MOS器件物理基础.ppt
第2章MOS器件物理基础

❖ 版图、电容、小信号模型等
第2章MOS器件物理基础
10
2.2 MOMSO的SI管/V工特作性-原工作理原理与阈值电压
当VG=0,MOS管相当于两个反偏的二极管,截止 当VG稍微增大时,在正的栅源电压作用下,产生电场,
这个电场排斥空穴而吸引电子,因此,使栅极附近的p型 衬底中的空穴被排斥,留下不能移动的受主离子(负离 子),截止。
第2章 MOS器件物理基础
2.1 基本概念
❖ 简化模型-开关 ❖ 结构
2.2 I/V特性
❖ 阈值电压 ❖ I-V ❖ 跨导
2.3 二级效应
❖ 体效应、沟道长度调制效应、亚阈值导电性
2.4 器件模型
❖ 版图、电容、小信号模型等
第2章MOS器件物理基础 1
2.1 基本概念-MOSFET开关
NMOS管三端器件,栅(G)、源(S)、 漏(D)。 通常作为开关使用,VG高 电平,MOS管导通,D、S连接。
nCox
W L
(VGS
Vth )VDS
1 2
VD2S
K N 2(VGS Vth )VDS VD2S
VGS-Vth:MOS管的“过驱动电压”
L:指沟道的有效长度
W/L称为宽长比,K N
1 2
nC,ox WL
称为NMOS管的导电因子,
μn载流子迁移率。
ID的值取决于工艺参数:μn、Cox、器件尺寸W和L、VDS及VGS。
第2章MOS器件物理基础 14
2.2 MOS的I/V特性-阈值电压
0 栅与衬底功函数差
COX
OX
TOX
单位面积栅氧化层电容
常通过沟道注入把VTH0调节到合适值 工艺确定后,VTH第02章就MO固S器定件物了理基,础 设计者无法改变
大规模集成电路第3章MOS集成电路器件基础-63页PPT精选文档

VALDSID /SVDS
L(dXd )1 dVDS
定义沟道长度调制系数: 1/VA
Leff Ld dV XD dSVDSL(1VDS)
1 Leff
11(VVDDSS)2
1 L
∵VDS<<1,忽略上式的二次项:
1 Leff
(1VDS
)
1 L
∴得到:
ID SK 2' W L(VG SVTN)2(1VD S)
O
uDS
沟道调制系数λ=1/UA
对于典型的0.5 μm工艺的MOS管, 忽
略沟道调制效应, 其主要参数如表所示。
表 3 - 1 0.5 μm工艺MOS管的典型参数
假定有一NMOS管, W=3 μm, L=2 μm, 在
恒流区则有:
U GS 2V
ID
K W 2 L
(U
小变大, 沟道将发生变化。
ID
若UDS=UGS-UTH , 则沟道在漏
区边界上被夹断, 因此该点 电压称为预夹断电压。
在 此 点 之 前 , 即 UDS<UGSU时TUH D,S管增子大工,作ID在有线明性显区的,增大此。O
在 预 夹 断 点 之 后 , 即 源 区(N+ )
UDS>UGS-UTH , 管 子 工 作 在 恒流区, 此时UDS增大, 大
部分电压降在夹断区, 对沟
反型 层 源 区 (N + )
道电场影响不大, 因此电流
增大很小。
源 区 (N + )
线性 区 饱和 区(恒 流区) UGS = 5 V
UGS = 2.5 V UGS = 1.5 V
漏 区 (N + ) 电流
MOS器件物理基础

西安电子科技大学
17
MOS管在饱和区电流公式
西安电子科技大学
18
西安电子科技大学
Thanks!
19
MOS管所有pn结必须反偏: *N-SUB接VDD!
4 *P-SUB接VSS! *阱中MOSFET衬底常接源极S,why?
电路中的符号表征
西安电子科技大学
MOS管等效于一个开关!
5
西安电子科技大学
(a)栅压控制的MOSFET (b)耗尽区的形成(c)反型的开始
6 (d)反型层的形成
西安电子科技大学
西安电子科技大学
MOS器件物理基础
西安电子科技大学 刘术彬
1
西安电子科技大学
2
基本结构
西安电子科技大学
Ldrawn:沟道总长度 LD:横向扩散长度
*D、S是对称的,可互换? *所有pn结必须反偏!
Leff:沟道有效长度, Leff= Ldrawn-2 LD
3
西安电子科技大学
CMOS结构 (P、N基于同一衬底)
沟道单位长度电荷(C/m) 电荷移 动速度 (m/s)
12
I/V特性的推导(3)
西安电子科技大学
13
I/V特性的推导(4)
西安电子科技大学
14
西安电子科技大学 NMOS管VGS>VT、VDS> VGS+VT时的示意图
15
I/V特性的推导(5)
西安电子科技大学
16
饱和区MOSFET的I/V特性
NMOS管VGS>VT、VDS=0时的示意图
7
西安电子科技大学 NMOS管VGS>VT、0<VDS< VGS-VT时的示意图
8
模拟cmos集成电路设计拉扎维MOS器件物理基础PPT课件

第23页/共61页
跨导gm
VGS对IDS的控制能力 IDS对VGS变化的灵敏度
gm ID VGS VDS cons tant
• 直流关系式-I/V特性 • 交流关系式-小信号电路中的参数
第6页/共61页
MOS管简化模型
简化模型——开关 由VG控制的一个开关
第7页/共61页
MOS管的结构
Bulk(body)
源漏在物理结构上是完全对称的,靠什么区分开?
提供载流子的端口为源,收集载流子的端口为漏
最重要的工作区域?
受VG控制的沟道区
• 小信号模型 • 信号相对于偏置工作点而言比较小、不会显著影响偏置工作点时用该模型简化计算 • 由gm、 gmb、rO等构成低频小信号模型,高频时还需加上 CGS等寄生电容、寄生电阻(接触孔电阻、 导电层电阻等)
沟道电荷的产生
当VG大到一定 程度时,表面势 使电子从源流向 沟道区 VTH定义为表面电 子浓度等于衬底 多子浓度时的VG
第12页/共61页
阈值电压
0 栅与衬底功函数差
COX
OX
TOX
常通过沟道注入把VTH0调节到合适值 工艺确定后,VTH0就固定了,设计者无法改变
第13页/共61页
I/V特性-沟道随VDS的变化
第3页/共61页
掌握器件物理知识的必要性
• 数字电路设计师一般不需要进入器件内部,只把它当开关用即可 • AIC设计师必须进入器件内部,具备器件物理知识
• MOS管是AIC的基本元件 • MOS管的电特性与器件内部的物理机制密切相关,设计时需将两者结
第2章MOS器件物理基础

模拟CMOS集成电路设计
2011-9-2
MOS器件物理基础
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饱和区MOS器件的I/V特性曲线
模拟CMOS集成电路设计
2011-9-2
MOS器件物理基础
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PMOS
ID参考电流方向
截止区 三极管区(线性区)
饱和区
模拟CMOS集成电路设计
2011-9-2
MOS器件物理基础
15
4)跨导的定义 漏电流的变化量除以栅源电压的变化量,数学表达式为:
模拟CMOS集成电路设计
2011-9-2
MOS器件物理基础
7
阈值电压(VTH)定义 NMOS的VTH通常定义为界面的电子浓度等于P型衬 底的多子浓度时的栅压。
多晶硅栅和硅衬底的功函数之差
反型层与氧化硅层的表面势
(q是电子电荷,Nsub是衬底掺杂浓度,Qdep是耗尽区电荷) Cox是单位面积的栅氧化层电容
模拟CMOS集成电路设计
εsi表示硅介电常数。
2011-9-2
MOS器件物理基础
8
“本征”阈值电压
通过以上公式求得的阈值电压,通常称为“本征(native)”阈值 电压,典型值为-0.1V. 在器件制造工艺中,通常通过向沟道区注入杂质来调整VTH 对于NMOS,通常调整到0.7V(依工艺不同而不同)
模拟CMOS集成电路设计
2011-9-2
MOS器件物理基础
33
MOS SPICE模型
在电路模拟(simulation)中,SPICE要求每个器件都有一 个精确的模型。 种类
1st 代:Level1,Level2,Level3; 2nd代:BSIM,HSPICE level=28,BSIM2 3rd代:BSIM3,MOS model9,EKV(Enz-Krummenacher-Vittoz)
器件物理MOSFETPPT

xd
(
2
s
s
)
1 2
qN A
最大耗尽层宽度
xdm
( 4 s Fp
qN A
1
)2
6.2 理想MOS电容器
6.2 理想MOS电容器
教学要求 1.导出公式(6-2-24)、(6-2-25)。 2..了解电荷QI的产生机制 3.了解积累区、耗尽区、反型区和强反型情况下,MOS电容的变 化规律及影响MOS电容的主要因素
反型条件:
s f
强反型条件; s 2 f
6.1 理想MOS结构的表面空间电荷 区
s 2 f
电荷块图
能带图
耗尽和反型转折点
6.1 理想MOS结构的表面空间电荷区
5.VG>VT时, 表面少数载流子浓度超过多数载流子 浓度,这种情况称为“反型”。
电荷块图
反型
能带图
6.1 理想MOS结构的表面空间电荷区
6.2 理想MOS电容器
MOS中无直流电流流过,所以MOS电容中最重 要的特性就是C-V特性,把理想C-V特性曲线和 实测C-V曲线比较,可以判断实际MOS电容与 理想情况的偏差。而且在MOS器件制备中,M OS电容的C-V特性检测也常作为一种常规的工 艺检测手段。
6.2 理想MOS电容器
MOS系统单位面积的微分电容
由掺杂浓度和氧化层厚度确定
6.2 理想MOS电容器
耗尽区( VG<0) (以n衬底为例)
栅上有-Q电荷,半导体中有+Q 的受主杂质ND+,ND+的出现是 由于多子被排斥,因此器件工 作与多子有关,仍能在10-10-1013秒内达到平衡,交流信号作 用下,耗尽层宽度在直流值附 近呈准静态涨落,所以MOS电 容看作两个平板电容器的串联。
《MOS管教程》课件

OR门
利用两个或多个MOS管的 串并联,可以实现或逻辑 功能。
NOT门
通过一个MOS管可以实现 非逻辑功能。
04
MOS管的驱动与保护
驱动电路
栅极驱动电路
提供合适的栅极电压,使MOS管正常工作。
源极驱动电路
控制源极的电压,使MOS管在正确的状态下工作。
音频放大
音频功率放大
利用MOS管的放大特性,可以用于音 频信号的功率放大,广泛应用于音响 设备中。
耳机驱动
音频信号处理
在音频信号处理电路中,MOS管可以 作为运算放大器或比较器使用,实现 音频信号的滤波、均衡等处理。
通过控制MOS管的导通和截止,可以 实现耳机的音量控制和音源切换。
数字逻辑门
AND门
漏极驱动电路
控制漏极的电流,使MOS管在合适的电流下工作。
保护电路
01
过流保护电路
当电流过大时,自动切断电源, 防止MOS管烧毁。
02
过压保护电路
03
欠压保护电路
当电压过高时,自动切断电源, 防止MOS管损坏。
当电压过低时,自动切断电源, 防止MOS管工作异常。
安全工作区
电压安全工作区
确保MOS管在正常工作电压范围内工作,避免过压或欠压。
预防措施
在电路设计时,应充分考虑导通电阻的影响,并留有一定的余量。
开关噪声
总结词
开关过程中产生的噪声
详细描述
MOS管在开关过程中会产生噪声,这种噪 声可能会对周围电路产生干扰。
解决方案
预防措施
采用低噪声的MOS管产品,并合理设计电 路布局和布线,减小电磁干扰。
2 第二章 MOS器件物理基础

2010-3-161 CMOS模拟集成电路设计第二章MOS器件物理基础金湘亮博士xiangliangjin@2010-3-1622010-3-1632010-3-1642010-3-165CMOS模拟集成电路设计内容简介⏹集成电路的学习方法探讨⏹WHY⏹内容简介2010-3-1662010-3-1672010-3-1682010-3-1692010-3-16102010-3-16112010-3-1612问题的提出:Vg的值是多少时器件导通?也就是阈值电压是多少?在管子导通/截止时源漏电阻是多少?电阻和各端电压是什么关系?源漏间是否可以只用一个简单的模型?管子的速度由什么决定?2010-3-16132010-3-16142010-3-1615MOSFET2010-3-1616开启电压:沟道形成的栅-源电压。
)(th GS U ++++++2010-3-1617(2)对的影响.DS th GS GS u U u 时)(>D i )(th GS GS DS U u u -<①(th GS GS DS U u u -=②(th GS GS DS U u u ->③↑DS u →线性增大D i →沟道从s-d 逐渐变窄↑DS u (GS GD U u =→→沟道预夹断↑DS u →夹断区延长→几乎不变D i →恒流区2010-3-16183. 特性曲线与电流方程2)(1⎪⎪⎭⎫ ⎝⎛-=th GS GS DO D UuI i 时的是,其中,th GS GS DO i U u I )(2=2010-3-16192010-3-1620DQDOthGSmDQDDDOthGSUthGSGSthGSDOUGSDIIUgIiiIUUuUIuiDSDS)()()()(2.212=⇒≈=⎪⎪⎭⎫⎝⎛-=∂∂小信号作用时,2010-3-1621 2.1 MOSFET的基本概念2.1.1 MOSFET阈值电压是多少?当器件导通时,漏源之间的电阻有多大?这个电阻与端电压的关系是怎样的?总是可以用简单的线性电阻来模拟漏和源之间的通道?器件的速度受什么因素限制?2010-3-16221. MOSFET的三种结构简图图2.1 NMOS FET结构简图2.1.2 MOSFET的结构2010-3-1623图2.2 PMOS FET结构简图2010-3-1624图2.3 CMOS FET的结构简图2010-3-16252. MOS FET结构尺寸的通用概念W: gate widthL drawn(L): gate length(layout gate length)S,D,G,B: source,drain,gate,body(bulk)2010-3-1626 D SNMOS PMOS2010-3-1627(a) V=02010-3-1628(b) V GS>0(c)2010-3-1629(d)V G↑多晶硅和硅衬底的功函数差费米势,MOS强反型时的表面势为费米势的2倍耗尽区电荷(2.1)2010-3-16302010-3-16312010-3-1632MOS结构等效为一个由poly-Si和反型沟道构成的平板电2010-3-1633如果从S到D有一电压差VDS,假设平板电容在L方向上x点的2010-3-1634⎦⎣2L2010-3-1635(2.7))电压,只有过驱动电压⎦22010-3-16362010-3-1637)(TH GS ox n DDS on V V LW C I V R -==μ1(2.9)此时D, S 间体现为一个电阻,其阻值为:2010-3-1638称为“压控晶体管”。
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(2) uGS UGS(th)时uDS 对 iD 的影响.
① uDS uGS UGS(th) ② uDS uGS UGS(th) ③ uDS uGS UGS(th)
uDS iD 线性增大
沟道从s-d逐渐变窄
uDS uGD UGS(th) uDS 夹断区延长
沟道预夹断
iD 几乎不变 恒流区
2020/4/7
6
3. 特性曲线与电流方程
2
iD
I
DO
uGS U GS ( th )
1
, 其 中 ,I DO是uGS
2UGS
(
th
时
)
的i
。
D
2020/4/7
7
FET放大电路的动态分析
一、FET的低频小信号等效模型
iD f uGS , uDS
令
iD uGS
U DS
gm
iD uDS
U GS
图2.2 PMOS FET结构简图
2020/4/7
14
图2.3 CMOS FET的结构简图
2020/4/7
15
2. MOS FET结构尺寸的通用概念
W: gate width
Ldrawn (L): gate length(layout gate length) Leff: effective gate length LD:S/D side diffusion length W/L: aspect ratio
阈值电压是多少?当器件导通时,漏源之间的电阻 有多大?这个电阻与端电压的关系是怎样的?总是 可以用简单的线性电阻来模拟漏和源之间的通道? 器件的速度受什么因素限制?
2020/4/7
12
2.1.2 MOSFET的结构
1. MOSFET的三种结构简图
图2.1 NMOS FET结构简图
2020/4/7
13
利用栅源电压的大小控制半导体表面的感生电荷的多 少,从而改变沟道电阻,控制漏极电流的大小。
MOSFET 绝缘栅型
增强型(常闭型) 耗尽型(常开型)
N沟道 P沟道 N沟道 P沟道
2020/4/7
3
1. 结构
N沟道增强型MOSFET
2020/4/7
4
2. 工作原理 (1) uDS 0时uGS 对导电沟道的影响.
gm
2 U GS ( th )
I DO I DQ
2020/4/7
9
gm与rds的求法
2020/4/7
10
二、基本共源放大电路的动态分析
Au
Uo Ui
Id Rd U gs
gmU gs Rd U gs
gm Rd
Ri
Ro Rd
2020/4/7
11
2.1 MOSFET的基本概念
2.1.1 MOSFET开关
① uGS 0 漏源为背对的PN结 无导电沟道 即使 uDS 0, iD 0
② uDS 0, uGS 0
栅极聚集正电荷 排斥衬底空穴 剩下负离子区 耗尽层
③ uDS 0, uGS
耗尽层加厚 uGS 增加 吸引自由电子 反型层
++++++
++++++++++++
2020/4/7
开启电压 UGS(th):沟道形成的栅-源电压。 5
若将MOS结构等效为一个由poly-Si和反型沟道构成的平板电 容。对均匀沟道,当VD=VS=0时,宽度为W的沟道中,单位 长度上感应的可移动电荷量为
Qd WCox (VGS VTH )
(2.3)
式中Cox为栅极单位面积电容,WCox为单位长度栅电容.
2020/4/7
23
如果从S到D有一电压差VDS,假设平板电容在L方向上x点的 电位为V(x), 如上图所示
S,D,G,B: source,drain,gate,body(bulk)
2020/4/7
16
3. MOS FET 的四种电路符号
NMOS D
PMOS S
G
BG
B
S
D
(d)
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
2020/4/7
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2.2 MOS的I/V特性
2.2.1.阈值电压
先看MOS器件的工作原理:以NMOS为例来分析阈值电压 产生的原理.
1 rds
diD
iD uGS
U DS
duGS
iD uDS
du UGS
DS
1 Id gmU gs rds U ds
2020/4/7
8
gm与rds的求法
gm
iD uGS
U DS
2 I DO U GS ( th )
uGS UGS(th)
1
U DS
2 U GS ( th )
I DOiD
小 信 号 作 用 时 ,iD I DQ .
Chapter 2 MOS器件物理基础
本章内容
MOSFET 的I-V 特性 MOSFET 的二级效应 MOSFET 的结构电容 MOSFET 的小信号模型
2020/4/7
2
绝缘栅型场效应管
Insulated Gate Field Effect Transistor MOS管:Metal Oxide Semiconductor
2020/4/7
21
2.2.2 I/V特性推导
我们用一个电流棒来辅助理解电流的概念. v I
当沿电流方向的电荷密度为Qd (C/m)的电荷以速度v沿电流 方向移动时,产生的电流为
I Qd * v
(2.2)
量纲 C m * m s A
2020/4/7
22
● NMOS 沟道的平板电容近似与沟道电荷分布
(d) 功函数差
F
KT
q
ln N sub
ni
费米势,MOS强反型时的 表面势为费米势的2倍
Qdep 4q si F N sub
2020/4/7
耗尽区电荷
20
PMOS器件的导通:与NFETS类似,极性相反.
VTH
ms
2F
Qdep Cox
F
KT q
ln
N sub
ni
Qdep 4q si F N sub
2020/4/7
(b) VGS>0
(c)
19
●(d)当VG继续增加,界面电 势达到一定值时,就有电子从源
极流向界面并最终到达漏极,导
电沟道形成,晶体管打开。如图
(d)所示。这时,这个电压值
就是“阈值电压”-VTH .
VTH
ms
2F
Qdep Cox
ms F (sub) F ( gate)
(2.1)
(a) VGS=0
2020/4/7
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● 在 (a) 图 中 , G 极 没 有 加 入 电压时,G极和sub表面之间, 由于Cox的存在,构成了一个 平板电容,Cox为单位面积的 栅氧电容;
●在栅极加上正电压后,如 图(b)所示,P-sub靠近G的空 穴就被排斥,留下了不可动 的负离子。这时没有导电沟 道的形成,因为没有可移动 的载流子,G和衬底间仅形成 了氧化层电容和耗尽层电容 的串连,如图(c)所示。