情报分析工具结合 •关键词：机械制造；机械加工、精密加工、发展、综述、 评论； •machine manufacture、Precision Machining；Ultra precision machining
三、超精密加工技术发展总体态势分析
1.专利申请量的年度变化趋势
申请数量随时间变化 通过专利申请数量的年度变化情况，可以把握该行业的总体技术发展趋 160 势。如图所示，显示了超精密加工各年申请优先权的专利数量变化。
140 139 128 120 117
100
97
80 60 52 37 19 19 36 38 44 44
3、超精密制造技术的发展状况：国内
哈尔滨工业大学研制的超精密机床型号为HCM： 主轴精度≤50nm， 径向刚度220N/μm，
轴向刚度160N/μm，
导轨Z向(主轴)直线度≤0．2μm/100 mm， X向(刀架)直线度≤0．2μm/100mm， X、Z向垂直度≤1“， 加工工件精度形面精度(圆度)≤0．1μm。
SCHNEIDER、日本的NACHI、TOSHIBA、荷兰的PHILIP等。
日本TOYOTA公司生产的专用超精密车床用于加工非球曲面的钢磨具， 可用于车削、铣削、磨削并带有精密测量装臵。该机床加工模具形状精
度为0.05um，表面粗糙度为0.025um。结构上机床采用盒式结构，不
受外界影响，并机床处于恒温状态。
国家记录数量
CN JP US KR TW DE DD SU GB EP Other 0 16 14 7 5 54 45 276 515
4
3 22 100 200 记录数量 300 400 500 600
三、超精密加工技术发展总体态势分析
2.主要技术分布国家与机构情况
序号 1 记录数 量 近三年记录 比率
LLL实验室这两台机床是目前公认的国际上水平最高的超精密机床。
2、超精密制造技术的发展状况：国外
90年代以后，超精密铣磨和抛光技术在几个发达国家竞相发展，个别
实验室可以达到很高的水平，特别是其中包含的纳米制造技术，受到很
大的关注。开发超精密铣磨和纳米抛光制造技术较好的公司及机构有： 美国M00RE公司、英国的TAYL0R、德国的ZEISS、LOH、
的是导弹的命中精度，而命中精度是由惯性仪表的精度所决定的。 制造惯性仪表，需要有超精密加工技术和相应的设备。
1、超精密加工应用领域
超精密制造技术是随着测量技术的发展而发展的。Renishaw、 Heidenhain及SONY等公司发展了分辨率均可以达到1nm的测量元件； 美国HP公司、英国Taylor、美国zygo等公司的测量仪器均可以满足纳米 测量的需求。 与国防工业有关的如人造卫星用的姿态轴承和遥测部件、被送入太空的 哈勃望远镜(HST)、飞机发动机转子叶片等；与集成电路(IC)有关的硅片 加工(要求硅片的加工表面粗糙度Ra一般小于2nm，最高要求达 0．1nm)； 光刻设备和硅片加工设备的精度要求到亚微米和纳米级。导弹惯性仪表 的精度、激光陀螺仪的平面反射镜的精度、红外制导的导弹反射镜等， 其表面粗糙度均要求达到纳米级。另外，光学非球曲面零件面形制造精 度要求已达 λ/(30—50)，表面粗糙度要求≤0．5nm。
60
40 17 18
20
10
15 7
11
15
0 1995年 1997年 1999年 2001年 2003年 2005年 2007年 2009年 2011年 2013年
三、超精密加工技术发展总体态势分析
2.主要技术分布国家与机构情况
专利申请的优先权国家分布情况基本可以反映这个国家在该项技术 的研发实力和技术发展水平，进而再对具体的申请机构进行统计，可以 了解掌握该领域核心技术的机构，从而为进一步跟踪、掌握最新技术发 展动态提供方向。
从这些全球排名前10的超精密加工的研发机构来看，它们的核
13 12 UNIV JILIN (UYJI-C) 2011 - 2014 2007 - 2014 69% of 13 UNIV ZHEJIANG TECHNOLOGY (UYZTC)
心技术领域主要针对的是传递运动的机械装臵；除传动装臵、联轴 11 KOYO SEIKO CO LTD (KOYS-C) 2005 - 2008 6 或附件，如仿形装臵或控制装臵，是全球的主流研发方向。 HON HAI PRECISION IND CO LTD
目前开展超精密加工研发的主要机构以中国、日本的公司和科 工程元件或部件，主要用于弹簧、减振器；传递 44 HARBIN INST TECHNOLOGY (HAIT-C) 2007 - 20Biblioteka 4 18% of 44组织名称
时间区间
核心技术主题词
研机构为主，其中中国的哈尔滨工业大学、日本的松下和佳能公司 36 TOSHIBA MACHINE CO LTD (TOSI-C) 1984 - 2012 2
二、报告大致框架
1、超精密加工领域概况； 1.1 超精密加工的主要研究领域； 1.2超精密加工的主要加工方法； 1.3超精密加工的设备要求； 2、超精密加工的国内外研究进展 2.1主要应用领域； 2.2国外主要发展状况 2.3国内主要发展状况 3、超精密加工技术发展总体态势分析 3.1专利申请量的年度变化趋势 3.2主要技术分布国家与机构情况 3.3近3年的热点研究领域 3.4近3年新兴的技术趋势 3.5近3年可能逐渐衰退的技术领域 3.6核心技术领域解读
4 5
运动的机械装置； 机床的零件、部件或附件，如仿形装置或控制装 0% of 36 置；车削；镗削加工工艺
传递运动的机械装置；除传动装置、联轴器、离 排在前 TOP10 机构总量的 63.6%。 13 3位，申请专利数量占 CANON KK (CANO-C) 1986 - 2011 0% of 13 3 合器或制动器元件以外的转动工程元件；
时间保持精度、抗干扰、稳定工作。设备应有良好的耐磨性、抗振性等。
(4)高自动化。为了保证加工质量，减少人为因素影响，加工设备多采用数控 系统实现自动化。
二、超精密加工的国内外应用及发展情况
随着航空航天、国防工业、微电子工业、现代医学以及生物工
程技术的发展， 对精密/超精密三维微小零件(特征尺寸在微米级
(DTM—3型)。该机床可加工最大直径￠2100mm，多路激光干涉测量系统分辨
率为2．5nm。 1984年，LLNL实验室成功地研制出LODTM大型金刚石车床。该机床可加工 的最大直径为￠1625mm x 500mm，重量1360kg。采用的双频激光测量系统
分辨率为0．7nm，其主轴静态精度为：径向跳动≤25nm，轴向窜动≤51nm。
三、超精密加工技术发展总体态势分析
在科学技术迅猛发展和经济全球化的时代背景下，专利对科学研究的作 用和影响日益显著，通过专利技术分析，能够找出该技术领域涉及的主 要国家、机构和发明人，了解技术布局及研发热点，从而为研究人员全 面了解该领域技术的全球发展态势提供借鉴和参考。
本研究的分析数据主要来源于汤森路透的德温特世界专利创新索引（DII） 数据库，利用主题词TS=(Precision Machin*)or(Ultra precision machin*)进行检索，检索截止日期为2015年8月21日，1949年—2014 年间 ，共检索到DII数据库收录的中子探测器专利数据共940条 。采用 的分析工具为TDA（Thomson Data Analyzer）和智慧芽专利分析系统。