真空的获得和测量
7-1 真空获得与测量实验

7-1 真空的获得与测量实验引言真空技术已成为先进的科学技术之一,被广泛应用于工业生产、科学研究的各个领域。
它与电子管真空工业、原子能、宇宙航行及空间科学研究、表面物理研究、微电子学等有着紧密地联系。
真空技术的主要环节和基础是真空的获得,真空的测量及真空检漏等,通过本实验我们将对这些实验的方法和手段进行初步的学习和了解。
实验预习1. 学习旋片式机械真空泵、油扩散泵的工作原理;2. 了解真空的获得与测量实验系统及实验注意事项。
实验目的1.通过低真空的获得,学习使用旋片式机械真空泵和测量低真空的热偶计。
掌握测量容器的体积比。
2.通过高真空的获得,学习使用油扩散真空泵和测量高真空的电离真空计。
3.了解玻璃管和金属在高真空中的放气现象和去气方法。
4.通过制作放电管,掌握对放电管充气方法,观察放电管放电现象,并计算最佳放电时放电管内的气压差。
4.测量氦(或氖)放电管光谱,并进行光谱分析(选做)。
实验装置一、真空系统该实验装置由被抽真空的容器,旋片式机械真空泵和油扩散真空泵,测量真空度的热电偶真空计、电离真空计,不锈波纹钢管道和真空阀门所连成的一个整体系统称为真空系统。
系统结构如图7-1-1所示。
TG 1、TG 2——热偶真空规管, IG ——电离真空规管;A 、B 、C ——真空容器;1V ——油扩散泵蝶阀,2V 、3V 、4V 、6V 、8V 、9V 、10V 、11V ——角阀,5V ——针形阀, 7V ——电磁真空压差阀,12V ——三通阀,13V 、14V ——两级压力调节器;H ——加热炉,C T ——加热炉温度计扩散泵 机械泵差压传感器I 差压传感器II加热炉充气瓶放电管 充气连接管通大气图7-1-1 真空获得与测量实验系统结构图1.低真空系统。
该部分实验利用理想气体波义耳定律测量容器A 和容器B 的容积比。
低真空通过旋片机械泵获取,连接在机械泵上的电磁阀在接通电源时将抽气口与被抽系统接通,停泵时,割断泵与被抽系统的连接,而与大气相通,防止机械泵返油。
真空的获得和测量

4.测量P-t关系曲线并求粗真空下的机械泵的 抽速。
5.观察真空中木块与羽毛的落体现象。
五、思 考 题
1.放大气入系统时,放气要缓慢,为什么?
2.热偶真空计的原理是什么?
真空的获得和测量
实验简介
目前真空技术的应用已十分广泛,光学、 微电子学、电子计算机、超导等方面需要 用真空镀膜;医药工业和电气工业需要真 空冷冻干燥;化工冶金、焊接、热处理等 也要真空技术;在原子能、可控热核反应、 电子显微技术、质量分析仪、表面物理方 面真空技术也是必不可少;真空技术已成 为物理学的基本手段和必备的知识。
一、实验目的
1.学习高真空的获得与测量方法。 2.熟悉有关设备和仪器的使用方法。
二、实验仪器
1. 真空装置 2. 机器泵
机器泵
3.真空计
真空计
三、实验原理
1.真空的获得 获得真空用真空泵。真空泵按工作条件的 不同分为两类:能够在大气压下工作的真 空泵称为初级泵(如机器泵),用来产生 预备真空,需要在预备条件下才能工作的 真空泵称为次级泵(如扩散泵),次级泵 用来进一步提高真空度,获得高真空。
2.真空的测量
真空计是测量真空系统中气体压强的仪器, 种类很多,这里介绍的复合真空计是常见 的一种,复合真空计是由温差电偶真空计 与热阴极电离真空计组合而成。
四、实验内容
1.开ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ仪器后,仪器显示真空度。
2.实验用的真空系统原已保持一定真空真,开 动机械泵(接通马达电源)前,应缓慢地将 大气放入系统。 3.开动机械泵后,启动计时秒表,每隔30秒 记录一个压强值。
真空获得与测量实验报告

真空获得与测量实验报告真空获得与测量实验报告引言:真空技术在科学研究、工业生产和医学诊断等领域具有重要的应用价值。
为了获得高质量的真空环境,科学家们进行了一系列的实验研究。
本实验旨在探究真空获得的方法和真空度的测量。
一、真空获得的方法1.机械泵机械泵是最常用的真空获得装置之一。
它通过机械运动将气体从容器中抽出,从而降低压力。
机械泵适用于中低真空范围,操作简便,但不能获得高真空。
2.扩散泵扩散泵是一种能够获得高真空的装置。
它通过将气体分子扩散到高速运动的喷嘴上,再通过冷凝或吸附的方式将气体排出。
扩散泵在高真空实验中具有广泛应用,但需要较长的预抽时间。
3.离心泵离心泵是一种利用离心力将气体从容器中排出的装置。
它适用于高真空获得,具有较高的抽速和较短的预抽时间。
离心泵广泛应用于科学研究和工业生产领域。
二、真空度的测量1.毛细流量法毛细流量法是一种常用的真空度测量方法。
它利用毛细管中气体流动的特性来测量真空度。
通过测量气体经过毛细管的流量和压差,可以计算出真空度的大小。
2.热导法热导法是一种基于热传导原理的真空度测量方法。
它利用热传导的速率与气体压力之间的关系来测量真空度。
通过在真空容器中加热一个导热体,测量导热体的温升和导热速率,可以计算出真空度的数值。
3.离子化法离子化法是一种基于气体分子电离的真空度测量方法。
它利用电离电流与气体压力之间的关系来测量真空度。
通过在真空容器中加入一个电离器,测量电离电流的大小,可以计算出真空度的大小。
结论:通过本次实验,我们了解了真空获得的方法和真空度的测量方法。
机械泵、扩散泵和离心泵是常用的真空获得装置,分别适用于不同的真空范围。
毛细流量法、热导法和离子化法是常用的真空度测量方法,各有优缺点。
在实际应用中,需要根据具体情况选择合适的真空获得装置和真空度测量方法,以获得高质量的真空环境。
参考文献:[1] 朱玉涛, 梁军. 真空技术与应用[M]. 北京: 科学出版社, 2011.[2] 陈伟, 张磊. 真空技术实验指导[M]. 北京: 高等教育出版社, 2019.[3] 李明, 王丽. 真空度测量方法的比较与分析[J]. 仪器仪表学报, 2018, 39(4): 1-8.。
真空获得与测量实验一、实验目的本实验的目的是利用真空获得与

真空获得与测量实验一、实验目的本实验的目的是利用真空获得与测量系统研究高真空的获得过程及该系统真空度随时间的变化率。
二、 实验仪器真空室、机械泵、分子泵、分子泵控制电源、热偶规、电离规、冷水机。
三、实验原理3.1 真空的基本知识1)真空及其单位所谓真空是指低于一个大气压的气体空间。
同正常的大气相比,是比较稀薄的气体状态。
当气体处于平衡时,可得到描述气体性质的气体状态方程,即 nkT p = (3-1) 或RT Mm pV =(3-2) 式中,p 为压强(Pa);n 是气体分子密度(个/m 3),V 为体积(m 3);M 为气体分子量(kg/mol);m 是气体质量(kg);T 是绝对温度(K);k 是玻尔兹曼常数(1.38×10-23J/K);R 为气体普适常数(8.314J /mol .K),也可用R =N A .k 来表示,N A 是阿伏伽德罗常数(6.023×1023个/mol)。
于是,由式(3—1)可得Tp n 22102.7⨯= (3-3) 由式(3—3)可知,在标准状态下.任何气体分子的密度约为3×1019个/cm 3。
即使在p=1.3×10-11Pa 这样很高的真空度时,T=293K ,则n =4×103个/cm 3。
因此,所谓真空是相对的,绝对的真空是不存在的。
通常所说的真空是—种“相对真空”。
在真空技术中对于真空度的高低,可以用多个参量来度量,最常用的有“真空度”和“压强”。
此外,也可用气体分子密度、气体分子的平均自由程、形成一个分子层所需的时间等来表示。
“真空度”和“压强”是两个概念,不能混淆.压强越低意味着单位体积中气体分子数愈少,真空度愈高,反之真空度越低则压强就越高。
由于真空度与压强有关,所以真空的度量单位是用压强来表示。
在真空技术中,压强所采用的法定计量单位是帕斯卡(Pascal),系千克米秒制单位,简称帕(Pa),是目前国际上推荐使用的国际单位制( SI)。
真空的获得与测量

云南大学物理实验教学中心实验报告课程名称:近代物理实验实验项目:真空的获得与测量学生姓名:朱江醒学号: 20051050148 物理科学技术学院物理系2005级数理基础科学专业指导教师:葛茂茂实验时间: 2007年 12月 23 日 8 时 30 分至12时 30 分实验地点:物理馆实验类型:教学(演示□验证□综合□设计□) 学生科研□课外开放□测试□其它□一.实验目的1.学习高真空的获得与测量方法。
2.熟悉有关设备和仪器的使用方法。
二.实验原理真空技术在工业生产和科学研究中广泛的应用。
真空技术主要包括真空的获得、测量和检查漏气等方面的内容。
1.高真空的获得获得真空用真空泵。
真空泵按工作条件的不同分为两类:能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵(如机器泵),用来产生预备真空,需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵(如扩散泵),次级泵用来进一步提高真空度,获得高真空。
(1)机器泵一般采用油封转片式机器泵,在圆柱形气缸(定子)内有偏心圆柱作为转子,当转子绕轴转动时,其最上部与气缸内表面紧密接触,沿转子的直径装有两个滑动片(简称滑片),其间装有弹簧,使滑动片在转子转动时与气缸内表面紧密接触,当转子沿箭头所指方向转动时,就可以把被抽容器内的气体由进气管吸入而经过排气孔,排气阀排出机械泵。
为了减少转动摩擦和防止漏气,排气阀及其下部的机械泵内部的空腔部分用密封油密封。
机械泵用的密封油是一种矿物油,要求在机械泵的工作温度下有小的饱和蒸汽压和适当的粘度,机器泵的极限真空度一般在10-2~10-4mmHg,抽气速率一般为每分钟数十升到数百升。
(2)扩散泵一般多采用油扩散泵,扩散泵是高真空泵,当机器泵的极限真空度不能满足要求时,通常加扩散泵来获得高真空。
这种泵不能从通常气压下开始工作,只能在低于1Pa气压下才能工作。
因此,必须与初级泵串联使用。
油扩散泵使用的工作液体有许多种,目前广泛使用的是274号硅油(20℃时饱和汽压为1.3×10-7Pa)和275号硅油(20℃时饱和汽压为1.3×10-8Pa)。
真空获得与测量实验报告

真空获得与测量一、实验目的1.掌握高真空的获得和测量的基本原理及方法;2.了解真空玻璃系统的结构;熟悉真空泵、真空计的原理二、实验仪器DH2010型多功能真空实验仪(机械泵、扩散泵、真空腔、真空计、各类计量工具)三、实验内容1.使用抽真空设备,获得高真空环境;2.使用真空计进行真空测量;3.利用有限条件估算真空泵的抽气速率。
四、实验步骤因为涉及到使用较大功率的电源,多种真空泵的组合使用,以及高温加热装置,因此在操作设备进行放电实验前,需要教师指导相关的安全须知。
在实验中,操作应要严格按照以下步骤进行:左侧为油扩散泵和真空腔体,右侧为真空系统操作和真空检测复合控制面板。
1.检查仪器的冷却水,气路是否连接正确;2.关闭真空腔的泄气阀;3.打开冷却水系统,打开真空系统总电源,打开真空计电源;4.将工作状态拨键调节至“机械泵”,打开机械泵,对真空腔进行抽气;5.观察真空计(热偶规)示数达到稳定,即机械泵工作效率达到极限,先将工作状态拨键调节至“扩散泵”,在将扩散泵同真空腔之间的阀门打开;6.扩散泵接入至真空系统内,机械泵持续工作,对扩散泵的空间进行抽气;7.观察真空计(热偶规)示数再次达到稳定,将工作状态拨键调节至“扩散泵工作”,按加热键;8.检查加热炉是否正常工作,确认正常后将加热炉缓慢上升接近扩散泵;9.加热炉加热扩散泵,观察真空计(电离规)示数,并记录真空计的示数变化,每10S记录一个值,直至真空计示数不再变化;10.完成数据记录后,关闭真空计(电离规)电源,再按加热键,停止加热,并将加热炉缓慢下降,将工作状态拨键调节至“扩散泵”;11.关闭扩散泵同真空腔之间的阀门后,将工作状态拨键调节至“机械泵”;12.待腔体彻底冷却后,关闭总电源,关闭冷却水系统;13.记录真空腔体的体积,并根据所记录的数据,对扩散泵的抽气速率进行计算。
实验必须由指导教师在的情况下进行,确保实验过程安全、顺利。
五、数据处理方法一:利用公式S=−V lnP2/P1t2−t1粗略求得平均抽气速率。
真空的获得与测量实验报告
真空的获得与测量实验报告真空的获得与测量实验报告引言:真空是指在一定空间内没有气体分子的状态。
在科学研究和工业生产中,真空的获得和测量是非常重要的。
本文将探讨真空的获得和测量方法,并介绍相关实验的结果和分析。
一、真空的获得方法1. 抽气法抽气法是最常见的获得真空的方法之一。
实验中,我们使用了一台真空泵,通过泵的作用将容器内的气体抽出,从而形成真空环境。
实验中,我们选择了机械泵和分子泵的组合,以提高抽气速度和真空度。
2. 管道密封法管道密封法是指通过对容器进行密封,防止气体进入或逸出,从而形成真空环境。
在实验过程中,我们使用了高质量的密封材料,如橡胶密封圈和金属密封垫片,以确保容器的密封性。
二、真空的测量方法1. 粗真空测量粗真空是指真空度较低的状态,通常用毫米汞柱(mmHg)或帕斯卡(Pa)来表示。
实验中,我们使用了粗真空计来测量真空度。
粗真空计基于压力的测量原理,通过测量气体分子对容器壁的撞击力来确定真空度。
2. 高真空测量高真空是指真空度非常高的状态,通常用帕斯卡(Pa)或托(Torr)来表示。
实验中,我们使用了离子计和热导计来测量高真空。
离子计基于气体分子电离的原理,通过测量电离电流来确定真空度。
热导计则基于气体分子传导热量的原理,通过测量传导热量的变化来确定真空度。
三、实验结果与分析在实验中,我们成功地获得了粗真空和高真空环境,并使用相应的测量仪器进行了真空度的测量。
实验结果显示,通过抽气法和管道密封法,我们可以获得不同程度的真空环境。
在粗真空测量中,我们使用了粗真空计进行测量。
实验结果显示,真空度随着抽气时间的增加而增加,但在一定时间后趋于稳定。
这表明,通过抽气法可以获得一定程度的真空度,但无法达到高真空的状态。
在高真空测量中,我们使用了离子计和热导计进行测量。
实验结果显示,离子计和热导计的测量结果相近,并且真空度随着抽气时间的增加而逐渐增加。
这表明,通过抽气法和使用适当的测量仪器,我们可以获得较高的真空度。
真空现象实验报告
一、实验目的1. 了解真空的基本概念和特性。
2. 掌握真空的获得和测量方法。
3. 通过实验验证真空现象,加深对真空理论的理解。
二、实验原理真空是指空间中气体分子密度极小,接近于没有气体存在的状态。
真空状态下,气体分子或带电粒子的平均自由程极长,气体分子与固体表面碰撞频率极低。
真空度越高,气体分子密度越低,碰撞频率越低。
真空的获得主要采用机械泵、扩散泵等设备,通过不断抽除真空室内的气体分子,降低气体压强,达到真空状态。
真空度的测量常用压力计、真空规等仪器。
三、实验仪器与材料1. 实验仪器:真空泵、真空规、压力计、气体发生器、密封容器、温度计、电源等。
2. 实验材料:干燥空气、氮气、氢气等。
四、实验步骤1. 准备实验仪器,确保仪器正常工作。
2. 将密封容器抽成真空,观察容器内气体压强的变化。
3. 使用真空规测量容器内的真空度,验证真空现象。
4. 在真空容器内放入气体发生器,观察气体压强的变化。
5. 改变容器内温度,观察气体压强的变化。
6. 将容器内的气体更换为氮气、氢气等,观察气体压强的变化。
7. 记录实验数据,分析实验结果。
五、实验结果与分析1. 实验结果显示,随着密封容器内气体被抽除,气体压强逐渐降低,真空度逐渐提高。
当真空度达到一定程度时,容器内气体压强趋于稳定,接近真空状态。
2. 使用真空规测量容器内的真空度,结果显示真空度符合实验预期。
3. 将气体发生器放入真空容器内,观察到气体压强迅速升高,表明气体分子在真空状态下具有较高的自由程。
4. 改变容器内温度,发现气体压强随着温度的升高而降低,符合气体状态方程。
5. 将容器内的气体更换为氮气、氢气等,观察到气体压强与干燥空气相比有所变化,说明不同气体在真空状态下的压强不同。
六、实验结论1. 真空是指空间中气体分子密度极小,接近于没有气体存在的状态。
2. 真空度越高,气体分子密度越低,碰撞频率越低。
3. 真空状态下,气体分子具有较高的自由程。
4. 温度、气体种类等因素对真空度有影响。
13真空的获得与测量
实验报告: 真空的获得与测量(本报告仅供参考,每个同学应根据指导老师讲解和实际实验过程自行撰写)实验目的:了解真空技术的基本知识;了解真空泵、真空计的工作原理;掌握低、高真空的获得、测量的基本方法和真空机组操作规程。
实验仪器:电子衍射仪v 型实验原理:引言:压强低于一个标准大气压的稀薄气体空间称为真空.在真空状态下,由于气体稀薄,分子之间或分子与其它质点之间的碰撞次数减少,分子在一定时间内碰撞于固体表面上的次数亦相对减少,这导致其有一系列新的物化特性,诸如热传导与对流小,氧化作用少,气体污染小,汽化点低,高真空的绝缘性能好等等.真空技术是基本实验技术之一,真空技术在近代尖端科学技术,如表面科学、薄膜技术、空间科学、高能粒子加速器、微电子学、材料科学等工作中都占有关键的地位,在工业生产中也有日益广泛的应用.一、真空度与气体压强(单位Pa )真空度是对气体稀薄程度的一种客观度量,单位体积中的气体分子数越少,表明真空度越高.由于气体分子密度不易度量,通常真空度用气体压强来表示,压强越低真空度越高.按照国际单位制(SI),压强单位是牛顿/米2,称为帕斯卡,简称帕(Pa ).通常按照气体空间的物理特性及真空技术应用特点,将真空划分为几个区域。
粗真空:105~103 低真空:103~10-1 高真空:10-1~10-5 超高真空:10-5~10-9 极高真空:小于10-9二、真空的特点及应用特点:1、空间气体分子密度极小,仅为大气压下分子密度的万亿分之一,真空可以近似被认为是没有气体污染的空间。
分子密度与气体压强成正比,P n ∝, kT P n =。
2、 气体分子或带电粒子的平均自由程极长,平均运动速率很大,πμRT v 8=(一般为几百米每秒,μ单位千克)其中,K 为波尔兹曼常数,T 为气体温度,d 为分子直径,P 为气体压强。
例如,室温下氮气分子的平均自由程在压强为710-pa 时将长于50km ,而电子和离子的平均自由程分别是气体分子的24和2倍。
真空的获得与测量实验报告
近代物理实验报告真空的获得与测量学院班级姓名学号时间真空的获得与测量【摘要】本实验是运用包括机械泵,油扩散泵等器材制造一个真空的环境,并通过真空计来测量所获得真空的真空度的过程。
在真空实用技术中,真空的获得和测量是两个最重要的方面,而且在运用技术的过程中,真空获得的设备和测量仪器是必不可少的。
【关键词】真空泵,真空计,测量【引言】1643年,意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)首创著名的大气压实验,获得真空。
1654年,德国物理学家葛利克发明了抽气泵,做了著名的马德堡半球试验。
真空技术在工业生产和科学研究中广泛的应用。
真空技术主要包括真空的获得、测量和检查漏气等方面的内容。
真空是一种不存在任何物质的空间状态,是一种物理现象。
在“真空”中,声音因为没有介质而无法传递,但电磁波的传递却不受真空的影响。
事实上,在真空技术里,真空系针对大气而言,一特定空间内部之部份物质被排出,使其压力小于一个标准大气压,则我们通称此空间为真空或真空状态。
1真空常用帕斯卡(Pascal)或托尔(Torr)做为压力的单位。
目前在自然环境里,只有外太空堪称最接近真空的空间。
【实验方案】一、实验原理1.真空的获得真空的获得主要靠真空泵来实现,本实验用机械泵作为主要的真空泵进行实验。
机械泵利用机械旋转产生吸气和排气的过程来获得真空。
常用的是旋片式机械泵。
排气阀采用油封,油在工作室的内表面形成油膜,有利于润滑和A点的密封,但同时也会形成油的蒸气压,限制了机械泵的真空度,并有可能污染真空系统。
为了放置油污染,防止气体倒流,当系统工作一段时间后需要停机,应先关断进气管上的阀门,保持抽气状态,然后给进气管放气,最后才能给机械泵断电。
机械泵的极限真空度为10-1Pa。
当达到极限真空度时,抽气和漏气的速度相等。
真空度不再变化。
油扩散泵是利用气体的扩散性质制作,将扩散泵油加热到沸腾温度,产生大量油气,经过导流管喷出,接着冷凝,重新变成油,返回到蒸发器,气体被机械泵抽走,如此反复,达到连续抽气的目的。