电子级磷酸简介教学教材
第五节 电子磷酸
第五节电子磷酸一、概述磷酸依制备工艺的差别可分为肥料级、工业级、食品级、药用级、试剂级、电子级等级别。
电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料。
近年来由于电子工业和液晶显示电视迅速发展，用于半导体、液晶显示器(LCD)及其他电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。
目前我国已成为世界LCD需求增长最快的国家，2011年我国将成为世界重要的集成电路(1C)制造基地之一。
而“十五”期间我国电子化学晶年均增长率超过20%，预计到2010年我国电子化学品市场规模将超过200亿元，成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。
随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国大陆的转移，特别是武汉光谷、富士康、中芯国际等大型电子产业在武汉的安家落户，与之配套的电子级磷酸的用量将大幅增长，对电子级磷酸的研究显得十分重要和迫切。
二、性质性状无色、无臭、粘稠液体，溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体，富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱，但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热，经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，易吸湿。
熔点：42.℃沸点：213℃密度:1.834（18℃）三、制备原理磷酸的生产现金主要有两种方法，热法和湿法。
1.热法磷酸主要是以黄磷为原料，黄磷燃烧生成通过热法生产出的磷酸由于原料组成单一，生产工艺不复杂，因此产品的纯度高，杂质含量少，一直用在高新医药等领域，但其缺点就是耗能大，成本高，生产过程产生的粉尘和毒气严重污染环境，因此世界上热法磷酸的比例正在逐渐下降。
电子级磷酸
电子级磷酸的相关报告前言电子级磷酸属高纯磷酸，高纯磷酸(H3PO4)是电子行业使用的一种超高纯化学试剂，属于微电子化学产品之一，目前世界上仅有美国、日本、韩国等少数几个国家能够生产。
电子级磷酸广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，包括：①基片涂胶前的清洗；②光刻过程中的蚀刻及最终去胶；③硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。
近年来，随着我国微电子和面板产业的高速发展，世界上许多著名IC晶圆代工、半导体封装以及LED、TFT—LCD企业巨头在中国大陆投资建厂，电子化学品的需求越来越大。
“十五”期问，我国电子专用超净高纯化学试剂需求量超过1万t，而国内生产企业仅能提供10％。
其中，国内通用型试剂市场今后的年增长率仍将维持在5％一8％左右，电子化学品市场预计超过80亿美元，年增长率近20％；世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8％以上。
电子级磷酸由于具有优良的性能，已成为电子工业不可缺少的电化学品之一，其需求量正逐年增长。
一、行业概况：电子级磷酸发展背景高纯电子级磷酸属电子化学品系列产品之一,电子化学品一般指与电子工业配套的专用化学品。
伴随着国际半导体芯片(IC)和液晶制造业迅速向中国转移, 我国微电子技术, 特别是半导体器件和集成电路微细加工的蚀刻与清洗工艺和薄膜 液晶制造工艺所需的电子级磷酸的需求量也在稳步增长。
其质量对IC 产品成品率、电性能、可靠性和液晶显示器( LCD)质量都有重要影响。
预计到2010年国内市场(包括出口)对电子级磷酸需求量将达到150~ 160 kt /a, 以后年均增长率10% 以上, 成为高档磷酸的一个重要市场。
微电子技术发展主要特点是依靠不断缩小元器件特征尺寸、增加芯片面积、提高集成度和运行速度而迅猛发展。
自上世纪70年代起, 集成电路芯片的发展速度基本上遵循每1.5 年集成度增加1倍, 芯片特征尺寸每3年缩小一半, 芯片面积增加约1.5倍, 芯片中晶体管数增加约4倍的规律, 即基本上每3年就有一代新的IC 产品问世。
95%高浓度电子级磷酸技术问世
图 ６ 改 变 喷 嘴 直 径 前 后 气 体 速 度 模 拟 结 果
大学 出版社 ，０ ８ １ ２０ ：４—１ ． ５
［］ 郑 ３
辉， 芮晓明， 常连生． 式除尘设 备气 流分布 的数值模 拟 袋
由图 ６可 以看 出 ， 改变 喷 嘴直径 的大 小后 ， 吹 喷 管 内的气体 速度 分布 相对 均匀 。
５ｅ 嘴直 径 来 合理 分 配 喷 吹气 流 ， 、 沿 着喷 吹方 向 ， 喷嘴 直径 逐渐 减小 。
参考文献 ：
［］ 姚 １
（）喷 嘴直径 更 改后 ｂ
．
６ｅ ０ ４ ＋ ２ ７ｅ ０ ３ ＋ ２
．
８ｅ ０ ２ ＋ ２ １ ｅ ０ｌ ２ ＋ ９１ ０ｌ ｅ一
∞
＼ 咖 姥 蜩ｆ
蛙
（ 收稿 日期 ：０９—１ ２ ） ２０ １— ０
＇ ｌ Ｉ ， ， ｂ ｉ ＇ ， ＇ ｌ ｌ ， ＇ ｌ ＇ ， ’ ’ ， ● ＇ ＇ ＇ ｌ ， ｌ ｌ ｌ ｌ ’ ＇ ， ● ｌ ｌ ● ， ＇ ｌ ， ｌ ｌ ● ●
９ ％ 高浓 度 电子 级 磷 酸 技 术 问世 ５
（ 中化 新 网 ２１ ０ ３ ） ００— ３— １
４ 总 结
利 用 Ｆｕ ｎ 软件对 三 种不 同喷 嘴模拟 得 出 以下 ｌｅ ｔ
７ ％ 一８ ％之间 ， ５ ５ 没有 ９ ％ 高浓 度 电子 级磷 酸供 应 。国 内 ５
尚无成 熟 的 ９ ％ 高浓度 电子级 磷酸 生产技 术 ，５ 一８ ％ ５ ７％ ５
电子级磷酸产 品及生 产技术 主要被 日本和 韩国等发 达 国家 所垄断 。钦州 出入境检验检疫 局攻克 了 ９ ％高浓 度 电子级 ５ 磷酸生产关键技术 ， 目前已开始推广应用 。
1kt电子级磷酸建议书共27页文档
第一章项目建设的目的和意义1.1企业概况瓮福（集团）有限责任公司［以下简称瓮福集团］于2008年4月26日挂牌成立，原名为“贵州宏福实业开发有限总公司”，是在1994年6月经贵州省人民政府批准，由贵州省瓮福矿肥基地工程建设指挥部改制组建而成。
贵州省瓮福矿肥基地包括瓮福磷矿和瓮福磷肥厂两个国家重点建设项目，总投资58.5亿元，是国家在上世纪后十年投资200多亿元建设的全国五大磷肥基地之一，2001年12月30日通过国家验收。
经过几年来的技术改造，瓮福集团现已形成450万吨/年原矿、200万吨/年硫酸、90万吨/年磷酸、120万吨/年磷酸二铵、48万吨/年磷酸一铵、1.54万吨/年氟化铝、3万吨/年黄磷的生产能力，以及磷精细化工和环保产业。
瓮福集团秉承国家建设的初衷，坚持以生产优质高浓度磷复肥满足农业生产需要为己任。
2019年以来，瓮福集团坚持科学发展观，走新型工业化道路，坚持实施提升质量水平，提升科技含量，提升规模效应；降低成本，降低增量投入的“三升两降”工程，并取得良好成效。
2019～2019年，瓮福集团年均发展速度超过35%，实现“四年四大步”跨越式发展，一跃成为中国磷肥行业的领头企业。
2019年9月，“宏福牌”磷酸二铵荣获“中国名牌产品”称号；2019年9月，“宏福牌”磷酸二铵、磷酸一铵双双荣获国家质量检验检疫总局颁发的《产品质量免检证书》；2019年9月，“宏福牌”磷酸一铵荣获“中国名牌产品”称号。
瓮福集团先后被评为全国百家质量效益型先进企业、贵州省最具影响力企业、中国消费者十大满意品牌企业、中国石油和化工行业百强企业、全国十佳矿山企业等。
许多党和国家领导人以及国家有关部委领导同志近几年先后到瓮福集团视察，对瓮福集团的工作给予了充分肯定并寄予厚望。
省委、省政府把磷及磷化工作为贵州经济发展的重要支柱产业，并将瓮福集团列为近几年内建成销售收入达100亿元的企业集团之一。
瓮福集团拥有丰富的磷矿资源。
电子级磷酸质量标准
试剂名称(Product Name) Cas号分子式(Formular) MDL number EINECS Beilstein磷酸/电子级磷酸Phosphate standard concentrate性状无色、无臭、粘稠液体，溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体，富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱，但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热，经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，易吸湿。
熔点：42.℃沸点：213℃密度:1.834（18℃）质量标准GB/T 1282-1996项目Item 优级纯分析纯(GR) (AR)含量(H3PO4)Assay,% ≥85.0 85.0色度，黑曾单位Color(APHA),% ≤10 25灼烧残渣Ignition residue,% ≤0.1 0.2挥发酸Volatile acid，% ≤0.02 0.02氯化物(Cl)Chloride,% ≤0.0002 0.0003硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤0.001 0.003硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤0.0003 0.0005砷(As)Arsenic,% ≤0.001 0.0001铁(Fe)Iron,% ≤0.001 0.002钠(Na)Sodium,% ≤0.05 --钾(K)Potassium,% ≤0.005 --锰(Mn)Manganese,% ≤0.0002 0.0002镍(Ni)Nickel,% ≤0.0005 --铜(Cu)Copper,% ≤0.0005 --锌(Zn)Zinc,% ≤0.001 --镉(Cd)Cadmium,% ≤0.0005 --铅(Pb)Lead,% ≤0.0005 --重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤-- 0.001还原物质(以H3PO4计)Reducing substances,% ≤0.005 0.01项目电子级磷酸含量（P2O5）% 63.0-68.0熔点℃35.0-42.3外观不规则粉末硝酸盐(NO3) ppm≤5硫酸盐(SO4) ppm≤5氯化物(Cl) ppm≤5铝（Al) ppb≤20锑(Sb) ppb≤300砷(As) ppb≤10钡(Ba) ppb≤20镉(Cd) ppb≤10钙(Ca) ppb≤50铬(Cr) ppb≤10钴(Co) ppb≤20铜(Cu) ppb≤20金(Au) ppb≤5铁(Fe) ppb≤50铅(Pb) ppb≤10锂(Li) ppb≤10镁(Mg) ppb≤20锰(Mn) ppb≤10镍(Ni) ppb≤10钾(K) ppb≤20银(Ag) ppb≤10钠(Na) ppb≤50锶(Sr) ppb≤10锌(Zn) ppb≤10ACS级项目名称Item ACS Grade 含量(H3PO4)Assay ≥85.0% 色度，黑曾单位Color(APHA) ≤10水不溶物Insoluble matter ≤0.001%氯化物(Cl)Chloride(Cl) ≤3ppm硝酸盐(NO3)Nitrate ≤5ppm硫酸盐(SO4)Sulfate ≤0.003% 挥发酸(以乙酸计)V olatile acids(as CH3COOH) ≤0.001%锑(Sb)Antimony(Sb) ≤0.002% 钙(Ca)Calcium(Ca) ≤0.002% 镁(Mg)Magnesium(Mg) ≤0.002% 钾(K)Potassium(K) ≤0.005% 钠(Na)Sodium(Na) ≤0.025% 砷(As)Arsenic(As) ≤1ppm重金属(以Pb计)Heavy metals(as Pb) ≤0.001%铁(Fe)Iron(Fe) ≤0.003%锰(Mn)Manganese(Mn) ≤0.5ppm 还原性物质Reducing substances Passes test品级Grade 色谱纯(grade for HPLC)外观description crystals含量assay 85-90% (T)熔点mp ~40 °Cλ neat紫外吸光度UV absorptionλ: 210 nm ≤0.07λ: 220 nm ≤0.05λ: 230 nm ≤0.04λ: 250 nm ≤0.04λ: 500 nm ≤0.02RP gradient test complies品级Grade 药用级(Ph. Eur., BP, NF,FCC)assay 85.0-88.0%alkali phosphates, in accordanceresidual solvents, in accordancesubstance precip. by Ammonia, in accordanceheavy metals (as Pb) ≤0.0005%volatile acids (as CH3COOH) ≤0.001%anion traceschloride (Cl-): ≤5 ppmfluoride (F-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): in accordancephosphite, hypophosphite (as H3PO3): ≤30 ppmsulfate (SO42-): ≤50 ppmsulfate (SO42-): in accordancecation tracesAs: ≤2 ppmCd: ≤3 ppmCu: ≤10 ppmFe: ≤10 ppmHg: ≤1 ppmPb: ≤3 ppmZn: ≤10 ppmsuitability passes test for appearance of solution贮存密封保存。
电子级磷酸简介范文
电子级磷酸简介范文湿法制备电子级磷酸是将含磷矿石溶解于硫酸中，然后经过多次结晶和分离纯化，最终得到高纯度的磷酸。
该方法可以得到较高的纯度，但是制备过程较为复杂且成本较高。
气相法制备电子级磷酸是通过蒸发和凝结的方式，将含磷的气体与水蒸汽反应生成磷酸。
这种方法的优点是制备过程相对简单，成本较低，但是纯度相对较低。
电子级磷酸的纯度要求非常高，主要由杂质的含量决定。
一般来说，电子级磷酸的杂质含量应该低于PPB（billion的十亿分之一），甚至更低。
常见的杂质有金属离子、有机物和无机盐等。
为了达到如此高的纯度要求，制备过程中需要采取各种措施，如选择高纯度的原料、控制反应条件和使用高纯度的溶剂等。
电子级磷酸的应用非常广泛，主要用于半导体和其他电子器件的制造过程中。
它可用作清洗剂、腐蚀剂、抛光剂和蚀刻剂等。
在片上化合物半导体（IC）的制造过程中，电子级磷酸可用于清洗硅片和去除残留物，以提高硅片的纯度和表面光洁度。
此外，电子级磷酸还可以用作制备硅酸盐蜂窝陶瓷、玻璃和光纤等材料的原料。
在电子元件制造过程中，电子级磷酸的纯度和质量非常重要。
由于电子级磷酸的纯度要求极高，一旦杂质超出规定范围，可能会对器件的性能造成影响。
因此，在电子级磷酸的生产和使用过程中，需要严格控制各项工艺参数，并进行多次分离和纯化，以确保产品的质量。
总之，电子级磷酸是一种高纯度的化学品，广泛应用于半导体和其他电子器件制造过程中。
它的制备过程复杂，要求高纯度的原料和专业的工艺。
电子级磷酸的纯度要求非常高，主要由杂质的含量决定。
它主要用作清洗剂、腐蚀剂、抛光剂和蚀刻剂，以及制备材料的原料。
在电子元件制造过程中，电子级磷酸的纯度和质量对器件的性能有重要影响，因此需要严格控制各项工艺参数，并进行多次分离和纯化。
磷酸电子级磷酸的所有技术指标及基本介绍样本
磷酸/电子级磷酸上海紫一试剂厂.com电话: ; 传真:磷酸/电子级磷酸PhosphatestandardconcentrateCas号: 【7664-38-2】MDL: MFCD00011340分子式: H3O4P; H3PO4分子量: 98.00别名: 正磷酸,一缩原磷酸,缩原磷酸,乙烯利水剂PhosphoricacidsolutionPhosphoricacidOrthophosphoricacidOrthophosphoricacid订货信息:性状: 无色、无臭、粘稠液体, 溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体, 富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱, 但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热, 经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸, 长时间受冷即生成结晶, 有腐蚀性, 易吸湿。
熔点: 42.℃沸点: 213℃密度:1.834( 18℃)质量标准: GB/T 1282-1996项目Item 优级纯分析纯(GR) (AR) 含量(H3PO4)Assay,% ≥ 85.0 85.0 色度, 黑曾单位Color(APHA),% ≤ 10 25 灼烧残渣Ignition residue,% ≤ 0.1 0.2 挥发酸Volatile acid, % ≤ 0.02 0.02氯化物(Cl)Chloride,% ≤ 0.0002 0.0003 硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤ 0.001 0.003 硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤ 0.0003 0.0005 砷(As)Arsenic,% ≤ 0.001 0.0001 铁(Fe)Iron,% ≤ 0.001 0.002 钠(Na)Sodium,% ≤ 0.05 -- 钾(K)Potassium,% ≤ 0.005 -- 锰(Mn)Manganese,% ≤ 0.0002 0.0002 镍(Ni)Nickel,% ≤ 0.0005 -- 铜(Cu)Copper,% ≤ 0.0005 -- 锌(Zn)Zinc,% ≤ 0.001 --镉(Cd)Cadmium,% ≤ 0.0005 -- 铅(Pb)Lead,% ≤ 0.0005 -- 重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤ -- 0.001 还原物质(以H3PO4计)Reducing substances,% ≤ 0.005 0.01项目电子级磷酸含量( P2O5) % 63.0-68.0熔点℃35.0-42.3外观不规则粉末硝酸盐(NO3) ppm ≤5硫酸盐(SO4) ppm ≤5氯化物(Cl) ppm ≤5铝( Al) ppb ≤20锑 (Sb) ppb ≤300砷 (As) ppb ≤10钡 (Ba) ppb ≤20镉 (Cd) ppb ≤10钙 (Ca) ppb ≤50铬 (Cr) ppb ≤10钴(Co) ppb ≤20铜 (Cu) ppb ≤20金 (Au) ppb ≤5铁(Fe) ppb ≤50铅 (Pb) ppb ≤10锂 (Li) ppb ≤10镁 (Mg) ppb ≤20锰 (Mn) ppb ≤10镍(Ni) ppb ≤10钾 (K) ppb ≤20银 (Ag) ppb ≤10钠 (Na) ppb ≤50锶 (Sr) ppb ≤10锌 (Zn) ppb ≤10ACS级项目名称Item ACS Grade 含量(H3PO4)Assay ≥85.0%色度, 黑曾单位Color(APHA) ≤10水不溶物Insoluble matter ≤0.001%氯化物(Cl)Chloride(Cl) ≤3ppm硝酸盐(NO3)Nitrate ≤5ppm硫酸盐(SO4)Sulfate ≤0.003%挥发酸(以乙酸计)Volatile acids(as CH3COOH) ≤0.001%锑(Sb)Antimony(Sb) ≤0.002%钙(Ca)Calcium(Ca) ≤0.002%镁(Mg)Magnesium(Mg) ≤0.002%钾(K)Potassium(K) ≤0.005%钠(Na)Sodium(Na) ≤0.025%砷(As)Arsenic(As) ≤1ppm重金属(以Pb计)Heavy metals(as Pb) ≤0.001%铁(Fe)Iron(Fe) ≤0.003%锰(Mn)Manganese(Mn) ≤0.5ppm还原性物质Reducing substances Passes test品级Grade 色谱纯(grade for HPLC)外观description crystals含量assay 85-90% (T)熔点mp ~40 °Cλ neat紫外吸光度UV absorptionλ: 210 nm ≤0.07λ: 220 nm ≤0.05λ: 230 nm ≤0.04λ: 250 nm ≤0.04λ: 500 nm ≤0.02RP gradient test complies品级Grade 药用级(Ph. Eur., BP, NF, FCC) assay 85.0-88.0%alkali phosphates, in accordanceresidual solvents, in accordancesubstance precip. by Ammonia, in accordanceheavy metals (as Pb) ≤0.0005%volatile acids (as CH3COOH) ≤0.001%anion traceschloride (Cl-): ≤5 ppmfluoride (F-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): in accordance phosphite, hypophosphite (as H3PO3): ≤30 ppmsulfate (SO42-): ≤50 ppmsulfate (SO42-): in accordance cation tracesAs: ≤2 ppmCd: ≤3 ppmCu: ≤10 ppmFe: ≤10 ppmHg: ≤1 ppmPb: ≤3 ppmZn: ≤10 ppm suitability passes test for appearance of solution 贮存: 密封保存。
电子级磷酸简介及电子级盐酸分析
电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC 级）。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。
产业链制作工艺电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。
目前有如下几种主要制备工艺：1）用高纯磷制备电子级磷酸；2）用高纯三氯化磷制备电子级磷酸；3）用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；② 膜分离。
电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。
我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ 级已达到国际 SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm 工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
国内外技术差别国内技术水平：目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产，BVII级和BVIII 电子级磷酸仍处于研发状态，所需产品依赖进口。
国外技术水平：高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段，生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握，有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道，国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请，技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
电子级磷酸简介
电子级磷酸盐
简介
电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗（面板级），纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗和浊刻（称为IC 级）。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料，另外还可用作超高纯试剂和光纤玻璃原料等。
产业链
制作工艺
电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到，也可由成品磷酸净化精制而得，制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。
目前有如下几种主要制备工艺：1）用高纯磷制备电子级磷酸；2）用高纯三氯化磷制备电子级磷酸；3）用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有：1）磷酸的净化精制法；2）有机溶剂萃取法；3) ①冷冻结晶法；②熔融结晶法；5）其他净化法其他的净化方法有电渗析：①电渗析法；②膜分离。
电子级磷酸的国际质量标准
国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8和SEMI -C12四个等级。
我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ和BV- Ⅳ四个等级，BV-Ⅲ级已达到国际 SEMI -C7质量标准，适用于018～112μm工艺技术的加工制作，这是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
国内外技术差别
产品使用依赖进口
国内技术水平：目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产，BVII级和BVIII电子级磷酸仍处于研发状态，所需产品依赖进口。
国外技术水平：高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密和高度垄断阶段，生产技术主要由德国、日本和美国等少数几个发达国家掌握，有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道，国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请，技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。
技术难点：高纯电子化学品技术的研发必须依靠自主创新，建立完整的研发、生产、检测及包装体系，但在该技术的开发存在着工艺、设备、材料、控制等许多难题，技术开发和生产控制难度很高，研发投入大，即便是建立一个小型实验室，至少需要数百万元的投入，如果建设中等规模的工业化装置，总投资至少在数千万元，甚至过亿。
我国电子磷酸市场现状
（1）企业规模小，目前国内30多家，只有十几家企业进行生产和销售高纯磷酸，且规模均不大，主要集中在江苏、四川和贵州。
（2）国内生产的产品只能达到高纯磷酸低端产品要求，只能应用于电子工业的液晶显示器生产上作清洗剂。
（3）高纯磷酸由于其专利技术等原因，致使我国IC、LED、TFT-LCD行业用的高纯磷酸长期依赖进口，而目前我国市场上的高纯磷酸供应商主要集中在日本、美国和德国。
（4）我国电子级磷酸出口量远远大于进口量，这些出口的初级产品大多被用于再提纯，生产更高级别的产品，又部分返销回国内。
（5）我国总体技术水平落后于发达国家，而且，原材料的消耗以及生产成本普遍高于国外研发高纯磷酸新技术，提高国内高纯磷酸产品质量，使产品应用于IC、LED、TFT-LCD等行业，摆脱长期依赖进口，将是我国高纯磷酸发展的方向。
电子磷酸市场规模
（2005年我国电子级磷酸总产量约17.5kt，进口量约2kt，出口14.5kt，表观消费量为5kt左右。
）/view/70fe7a11227916888486d72a.html 云南化工 2009年10月第36卷第5期
随着我国信息产业和电子行业的高速增长，中芯国际、富士康等大型半导体和电子企业集团向中国市场转移，国内电子级磷酸需求也快速增长。
预计2013年电子级磷酸需求量16万吨，其中面板级10万吨（单价7000元/吨），IC级6万吨（单价15000元/吨），市场合计16亿元。
电子磷酸下游需求来源
近年来由于电子工业工业和液晶显示电视迅速发展，用于半导体、液晶显示器及其他电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。
目前我国已成为世界LCD需求增长最快的国家，2011年的转移，特别是武汉光谷、富士康、中芯国际等大型电子产业在武汉的安家落户，我国将成为世界重要的集成电路（IC）制造基地之一。
我国电子专用超净高纯化学试剂需求量超过1万t，年均增长率超过20％。
2010年中国市场需求量达到15万～16万t/a，市场规模已超过200亿元，成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。
随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国大陆与之配套的电子级磷酸的用量将大幅增长，对电子级磷酸的研究显得十分重要和迫切。
电子级磷酸制造相关公司参考
澄星股份、兴发集团和马龙产业。